KR0128255Y1 - 와이어 본더의 멀티 히터 블럭 - Google Patents

와이어 본더의 멀티 히터 블럭 Download PDF

Info

Publication number
KR0128255Y1
KR0128255Y1 KR2019910023607U KR910023607U KR0128255Y1 KR 0128255 Y1 KR0128255 Y1 KR 0128255Y1 KR 2019910023607 U KR2019910023607 U KR 2019910023607U KR 910023607 U KR910023607 U KR 910023607U KR 0128255 Y1 KR0128255 Y1 KR 0128255Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heater block
support plate
paddle
paddle support
wire bonder
Prior art date
Application number
KR2019910023607U
Other languages
English (en)
Other versions
KR930016204U (ko
Inventor
박상빈
Original Assignee
문정환
엘지반도체주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 문정환, 엘지반도체주식회사 filed Critical 문정환
Priority to KR2019910023607U priority Critical patent/KR0128255Y1/ko
Priority to JP1992088368U priority patent/JP2569317Y2/ja
Publication of KR930016204U publication Critical patent/KR930016204U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0128255Y1 publication Critical patent/KR0128255Y1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

본 고안은 반도체 패키지 제조공정중 와이어 본딩공정에 사용되는 와이어 본더의 멀티 히터 블럭에 관한 것으로, 소정형상의 멀티히터블럭 몸체(11)와, 그의 상면일측에 설치되는 수개의 패들지지판(12)과, 그 패들지지판(12)들을 가변적으로 위치 이동시켜 고정하기 위한 수개의 조립용볼트(13)를 구비하여 하나의 히터 블럭으로 크기가 각기 다른 패키지 타입에 공용할 수 있도록 구성한 것이다.
상기 패들지지판은 2개 또는 4개로 분리하여 형성할 수 있고 상기 패들지지판의 각각에는 십자형 위치조절홈이 형성되어 있으며, 패들지지판의 패들안착홈 내벽에는 고정블럭 및 스프링을 개재하여 완충작용을 하도록 되어있다.

