JPH0558217U - グリーンシート積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 効率良くグリーンフィルムの積層が行えるグ
リーンシートの印刷積層装置を提供する。 【構成】 プレス機５２と搬送ヘッド４４からグリーン
シートを受ける位置のと間で積層台４８を往復移動させ
るガイドレール５５とアクチュエータ５７とを備えるた
め、搬送ヘッド４４による積層台４８へのグリーンシー
トの積み重ねは、プレス機５２の外で行われ、グリーン
シートを所定枚数積み重ねた後、プレス機の下に移動す
ればよいので、プレス機５２の加圧プレス５３のストロ
ークを高くとる必要が無くなり、プレス機５２のプレス
サイクルを短くすることができる。また、搬送ヘッド４
４でグリーンシートを予め仮圧縮してプレス機５２にか
けることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本発明は、積層セラミックコンデンサや積層インダクタ等を製造するため、セ ラミックグリーンシートを所定の大きさに裁断し、積層する方法とその装置に関 する。

【０００２】

【従来の技術】

積層電子部品の最も代表的な例である積層セラミックコンデンサは、内部電極 を有する誘電体セラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端面に交 互に引き出されている。そして、これらの内部電極が引き出された積層体の端面 に外部電極が形成されている。

【０００３】 このような積層セラミックコンデンサの製造方法は、例えば、図８に示すよう に、誘電体セラミック粉末を有機バインダーに分散させたセラミックスラリーを シート状に成形してグリーンシート７１、７１…を作り、スクリーン印刷法等に より、このグリーンシート７１、７１…の上に導電ペーストで内部電極パターン ７５、７６を印刷する。そして、この内部電極パターン７５、７６が印刷された グリーンシート７１、７１…を図８で示す順序に積層し、さらにその両側に内部 電極パターンが印刷されてないグリーンシート７７、７８を複数枚積み重ねる。 こうして得られた積層体を内部電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断 し、これを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ、前記内部電極パ ターン７５、７６を形成する導体層が内部電極となる。そして、この焼結された 積層体の内部電極が露出した端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外 部電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完成する。

【０００４】 多くの回路部品が小型化される中で、このような積層セラミックコンデンサに ついても、小型化、大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚さ１ ０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して積層セラミックコンデンサを 製造することが行なわれるようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製 造するためには、前記のような極めて薄いグリーンシートに精度良く印刷し、こ れを積層する技術が必要である。この場合、セラミックグリーンシートが極端に 薄いので、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーンシートが伸びたり 歪んだりしないよう、その取扱いに慎重を要する。

【０００５】 セラミックグリーンシートは、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のキャ リアフィルム上にセラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成され る。従来、薄いセラミックグリーンシートについては、前記のようにしてキャリ アフィルム上に形成した後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち 抜き、キャリアフィルムごと枠状体に貼り付け、その後の印刷、積層工程等を行 う、いわゆる「枠貼り法」が開発されている

【０００６】 この枠貼り法は、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート をキャリアフィルムごと打ち抜き、この周辺部を額枠状のフレームに糊付けする 。そして、このフレームを印刷機にセットし、グリーンシート上に電極パターン を印刷し、乾燥する。ここでは、フレームを基準としてグリーンシートが位置決 めされ、印刷される。その後、フレームの内側でグリーンシートをキャリアフィ ルムごと打ち抜き、これを仮圧着機の圧着台上にセットする。このとき、最も下 の層のグリーンシートは、キャリアフィルム側を下にして前記仮圧着台の上に載 せ、その上にキャリアフィルム側を上にしてグリーンシートを載せ、軽く熱圧着 した後、キャリアシートを剥す。これを順次所定の層数だけ繰り返した後、最も 上の層のグリーンシートのキャリアフィルムを剥さず、残したまま、その上から 積層されたグリーンシートに圧力を加え、仮圧着する。その後、仮圧着された積 層体を金型に入れ、本圧着する。その後、積層体の最上層と最下層に貼り付いて いるキャリアフィルムを剥離し、電子部品複数個単位の積層体が完成する。なお 、この場合のグリーンシートの積層順序は、個々の積層チップコンデンサにおい て、各々図８で示された積層順序となるように積層されるのは言うまでもない。

