JP2573476Y2 - Ｉｃ微小電流測定装置 - Google Patents
Ｉｃ微小電流測定装置Info
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- JP2573476Y2 JP2573476Y2 JP1992000836U JP83692U JP2573476Y2 JP 2573476 Y2 JP2573476 Y2 JP 2573476Y2 JP 1992000836 U JP1992000836 U JP 1992000836U JP 83692 U JP83692 U JP 83692U JP 2573476 Y2 JP2573476 Y2 JP 2573476Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ＩＣ試験装置に使用
される微小電流測定装置に関し、特に測定の高速化に係
わる。
される微小電流測定装置に関し、特に測定の高速化に係
わる。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣのＣＭＯＳ化が進み、その端
子ピンの入力電流が極めて小さくなっているので、ＩＣ
試験装置には微小電流測定装置が不可欠である。従来の
この種の装置は図４に示すように、電圧印加電流測定回
路（以下ＩＭ回路と言う）１と、被試験ＩＣ２の端子ピ
ンＰi と対応して設けられる複数のピンエレクトロニッ
クス回路（以下ＰＥ回路と言う）３と、接続ケーブル４
と、複数のグループスイッチＫj とで構成される。
子ピンの入力電流が極めて小さくなっているので、ＩＣ
試験装置には微小電流測定装置が不可欠である。従来の
この種の装置は図４に示すように、電圧印加電流測定回
路（以下ＩＭ回路と言う）１と、被試験ＩＣ２の端子ピ
ンＰi と対応して設けられる複数のピンエレクトロニッ
クス回路（以下ＰＥ回路と言う）３と、接続ケーブル４
と、複数のグループスイッチＫj とで構成される。
【０００３】ＩＭ回路１は、ＰＥ回路３側とのインター
フェースとして、フォース（Ｆｏｒｃｅ）端子Ｆ、セン
ス（Ｓｅｎｓｅ）端子Ｓ及びガード（Ｇｕａｒｄ）端子
Ｇuが設けられている。Ｄ／Ａ変換器５の出力電圧Ｖ1
は抵抗器Ｒ1 を通じて、非反転入力端子が共通電位点に
接続された演算増幅器Ａ1 の反転入力端子に供給され
る。演算増幅器Ａ1 の出力は電流測定用抵抗器ＲM を通
じてフォース端子Ｆに供給され、更に接続ケーブル４及
びＰＥ回路３を介して被試験ＩＣ２の端子ピンＰi に供
給される。
フェースとして、フォース（Ｆｏｒｃｅ）端子Ｆ、セン
ス（Ｓｅｎｓｅ）端子Ｓ及びガード（Ｇｕａｒｄ）端子
Ｇuが設けられている。Ｄ／Ａ変換器５の出力電圧Ｖ1
は抵抗器Ｒ1 を通じて、非反転入力端子が共通電位点に
接続された演算増幅器Ａ1 の反転入力端子に供給され
る。演算増幅器Ａ1 の出力は電流測定用抵抗器ＲM を通
じてフォース端子Ｆに供給され、更に接続ケーブル４及
びＰＥ回路３を介して被試験ＩＣ２の端子ピンＰi に供
給される。
【０００４】その端子ピンＰi に発生した電圧Ｖp はセ
ンス端子Ｓに入力され、更に電圧ホロア回路６に入力さ
れる。電圧ホロア回路６の出力は抵抗器Ｒ2 を通じて演
算増幅器Ａ1 の反転入力端子に供給される。電圧ホロア
回路６は、演算増幅器Ａ2 の反転入力端子をその出力端
子に接続し、その非反転入力端子を電圧入力端子として
構成される。ガード端子Ｇu は演算増幅器Ａ2 の反転入
力端子に接続される。
ンス端子Ｓに入力され、更に電圧ホロア回路６に入力さ
れる。電圧ホロア回路６の出力は抵抗器Ｒ2 を通じて演
算増幅器Ａ1 の反転入力端子に供給される。電圧ホロア
回路６は、演算増幅器Ａ2 の反転入力端子をその出力端
子に接続し、その非反転入力端子を電圧入力端子として
構成される。ガード端子Ｇu は演算増幅器Ａ2 の反転入
力端子に接続される。
【０００５】演算増幅器Ａ1 の入力電圧をＶ2 、出力電
圧をＶ3 、利得をＡとすれば、Ｖ3＝−ＡＶ2 であり、
従ってＶ2 ＝−Ｖ3 ／Ａと表される。Ｖ3 は有限の確定
値であり、利得Ａは極めて大きいので（理想的には無限
大）、入力電圧Ｖ2 は微小となり、ゼロと見なすことが
できる。従って、抵抗器Ｒ1 とＲ2 との接続点の電位は
共通電位と等しくなるので、仮想接地点と呼ばれる。抵
抗器Ｒ1 （その抵抗値もＲ1 で代用する。以下同様）の
電流は Ｉ＝Ｖ1 ／Ｒ2 …（１） この電流Ｉは、演算増幅器Ａ1 の入力抵抗が極めて大き
いので（理想的には無限大）、抵抗器Ｒ2 側に流れ、演
算増幅器Ａ2 に吸い込まれる。演算増幅器Ａ2の出力端
の電圧Ｖ0 は、 Ｖ0 ＝−Ｒ2 Ｉ＝−（Ｒ2 ／Ｒ1 ）Ｖ1 … （２） となる。演算増幅器Ａ2 の非反転入力端子の入力抵抗は
極めて大きいので（理想的には無限大）、端子ピンＰi
より配線抵抗や接触抵抗及びセンス端子Ｓを通じて電圧
ホロア回路６に流入する電流は極めて小さく、無視する
ことができる。従ってこれらの接続媒体で電圧降下は発
生せず、端子ピンＰi の電圧Ｖp がそのまま電圧ホロア
回路６に入力される。電圧ホロア回路６はよく知られて
いるようにその入力電圧Ｖp と等しい出力電圧Ｖ0 が発
生するので、（２）式より Ｖp ＝Ｖ0 ＝−（Ｒ2 ／Ｒ1 ）Ｖ1 … （３） となる。このように端子ピンＰi には、Ｄ／Ａコンバー
タ５の出力電圧Ｖ1 と抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 の抵抗値の比Ｒ
2 ／Ｒ1 とで決まる（３）式の定電圧Ｖ0 が印加され
る。その結果、端子ピンＰi に流れる微小電流は、測定
用抵抗器ＲM の両端電圧を増幅器Ａ3 を通じてＡ／Ｄ変
換器７に入力して、測定される。
圧をＶ3 、利得をＡとすれば、Ｖ3＝−ＡＶ2 であり、
従ってＶ2 ＝−Ｖ3 ／Ａと表される。Ｖ3 は有限の確定
値であり、利得Ａは極めて大きいので（理想的には無限
大）、入力電圧Ｖ2 は微小となり、ゼロと見なすことが
できる。従って、抵抗器Ｒ1 とＲ2 との接続点の電位は
共通電位と等しくなるので、仮想接地点と呼ばれる。抵
抗器Ｒ1 （その抵抗値もＲ1 で代用する。以下同様）の
電流は Ｉ＝Ｖ1 ／Ｒ2 …（１） この電流Ｉは、演算増幅器Ａ1 の入力抵抗が極めて大き
いので（理想的には無限大）、抵抗器Ｒ2 側に流れ、演
算増幅器Ａ2 に吸い込まれる。演算増幅器Ａ2の出力端
の電圧Ｖ0 は、 Ｖ0 ＝−Ｒ2 Ｉ＝−（Ｒ2 ／Ｒ1 ）Ｖ1 … （２） となる。演算増幅器Ａ2 の非反転入力端子の入力抵抗は
極めて大きいので（理想的には無限大）、端子ピンＰi
より配線抵抗や接触抵抗及びセンス端子Ｓを通じて電圧
ホロア回路６に流入する電流は極めて小さく、無視する
ことができる。従ってこれらの接続媒体で電圧降下は発
生せず、端子ピンＰi の電圧Ｖp がそのまま電圧ホロア
回路６に入力される。電圧ホロア回路６はよく知られて
いるようにその入力電圧Ｖp と等しい出力電圧Ｖ0 が発
生するので、（２）式より Ｖp ＝Ｖ0 ＝−（Ｒ2 ／Ｒ1 ）Ｖ1 … （３） となる。このように端子ピンＰi には、Ｄ／Ａコンバー
タ５の出力電圧Ｖ1 と抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 の抵抗値の比Ｒ
2 ／Ｒ1 とで決まる（３）式の定電圧Ｖ0 が印加され
る。その結果、端子ピンＰi に流れる微小電流は、測定
用抵抗器ＲM の両端電圧を増幅器Ａ3 を通じてＡ／Ｄ変
換器７に入力して、測定される。
【０００６】ＰＥ回路３はプリント配線回路で構成さ
れ、ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガ
ード端子Ｇu に接続ケーブル４を通じてそれぞれインタ
ーフェースするフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガー
ド端子ｇｕと、被試験ＩＣ２の端子ピンＰi に接続され
る試料端子ｄとが設けられる。ＰＥ回路３には、ホース
端子ｆ及び試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ
fdと、スイッチＫfdと連動してセンス端子ｓ及び試料端
子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫsdが実装される。
これらスイッチＫfd，ＫsdをＰＥスイッチと呼ぶ。ま
た、ＰＥ回路３には対応する端子ピンにテストパターン
を供給するためのドライバ９や、その結果、被試験ＩＣ
の端子ピンに出力された応答パターンを予測パターンと
比較する比較器１０がスイッチを介して試料端子ｄに接
続されている。しかし、これらの回路はこの考案と直接
的な関係が無いので、これ以上の説明を省略する。
れ、ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガ
ード端子Ｇu に接続ケーブル４を通じてそれぞれインタ
ーフェースするフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガー
ド端子ｇｕと、被試験ＩＣ２の端子ピンＰi に接続され
る試料端子ｄとが設けられる。ＰＥ回路３には、ホース
端子ｆ及び試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫ
fdと、スイッチＫfdと連動してセンス端子ｓ及び試料端
子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫsdが実装される。
これらスイッチＫfd，ＫsdをＰＥスイッチと呼ぶ。ま
た、ＰＥ回路３には対応する端子ピンにテストパターン
を供給するためのドライバ９や、その結果、被試験ＩＣ
の端子ピンに出力された応答パターンを予測パターンと
比較する比較器１０がスイッチを介して試料端子ｄに接
続されている。しかし、これらの回路はこの考案と直接
的な関係が無いので、これ以上の説明を省略する。
【０００７】センス端子ｓとＰＥスイッチＫsd間はセン
ス配線パターン１２で、またフォース端子ｆとＰＥスイ
ッチＫfd間はホース配線パターン１１で接続される。こ
れらの配線パターンに沿って、ガード配線パターン１３
がガード端子ｇｕよりＰＥスイッチ８の近傍迄延長さ
れ、ＰＥスイッチＫsd，Ｋfdにシールドカバーがある場
合には、それに接続される。
ス配線パターン１２で、またフォース端子ｆとＰＥスイ
ッチＫfd間はホース配線パターン１１で接続される。こ
れらの配線パターンに沿って、ガード配線パターン１３
がガード端子ｇｕよりＰＥスイッチ８の近傍迄延長さ
れ、ＰＥスイッチＫsd，Ｋfdにシールドカバーがある場
合には、それに接続される。
【０００８】複数のＰＥ回路３は、ｍj （ｊ＝１〜ｎ）
個づつ組合されて第１グループＧ1のＰＥ回路ＰＥ1 〜
ＰＥm1乃至第ｎグループＧn のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥmn
にグループ分けされる。これら各グループＧj （ｊ＝１
〜ｎ）のｍj 個のＰＥ回路は、フォース端子ｆ同志、セ
ンス端子ｓ同志及びガード端子ｇｕ同志がそれぞれ接続
されて、グループスイッチＫjf，Ｋjs，Ｋjg（まとめて
Ｋj で表す）をそれぞれ介して、接続ケーブル４のフォ
ース線２１、センス線２２及びこれらの線をシールドす
るシールド部２３の各一端にそれぞれ接続される。それ
らの各他端は、ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、センス端
子Ｓ及びガード端子Ｇにそれぞれ接続される。なお図４
は各グループのＰＥ回路数ｍj が相等しく、ｍj ＝ｍの
場合を示している。
個づつ組合されて第１グループＧ1のＰＥ回路ＰＥ1 〜
ＰＥm1乃至第ｎグループＧn のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥmn
にグループ分けされる。これら各グループＧj （ｊ＝１
〜ｎ）のｍj 個のＰＥ回路は、フォース端子ｆ同志、セ
ンス端子ｓ同志及びガード端子ｇｕ同志がそれぞれ接続
されて、グループスイッチＫjf，Ｋjs，Ｋjg（まとめて
Ｋj で表す）をそれぞれ介して、接続ケーブル４のフォ
ース線２１、センス線２２及びこれらの線をシールドす
るシールド部２３の各一端にそれぞれ接続される。それ
らの各他端は、ＩＭ回路１のフォース端子Ｆ、センス端
子Ｓ及びガード端子Ｇにそれぞれ接続される。なお図４
は各グループのＰＥ回路数ｍj が相等しく、ｍj ＝ｍの
場合を示している。
【０００９】このようにグループスイッチＫj を設けて
ＰＥ回路をグループ分けする理由は、ＰＥ回路の個数が
例えば５１２にも達し、ｆ，ｓ，ｇｕ端子（同じ符号同
志が並列に接続される）の絶縁が低下するのを防止する
ためである。複数のＰＥ回路３は図５に示すように１枚
又は複数のプリント配線基板２４に実装される。ＩＭ回
路１及び複数のＰＥ回路３には図示していない共通の電
源装置より動作電源及び共通電位が与えられている。
ＰＥ回路をグループ分けする理由は、ＰＥ回路の個数が
例えば５１２にも達し、ｆ，ｓ，ｇｕ端子（同じ符号同
志が並列に接続される）の絶縁が低下するのを防止する
ためである。複数のＰＥ回路３は図５に示すように１枚
又は複数のプリント配線基板２４に実装される。ＩＭ回
路１及び複数のＰＥ回路３には図示していない共通の電
源装置より動作電源及び共通電位が与えられている。
【００１０】ＰＥ回路３のフォース端子ｆ、センス端子
ｓ及びガード端子ｇｕよりそれぞれ延長されるフォース
配線パターン１１、センス配線パターン１２及びガード
配線パターン１３と、共通電位が与えられる共通配線Ｌ
G との間には、プリント配線基板材料が介在し、ＰＥス
イッチがオフの場合、図６Ａに示すような、電気的等価
回路Ｅで表される。即ち、これらの各端子ｆ，ｓ，ｇｕ
は，抵抗器Ｒa と、コンデンサＣa と、コンデンサＣb
及び抵抗器Ｒb の直列回路との並列接続回路を介して共
通電位点に接続される。これらのコンデンサ及び抵抗器
の定数はプリント基板の材質に依存する。前記回路Ｅを
基板ＲＣ回路と呼ぶ。
ｓ及びガード端子ｇｕよりそれぞれ延長されるフォース
配線パターン１１、センス配線パターン１２及びガード
配線パターン１３と、共通電位が与えられる共通配線Ｌ
G との間には、プリント配線基板材料が介在し、ＰＥス
イッチがオフの場合、図６Ａに示すような、電気的等価
回路Ｅで表される。即ち、これらの各端子ｆ，ｓ，ｇｕ
は，抵抗器Ｒa と、コンデンサＣa と、コンデンサＣb
及び抵抗器Ｒb の直列回路との並列接続回路を介して共
通電位点に接続される。これらのコンデンサ及び抵抗器
の定数はプリント基板の材質に依存する。前記回路Ｅを
基板ＲＣ回路と呼ぶ。
【００１１】いま、各端子ｆ，ｓ又はｇｕに時間ｔ＝０
に直流電圧Ｖi を印加したとすれば、これら各素子に図
６Ｂに示すような電流ＩRa，ＩCa，ＩcbRbが流れる。Ｉ
Raは一定であるが、Ｉca，ＩcbRbは時間と共に減少す
る。ＩcbRbの時定数は特に大きく、誘電体吸収特性を示
している。ＰＥ回路３は各グループ毎にｍ個づつＩＭ回
路１側が並列に接続されるので、各電流ＩRa，Ｉca，Ｉ
cbRbをグループ当りで合計すればそれぞれｍ倍となる。
に直流電圧Ｖi を印加したとすれば、これら各素子に図
６Ｂに示すような電流ＩRa，ＩCa，ＩcbRbが流れる。Ｉ
Raは一定であるが、Ｉca，ＩcbRbは時間と共に減少す
る。ＩcbRbの時定数は特に大きく、誘電体吸収特性を示
している。ＰＥ回路３は各グループ毎にｍ個づつＩＭ回
路１側が並列に接続されるので、各電流ＩRa，Ｉca，Ｉ
cbRbをグループ当りで合計すればそれぞれｍ倍となる。
【００１２】なお、図４，図５のＰＥ回路のフォース配
線１１及びセンス配線１２には（３）式の相等しい電圧
Ｖ0 及びＶp がそれぞれ印加されるので、その時両配線
間を絶縁抵抗を通じて流れる電流はゼロとなる。被試験
ＩＣ２の各端子ピンＰi の電流を測定する場合には、第
１グループＧ1のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥm に対応する端
子ピンＰ1 〜Ｐm の電流が順次測定され、次に第２グル
ープＧ2 のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥm に対応する端子ピン
Ｐm+1 〜Ｐ2mの電流が順次測定され、以下同様となる。
即ち、図７に示すように、時間ｔ＝ｔ1 の時点にグルー
プスイッチＫ1 がオンとされ、第１グループＧ1 のＰＥ
回路ＰＥ1 〜ＰＥm の各フォース端子ｆに定電圧Ｖ0 が
印加される。それと同時にＧ1 のＰＥ回路ＰＥ1 のＰＥ
スイッチＫsd，Ｋfdがオンとされ、端子ピンＰ1 に電圧
Ｖ0 が印加される。このときグループＧ1 の他のＰＥ回
路ＰＥ2 〜ＰＥm のＰＥスイッチはオフである。しか
し、第１グループの各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ，ｇｕはそ
れぞれ同じ符号のものが互いに接続されているから、こ
れら各端子に接続される前記基板ＲＣ回路Ｅ（Ｅf ，Ｅ
s ，Ｅg ）（Ｇ1 のｍ回路分）に同時に充電電流が流れ
る。即ち、各端子ｆ及びｓにつながる基板ＲＣ回路
Ｅf ，Ｅs はＩＭ回路１の演算増幅器Ａ1 の出力により
充電され、端子ｇｕにつながる基板ＲＣ回路Ｅg は演算
増幅器Ａ2 の出力により充電される。ＩＭ回路１のフォ
ース端子Ｆより図７Ｌに示すような過渡電流ＩM が流れ
る。端子ピンＰ1 の電流Ｉ1 は、ｔ＝ｔ1 よりガード時
間Ｔg だけ経過して、基板ＲＣ回路を流れる過渡電流の
大きさが無視できる程度に小さくなった、期間Ｔ1 （時
間長Δ）に行われる。電流Ｉ1 の測定が終ると、第１グ
ループＧ1 のＰＥ回路ＰＥ2 ，ＰＥ3 …ＰＥm のＰＥス
イッチＫfd，Ｋsdが順次Δ時間だけオンになるＴ2 ，Ｔ
3 …Ｔm の時間に端子ピンＰ2 〜Ｐm の電流Ｉ2 〜Ｉm
それぞれ測定される。
線１１及びセンス配線１２には（３）式の相等しい電圧
Ｖ0 及びＶp がそれぞれ印加されるので、その時両配線
間を絶縁抵抗を通じて流れる電流はゼロとなる。被試験
ＩＣ２の各端子ピンＰi の電流を測定する場合には、第
１グループＧ1のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥm に対応する端
子ピンＰ1 〜Ｐm の電流が順次測定され、次に第２グル
ープＧ2 のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥm に対応する端子ピン
Ｐm+1 〜Ｐ2mの電流が順次測定され、以下同様となる。
即ち、図７に示すように、時間ｔ＝ｔ1 の時点にグルー
プスイッチＫ1 がオンとされ、第１グループＧ1 のＰＥ
回路ＰＥ1 〜ＰＥm の各フォース端子ｆに定電圧Ｖ0 が
印加される。それと同時にＧ1 のＰＥ回路ＰＥ1 のＰＥ
スイッチＫsd，Ｋfdがオンとされ、端子ピンＰ1 に電圧
Ｖ0 が印加される。このときグループＧ1 の他のＰＥ回
路ＰＥ2 〜ＰＥm のＰＥスイッチはオフである。しか
し、第１グループの各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ，ｇｕはそ
れぞれ同じ符号のものが互いに接続されているから、こ
れら各端子に接続される前記基板ＲＣ回路Ｅ（Ｅf ，Ｅ
s ，Ｅg ）（Ｇ1 のｍ回路分）に同時に充電電流が流れ
る。即ち、各端子ｆ及びｓにつながる基板ＲＣ回路
Ｅf ，Ｅs はＩＭ回路１の演算増幅器Ａ1 の出力により
充電され、端子ｇｕにつながる基板ＲＣ回路Ｅg は演算
増幅器Ａ2 の出力により充電される。ＩＭ回路１のフォ
ース端子Ｆより図７Ｌに示すような過渡電流ＩM が流れ
る。端子ピンＰ1 の電流Ｉ1 は、ｔ＝ｔ1 よりガード時
間Ｔg だけ経過して、基板ＲＣ回路を流れる過渡電流の
大きさが無視できる程度に小さくなった、期間Ｔ1 （時
間長Δ）に行われる。電流Ｉ1 の測定が終ると、第１グ
ループＧ1 のＰＥ回路ＰＥ2 ，ＰＥ3 …ＰＥm のＰＥス
イッチＫfd，Ｋsdが順次Δ時間だけオンになるＴ2 ，Ｔ
3 …Ｔm の時間に端子ピンＰ2 〜Ｐm の電流Ｉ2 〜Ｉm
それぞれ測定される。
【００１３】第１グループＧ1 に対応する端子電流の測
定がｔ＝ｔ2 に終了すると、グループスイッチＫ1 はオ
フとなり、代ってグループスイッチＫ2 がオンとされ、
第２グループＧ2 に対応する端子ピンＰm+1 〜Ｐ2mの各
電流が同様に測定される。この場合にも、端子ピンＰ
m+1 の電流を測定する前に、基板ＲＣ回路Ｅを充電する
ためのガード時間Ｔg が設けられるのは勿論である。
定がｔ＝ｔ2 に終了すると、グループスイッチＫ1 はオ
フとなり、代ってグループスイッチＫ2 がオンとされ、
第２グループＧ2 に対応する端子ピンＰm+1 〜Ｐ2mの各
電流が同様に測定される。この場合にも、端子ピンＰ
m+1 の電流を測定する前に、基板ＲＣ回路Ｅを充電する
ためのガード時間Ｔg が設けられるのは勿論である。
【００１４】
【考案が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来のＩＣ微小電流測定装置では、被測定ＩＣ２の端子ピ
ンはｍj 個づつｎグループに分けられ、各グループの各
端子ピンの電流Ｉ1 〜Ｉmjを測定するに先だって、基板
ＲＣ回路Ｅを充電させるために、比較的長いガード時間
Ｔg を各グループ毎に設定しなければならず、測定時間
が長くなる欠点があった。この考案の目的は、この従来
の欠点を解決して、電流測定時間を短縮させようとする
ものである。
来のＩＣ微小電流測定装置では、被測定ＩＣ２の端子ピ
ンはｍj 個づつｎグループに分けられ、各グループの各
端子ピンの電流Ｉ1 〜Ｉmjを測定するに先だって、基板
ＲＣ回路Ｅを充電させるために、比較的長いガード時間
Ｔg を各グループ毎に設定しなければならず、測定時間
が長くなる欠点があった。この考案の目的は、この従来
の欠点を解決して、電流測定時間を短縮させようとする
ものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１の考案では、グ
ループスイッチＫjg（ｊ＝１〜ｎ）を削除し、その該当
配線を短絡し、グループスイッチＫjsの前記ＰＥ回路側
をガード用グループスイッチＫjgs を通じて前記接続ケ
ーブルのシールド部の一端に接続し、前記グループスイ
ッチＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒfsで接続す
る。そのガード用グループスイッチＫjgs を前記グルー
プスイッチＫj がオンの時オフ、オフの時オンとする。
ループスイッチＫjg（ｊ＝１〜ｎ）を削除し、その該当
配線を短絡し、グループスイッチＫjsの前記ＰＥ回路側
をガード用グループスイッチＫjgs を通じて前記接続ケ
ーブルのシールド部の一端に接続し、前記グループスイ
ッチＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒfsで接続す
る。そのガード用グループスイッチＫjgs を前記グルー
プスイッチＫj がオンの時オフ、オフの時オンとする。
【００１６】また、前記各グループＧj の前記ガード時
間Ｔg を、前記第１グループＧ1 を除いてゼロに設定す
る。請求項２の考案では、前記グループスイッチＫjs及
びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒfsで接続する代りに、
前記グループスイッチＫjfのＰＥ回路側をガード用グル
ープスイッチＫjgf （前記ガード用グループスイッチＫ
jgs と連動する）を通じて前記接続ケーブルのシールド
部の一端に接続する。
間Ｔg を、前記第１グループＧ1 を除いてゼロに設定す
る。請求項２の考案では、前記グループスイッチＫjs及
びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒfsで接続する代りに、
前記グループスイッチＫjfのＰＥ回路側をガード用グル
ープスイッチＫjgf （前記ガード用グループスイッチＫ
jgs と連動する）を通じて前記接続ケーブルのシールド
部の一端に接続する。
【００１７】
【実施例】請求項１の考案の実施例を図１、図２を参照
して説明する。図１には図４と対応する部分に同じ符号
に付し、重複説明を省略する。請求項１の考案では、従
来のグループスイッチＫjg（ｊ＝１〜ｎ）を削除され、
その該当配線は短絡される。グループスイッチＫjsのＰ
Ｅ回路側をガード用グループスイッチＫjgs を通じて接
続ケーブル４のシールド部２３の一端に接続する。また
グループスイッチＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器
Ｒfsで接続する。そして、このガード用グループスイッ
チＫjgs をグループスイッチＫj がオンの時オフ、オフ
の時オンに制御する。
して説明する。図１には図４と対応する部分に同じ符号
に付し、重複説明を省略する。請求項１の考案では、従
来のグループスイッチＫjg（ｊ＝１〜ｎ）を削除され、
その該当配線は短絡される。グループスイッチＫjsのＰ
Ｅ回路側をガード用グループスイッチＫjgs を通じて接
続ケーブル４のシールド部２３の一端に接続する。また
グループスイッチＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器
Ｒfsで接続する。そして、このガード用グループスイッ
チＫjgs をグループスイッチＫj がオンの時オフ、オフ
の時オンに制御する。
【００１８】このようにすると、第１グループＧ1 を測
定する際のガード時間Ｔg において、第１グループＧ1
の各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ，ｇｕにそれぞれつながる各
基板ＲＣ回路Ｅ（Ｅf ，Ｅs ，Ｅg ）が定電圧Ｖ0 で充
電されるのみならず、その他のグループＧ2 〜Ｇn の各
ＰＥ回路の各基板ＲＣ回路Ｅも、直接、或いはガード用
グループスイッチＫjgs 、更には抵抗器Ｒfsを介して、
ＩＭ回路１の電圧ホロア回路６（演算増幅器Ａ2 ）の出
力Ｖ0 によって同時に充電される。従って、グループＧ
2 〜Ｇn の測定では、従来のように基板ＲＣ回路Ｅを充
電させるためのガード時間Ｔg を設ける必要がなくな
り、それだけ測定時間を短縮できる。
定する際のガード時間Ｔg において、第１グループＧ1
の各ＰＥ回路の端子ｆ，ｓ，ｇｕにそれぞれつながる各
基板ＲＣ回路Ｅ（Ｅf ，Ｅs ，Ｅg ）が定電圧Ｖ0 で充
電されるのみならず、その他のグループＧ2 〜Ｇn の各
ＰＥ回路の各基板ＲＣ回路Ｅも、直接、或いはガード用
グループスイッチＫjgs 、更には抵抗器Ｒfsを介して、
ＩＭ回路１の電圧ホロア回路６（演算増幅器Ａ2 ）の出
力Ｖ0 によって同時に充電される。従って、グループＧ
2 〜Ｇn の測定では、従来のように基板ＲＣ回路Ｅを充
電させるためのガード時間Ｔg を設ける必要がなくな
り、それだけ測定時間を短縮できる。
【００１９】また、抵抗器Ｒfsを設ける代りに、図３に
示すように、グループスイッチＫjfのＰＥ回路側をガー
ド用グループスイッチＫjgf を通じて接続ケーブル４の
シールド部の一端に接続する。そして同スイッチＫjgf
を他のガード用グループスイッチＫjgs と連動して、グ
ループスイッチＫj がオンの時オフ、オフの時オンに制
御する。この場合には、端子ｆにつながる基板ＲＣ回路
Ｅf は、同スイッチＫjgf を通じてＩＭ回路１の電圧ホ
ロア回路６の出力Ｖ0 により充電される。図１ではスイ
ッチＫjgf の代りに抵抗器Ｒfsを設けることにより簡略
化、経済化を図っている。
示すように、グループスイッチＫjfのＰＥ回路側をガー
ド用グループスイッチＫjgf を通じて接続ケーブル４の
シールド部の一端に接続する。そして同スイッチＫjgf
を他のガード用グループスイッチＫjgs と連動して、グ
ループスイッチＫj がオンの時オフ、オフの時オンに制
御する。この場合には、端子ｆにつながる基板ＲＣ回路
Ｅf は、同スイッチＫjgf を通じてＩＭ回路１の電圧ホ
ロア回路６の出力Ｖ0 により充電される。図１ではスイ
ッチＫjgf の代りに抵抗器Ｒfsを設けることにより簡略
化、経済化を図っている。
【００２０】
【考案の効果】以上述べたように、この考案では、従来
のグループスイッチＫjgを削除し、ガード用グループス
イッチＫjgs 及び抵抗器Ｒfs（又はガード用グループス
イッチＫjgs ）を設けることによって、被試験ＩＣ２の
各端子ピンの電流を測定するに先だって、第１グループ
Ｇ1 のみならず全てのグループのＰＥ回路の基板ＲＣ回
路Ｅをガード時間Ｔg の間に同時に充電させることがで
きる。従って、各グループ毎に基板ＲＣ回路Ｅを毎回充
電させるためにガード時間Ｔg を設定する必要がないの
で、それだけ電流測定時間を短縮できる。
のグループスイッチＫjgを削除し、ガード用グループス
イッチＫjgs 及び抵抗器Ｒfs（又はガード用グループス
イッチＫjgs ）を設けることによって、被試験ＩＣ２の
各端子ピンの電流を測定するに先だって、第１グループ
Ｇ1 のみならず全てのグループのＰＥ回路の基板ＲＣ回
路Ｅをガード時間Ｔg の間に同時に充電させることがで
きる。従って、各グループ毎に基板ＲＣ回路Ｅを毎回充
電させるためにガード時間Ｔg を設定する必要がないの
で、それだけ電流測定時間を短縮できる。
【００２１】この考案では、従来のグループスイッチＫ
jgが削除され、全てのＰＥ回路のｇｕ端子が並列接続さ
れ、それだけｇｕ端子の共通電位点に対する絶縁抵抗は
低下するが、ｇｕ端子はＩＭ回路１の電圧ホロア回路６
の出力に接続されており、電圧ホロア回路６の出力抵抗
（内部抵抗）に極めて小さい（理想的にはゼロである）
ので、何等問題になることはない。
jgが削除され、全てのＰＥ回路のｇｕ端子が並列接続さ
れ、それだけｇｕ端子の共通電位点に対する絶縁抵抗は
低下するが、ｇｕ端子はＩＭ回路１の電圧ホロア回路６
の出力に接続されており、電圧ホロア回路６の出力抵抗
（内部抵抗）に極めて小さい（理想的にはゼロである）
ので、何等問題になることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この考案の請求項１の実施例を示す回路図。
【図２】図１の実施例のタイミングチャート。
【図３】図１の要部の変形例を示す回路図。
【図４】従来のＩＣ微小電流測定装置の回路図。
【図５】図４のＰＥ回路を実装したプリント配線基板の
断面図。
断面図。
【図６】Ａは図４のＰＥ回路の端子ｆ（又はｓ又はｇ
ｕ）及びＰＥスイッチ間の配線パターン１１（又は１２
又は１３）と共通電位点との間の基板材質に関係する電
気的等価回路、ＢはＡの要部の波形図。
ｕ）及びＰＥスイッチ間の配線パターン１１（又は１２
又は１３）と共通電位点との間の基板材質に関係する電
気的等価回路、ＢはＡの要部の波形図。
【図７】図４のタイミングチャート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/26 G01R 31/28 G01R 19/00
Claims (2)
- 【請求項１】 電圧印加電流測定回路（以下ＩＭ回路と
言う）と、被試験ＩＣの端子ピンに対応して設けられる
複数のピンエレクトロニックス回路（以下ＰＥ回路と言
う）と、接続ケーブルと、グループスイッチとを有し、 前記ＩＭ回路は、前記ＰＥ回路側とのインターフェース
として、フォース（Ｆｏｒｃｅ）端子Ｆ、センス（Ｓｅ
ｎｓｅ）端子Ｓ及びガード（Ｇｕａｒｄ）端子Ｇu を有
し、Ｄ／Ａ変換器の出力電圧を第１抵抗器を通じて、非
反転入力端子が共通電位点に接続された第１演算増幅器
の反転入力端子に供給し、その第１演算増幅器の出力を
電流測定用抵抗器を通じて前記フォース端子Ｆに供給
し、前記センス端子Ｓに入力された電圧を電圧ホロア回
路（第２演算増幅器の反転入力端子をその出力端子に接
続し、その非反転入力端子を電圧入力端子として構成さ
れる）に供給し、その電圧ホロア回路の出力を第２抵抗
器を通じて前記第１演算増幅器の反転入力端子に供給
し、前記ガード端子Ｇu を前記第２演算増幅器の反転入
力端子に接続して構成され、前記接続ケーブル、グルー
プスイッチ及びＰＥ回路を順次通じて被試験ＩＣの各端
子ピンに順次定電圧を印加して、その時各端子ピンに流
れる電流を、前記測定用抵抗器の両端電圧より測定する
ものであり、 前記ＰＥ回路は、プリント配線回路で構成され、前記Ｉ
Ｍ回路の前記フォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガード
端子Ｇu と前記接続ケーブルを通じてそれぞれインター
フェースするフォース端子ｆ、センス端子ｓ及びガード
端子ｇｕと、被試験ＩＣの１つの端子ピンに接続される
試料端子ｄと、ＰＥスイッチ（前記フォース端子ｆ及び
試料端子ｄ間をオン又はオフするスイッチＫfdと、その
スイッチＫfdと連動して前記センス端子ｓ及び試料端子
ｄ間をオン又はオフするスイッチＫsdとより成る）とを