Description

와이어 본더의 멀티 히터 블럭
제1도의 (a)(b)는 종래 히터 블럭의 여러 종류를 보인 사시도.
제2도의 (a)(b) 및 제3도는 본 고안에 의한 와이어 본더의 멀티히터 블럭을 설명하기 위한 도면으로서,
제2도의 (a)(b)는 본 고안의 실시예에 의한 멀티히터 블럭의 구성을 보이는 분해 사시도 및 조립상태의 사시도.
제3도는 본 고안의 다른 실시예에 의한 멀티 히터블럭의 요부 구성을 보인 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 멀티히터블럭 몸체 12 : 패들지지판
12a : 패들안착홈 13 : 조립용볼트
14 : 위치조절홈 15 : 고정블럭
16 : 스프링
본 고안은 반도체칩과 리드프레임을 금선(Gold wire)을 이용하여 전기적으로 접속연결시키는 와이어 본딩공정에 사용되는 와이어 본더(wire bonder)의 멀티 히터 블럭(Mulli Heater Block)에 관한 것으로, 특히 하나의 히터 블럭으로 전 패키지를 공용할 수 있도록 함으로써 패키지가 바뀜에 따른 장비 품종 변경시간을 감소시키고 히터 블럭의 제작 코스트 절감에 적합하도록 한 와이어 본더의 멀티 히터 블럭에 관한 것이다.
통상 반도체칩과 리드프레임의 인너리드를 금속와이어를 이용하여 전기적으로 접속연결시키는 장비인 와이어 본더에는 공급되는 리드프레임을 예열하기 위한 히터블럭이 구비된다.
이러한 히터 블럭은 제1도에 도시한 바와같이 히터블럭 몸체(1)의 상면 일측에 리드프레임의 패들이 안착되는 안착홈(2)이 구비된 구성으로 되어 있으며, 이에 칩이 부착된 리드프레임이 공급되어 예열되고 이후 소정의 동작으로 와이어 본딩공정을 수행하게 되어있다.
제1도의 (a)(b)는 종래의 여러 히터 블럭을 도시한 사시도로서 이에 도시한 바와같이 종래에는 패키지 타입별로 여러개를 제작하여 작업하는 패키지가 변경될때마다 그에 맞는 히터 블럭으로 교체하여 왔다.
따라서 종래의 히터 블럭은 패키지의 타입에 따라 여러개의 히터 블럭을 제작해야 되고, 히터 블럭을 작업하는 패키지의 타입에 따라 그 패키지에 맞는 히터 블럭으로 교체함에 따른 장비의 다운타임(Down time)이 많이 소요되는 문제가 있었다.
즉, 종래의 히터 블럭은 작업하는 패키지가 바뀌어 히터 블럭을 교체할때마다 히터 블럭 마운트(Heater Brock Mount)의 높이(Height)를 매번 조정해야 되고 조정이 완료된 후에는 테스트(Evalution)를 실시한 후에 작업을 실시해야 하므로 장비의 다운타임이 2시간 이상 소요되어 생산에 많은 지장을 초래하는 결점이 있었다.
본 고안은 상기한 바와같은 종래의 결함을 해소하기 위하여 안출한 것으로 하나의 히터 블럭으로 여러 타입의 패키지에 공용할 수 있도록 함으로써 히터 블럭 교체에 따른 장비 다운 타임을 줄이고 여러개의 히터 블럭 제작에 따른 코스트를 절감시키며, 품질과 일드(Yield)의 향상을 도모한 와이어 본더의 멀티 히터 블럭을 제공하는데 목적을 두고 있다.
이와같은 본 고안의 목적은 히터블럭 몸체의 상측에 전,후,좌,우로 이동가능하며 십자형의 위치고정홈이 각각 형성된 여러조각의 패들지지판을 조립용 나사로 체결하여 패키지 타입별로 그의 패들사이즈에 맞게 조정할 수 있도록 구성함을 특징으로 하는 와이어 본더의 멀티 히터 블럭을 제공함으로써 달성되는 것이다.
이하에서는 이러한 본 고안을 첨부한 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하겠다.
제2도 및 제3도에 도시한 바와같이 본 고안에 의한 와이어 본더의 멀티 히터 블럭은 소정형상의 멀티히터블럭 몸체(11)와, 그의 상면 일측에 설치되는 수개의 패들지지판(12)과, 그 패들지지판(12)들을 가변적으로 이동시켜 고정하기 위한 수개의 조립용 볼트(13)로 구성되어 있으며, 상기 패들지지판(12)은 제2도의 일실시예에서 보는 바와같이 2개의 대칭형상으로 분리형성할 수도 있고, 제3도의 다른실시예에서 보는 바와같이 4개로 분리형성할 수도 있는 바, 이를 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
즉, 본 고안의 일실시예에 의한 멀티 히터 블럭은 제2도의 (a)(b)에서 보는 바와같이 멀티히터블럭 몸체(11)의 상면 일측에 패들안착홈(12a)부가 구비된 2개의 패들지지판(12)를 탑재시켜 수개의 조립용볼트(13a)로 고정한 것으로 이는 패들의 좌우방향 크기가 다른 여러종류의 패키지에 유리하게 적용할 수 있다.
제3도는 본 고안의 다른 실시예에 의한 멀티 히터 블럭의 구조를 보인 요부 사시도로서 이에 도시한 바와같이 멀티히터블럭 몸체(11)의 상면 일측에 설치되는 패들지지판(12)을 4개의 조작으로 분리형성하여 그 각각을 수개의 조립용 볼트(13b)로 고정한 것으로 패들의 좌우방향 크기 뿐만아니라 전후방향의 크기가 다른 패키지의 작업에 유리하게 적용할 수 있는 것이다.
상기 패들지지판(12)의 각각에는 십자(+)형 위치조절홈(14)이 형성되어 있고 이에 볼트(13b)를 체결하는 것인 바, 전,후,좌,우로 이동시켜 작업하는 패들사이즈에 맞게 위치를 정한 후 고정하게 된다.
또한, 상기 패들지지판(12)의 패들안착홈(12a) 내벽에는 각각 고정블럭(15)을 설치하고 이에 스프링(16)을 개재하여 완충작용을 할 수 있도록 되어있다.
즉, 스프링(16)의 탄성을 이용하여 리드프레임의 규격별로 패들지지판(12)의 위치를 이동시켜 정한다음 볼트(13b)를 체결하여 고정하는 것이다.
이와같이 구성되는 본 고안에 의한 멀티 히터 블럭은 도시하고 상술한 바와같이 하나의 히터 블럭에 가변적으로 위치를 이동시킬 수 있는 수개의 패들지지판(12)을 조립용 볼트(13)를 이용하여 체결 고정한 것으로 하나의 히터 블럭으로 패키지 타임에 구애됨이 없이 전 패키지를 커바하므로 종래에 비해 히터 블럭 교체에 따르는 장비 다운 타임을 줄일 수 있고, 이에따라 생산성 향상을 기대할 수 있으며, 종래에는 각 패키지 타입별로 많은 종류의 히터 블럭을 제작하여야 했으나, 본 고안은 히터 블럭 몸체에 위치변환이 가능한 수개의 패들지지판을 볼트로 고정한 구조이므로 그 제작 비용이 절감되는 효과가 있다.
아울러, 와이어 본딩의 품질(Quality)과 일드(Yield)를 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Claims (2)