【０００７】 このようにして積層された積層体は、個々の電子部品単位毎にチップ状に切り 分ける。さらに、このチップの端面から内部電極を露出させると共に、クラック が入り難いようにチップをバレル研磨した後、焼成炉に入れて焼成する。その後 、焼成したチップの両端面に外部電極を塗布し、焼き付けることにより、積層セ ラミックコンデンサが完成する。 しかしながら、前述のような枠貼り法では、キャリアフィルムごと裁断したグ リーンシートをフレームに貼り付ける工程が必要であり、その際には、フレーム への糊着けやその糊を乾燥する作業等も必要であり、面倒な工程を経なければな らない。さらに、使用するフレームを固定するためにラックが必要であること、 そして、これらフレームは消耗品であることから、ランニングコストが高くなる という問題点があった。

【０００８】

【発明が解決しようとしている課題】

そこで、このような枠貼り法によらず、キャリアフィルムごとグリーンシート を裁断し、印刷し、積層する方法を本件発明者らは提案した。この場合、キャリ アフィルム付グリーンシートは、１枚ずつ搬送ヘッドに保持して搬送し、積層台 で順次積層、熱圧着、キャリアフィルムの剥離の工程を繰り返さなければならな い。そのため、従来のプレス機をそのまま用いた場合、プレス機内部に搬送ヘッ ドを挿入する必要から、プレス機のラムから積層台までの高さを高くとらなけれ ばならない。 しかし、そうするとラムの昇降ストロークが高くなってしまい、プレスサイク ルが長くなり、生産性が低くなるという課題があった。 本発明は、このような従来のプレス機の欠点に鑑み、効率良くグリーンフィル ムの積層が行えるグリーンシートの印刷積層装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本発明では、前記の目的を達成するため、所定の印刷パターンが印 刷され、裁断されたグリーンシートを積層する装置において、グリーンシートを キャリアフィルムごと搬送ヘッドで保持し、搬送する搬送手段と、該搬送手段で 搬送されるグリーンシートを載せる積層台と、該積層台上に載せたグリーンシー トを圧縮するプレス機と、該プレス機と前記前記搬送ヘッドからグリーンシート を受ける位置との間で積層台を往復移動させる移動手段とを備えることを特徴と するグリーンシート積層装置を提供する。

【００１０】

【作用】

前記本発明によるグリーンシートの積層装置によれば、プレス機と前記搬送ヘ ッドからグリーンシートを受ける位置との間で積層台を往復移動させる移動手段 とを備えるため、搬送ヘッドによる積層台へのグリーンシートの積み重ねは、プ レス機の外で行い、仮圧着のときのみプレス機の下に移動すればよいので、プレ ス機のラムのストロークを高くとる必要が無くなり、プレス機のプレスサイクル を短くすることができる。

【００１１】

【実施例】

次に、図面を参照しながら、本発明の実施例について詳細に説明する。 本発明による装置の例の概要を図１〜図７に示す。例えば、ドクターブレード 法等の手段により、ポリエチレンテレフタレートフィルム等からなる長尺なキャ リアテープ上にセラミックスラリーが所定の厚さで塗布され、乾燥されて、グリ ーンシートが形成される。 図１に示されたように、このキャリアテープ付グリーンシートａは、図示され てない巻出ロール側から繰り出され、図１に示す裁断機側に送られ、その裁断台 １１の上を通過するよう案内される。この長尺なキャリアテープ付グリーンシー トａは、裁断台１１上を間欠的に送られ、裁断台１１を通った後、ガイドロール １２を経て図示しない巻取ロールに巻き取られる。 前記裁断台１１に図示しない真空源が接続されており、キャリアテープ付グリ ーンシートａが停止したとき、これを裁断台１１の上に真空吸引し、保持する。 また、この裁断台１１の上に合計４つのピン受穴１６が設けられている。

【００１２】 裁断台１１の上に昇降機構駆動部１９により昇降されるカッター１８が設けら れている。このカッター１８は、前記裁断台１１のピン受穴１６に対応する位置 に孔開けパンチ１８ａを有し、その外側でキャリアテープ付グリーンシートａを 所定の寸法で裁断するブレード１８ｂが設けられている。このカッター１８が下 降し、裁断台１１上に保持されているキャリアテープ付グリーンシートａに前記 パンチ１８ａとブレード１８ｂが当たると、前記ブレード１８ｂによってキャリ アテープ付グリーンシートａが所定の形状に裁断されると共に、この裁断された キャリアテープ付グリーンシートの外形線を基準として所定の位置に位置決め孔 が開設される。