有し、 前記複数のＰＥ回路は、ｍj (ｊ＝１〜ｎ）個づつ組合
されて第１グループＧ 1 のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥm1乃至
第ｎグループＧn のＰＥ回路ＰＥ1 〜ＰＥmnに分けら
れ、各グループＧj （ｊ＝１〜ｎ）のＰＥ回路は、前記
フォース端子ｆ同志、センス端子ｓ同志及びガード端子
ｇｕ同志がそれぞれ接続されて、共通の互いに連動する
前記グループスイッチＫjf，Ｋjs及びＫjg（まとめてＫ
j で表す）をそれぞれ介して、前記接続ケーブルのフォ
ース線、センス線及びこれらホース線及びセンス線をシ
ールドするシールド部の各一端にそれぞれ接続され、そ
れらフォース線、センス線及びシールド部の他端は、前
記ＩＭ回路のフォース端子Ｆ、センス端子Ｓ及びガード
端子Ｇu にそれぞれ接続され、 被試験ＩＣの各端子ピンの電流を測定する場合には、先
ず前記グループスイッチＫ1 をオンにするとほぼ同時
に、第１グループＧ1 の前記ＰＥ回路ＰＥ1 の前記ＰＥ
スイッチＫfd，Ｋsdをオンとし、その時点より所定のガ
ード時間Ｔg だけ経過した時点より所定のΔ時間の間に
被試験ＩＣの対応する端子ピンＰ1 の電流を測定し、以
後第１グループＧ1 の各ＰＥ回路ＰＥ2 〜ＰＥm1の前記
ＰＥスイッチＫsd，Ｋfdを時間Δだけ順次オンとして、
各端子ピンの電流を測定し、以下グループスイッチ
Ｋ2 ，Ｋ3 …Ｋn を順次オンにして、前記第１グループ
Ｇ1 と同様の測定を繰返し行うＩＣ微小電流測定装置に
おいて、 前記グループスイッチＫjg（ｊ＝１〜ｎ）を削除し、そ
の該当配線を短絡し、前記グループスイッチＫjsの前記
ＰＥ回路側をガード用グループスイッチＫjgs を通じて
前記接続ケーブルのシールド部の一端に接続し、 前記グループスイッチＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵
抗器Ｒfsで接続し、そのガード用グループスイッチＫ
jgs を前記グループスイッチＫj がオンの時オフ、オフ
の時オンとなし、 前記各グループＧj の前記ガード時間Ｔg を、前記第１
グループＧ1 を除いてゼロに設定することを特徴とす
る、 ＩＣ微小電流測定装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記グループスイッ
チＫjs及びＫjfの各ＰＥ回路側を抵抗器Ｒfsで接続する
代りに、前記グループスイッチＫjfのＰＥ回路側をガー
ド用グループスイッチＫjgf （前記ガード用グループス
イッチＫjgs と連動する）を通じて前記接続ケーブルの
シールド部の一端に接続したことを特徴とするＩＣ微小
電流測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992000836U JP2573476Y2 (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | Ｉｃ微小電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992000836U JP2573476Y2 (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | Ｉｃ微小電流測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0559350U JPH0559350U (ja) | 1993-08-06 |
| JP2573476Y2 true JP2573476Y2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=11484712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992000836U Expired - Fee Related JP2573476Y2 (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | Ｉｃ微小電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573476Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-01-14 JP JP1992000836U patent/JP2573476Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559350U (ja) | 1993-08-06 |
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