  1. 소정형상의 멀티히터블럭 몸체(11)와, 그의 상면 일측에 설치되는 각각 십자형 위치조절홈(14)이 구비된 수개의 패들지지판(12)과, 그 패들지지판(12)들을 가변적으로 위치이동시켜 고정하기 위한 수개의 조립용볼트(13)를 구비하여 하나의 히터 블럭으로 크기가 각기 다른 패키지 타입에 공용할 수 있도록 구성함으로 특징으로 하는 와이어 본더의 멀티 히터 블럭.
  2. 제1항에 있어서, 상기 패들지지판(12)의 패들안착홈(12a) 내벽에는 고정블럭(15)을 각각 형성하고 이에 스프링(16)을 개재하여 완충작용을 할 수 있도록 구성함을 특징으로 하는 와이어 본더의 멀티 히터 블럭.
KR2019910023607U 1991-12-23 1991-12-23 와이어 본더의 멀티 히터 블럭 KR0128255Y1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019910023607U KR0128255Y1 (ko) 1991-12-23 1991-12-23 와이어 본더의 멀티 히터 블럭
JP1992088368U JP2569317Y2 (ja) 1991-12-23 1992-12-24 ワイヤボンダーのマルチヒータブロック

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019910023607U KR0128255Y1 (ko) 1991-12-23 1991-12-23 와이어 본더의 멀티 히터 블럭

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930016204U KR930016204U (ko) 1993-07-28
KR0128255Y1 true KR0128255Y1 (ko) 1998-12-01

Family

ID=19325307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019910023607U KR0128255Y1 (ko) 1991-12-23 1991-12-23 와이어 본더의 멀티 히터 블럭

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2569317Y2 (ko)
KR (1) KR0128255Y1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980085414A (ko) * 1997-05-29 1998-12-05 윤종용 탄성력에 의해 히터블록 어댑터가 고정되는 와이어 본딩 장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5972153B2 (ja) * 2012-11-21 2016-08-17 新日本無線株式会社 ワイヤボンディング装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980085414A (ko) * 1997-05-29 1998-12-05 윤종용 탄성력에 의해 히터블록 어댑터가 고정되는 와이어 본딩 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR930016204U (ko) 1993-07-28
JPH0563046U (ja) 1993-08-20
JP2569317Y2 (ja) 1998-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5230144A (en) Method of producing lead frame
DE10310809A1 (de) Leistungshalbleitereinrichtung
JPH0326437A (ja) 工作物を固定するクランプ装置、及び該クランプ装置で使用されるように構成されたクランプバー
US4704187A (en) Method of forming a lead frame
US5307977A (en) Multi heater block of wire bonder
KR0128255Y1 (ko) 와이어 본더의 멀티 히터 블럭
KR200211283Y1 (ko) 반도체의와이어본딩을위한리드프레임클램프
JPH11207413A (ja) インクリメンタル成形方法
JP2874435B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法およびリードフレーム
US4887352A (en) Method for making matrix lead frame
JPS60152327A (ja) プレス金型用ガイドポスト及びその取付方法
KR910006144Y1 (ko) 다이 (Die) 높이 및 위치 조절치구
JPH09148369A (ja) ボンディング装置用クランプ機構
KR200272502Y1 (ko) 리드프레임 소성변형장치
JPH0750116Y2 (ja) ワーク取付装置
KR960009290Y1 (ko) 와이어 본더의 리드 프레임 클램핑 장치
SU1546271A1 (ru) Устройство дл ограждени рабочей зоны штампа вертикального пресса
KR200221823Y1 (ko) 반도체 패키지 제조장비의 트림다이
JP2000246576A (ja) 製品支持台
KR200173049Y1 (ko) 프래쉬 방지 몰드 베이스 다이
KR950000050Y1 (ko) 트림장비의 적층식 펀치구조
JPH05152503A (ja) 半導体チツプ両面搭載用リードフレーム
KR970006142Y1 (ko) 회로기판 본딩홀더
KR940002208Y1 (ko) 링크프레스의 위상조절장치
JPH07256367A (ja) 板材加工機におけるブラシテーブル

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20040719

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee