JPH0563046U - ワイヤボンダーのマルチヒータブロック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ヒータブロックを交換せずに、１つのヒータ
ブロックにより多様なリードフレームを予熱し、ワイヤ
ボンディングを行ない得るようにしたワイヤボンダーの
マルチヒータブロックを提供する。 【構成】 ヒータブロックの側方辺部位に側壁１２を形
成し、該側壁１２に複数個のリード支持部２０，２１を
サイズ調節手段３０，３０′を介して前後または左右方
向移動可能に支持させ、該サイズ調節手段３０，３０′
の調節によりそれら複数個のリード支持部２０，２１を
前・後・左・右方向に移動させリードフレームパドルの
装着されるパドル装着部１１ａの大きさを自在に変更し
得るように構成されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体チップとリードフレームとをゴールドワイヤにて電気的に接 続させるとき該リードフレームを予熱させるため使用するワイヤボンダーのヒー タブロックに関するものであり、詳しくは、該ヒータブロックを交換せずに、１ つのヒータブロックを使用し、パドルサイズの異なる多様なリードフレームを予 熱させて該リードフレームを半導体チップにゴールドワイヤにて接続し得るよう にした、ワイヤボンダーのマルチヒータブロックに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、半導体チップのボンディングパッドとリードフレームのインナリード とをゴールドワイヤにて電気的に接続させるとき、該リードフレームを所定温度 に予熱させるため、ワイヤボンダーに装着されたヒータブロックを利用し、その ワイヤボンダーに移送されるリードフレームを予熱させていた。

【０００３】 そして、このような従来のヒータブロックにおいては、図５（Ａ）に示したよ うに、ヒータブロック本体１を有し、該ヒータブロック本体１上方面側方に所定 高さ（たとえば、０．５ｍｍ）のパドル装着部２が突成され、該パドル装着部２ 内方側に特定リードフレームのパドルサイズに適合したパドル装着溝２ａが切刻 形成され、該パドル装着溝２ａの前・後両方前記パドル装着部２の上方縁部位に リードフレームのパドル支持片の装着される装着溝２ｂ，２ｃがそれぞれ切刻形 成されていた。

【０００４】 かつ、図５（Ｂ）に示したように、前記パドル装着部２が前記ヒータブロック 本体１上方面に突成されずに、該ヒータブロック本体１と同じレベルに前記各パ ドル支持片装着溝２ｂ，２ｃと一緒にパドル装着溝２ａが切刻形成される場合も あった。

【０００５】 また、前記ヒータブロックは多様なサイズのパドルに適用すべく多様なサイズ 別にそれぞれ製作して準備され、それらヒータブロック本体１下方側にはヒータ （図示されず）が設置され、リードフレームを予熱させるようになっていた。

【０００６】 このように構成された従来のヒータブロックをワイヤボンダーに装着し、リー ドフレームを予熱して該リードフレームにゴールドワイヤを接続する作用を説明 すると次のようであった。

【０００７】 まず、予熱すべきリードフレームのパドルサイズに適合したパドル装着溝２ａ を有するヒータブロックを選択し、該ヒータブロックをワイヤボンダー（図示さ れず）の上方面に装着して、該ヒータブロックマウントの高さを調整する。その 後、該ヒータブロック上方に、リードフレーム移送システムによりリードフレー ム（図示されず）が移送され、該リードフレームのパドルがそのヒータブロック のパドル装着溝２ａに装着されると、該ヒータブロック本体１のヒータにより所 定時間の間、リードフレームが予熱され、該リードフレームと半導体チップのボ ンディングパッドとがゴールドワイヤにてボンディングされた後、前記リードフ レーム移送システムにより次の工程に移送される。

【０００８】 そして、リードフレームのパドルサイズが異なる他のリードフレームをワイヤ ボンディングする場合は、前記ワイヤボンダーからヒータブロックを脱離し、サ イズの異なる所望サイズのパドル装着溝を有した新しいヒータブロックをワイヤ ボンダーに装着し、ヒータブロックマウントの高さを調整した後、前記と同様な 工程によりリードフレームを予熱し、ワイヤボンディングを行なうようになって いた。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