【００１３】 さらに、この裁断機側と後述する印刷機側との間にリニア駆動レール１７が配 置され、このリニア駆動レール１７に沿って前記裁断台１１と印刷機側の印刷台 ２３との間を往復する搬送ヘッド１３が設けられている。この搬送ヘッド１３は 、昇降駆動部１４を介して前記リニア駆動レール１７に取り付けられ、同駆動レ ール１７に対して昇降駆動される。また、搬送ヘッド１３は、前記裁断台１１の ピン受け孔１６の位置に対応して底面から突出するピン１５を有する。このピン １５は、エアシリンダー１５ａによって搬送ヘッド１３の底面から突出したり引 き込んだりすることができる。

【００１４】 前記カッター１８がキャリアテープ付グリーンシートａを裁断すると共に、そ れに位置決め孔を開設した後、カッター１８が図１に示すように上昇したとき、 前記搬送ヘッド１３は、リニア駆動レール１７の図１において左側に移動し、昇 降駆動部１４によって下降され、その底面が裁断されたキャリアテープ付グリー ンシートａの上に乗る。そして、同搬送ヘッド１３の底面からピン１５が突出さ れ、このピン１５の先端が裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂの位置 決め孔を通してその下の裁断台１１のピン受穴１６に僅かに入る。これによって 、裁断されたキャリアテープ付グリーンシートを位置決め孔を基準として保持す る。その後、裁断台１１の上面の負圧が解除されると共に、搬送ヘッド１３が昇 降駆動部１４によって上昇され、続いてリニア駆動レール１７上を印刷機側に移 動する。

【００１５】 図２及び図３にも示すように、印刷機の印刷台２３は、その上面に多数の保持 孔２６、２６…を有し、この吸引孔２６、２６…を通して上面を負圧とし、その 上に裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂを保持できるようになってい る。さらに、前記搬送ヘッド１３のピン１５に対応する位置にピン受穴２５が設 けられている。 この印刷台２３は、スライドテーブル２２の上に載せられ、このスライドテー ブル２２は、ガイドレール２１に沿って図２において左右にスライド自在となっ ている。さらに、このスライドテーブル２２にアクチュエータ２８が連結され、 同テーブル２２がガイドレール２１に沿って図２に実線で示す位置と二点鎖線で 示す位置との間で移動される。

【００１６】 印刷台２３は、前記スライド台２２に軸２２ａを支点として揺動自在に取り付 けられている。スライド台２２の軸２２ａに支持された部分の図２において右側 からアーム２４が同図において上側に延設されており、印刷台２３が図２で実線 位置にあるとき、このアーム２４の真上に当たる位置にエアシリンダ３１が配置 されている。前記アーム２４の図２において上側に、適当な傾斜角をもって板状 のシート受治具３３を載せた傾斜台３２が配置されている。また、印刷台２３が 図２で右側の二点鎖線の位置に移動したとき、その真上に対応して印刷機２９が 配置されている。

【００１７】 前記アクチュエータ２８により、印刷台２３が図２で実線の位置に位置された とき、前記搬送ヘッド１３が図１で二点鎖線で示す位置に移動し、ここからさら に下降し、その下面に保持したキャリアテープ付グリーンシートｂを印刷台２３ の上に載せる。このとき、ピン１５が印刷台２３のピン受穴２５に嵌合され、こ れによって搬送ヘッド１３及びキャリアテープ付グリーンシートｂがピン１５を 基準として印刷台２３の上に載せられる。その後、図２に示す印刷台２３の上面 が吸引孔２６、２６…を通して負圧に維持され、そこにキャリアテープ付グリー ンシートｂを保持すると共に、搬送ヘッド１３のピン１５が引き込まれる。この 間、前述のようにして、カッター１８で次のキャリアテープ付グリーンシートｂ が裁断され、その後、搬送ヘッド１３が図１で実線で示す位置に戻り、その裁断 したキャリアテープ付グリーンシートｂを保持する。

