JPH0559350U - Ｉｃ微小電流測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電流測定に要する時間を短縮させる。 【構成】 電圧印加電流測定回路（ＩＭ回路）１と、接
続ケーブル４と、グループスイッチＫ_j （Ｋ_js及びＫ_jf
より成る）（ｊ＝１〜ｎ）と、ガード用グループスイッ
チＫ_jgs と、各グループ毎に設けられる抵抗器Ｒ_fsと、
グループＧ₁ 〜Ｇ _n 毎に並列接続される複数のＰＥ回路
（ピンエレクトロニックス回路）３とで構成される。Ｉ
Ｍ回路１より被試験ＩＣの各端子に定電圧Ｖ₀ が印加さ
れ、その時の端子電流が順次測定されるが、その測定に
先立って、全グループの全てのＰＥ回路３のガード端子
ｇｕ，センス端子ｓ，フォース端子ｆと共通電位点との
間に形成される、基板材質に依存する基板ＲＣ回路Ｅ
を、ＩＭ回路１の増幅器Ａ₁ ，Ａ₂ の出力によりガード
時間Ｔ_g の間に同時に充電させる。抵抗器Ｒ_fsの代りに
ガード用グループスイッチＫ_jgf をＫ_jgs と同様に設け
てもよい。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣ試験装置に使用される微小電流測定装置に関し、特に測定の 高速化に係わる。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ＩＣのＣＭＯＳ化が進み、その端子ピンの入力電流が極めて小さくなっ ているので、ＩＣ試験装置には微小電流測定装置が不可欠である。従来のこの種 の装置は図４に示すように、電圧印加電流測定回路（以下ＩＭ回路と言う）１と 、被試験ＩＣ２の端子ピンＰ_i と対応して設けられる複数のピンエレクトロニッ クス回路（以下ＰＥ回路と言う）３と、接続ケーブル４と、複数のグループスイ ッチＫ_j とで構成される。

【０００３】 ＩＭ回路１は、ＰＥ回路３側とのインターフェースとして、フォース（Ｆｏｒ ｃｅ）端子Ｆ、センス（Ｓｅｎｓｅ）端子Ｓ及びガード（Ｇｕａｒｄ）端子Ｇ_u が設けられている。Ｄ／Ａ変換器５の出力電圧Ｖ₁ は抵抗器Ｒ₁ を通じて、非反 転入力端子が共通電位点に接続された演算増幅器Ａ₁ の反転入力端子に供給され る。演算増幅器Ａ₁ の出力は電流測定用抵抗器Ｒ_M を通じてフォース端子Ｆに供 給され、更に接続ケーブル４及びＰＥ回路３を介して被試験ＩＣ２の端子ピンＰ _i に供給される。

【０００４】 その端子ピンＰ_i に発生した電圧Ｖ_p はセンス端子Ｓに入力され、更に電圧ホ ロア回路６に入力される。電圧ホロア回路６の出力は抵抗器Ｒ₂ を通じて演算増 幅器Ａ₁ の反転入力端子に供給される。電圧ホロア回路６は、演算増幅器Ａ₂ の 反転入力端子をその出力端子に接続し、その非反転入力端子を電圧入力端子とし て構成される。ガード端子Ｇ_u は演算増幅器Ａ₂ の反転入力端子に接続される。

【０００５】 演算増幅器Ａ₁ の入力電圧をＶ₂ 、出力電圧をＶ₃ 、利得をＡとすれば、Ｖ₃ ＝−ＡＶ₂ であり、従ってＶ₂ ＝−Ｖ₃ ／Ａと表される。Ｖ₃ は有限の確定値で あり、利得Ａは極めて大きいので（理想的には無限大）、入力電圧Ｖ₂ は微小と なり、ゼロと見なすことができる。従って、抵抗器Ｒ₁ とＲ₂ との接続点の電位 は共通電位と等しくなるので、仮想接地点と呼ばれる。抵抗器Ｒ₁ （その抵抗値 もＲ₁ で代用する。以下同様）の電流は Ｉ＝Ｖ₁ ／Ｒ₂ …（１） この電流Ｉは、演算増幅器Ａ₁ の入力抵抗が極めて大きいので（理想的には無 限大）、抵抗器Ｒ₂ 側に流れ、演算増幅器Ａ₂ に吸い込まれる。演算増幅器Ａ₂ の出力端の電圧Ｖ₀ は、 Ｖ₀ ＝−Ｒ₂ Ｉ＝−（Ｒ₂ ／Ｒ₁ ）Ｖ₁ … （２） となる。演算増幅器Ａ₂ の非反転入力端子の入力抵抗は極めて大きいので（理想 的には無限大）、端子ピンＰ_i より配線抵抗や接触抵抗及びセンス端子Ｓを通じ て電圧ホロア回路６に流入する電流は極めて小さく、無視することができる。従 ってこれらの接続媒体で電圧降下は発生せず、端子ピンＰ_i の電圧Ｖ_p がそのま ま電圧ホロア回路６に入力される。電圧ホロア回路６はよく知られているように その入力電圧Ｖ_p と等しい出力電圧Ｖ₀ が発生するので、（２）式より Ｖ_p ＝Ｖ₀ ＝−（Ｒ₂ ／Ｒ₁ ）Ｖ₁ … （３） となる。このように端子ピンＰ_i には、Ｄ／Ａコンバータ５の出力電圧Ｖ₁ と抵 抗器Ｒ₁ ，Ｒ₂ の抵抗値の比Ｒ₂ ／Ｒ₁ とで決まる（３）式の定電圧Ｖ₀ が印加 される。その結果、端子ピンＰ_i に流れる微小電流は、測定用抵抗器Ｒ_M の両端 電圧を増幅器Ａ₃ を通じてＡ／Ｄ変換器７に入力して、測定される。

【０００６】 ＰＥ回路３はプリント配線回路で構成され、ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、セ ンス端子Ｓ及びガード端子Ｇ_u に接続ケーブル４を通じてそれぞれインターフェ ースするフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガード端子ｇｕと、被試験ＩＣ２の 端子ピンＰ_i に接続される試料端子ｄとが設けられる。ＰＥ回路３には、ホース 端子ｆ及び試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ_fdと、スイッチＫ_fdと連 動してセンス端子ｓ及び試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ_sdが実装さ れる。これらスイッチＫ_fd，Ｋ_sdをＰＥスイッチと呼ぶ。また、ＰＥ回路３には 対応する端子ピンにテストパターンを供給するためのドライバ９や、その結果、 被試験ＩＣの端子ピンに出力された応答パターンを予測パターンと比較する比較 器１０がスイッチを介して試料端子ｄに接続されている。しかし、これらの回路 はこの考案と直接的な関係が無いので、これ以上の説明を省略する。

【０００７】 センス端子ｓとＰＥスイッチＫ_sd間はセンス配線パターン１２で、またフォー ス端子ｆとＰＥスイッチＫ_fd間はホース配線パターン１１で接続される。これら の配線パターンに沿って、ガード配線パターン１３がガード端子ｇｕよりＰＥス イッチ８の近傍迄延長され、ＰＥスイッチＫ_sd，Ｋ_fdにシールドカバーがある場 合には、それに接続される。

【０００８】 複数のＰＥ回路３は、ｍ_j （ｊ＝１〜ｎ）個づつ組合されて第１グループＧ₁ のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_m1乃至第ｎグループＧ_n のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_mnにグ ループ分けされる。これら各グループＧ_j （ｊ＝１〜ｎ）のｍ_j 個のＰＥ回路は 、フォース端子ｆ同志、センス端子ｓ同志及びガード端子ｇｕ同志がそれぞれ接 続されて、グループスイッチＫ_jf，Ｋ_js，Ｋ_jg（まとめてＫ_j で表す）をそれぞ れ介して、接続ケーブル４のフォース線２１、センス線２２及びこれらの線をシ ールドするシールド部２３の各一端にそれぞれ接続される。それらの各他端は、 ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガード端子Ｇにそれぞれ接続さ れる。なお図４は各グループのＰＥ回路数ｍ_j が相等しく、ｍ_j ＝ｍの場合を示 している。

【０００９】 このようにグループスイッチＫ_j を設けてＰＥ回路をグループ分けする理由は 、ＰＥ回路の個数が例えば５１２にも達し、ｆ，ｓ，ｇｕ端子（同じ符号同志が 並列に接続される）の絶縁が低下するのを防止するためである。 複数のＰＥ回路３は図５に示すように１枚又は複数のプリント配線基板２４に 実装される。ＩＭ回路１及び複数のＰＥ回路３には図示していない共通の電源装 置より動作電源及び共通電位が与えられている。

【００１０】 ＰＥ回路３のフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガード端子ｇｕよりそれぞれ 延長されるフォース配線パターン１１、センス配線パターン１２及びガード配線 パターン１３と、共通電位が与えられる共通配線Ｌ_G との間には、プリント配線 基板材料が介在し、ＰＥスイッチがオフの場合、図６Ａに示すような、電気的等 価回路Ｅで表される。即ち、これらの各端子ｆ，ｓ，ｇｕは，抵抗器Ｒ_a と、コ ンデンサＣ_a と、コンデンサＣ_b 及び抵抗器Ｒ_b の直列回路との並列接続回路を 介して共通電位点に接続される。これらのコンデンサ及び抵抗器の定数はプリン ト基板の材質に依存する。前記回路Ｅを基板ＲＣ回路と呼ぶ。

【００１１】 いま、各端子ｆ，ｓ又はｇｕに時間ｔ＝０に直流電圧Ｖ_i を印加したとすれば 、これら各素子に図６Ｂに示すような電流Ｉ_Ra，Ｉ_Ca，Ｉ_cbRbが流れる。Ｉ_Raは 一定であるが、Ｉ_ca，Ｉ_cbRbは時間と共に減少する。Ｉ_cbRbの時定数は特に大き く、誘電体吸収特性を示している。ＰＥ回路３は各グループ毎にｍ個づつＩＭ回 路１側が並列に接続されるので、各電流Ｉ_Ra，Ｉ_ca，Ｉ_cbRbをグループ当りで合 計すればそれぞれｍ倍となる。

【００１２】 なお、図４，図５のＰＥ回路のフォース配線１１及びセンス配線１２には（３ ）式の相等しい電圧Ｖ₀ 及びＶ_p がそれぞれ印加されるので、その時両配線間を 絶縁抵抗を通じて流れる電流はゼロとなる。 被試験ＩＣ２の各端子ピンＰ_i の電流を測定する場合には、第１グループＧ₁ のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_m に対応する端子ピンＰ₁ 〜Ｐ_m の電流が順次測定され 、次に第２グループＧ₂ のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_m に対応する端子ピンＰ_m+1 〜 Ｐ_2mの電流が順次測定され、以下同様となる。即ち、図７に示すように、時間ｔ ＝ｔ₁ の時点にグループスイッチＫ₁ がオンとされ、第１グループＧ₁ のＰＥ回 路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_m の各フォース端子ｆに定電圧Ｖ₀ が印加される。それと同時に Ｇ₁ のＰＥ回路ＰＥ₁ のＰＥスイッチＫ_sd，Ｋ_fdがオンとされ、端子ピンＰ₁ に 電圧Ｖ₀ が印加される。このときグループＧ₁ の他のＰＥ回路ＰＥ₂ 〜ＰＥ_m の ＰＥスイッチはオフである。しかし、第１グループの各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ， ｇｕはそれぞれ同じ符号のものが互いに接続されているから、これら各端子に接 続される前記基板ＲＣ回路Ｅ（Ｅ_f ，Ｅ_s ，Ｅ_g ）（Ｇ₁ のｍ回路分）に同時に 充電電流が流れる。即ち、各端子ｆ及びｓにつながる基板ＲＣ回路Ｅ_f ，Ｅ_s は ＩＭ回路１の演算増幅器Ａ₁ の出力により充電され、端子ｇｕにつながる基板Ｒ Ｃ回路Ｅ_g は演算増幅器Ａ₂ の出力により充電される。ＩＭ回路１のフォース端 子Ｆより図７Ｌに示すような過渡電流Ｉ_M が流れる。端子ピンＰ₁ の電流Ｉ₁ は 、ｔ＝ｔ₁ よりガード時間Ｔ_g だけ経過して、基板ＲＣ回路を流れる過渡電流の 大きさが無視できる程度に小さくなった、期間Ｔ₁ （時間長Δ）に行われる。電 流Ｉ₁ の測定が終ると、第１グループＧ₁ のＰＥ回路ＰＥ₂ ，ＰＥ₃ …ＰＥ_m の ＰＥスイッチＫ_fd，Ｋ_sdが順次Δ時間だけオンになるＴ₂ ，Ｔ₃ …Ｔ_m の時間に 端子ピンＰ₂ 〜Ｐ_m の電流Ｉ₂ 〜Ｉ_m それぞれ測定される。

【００１３】 第１グループＧ₁ に対応する端子電流の測定がｔ＝ｔ₂ に終了すると、グルー プスイッチＫ₁ はオフとなり、代ってグループスイッチＫ₂ がオンとされ、第２ グループＧ₂ に対応する端子ピンＰ_m+1 〜Ｐ_2mの各電流が同様に測定される。こ の場合にも、端子ピンＰ_m+1 の電流を測定する前に、基板ＲＣ回路Ｅを充電する ためのガード時間Ｔ_g が設けられるのは勿論である。

【００１４】

【考案が解決しようとする課題】

以上述べたように、従来のＩＣ微小電流測定装置では、被測定ＩＣ２の端子ピ ンはｍ_j 個づつｎグループに分けられ、各グループの各端子ピンの電流Ｉ₁ 〜Ｉ _mj を測定するに先だって、基板ＲＣ回路Ｅを充電させるために、比較的長いガー ド時間Ｔ_g を各グループ毎に設定しなければならず、測定時間が長くなる欠点が あった。この考案の目的は、この従来の欠点を解決して、電流測定時間を短縮さ せようとするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】

請求項１の考案では、グループスイッチＫ_jg（ｊ＝１〜ｎ）を削除し、その該 当配線を短絡し、グループスイッチＫ_jsの前記ＰＥ回路側をガード用グループス イッチＫ_jgs を通じて前記接続ケーブルのシールド部の一端に接続し、前記グル ープスイッチＫ_js及びＫ_jfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒ_fsで接続する。そのガード 用グループスイッチＫ_jgs を前記グループスイッチＫ_j がオンの時オフ、オフの 時オンとする。

【００１６】 また、前記各グループＧ_j の前記ガード時間Ｔ_g を、前記第１グループＧ₁ を 除いてゼロに設定する。 請求項２の考案では、前記グループスイッチＫ_js及びＫ_jfの各ＰＥ回路側を抵 抗器Ｒ_fsで接続する代りに、前記グループスイッチＫ_jfのＰＥ回路側をガード用 グループスイッチＫ_jgf （前記ガード用グループスイッチＫ_jgs と連動する）を 通じて前記接続ケーブルのシールド部の一端に接続する。

【００１７】

【実施例】

請求項１の考案の実施例を図１、図２を参照して説明する。図１には図４と対 応する部分に同じ符号に付し、重複説明を省略する。請求項１の考案では、従来 のグループスイッチＫ_jg（ｊ＝１〜ｎ）を削除され、その該当配線は短絡される 。グループスイッチＫ_jsのＰＥ回路側をガード用グループスイッチＫ_jgs を通じ て接続ケーブル４のシールド部２３の一端に接続する。またグループスイッチＫ _js 及びＫ_jfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒ_fsで接続する。そして、このガード用グル ープスイッチＫ_jgs をグループスイッチＫ_j がオンの時オフ、オフの時オンに制 御する。

【００１８】 このようにすると、第１グループＧ₁ を測定する際のガード時間Ｔ_g において 、第１グループＧ₁ の各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ，ｇｕにそれぞれつながる各基板 ＲＣ回路Ｅ（Ｅ_f ，Ｅ_s ，Ｅ_g ）が定電圧Ｖ₀ で充電されるのみならず、その他 のグループＧ₂ 〜Ｇ_n の各ＰＥ回路の各基板ＲＣ回路Ｅも、直接、或いはガード 用グループスイッチＫ_jgs 、更には抵抗器Ｒ_fsを介して、ＩＭ回路１の電圧ホロ ア回路６（演算増幅器Ａ₂ ）の出力Ｖ₀ によって同時に充電される。従って、グ ループＧ₂ 〜Ｇ_n の測定では、従来のように基板ＲＣ回路Ｅを充電させるための ガード時間Ｔ_g を設ける必要がなくなり、それだけ測定時間を短縮できる。

【００１９】 また、抵抗器Ｒ_fsを設ける代りに、図３に示すように、グループスイッチＫ_jf のＰＥ回路側をガード用グループスイッチＫ_jgf を通じて接続ケーブル４のシー ルド部の一端に接続する。そして同スイッチＫ_jgf を他のガード用グループスイ ッチＫ_jgs と連動して、グループスイッチＫ_j がオンの時オフ、オフの時オンに 制御する。この場合には、端子ｆにつながる基板ＲＣ回路Ｅ_f は、同スイッチＫ _jgf を通じてＩＭ回路１の電圧ホロア回路６の出力Ｖ₀ により充電される。図１ ではスイッチＫ_jgf の代りに抵抗器Ｒ_fsを設けることにより簡略化、経済化を図 っている。

【００２０】

【考案の効果】

以上述べたように、この考案では、従来のグループスイッチＫ_jgを削除し、ガ ード用グループスイッチＫ_jgs 及び抵抗器Ｒ_fs（又はガード用グループスイッチ Ｋ_jgs ）を設けることによって、被試験ＩＣ２の各端子ピンの電流を測定するに 先だって、第１グループＧ₁ のみならず全てのグループのＰＥ回路の基板ＲＣ回 路Ｅをガード時間Ｔ_g の間に同時に充電させることができる。従って、各グルー プ毎に基板ＲＣ回路Ｅを毎回充電させるためにガード時間Ｔ_g を設定する必要が ないので、それだけ電流測定時間を短縮できる。

【００２１】 この考案では、従来のグループスイッチＫ_jgが削除され、全てのＰＥ回路のｇ ｕ端子が並列接続され、それだけｇｕ端子の共通電位点に対する絶縁抵抗は低下 するが、ｇｕ端子はＩＭ回路１の電圧ホロア回路６の出力に接続されており、電 圧ホロア回路６の出力抵抗（内部抵抗）に極めて小さい（理想的にはゼロである ）ので、何等問題になることはない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の請求項１の実施例を示す回路図。

【図２】図１の実施例のタイミングチャート。

【図３】図１の要部の変形例を示す回路図。

【図４】従来のＩＣ微小電流測定装置の回路図。

【図５】図４のＰＥ回路を実装したプリント配線基板の
断面図。

【図６】Ａは図４のＰＥ回路の端子ｆ（又はｓ又はｇ
ｕ）及びＰＥスイッチ間の配線パターン１１（又は１２
又は１３）と共通電位点との間の基板材質に関係する電
気的等価回路、ＢはＡの要部の波形図。

【図７】図４のタイミングチャート。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電圧印加電流測定回路（以下ＩＭ回路と
   言う）と、被試験ＩＣの端子ピンに対応して設けられる
   複数のピンエレクトロニックス回路（以下ＰＥ回路と言
   う）と、接続ケーブルと、グループスイッチとを有し、 前記ＩＭ回路は、前記ＰＥ回路側とのインターフェース
   として、フォース（Ｆｏｒｃｅ）端子Ｆ、センス（Ｓｅ
   ｎｓｅ）端子Ｓ及びガード（Ｇｕａｒｄ）端子Ｇ_u を有
   し、Ｄ／Ａ変換器の出力電圧を第１抵抗器を通じて、非
   反転入力端子が共通電位点に接続された第１演算増幅器
   の反転入力端子に供給し、その第１演算増幅器の出力を
   電流測定用抵抗器を通じて前記フォース端子Ｆに供給
   し、前記センス端子Ｓに入力された電圧を電圧ホロア回
   路（第２演算増幅器の反転入力端子をその出力端子に接
   続し、その非反転入力端子を電圧入力端子として構成さ
   れる）に供給し、その電圧ホロア回路の出力を第２抵抗
   器を通じて前記第１演算増幅器の反転入力端子に供給
   し、前記ガード端子Ｇ_u を前記第２演算増幅器の反転入
   力端子に接続して構成され、前記接続ケーブル、グルー
   プスイッチ及びＰＥ回路を順次通じて被試験ＩＣの各端
   子ピンに順次定電圧を印加して、その時各端子ピンに流
   れる電流を、前記測定用抵抗器の両端電圧より測定する
   ものであり、 前記ＰＥ回路は、プリント配線回路で構成され、前記Ｉ
   Ｍ回路の前記フォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガード
   端子Ｇ_u と前記接続ケーブルを通じてそれぞれインター
   フェースするフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガード
   端子ｇｕと、被試験ＩＣの１つの端子ピンに接続される
   試料端子ｄと、ＰＥスイッチ（前記フォース端子ｆ及び
   試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ_fdと、その
   スイッチＫ_fdと連動して前記センス端子ｓ及び試料端子
   ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ_sdとより成る）とを
   有し、 前記複数のＰＥ回路は、ｍ_j (ｊ＝１〜ｎ）個づつ組合
   されて第１グループＧ ₁ のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_m1乃至
   第ｎグループＧ_n のＰＥ回路ＰＥ₁ 〜ＰＥ_mnに分けら
   れ、各グループＧ_j （ｊ＝１〜ｎ）のＰＥ回路は、前記
   フォース端子ｆ同志、センス端子ｓ同志及びガード端子
   ｇｕ同志がそれぞれ接続されて、共通の互いに連動する
   前記グループスイッチＫ_jf，Ｋ_js及びＫ_jg（まとめてＫ
   _j で表す）をそれぞれ介して、前記接続ケーブルのフォ
   ース線、センス線及びこれらホース線及びセンス線をシ
   ールドするシールド部の各一端にそれぞれ接続され、そ
   れらフォース線、センス線及びシールド部の他端は、前
   記ＩＭ回路のフォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガード
   端子Ｇ_u にそれぞれ接続され、 被試験ＩＣの各端子ピンの電流を測定する場合には、先
   ず前記グループスイッチＫ₁ をオンにするとほぼ同時
   に、第１グループＧ₁ の前記ＰＥ回路ＰＥ₁ の前記ＰＥ
   スイッチＫ_fd，Ｋ_sdをオンとし、その時点より所定のガ
   ード時間Ｔ_g だけ経過した時点より所定のΔ時間の間に
   被試験ＩＣの対応する端子ピンＰ₁ の電流を測定し、以
   後第１グループＧ₁ の各ＰＥ回路ＰＥ₂ 〜ＰＥ_m1の前記
   ＰＥスイッチＫ_sd，Ｋ_fdを時間Δだけ順次オンとして、
   各端子ピンの電流を測定し、以下グループスイッチ
   Ｋ₂ ，Ｋ₃ …Ｋ_n を順次オンにして、前記第１グループ
   Ｇ₁ と同様の測定を繰返し行うＩＣ微小電流測定装置に
   おいて、 前記グループスイッチＫ_jg（ｊ＝１〜ｎ）を削除し、そ
   の該当配線を短絡し、前記グループスイッチＫ_jsの前記
   ＰＥ回路側をガード用グループスイッチＫ_jgs を通じて
   前記接続ケーブルのシールド部の一端に接続し、 前記グループスイッチＫ_js及びＫ_jfの各ＰＥ回路側を抵
   抗器Ｒ_fsで接続し、そのガード用グループスイッチＫ
   _jgs を前記グループスイッチＫ_j がオンの時オフ、オフ
   の時オンとなし、 前記各グループＧ_j の前記ガード時間Ｔ_g を、前記第１
   グループＧ₁ を除いてゼロに設定することを特徴とす
   る、 ＩＣ微小電流測定装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記グループスイッ
   チＫ_js及びＫ_jfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒ_fsで接続する
   代りに、前記グループスイッチＫ_jfのＰＥ回路側をガー
   ド用グループスイッチＫ_jgf （前記ガード用グループス
   イッチＫ_jgs と連動する）を通じて前記接続ケーブルの
   シールド部の一端に接続したことを特徴とするＩＣ微小
   電流測定装置。