JPH0558723A - アルカリ土類金属チタネートの焼結方法 - Google Patents

アルカリ土類金属チタネートの焼結方法

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JPH0558723A
JPH0558723A JP3355467A JP35546791A JPH0558723A JP H0558723 A JPH0558723 A JP H0558723A JP 3355467 A JP3355467 A JP 3355467A JP 35546791 A JP35546791 A JP 35546791A JP H0558723 A JPH0558723 A JP H0558723A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 新しい焼結用助剤を用いて行うアルカリ土類
金属チタネートの焼結法を提供する。 【構成】 焼結中に液相を形成し且つこれによってセラ
ミック体内で輸送材料として作用する新規な低温焼結用
助剤として式BaCuOの混成金属酸化物と三酸化タ
ングステンまたは三酸化モリブデンの少くとも一種類と
の混合物を使用することを特徴としチタン酸バリウム、
チタン酸ストロンチウムまたはこれの混合物を焼結する
方法より構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルカリ土類金属チタネ
ート用の焼結助剤に関し、更に詳しく言えば有毒成分を
使用しないで済みしかもポリビニルアルコールを基剤と
する水性結合剤系に対して使用できる焼結助剤に関す
る。
【0002】
【従来の技術及び課題】チタン酸バリウム及びその等構
造誘導体はコンデンサーを製造するための誘電体として
大いに使用されるセラミック材料である。緻密なチタン
酸バリウムは約1250℃以下の温度で焼結することに
よっては生成できない。かゝるセラミック材料を多層セ
ラミックコンデンサーの製造に使用した時には、この高
い焼結温度及び酸素の存在が必要によってパラジウムの
如き高価な貴金属から形成した電極の使用を伴なう。か
ゝるコンデンサーの製造経費の低減は電極で使用したパ
ラジウムの若干の代りに銀を代用することによって行な
うことができる。70:30部の比率のAg:Pdを含
有する合金が普通使用されるが、この場合には焼結温度
を1150℃以下に低下させることが必要とされる。こ
の加工温度の低下を達成するには“焼結助剤”と呼ばれ
る材料の添加がセラミック材料に成される。
【0003】従来、チタン酸バリウムは、種々の元素、
ビスマス、鉛、カドミウム及びホウ素の1種又はそれ以
上を含有するガラス体を焼結助剤として用いて950〜
1150℃の温度で焼結させていた。比較的緻密な焼結
生成物が得られるけれども、該生成物には用いた融剤が
稀釈により及び/又は焼結体の電気特性又は機械特性に
不利である二次相の生成によりセラミックの誘電率を低
下させるという欠点がある。更には鉛及びカドミウムは
有毒であり、然るにホウ素はポリ(ビニルアルコール)
を含有する水性結合剤と共にゲルを形成させ従ってその
使用を有機溶剤と混和性の結合剤に制限するものであ
る。
【0004】BaTiO3 のペロブスキー立方格子中に
別の原子価イオンを配合して固溶体及び/又は複合材料
を形成するとキュリーピーク(Curie peak)を変更させ、
拡大させ且つ扁平にすることができ、工業上有用な誘電
体を生成するものであることも周知である。例えばチタ
ン酸カルシウム及びチタン酸ストロンチウム又はジルコ
ン酸カルシウム及びジルコン酸ストロンチウム及び錫酸
カルシウム、錫酸マグネシウム又は錫酸ビスマスの1種
又はそれ以上を含有する混合物の多数の例が文献に見出
される。“ピーク移動剤”に加えて、市販の組成物は典
型的にはグレイン(grain) 生長特性、誘電損率又は絶縁
抵抗等を改良するのに別の添加剤例えばNb2 5、M
nO2 、CaO及びNiOを含有する。
【0005】米国特許第4222885号明細書はアル
カリ土類金属チタネート、アルカリ土類金属ジルコネー
ト、アルカリ土類金属スタネート及びこれらの混合結晶
の1種又はそれ以上より本質的になるペロブスキー型構
造の誘電体を製造する方法を記載しており、該方法では
実際上ペロブスキー立方格子に組入れられない共融混合
物(eutectic)生成化合物の混合物をペロブスキー型に添
加し、該混合物を1000°〜1250℃の範囲の温度
で0.2〜1バールの部分酸素圧で焼結させる。共融混
合物生成化合物は酸素雰囲気中で焼結した時にはCuO
MeOxを生成し得る化合物であり、MeOxは元素周
期律表の第III 、V、VI又はVII 族の少なくとも1個の
元素の酸化物である。
【0006】米国特許第4244830号明細書は米国
特許第4222885号明細書に記載したのと同様なペ
ロブスキー型構造をもつ誘電体の製造方法を記載してい
る。該方法は酸素雰囲気中で焼結した時にCuO.Cu
2 O又はCuO.Cu2 O.MeIV2 (但しMeIV
2 は元素周期律表第IV族の元素の少なくとも1種の酸化
物である)を生成し得る共融混合物生成化合物をペロブ
スキー型に添加することからなる。焼結は1000°〜
1250℃の範囲の温度で0.2〜1バールの部分酸素
圧で行なう。
【0007】米国特許第4283753号明細書は大部
分がチタン酸バリウムよりなる誘電体のセラミック材料
を記載しており、セラミック体中の陽イオンは次の種類
よりなる:Ba,Pb,Ca及びこれらの組合せから選
んだ大きな2価イオンの一群ND 、Ti,Zr,Sn,
Mn及びこれらの組合せから選んだ小さな4価イオンの
一群NQ 、Bi,Nb,Sb,W,Mo及びこれらの組
合せから選んだ小さなカチオンとして+4より大きい原
子価を有し得るドナーイオンの一群NX 、Cd,Zn,
Cu,Li,Na及びこれらの組合せから選んだ大きな
カチオンとして+1の原子価を有し得る電荷相殺用アク
セプターイオンの一群NCC及びB,Si,Ge,P,V
及びこれらの組合せから選んだガラス形成性イオンの一
群NG (但しND ,NQ ,NX ,NCC及びNG の種々の個数は
米国特許第4283753号に概説した或る方程式によ
り関連している)。
【0008】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】本発明者
は今般、焼結中に液相を形成し且つこれによってセラミ
ック体内で輸送材料として作用する、アルカリ土類金属
チタネート用の新規な低温焼結用助剤を開発した。
【0009】従って、本発明は式BaCuO2 の混成金
属酸化物と三酸化タングステン又は三酸化モリブデンの
少なくとも1種との混合物を焼結用助剤として使用する
ことからなる、アルカリ土類金属チタネート又はその混
合物の焼結方法を提供する。
【0010】本発明で使用した焼結用助剤の作用は低温
焼成組成物で従来使用したガラス相の作用とは異なって
いると思われる。高い拡散速度を促進する低粘度の液体
が形成される。焼結中にアルカリ土類金属チタネートの
比較的に大きな均質微結晶が形成され、これらの構造に
よって温度−誘電率の曲線に大きな鋭敏ピークが得ら
れ、かくして高い誘電率の誘電体組成物の開発に利用で
きる。
【0011】本発明で使用した焼結用助剤はBaCuO
2 と三酸化タングステンWO3 及び/又は三酸化モリブ
デンMoO3 との混合物である。
【0012】本発明において焼結用助剤は1.0〜10
モル%の量で用いるのが好ましく、1〜5モル%の量で
用いるのがより好ましく、2〜4モル%の量で用いるの
が尚更に好ましい。
【0013】焼結用助剤で用いたBaCuO2 とWO3
及び/又はMoO3 とのモル比は1:1〜3:1のBa
CuO2 対WO3 及び/又はMoO3 の範囲にあるのが
好ましく、2:1〜5:2のBaCuO2 対WO3 及び
/又はMoO3 の範囲にあるのがより好ましい。
【0014】本発明により焼結用助剤を用いて有利に焼
結させ得るアルカリ土類金属チタネートはチタン酸バリ
ウム、チタン酸ストロンチウム又はこれらの混合物であ
る。本発明により焼結されるアルカリ土類金属チタネー
トは最大の誘電率が生起する温度を変更する1種又はそ
れ以上のイオンを含有し得ることは当業者には理解され
るであろう。これらのイオンは一般にピーク変更イオン
又はピーク移動剤と呼ばれ、当業者には周知である。ピ
ーク変更イオンの例はジルコネート又はスタネートであ
る。1種又はそれ以上のピーク変更イオンに加えて、別
の添加剤を包含させてグレイン生長特性、誘電損率又は
絶縁抵抗を改良できる。
【0015】本発明の1つの具体例においては、焼結用
助剤とアルカリ土類金属チタネートとの緊密な混合物は
混練媒質と共に混練することにより製造される。混練媒
質は例えば水、1,1,1−トリクロロエタン又はイソ
プロパノールの如き有機媒質又はこれらの混合物であり
得る。所望ならばジルコニアの如き不活性粉砕用媒体を
使用できる。混練工程によって緊密に混合したスラリー
が製造され、これは焼成前に乾燥させるのが好ましい。
乾燥した混合物を場合によっては篩分してそれから大き
な粒子を焼成前に分離できる。次いで該混合物を例えば
加圧によりセラミック体に形成する。次いでセラミック
体を好ましくは1150℃以下の温度で、より好ましく
は1100℃以下の温度で焼結する。本発明の方法によ
って緻密で焼結したアルカリ土類金属チタネートを得る
ことができる。
【0016】本発明はまたその範囲内に前記の方法によ
って製造された焼結済みのアルカリ土類金属チタネート
及びかゝる焼結済みアルカリ土類金属チタネートを含有
してなる誘電体も包含する。
【0017】前記した如く本発明の方法により焼結した
アルカリ土類金属チタネートは比較的高い誘電率を有
し、かくして誘電体として有用である。本発明により焼
結した材料が誘電体又は誘電体層を構成する多層コンデ
ンサーの如き容量性装置をかくして製造できる。
【0018】本発明を次の実施例により更に説明するが
これに限定されるものではない。
【0019】添付図面の図1〜3はそれぞれ実施例24
の焼結した組成物の比誘電率、実施例24の組成物の誘
電正接及び実施例24、25及び26の組成物の比誘電
率を表わす図表である。
【0020】
【実施例】実施例1(比較例) 等モル量の過酸化バリウムBaO2 と酸化銅CuOとを
一緒に混合し該混合物を850℃で焼成することにより
混成のバリウム銅オキシド(酸化バリウム銅)BaCu
2 を製造した。混成のバリウム銅オキシドBaCuO
2 はX線回折研究によって確認した如く形成された。
【0021】6gのバリウム銅オキシドと194gのチ
タン酸バリウム(TAMセラミック社から入手されるH
PB品位)とを十分な量の1,1,1−トリクロロエタ
ンと一緒に18時間混練して適当なスラリーを形成し
た。分解は生起しなかった。混練した混合物を100℃
で乾燥させ、篩分して150μm以上の粒度のフラクシ
ョンを除去した。10gの篩分した混合物を19mmの
ダイ中で37001b/in2 で一軸方向に加圧した。
得られたペレットを炉に配置し、5℃/分の勾配速度を
用いて炉温を室温から1000℃に上昇させ、1000
℃の温度を2時間保持し次いで5℃/分の勾配速度で炉
を室温にまで放冷させることにより焼結した。
【0022】加圧し且つ焼結したペレットの密度は5.
78g/cm3 であった。焼結したペレットを切断して
厚さが大体1mmの円板3枚を得た。円板の直径(d)
及び厚さ(t)をマイクロメーターで正確に測定し、記
録した。円板をアセトンで脱脂し、円板の表面に電極を
蒸着した。各々の円板についてのキャパシタンス及び誘
電損率の tanδは1,10,100及び1000KHz
の周波数でヒューレットパッカード4194Aインピー
ダンス/ゲインフェイズ分析器を用いて室温で測定し
た。次いで各々の円板の比誘電率εr は以下に与えた関
連式(方程式1)を用いて算出した。 方程式1 εr :(C×t)(εO ×A) 但しC=測定したキャパシタンス εO =自由空間の誘電率=8.85×10-12 Fm-1 A=円板表面積=π×(d÷2)2 誘電率の範囲及び誘電損率 tanδ(%)を表1に示す。
【0023】 表 1 BaCuO2 と共に焼結したBaTiO3 についての誘電率及び誘電損率 周波数 誘電率 (εr ) 誘電損率 (tanδ %) (KHz) 最大値 最小値 最大値 最小値 1 2146 2046 20.6 10.1 10 1946 1880 9.7 8.3 100 1663 1587 17.0 10.5 1000 1442 1045 64.4 20.2
【0024】実施例2 3gのバリウム銅オキシドBaCuO2 と0.996g
の三酸化タングステンWO3 と97gのチタン酸バリウ
ム(TAMケミカル社からのHPB品位)とを十分な量
のイソプロピルアルコールと一緒に24時間混練して適
当なスラリーを形成した。分解は生起しなかった。混練
した混合物を乾燥し、篩分し、10gのペレットを実施
例1の如く加圧した。ペレットを炉に配置し、5℃/分
の勾配速度を用いて室温から1100℃に温度を上昇さ
せ、1100℃の温度を2時間保持し次いで5℃/分の
勾配速度で炉を室温にまで放冷することにより焼結し
た。加圧且つ焼結したペレットは5.70g/cm3
密度を有した。ペレットを切断して円板にし、これらの
円板の誘電率及び誘電損率を実施例1に記載の如く測定
した。誘電率の範囲及び誘電損率を表2に示す。
【0025】 表 2 BaCuO2 及びWO3 と共に焼結したBaTiO3 についての 誘電率及び誘電損率 周波数 誘電率 (εr ) 誘電損率 (tanδ %) (KHz) 最大値 最小値 最大値 最小値 1 2001 1964 2.5 2.2 10 1940 1910 2.0 1.8 100 1896 1871 2.9 1.9 1000 1860 1845 15.9 7.0
【0026】実施例3 3gのバリウム銅オキシドBaCuO2 と0.618g
の三酸化モリブデンMoO3 と97gのチタン酸バリウ
ム(TAMケミカル社からのHPB品位)とを十分な量
のイソプロピルアルコールと一緒に24時間混練して適
当なスラリーを形成した。分解は生起しなかった。混練
した混合物を乾燥し、篩分し、10gのペレットを実施
例1の如く加圧した。ペレットを炉に装入し、5℃/分
の勾配速度を用いて温度を室温から1100℃に上昇さ
せ、1100℃の温度を2時間保持し、5℃/分の勾配
速度で室温にまで放冷することにより焼結した。加圧且
つ焼結したペレットは5.73g/cm3 の密度を有し
た。該ペレットを切断して円板にし、これらの円板の誘
電率及び誘電損率を実施例1に記載の如く測定した。誘
電率の範囲及び誘電損率を表3に示す。
【0027】 表 3 BaCuO2 及びMoO3 と共に焼結したBaTiO3 についての 誘電率及び誘電損率 周波数 誘電率 (εr ) 誘電損率 (tanδ %) (KHz) 最大値 最小値 最大値 最小値 1 2482 2395 2.5 2.0 10 2399 2305 2.7 2.3 100 2315 2222 3.6 3.0 1000 2196 2112 12.4 7.2 バリウム銅オキシドに三酸化タングステン又は三酸化モ
リブデンを添加して焼結したペレットについての誘電損
率 tanδ(%)はバリウム銅オキシド単独で焼結したペ
レットについての誘電損率よりもずっと小さいことは表
1,2及び3の結果の比較から明らかである。バリウム
銅オキシドに三酸化タングステン又は三酸化モリブデン
を添加して焼結したペレットの誘電率はまたバリウム銅
オキシド単独で焼結したペレットについての誘電率より
も1〜1000KHzの周波数範囲に亘って余り変動し
なかった。
【0028】実施例4〜11 実施例2の方法に従って、以下に与えた量及び比率でバ
リウム銅オキシド及び三酸化タングステンを添加した純
粋なチタン酸バリウムを含有する種々の組成物を製造し
た: 実施例 No. 全添加率 モル比 (モル%) BaCuO2 /WO3 4 1.0 2.5 5 1.5 2.5 6 2.0 2.5 7 2.0 1.0 8 3.5 2.5 9 3.5 1.0 10 5.0 1.0 11 10.0 1.0
【0029】各々の混合物を乾燥し、篩分して100メ
ッシュ以上のフラクションを除去した。これらの組成物
からペレットを製造し、実施例2に記載の如く加圧し且
つ焼結した。加圧、焼結したペレットの密度は以下の表
4に示す。ペレットを厚さが約1.5mmの円板に切断
し、これらの円板の誘電率及び誘電損率を−50°〜1
50℃の温度範囲内で実施例1に記載の如く測定した。
【0030】 表 4 実施例 密 度 1KHzでの 最大誘電率 25℃及び1KHz No. 最大誘電率 の温度 での誘電損率(%) 4 4.37 2160 140 0.7 5 5.05 3400 120 1.2 6 5.48 5670 110 1.6 7 5.54 4250 95 5.5 8 5.71 5720 92 2.8 9 5.54 6010 92 1.9 10 5.66 5660 92 4.2 11 5.74 4110 110 1.8
【0031】実施例12〜19 実施例3の方法に従って、以下に示した量及び比率でバ
リウム銅オキシド及び三酸化モリブデンを添加した純粋
なチタン酸バリウムを含有してなる種々の組成物を製造
した: 実施例 No. 全添加率 モル比 (モル%) BaCuO2 /MO3 12 1.0 2.5 13 1.5 2.5 14 2.0 2.5 15 2.0 1.0 16 3.5 2.5 17 3.5 1.0 18 5.0 1.0 19 10.0 1.0
【0032】各々の混合物を乾燥させ、篩分して100
メッシュ以上のフラクションを除去した。これらの組成
物からペレットを製造し、実施例3に記載の如く加圧し
焼結した。加圧、焼結したペレットの密度は以下の表5
に示してある。これらのペレットを厚さが約1.5mm
の円板に切断し、該円板の誘電率及び誘電損率を−50
°〜150℃の温度範囲内で実施例1に記載の如く測定
した。
【0033】 表 5 実施例 密 度 1KHzでの 最大誘電率 25℃及び1KHz No. 最大誘電率 の温度 での誘電損率(%) 12 4.50 2160 145 1.4 13 4.69 2470 145 2.3 14 5.14 3270 145 4.2 15 4.68 2380 128 2.4 16 5.72 4750 130 1.3 17 4.68 2430 128 8.2 18 4.77 2410 128 8.2 19 5.53 3040 145 1.8
【0034】実施例20〜23 実施例3の方法に従って、等モル量の酸化タングステン
と酸化モリブデンと混合物とバリウム錫オキシドとを添
加した純粋なチタン酸バリウムよりなる種々の組成物を
製造した。 実施例 No. 全添加率 モル比 (モル%) BaCuO2 /WO3 20 2.0 1.0 21 3.5 2.5 22 3.5 1.0 23 5.0 1.0 各々の混合物を乾燥させ、篩分して100メッシュ以上
のフラクションを除去した。ペレットをこれらの組成物
から製造し、実施例3に記載の如く加圧し且つ焼結し
た。加圧、焼結したペレットの密度は以下の表6に示
す。ペレットを厚さが大体1.5mmの円板に切断し、
これら円板の誘電率及び誘電損率を−50℃〜150℃
の温度範囲内で実施例1に記載の如く測定した。
【0035】 表 6 実施例 密 度 1KHzでの 最大誘電率 25℃及び1KHz No. 最大誘電率 の温度 での誘電損率(%) 20 4.92 2840 130 1.1 21 5.69 5750 130 2.0 22 4.94 2790 140 1.7 23 5.04 2930 140 1.1
【0036】実施例24〜26 実施例3の方法に従って、チタン酸バリウム(TAMセ
ラミック社からのHPB及び/又はCOF70品位)と
チタン酸ストロンチウムと或るピーク改質イオンとを含
有してなる種々の組成物を製造し、その組成は以下に与
えてあり、記載される量はモル%である。 実施例 BaTiO3 BaTiO3 SrTiO3 BaZrO3 MnSO4 BaCuO2 WO3 No. (HPB) (COF70) 24 − 80.6 9.0 5.6 0.8 2.5 1.5 25 − 80.6 5.6 9.0 0.8 2.5 1.5 26 42.4 42.4 2.0 9.0 0.2 2.5 1.5
【0037】これらの組成物からペレットを製造し、実
施例3に記載の如く加圧し且つ焼結した。加圧、焼結済
みペレットの密度は以下の表7に与えてある。ペレット
を厚さが約1.5mmの円板に切断し、これら円板の誘
電率及び誘電損率を−50〜150℃の温度範囲内で実
施例1に記載の如く測定した。
【0038】 表 7 実施例 密 度 1KHzでの 最大誘電率 25℃、1KHz No. 最大誘電率 の温度 での誘電損率(%) 24 5.67 8860 8 0.9 25 5.75 10200 −6 1.6 26 5.65 8020 34 1.2
【0039】ピーク改質イオンが最大誘電率の温度に如
何に影響するかは実施例24,25及び26の比較によ
って明らかに示されている。添附図面を参照するに、図
1は1KHz〜1MHzの周波数範囲に亘って実施例2
4の組成物の比誘電率を表わし、図2は1KHz〜1M
Hzの周波数範囲に亘って実施例24の組成物の誘電正
接を表わし、図3は実施例24,25及び26の組成物
について1KHzでの比誘電率を表わす。
【図面の簡単な説明】
【図1】1KHz〜1MHzの周波数範囲に亘って実施
例24の組成物の比誘電率を表わす図表である。
【図2】1KHz〜1MHzの周波数範囲に亘って実施
例24の組成物の誘電正接を表わす図表である。
【図3】実施例24,25及び26の組成物について1
KHzでの比誘電率を表わす図表である。
フロントページの続き (72)発明者 クリフオード・ジヨン・フランシス イギリス国.オーエツクス9・ 4エルワ イ.オツクスフオードシヤー.シデナム. ブルツクストーンズ.バーン・ハウス(番 地その他表示なし) (72)発明者 ビールス・テイモテイ・ポール イギリス国.オーエツクス16・ 8アール エツチ.オクソン.バンバリー.コースウ エイ.25 (72)発明者 バルテイチユド・ジヨン イギリス国.オーエツクス17・ 3キユテ イ.オクソン.バンバリー.キングス・サ ツトン.ウインドソアー・クロス.5

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 式BaCuO2 の混成金属酸化物と三酸
    化タングステン又は三酸化モリブデンの少なくとも1種
    との混合物を焼結用助剤として使用することを特徴とす
    る、アルカリ土類金属チタネート又はその混合物の焼結
    方法。
  2. 【請求項2】 焼結助剤は1.0〜10モル%の量で用
    いる請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 焼結助剤は2〜4モル%の量で用いる請
    求項2記載の方法。
  4. 【請求項4】 BaCuO2 とWO3 及び/又はMoO
    3 とのモル比は1:1〜3:1の範囲にある請求項1〜
    3の何れかに記載の方法。
  5. 【請求項5】 BaCuO2 とWO3 及び/又はMoO
    3 とのモル比は2:1〜5:2の範囲にある請求項4記
    載の方法。
  6. 【請求項6】 アルカリ土類金属チタネートは1150
    ℃又はそれ以下の温度で焼結する請求項1〜5の何れか
    に記載の方法。
  7. 【請求項7】 アルカリ土類金属チタネートはチタン酸
    バリウム、チタン酸ストロンチウム又はこれの混合物で
    ある請求項1〜6の何れかに記載の方法。
  8. 【請求項8】 アルカリ土類金属チタネート又はこれの
    混合物は1種又はそれ以上のピーク改質イオンを含有す
    る請求項1〜7の何れかに記載の方法。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8の何れかに記載された如き
    方法によって製造された焼結済みのアルカリ土類金属チ
    タネート又はこれの混合物を含有してなることを特徴と
    する誘電体。
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