【００１８】 キャリアテープ付グリーンシートｂを載せた印刷台２３は、前記アクチュエー タ２８によってガイドレール２１上を図２に二点鎖線で示す位置まで移動され、 そこで導電ペースト等を用いて、キャリアテープ付グリーンシートｂのグリーン シート表面に所定の電極パターンが印刷される。印刷台２３は、前記アクチュエ ータ２８によってガイドレール２１上を図２に実線で示す位置まで戻される。こ こで、図３に示すように、前記エアシリンダ３１のプランジャが伸び、それがア ーム２４を下方に押して、印刷台２３を同図において二点鎖線で示す位置から実 線で示すように傾ける。このとき、図２に示す前記吸引孔２６、２６の開口部を 大気圧より若干高い圧力とすることによって、キャリアテープ付グリーンシート ｂが印刷台２３の傾斜に沿って滑り落ち、その脇の傾斜台３２の上に載せた板状 のシート受治具３３に受けられる。板状のシート受治具３３は、突起状のストッ パを有し、前記印刷済みのキャリアテープ付グリーンシートｂを所定の位置に受 ける。

【００１９】 その後、エアシリンダ３１のプランジャが元位置に復帰することで、印刷台２ ３が復帰して、スライドテーブル２２の上に水平に置かれ、ここで前述と同様に して次のキャリアテープ付グリーンシートｂの供給を受ける。 前記キャリアテープ付グリーンシートｂを載せたシート受治具３３は、搬送機 ３４で図示しない乾燥位置に搬送され、印刷された導電ペーストが乾燥される。

【００２０】 印刷機において前述のようにして電極パターンが印刷されたキャリアテープ付 グリーンシートｂは、乾燥の後、前記の搬送機３４によって、シート受治具３３ ごと図４に示すシート反転機へ送られる。 このシート反転機において、前記シート受治具３３の導入部となるのは、治具 受台３５であり、この治具受台３５の上にシート受治具３３が動かないように保 持される。この治具受台３５は、その一端側が軸３７を支点として揺動自在に支 持されていると共に、その他端側にエアシリンダー３６が連結され、同エアシリ ンダー３６のプランジャーの延伸動作によって、治具受台３５が軸３７を支点と して揺動される。

【００２１】 治具受台３５の軸ピン３７側に隣接して、シート反転台３８が配置されている 。このシート反転台３８は、その上面を負圧に維持することができるとともに、 突出、引き込み自在なストッパ４０と位置決めピン３９、３９とを備えている。 また、このシート反転台３８の一端側は、駆動軸４１ａを介して回転駆動機構４ １に連結されており、回転駆動機構４１によって、図４に示す位置から、矢印で 示すように、時針方向に１８０°反転できるようになっている。

【００２２】 シート反転台３８が図４において実線に示す位置にあるとき、ストッパ４０を シート反転台３８の上面から突出させると共に、位置決めピン３９、３９を引き 込めた状態で、前記治具受台３５を図４で示すように傾けると、シート受治具３ ３のキャリアテープ付グリーンシートｂがその上からシート反転台３８の上に滑 り落ち、ストッパ４０で所定の位置に停止される。前記位置決めピン３９、３９ は、ストッパ４０で停止されたキャリアテープ付グリーンシートｂの位置決め孔 の位置に対応する位置に設けられており、同グリーンシートｂがシート反転台３ ８の上に乗った時点で、これら位置決めピン３９、３９がシート反転台３８の上 面から突出され、さらにキャリアテープ付グリーンシートｂの位置決め孔に挿入 されて、同キャリアテープ付グリーンシートｂを所定の位置に固定する。これと 同時に、シート反転台３８の上面が負圧となり、キャリアテープ付グリーンシー トｂが同上面上に保持される。