このような従来のヒータブロックにおいては、該ヒータブロックのパドル装着 溝が特定のリードフレームパドルのみに適用し得るようになっているため、多様 なサイズのリードフレームパドルに合う多数のヒータブロックをそれぞれ製作し なければならず、原価が上昇するという不都合な点があった。

【００１０】 かつ、ワイヤボンディングの際、各リードフレームのパドルに適合したヒータ ブロックを選択して取り替え、該ヒータブロックをワイヤボンダーに装着した後 、ヒータブロックマウントの高さを調整し評価を施した後、ワイヤボンダーの作 業を行なうようになっているため、極めて煩雑であり、生産性も低下するという 不都合な点があった。

【００１１】 本考案の目的は、上述の問題点を解決し、ワイヤボンディングの際、ヒータブ ロックを交換せずに１つのヒータブロックを使用し、パドルサイズの異なる多様 なリードフレームを予熱しワイヤボンディングを行ない得るようにした、ワイヤ ボンダーのマルチヒータブロックを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

本考案のワイヤボンダーのマルチヒータブロックは、ヒータブロック本体を有 し該ヒータブロック本体表面上所定部位に該表面よりも所定深さ低くパドル支持 部が平滑に切刻形成され、該パドル支持部に連続し該パドル支持部の前・後・側 方に該パドル支持部よりも所定深さ低く所定幅を有した案内溝がそれぞれ連続し て切刻形成され、該案内溝の形成によりヒータブロック本体の前・後・側方辺部 位に側壁がそれぞれ連続して形成され、パドル支持部上方面縁部位の側壁所定部 位に複数個のリード支持部が第１サイズ調節手段および第２サイズ調節手段によ りそれぞれ前・後方向または左・右方向移動可能にそれぞれ支持され、それら複 数個のリード支持部の移動調節によりリードフレームパドルの装着されるパドル 装着部のサイズが自在に変更されるように構成されている。

【００１３】 好ましくは、複数個のリード支持部は、２個の第１リード支持部と、２個の第 ２リード支持部とでなるとよい。

【００１４】 また、好ましくは、第１リード支持部は、角状の薄板と該薄板と一体に下方向 きに垂設された支持板とにより形成され、該支持板が案内溝に挿入されてその第 １リード支持部が第１サイズ調節手段により案内溝に沿って前・後・左・右方向 移動可能に側壁所定部位に支持されてなるとよい。

【００１５】 さらに、好ましくは、第２リード支持部は、角状の薄板で形成され、第２サイ ズ調節手段によりパドル支持部上で前・後方向移動可能に側壁所定部位に支持さ れてなるとよい。

【００１６】 また、好ましくは、第１サイズ調節手段は、側壁の両方側所定部位に案内溝が それぞれ切刻形成され、それら案内溝中央部位に連続して該案内溝よりも小径の 案内孔がそれぞれ穿孔形成され、該案内孔に対応した第１リード支持部の支持板 両方側所定部位にネジ溝がそれぞれ長く切刻形成され、各調節ネジのネジ部が案 内孔を貫通しネジ溝にそれぞれ螺合され、該調節ネジの頭部が案内溝内方側に挿 入され、調節ネジのネジ部外周面側壁と第１リード支持部の支持板間には圧縮ス プリングまたはスナップリングが挿合され、調節ネジを案内孔に沿って前・後方 向に移動させまたは締め外すことにより第１リード支持部が前・後・左・右方向 に移動されるように構成されているとよい。

【００１７】 さらに、好ましくは、第２サイズ調節手段は、側壁の所定部位にネジ溝が穿孔 形成され、該ネジ溝に調節ネジが螺合され、該調節ネジのネジ部外周面側壁と第 ２リード支持部側壁間に圧縮スプリングまたはスナップリングが挿合され、該調 節ネジの締めまたは外しによりその第２リード支持部が前・後方向に移動される ようになるとよい。

【００１８】 また、好ましくは、側壁は、該側壁の前・後両方側中央部位に、パドル支持片 が装着される所定幅および所定深さのパドル支持片装着溝がそれぞれ切刻形成さ れているとよい。

【００１９】 さらに、好ましくは、複数個のリード支持部は、２個の第１リード支持部と、 １個の第２リード支持部とでなってもよい。

【００２０】 また、好ましくは、複数個のリード支持部は、４個の第１リード支持部と、４ 個の第２リード支持部とでなってもよい。

【００２１】

【作用】

この考案によれば、リードフレームパドルのサイズに従い、ヒータブロックの パドル装着部の大きさを調節するとき、まず、第２サイズ調節手段の調節ネジを 離し、次いで、第１サイズ調節手段の調節ネジを離すと、パドル装着部のサイズ は大きく開かれる。次いで、それら第１サイズ調節手段の調節ネジおよび第２サ イズ調節手段の調節ネジを互いに締めながら、所望のリードフレームパドルを装 着するパドル装着部のサイズに形成することができる。

【００２２】

【実施例】

以下、本考案の実施例に対し、図面を用いて詳細に説明する。

【００２３】 図１〜図４に示したように、本考案によるワイヤボンダーのマルチヒータブロ ックにおいては、ヒータブロック本体１０を有し、該ヒータブロック本体１０の 表面上所定部位に該表面よりも所定深さ低くパドル支持部１１が平滑に切刻形成 され、該パドル支持部１１に連続し該パドル支持部１１の前・後・右三方側に該 パドル支持部１１よりも所定深さ低く所定幅を有した案内溝１３が連続して切刻 形成され、該案内溝１３の形成によりヒータブロック本体１０の前・後・側方辺 部位に側壁１２が連続して形成されている。かつ、角状の薄板２０ａと該薄板２ ０ａと一体に下方向きに垂設された支持板２０ｂとを有した２個の第１リード支 持部２０がヒータブロック本体１０の前後両方側隅部の前記案内溝１３に各支持 板２０ｂが挿入され、それら第１リード支持部２０の支持板２０ｂが後述する第 １サイズ調節手段３０により前記案内溝１３に沿って前・後・左・右方向移動可 能に前記側壁１２にそれぞれ支持されている。また、それら第１リード支持部２ ０に対応し前記パドル支持部１１上方面前後両方側隅部には角状の薄板でなる第 ２リード支持部２１がそれぞれ後述する第２サイズ調節手段３０′により前・後 方向移動可能に前記側壁１２に支持されている。

【００２４】 したがって、それら２個の第１リード支持部２０と２個の第２リード支持部２ １とをそれぞれ前記第１サイズ調節手段および第２サイズ調節手段３０′により 調節し、リードフレームパドルの装着されるパドル装着部１１ａの大きさを自在 に調節し得るようになっている。さらに、前記第１リード支持部２０および第２ リード支持部２１の薄板２０ａの厚さはそれぞれ０．５ｍｍぐらいに形成され、 それら第１、第２リード支持部２０，２１がそれぞれ側壁１２に支持された場合 、薄板２０ａとヒータブロック本体１０との表面がそれぞれ同一レベルになるよ うになっている。

【００２５】 そして、前記第１サイズ調節手段３０においては、前記側壁１２の所定部位に 案内溝３２が横手方向にそれぞれ切刻形成され、該案内溝３２中央部位に連続し て該案内溝よりも小径の案内孔３２ｂがそれぞれ穿孔形成され、該案内孔３２ｂ に対応した前記各第１リード支持部２０の支持板２０ｂの両方側にそれぞれネジ 溝３４が長く切刻形成され、各調節ネジ３１のネジ部が前記案内孔３２ｂを貫通 し前記ネジ溝３４にそれぞれ螺合され、該調節ネジ３１の頭部が前記案内溝３２ 内方側に挿入され、前記調節ネジ３１のネジ部外周面前記側壁１２と前記第１リ ード支持部２０の支持板２０ｂ間には圧縮スプリング３３またはスナップリング が挿合され、前記調節ネジ３１を前記案内孔３２ｂに沿って前後方向に移動させ または締め外すことによりそれら第１リード支持部２０が前・後・左・右方向に 移動されるようになっている。

【００２６】 かつ、前記第２サイズ調節手段３０′においては、前記側壁１２の所定部位に ネジ溝がそれぞれ穿孔形成され、それらネジ溝に調節ネジがそれぞれ螺合され、 それら調節ネジの各ネジ部外周面前記側壁１２と前記第２リード支持部２１側壁 間に圧縮スプリングまたはスナップリングが挿合され、前記調節ネジの締め外し によりその第２リード支持部２１が前・後方向に移動されるようになっている。 また、前記側壁１２の前・後両方側中央部位にはパドル支持片の装着されるパド ル支持片装着溝１２ａ，１２ｂがそれぞれ切刻形成されている。

【００２７】 さらに、本実施例においては、前・後方向に移動される２個の第２リード支持 部２１を形成し使用する場合を説明したが、本実施例に限定されず、１個だけの 第２リード支持部２１を移動可能に形成して使用し、他の１個は固設して使用す ることもできる。また、第１リード支持部２０と第２リード支持部２１とをそれ ぞれ２個ずつ形成して使用せずに、それぞれ４個ずつ形成し、合計８個のリード 支持部を使用することもできる。

【００２８】 このように構成された本考案によるワイヤボンダーのマルチヒータブロックの 作用においては、使用者が、まず、第２サイズ調節手段３０′の調節ネジを外し て第２リード支持部２１を前・後方向に移動し得るようにし、次いで、第１サイ ズ調節手段３０の調節ネジ３１を外して第１リード支持部２０を前・後・左・右 方向に移動し得るようにし、それら第１リード支持部２０および第２リード支持 部２１をそれぞれ前・後・左・右方向に移動させながら所望のリードフレームパ ドルの装着されるパドル装着部の大きさに合わせた後、前記第１、第２サイズ調 節手段の各調節ネジを締める。

【００２９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によるワイヤボンダーのマルチヒータブロックに おいては、ヒータブロック本体上に側壁を形成し、該側壁に複数個のリード支持 部を支持させ、それらリード支持部をサイズ調節手段により前・後・左・右方向 に自在に移動させ、リードフレームパドルの装着されるパドル装着部の大きさを 自在に変更し得るようになっているため、従来のように多様なサイズのヒータブ ロックを多数準備せずに、１つのヒータブロックにて多様なリードフレームを予 熱させるようになって製造原価が節減され、パドルサイズごとにヒータブロック を交換する必要がなくなって生産性が向上される効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるマルチヒータブロックの概略平面
図である。

【図２】本考案によるマルチヒータブロックの一部斜視
図である。

【図３】本考案による圧縮スプリングを用いた第１サイ
ズ調節手段を示した横断面図である。

【図４】本考案によるスナップリングを用いた第１サイ
ズ調節手段を示した横断面図である。

【図５】従来のヒータブロックの構成を示した斜視図で
あり、（Ａ）はパドル装着部の突成型を示した斜視図、
（Ｂ）はパドル装着部がヒータブロック上方面と同一レ
ベルに形成された型を示した斜視図である。

【符号の説明】

１０ 本体 １１ パドル支持部 １１ａ パドル装着部 １２ 側壁 １２ａ，１２ｂ パドル支持片装着溝 １３ 案内溝 ２０ 第１リード支持部 ２０ａ 薄板 ２０ｂ 支持板 ２１ 第２リード支持部 ３０ 第１サイズ調節手段 ３０′ 第２サイズ調節手段 ３１ 調節ネジ ３２ 案内溝 ３２ｂ 案内孔 ３３ 圧縮スプリング ３４ ネジ溝 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (9)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤボンダーのマルチヒータブロック
   であって、 ヒータブロック本体（１０）を有し、該ヒータブロック
   本体（１０）表面上所定部位に該表面よりも所定深さ低
   くパドル支持部（１１）が平滑に切刻形成され、 該パドル支持部（１１）に連続し該パドル支持部（１
   １）の前・後・側方に該パドル支持部（１１）よりも所
   定深さ低く所定幅を有した案内溝（１３）がそれぞれ連
   続して切刻形成され、 該案内溝（１３）の形成によりヒータブロック本体（１
   ０）の前・後・側方辺部位に側壁（１２）がそれぞれ連
   続して形成され、 前記パドル支持部（１１）上方面縁部位の前記側壁（１
   ２）所定部位に、複数個のリード支持部（２０，２１）
   が第１サイズ調節手段（３０）および第２サイズ調節手
   段（３０′）によりそれぞれ前・後方向または左・右方
   向移動可能にそれぞれ支持され、 それら複数個のリード支持部（２０，２１）の移動調節
   によりリードフレームパドルの装着されるパドル装着部
   （１１ａ）のサイズが自在に変更されるように構成され
   た、ワイヤボンダーのマルチヒータブロック。
2. 【請求項２】 前記複数個のリード支持部（２０，２
   １）は、２個の第１リード支持部（２０）と、２個の第
   ２リード支持部（２１）とでなる、請求項１記載のワイ
   ヤボンダーのマルチヒータブロック。
3. 【請求項３】 前記第１リード支持部（２０）は、角状
   の薄板（２０ａ）と、該薄板（２０ａ）と一体に下方向
   きに垂設された支持板（２０ｂ）とにより形成され、 該支持板（２０ｂ）が前記案内溝（１３）に挿入されて
   その第１リード支持部（２０）が前記第１サイズ調節手
   段（３０）により前記案内溝（１３）に沿って前・後・
   左・右方向移動可能に前記側壁（１２）所定部位に支持
   されてなる、請求項２記載のワイヤボンダーのマルチヒ
   ータブロック。
4. 【請求項４】 前記第２リード支持部（２１）は、角状
   の薄板で形成され、前記第２サイズ調節手段により前記
   パドル支持部（１１）上で前・後方向移動可能に前記側
   壁（１２）所定部位に支持された、請求項２記載のワイ
   ヤボンダーのマルチヒータブロック。
5. 【請求項５】 前記第１サイズ調節手段（３０）は、 前記側壁（１２）の両方側所定部位に案内溝（３２）が
   それぞれ切刻形成され、それら案内溝（３２）中央部位
   に連続して該案内溝（３２）よりも小径の案内孔（３２
   ｂ）がそれぞれ穿孔形成され、該案内孔（３２ｂ）に対
   応した前記第１リード支持部（２０）の支持板（２０
   ｂ）両方側所定部位にネジ溝（３４）がそれぞれ長く切
   刻形成され、 各調節ネジ（３１）のネジ部が前記案内孔（３２ｂ）を
   貫通し前記ネジ溝（３４）にそれぞれ螺合され、該調節
   ネジ（３１）の頭部が前記案内溝（３２）内方側に挿入
   され、 前記調節ネジ（３１）のネジ部外周面前記側壁（１２）
   と前記第１リード支持部（２０）の支持板（２０ｂ）間
   には圧縮スプリング（３３）またはスナップリングが挿
   合され、 前記調節ネジ（３１）を前記案内孔（３２ｂ）に沿って
   前・後方向に移動させまたは締め外すことにより、第１
   リード支持部（２０）が前・後・左・右方向に移動され
   るように構成された、請求項１記載のワイヤボンダーの
   マルチヒータブロック。
6. 【請求項６】 前記第２サイズ調節手段（３０′）は、 前記側壁（１２）の所定部位にネジ溝が穿孔形成され、
   該ネジ溝に調節ネジが螺合され、該調節ネジのネジ部外
   周面前記側壁（１２）と前記第２リード支持部（２１）
   側壁間に圧縮スプリングまたはスナップリングが挿合さ
   れ、 該調節ネジの締めまたは外しによりその第２リード支持
   部（２１）が前・後方向に移動されるようになる、請求
   項１記載のワイヤボンダーのマルチヒータブロック。
7. 【請求項７】 前記側壁（１２）には、該側壁（１２）
   の前・後両方側中央部位に、パドル支持片が装着される
   所定幅および所定深さのパドル支持片装着溝（１２ａ，
   １２ｂ）がそれぞれ切刻形成された、請求項１記載のワ
   イヤボンダーのマルチヒータブロック。
8. 【請求項８】 前記複数個のリード支持部（２０，２
   １）は、２個の第１リード支持部（２０）と、１個の第
   ２リード支持部（２１）とでなる、請求項１記載のワイ
   ヤボンダーのマルチヒータブロック。
9. 【請求項９】 前記複数個のリード支持部（２０，２
   １）は、４個の第１リード支持部（２０）と、４個の第
   ２リード支持部（２１）とでなる、請求項１記載のワイ
   ヤボンダーのマルチヒータブロック。