【００２３】 シート反転台３８の駆動軸４１ａ側に隣接して、シート受台４２が配置されて いる。このシート受台４２は、その上面を負圧に維持することができると共に、 前記シート反転台３８の位置決めピン３９、３９に対応して、ピン受穴４３を備 えている。 前記のようにして、キャリアテープ付グリーンシートｂを上面に保持したシー ト反転台３８は、そのストッパー４０が引き込まれ、さらに回転駆動機構４１に よって、図４に実線で示す位置から、その駆動軸４１ａを支点として１８０°反 転される。そうすると、その上のキャリアテープ付グリーンシートｂが１８０° 反転した状態、つまりキャリアテープ側が上側となった状態でシート受台４２の 上に載せられる。またこのとき、シート反転台３８側の位置決めピン３９がシー ト受台４２側の突起受穴４３に嵌合し、キャリアテープ付グリーンシートｂをシ ート受台４２の所定の位置に位置決めする。その後、シート反転台３８のキャリ アテープ付グリーンシートｂに対する保持が解除されると共に、シート受台４２ の上面の保持が行なわれ、続いて回転駆動機構４１により、シート反転台３８が 図４に実線で示す位置に戻される。これにより、シート受台４２上に反転したキ ャリアテープ付グリーンシートｂが残る。

【００２４】 このシート反転機側と後述する積層台４８側との間に、リニア駆動レール４７ が配置され、このリニア駆動レール４７に沿って前記シート受台４２と積層機側 の積層台４８との間を往復する搬送ヘッド４４が設けられている。この搬送ヘッ ド４４は、前記搬送ヘッド１３と同様のものであり、昇降駆動部４５を介して前 記リニア駆動レール４７に取り付けられている。また、搬送ヘッド４４は、前記 シート受台４２のピン受け孔４３の位置に対応してピン４６を有する。このピン ４６は、エアシリンダー４６ａによって搬送ヘッド４４の下面から突出したり引 き込んだりすることができる点も、前記搬送ヘッド１３と同様である。。

【００２５】 前述のようにして、シート受台４２上にキャリアテープ付グリーンシートｂが 反転して載せられ、その後シート反転台３８が図４に実線で示す元の位置の戻っ たとき、前記搬送ヘッド４４は、リニア駆動レール４７の図４において左側に移 動し、昇降駆動部４５によって下降され、キャリアテープ付グリーンシートａの 上に乗る。そして、ピン４６が突出され、このピン４６の先端がキャリアテープ 付グリーンシートｂの位置決め孔を通してその下のシート受台４２のピン受穴４ ３に僅かに入る。これによって、キャリアテープ付グリーンシートｂが位置決め 孔を基準として、保持される。その後、シート受台４２の上面の負圧が解除され ると共に、搬送ヘッド４４が昇降駆動部４５によって上昇され、続いてリニア駆 動レール４７上を積層機側に移動する。

【００２６】 図６に示すように、積層台４８は、その上面に多数の保持孔５１、５１…を有 し、この吸引孔５１、５１…を通してグリーンシートの載置面である上面を負圧 として、その上に裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂを保持できるよ うになっている。さらに、この吸引孔５１、５１…を囲んで、前記搬送ヘッド４ ４のピン４６に対応する位置に位置決ピン４９が設けられている。この位置決ピ ン４９は、ごく低いものであるが、図６に示すエアシリンダ５０で積層台４８の 上面から引き込むことができるようになっている。

【００２７】 図４と図５に示されたように、この積層台４８は、スライドレール５５に沿っ て水平方向に移動自在なスライダ５６の上に固定され、スライダ５６には、それ を前記スライドレール５５に沿って往復駆動するためのアクチュエータ５７が連 結されている。さらにこのスライドレール５５のアクチュエータ５７側には、プ レス機５２が配置されており、スライドレール５５を跨ぐように配置された門形 フレーム５４に加圧プレス５３が設置さている。

【００２８】 前記搬送ヘッド４４が図４で二点鎖線で示す位置に移動し、ここから更に下降 し、その下面に保持したキャリアテープ付きグリーンシートｂを積層台４８の上 に載せる。このとき、積層台４８は、図５で示す位置にある。また、この積層台 ４８の位置決めピン４９は突出しており、これに搬送ヘッド４４のピン４６の先 端が当たる。

【００２９】 その後、図７に示す積層台４８の上面の吸引孔５１、５１…を通して、その上 面が負圧になると共に、これによって積層台４８の上にキャリアテープ付きグリ ーンシートｂが載せられる。このとき、前記位置決めピン４９にキャリアテープ 付きグリーンシートｂの位置決め孔ｅが嵌合され、これを基準として同キャリア テープ付きグリーンシートｂが積層台４８上に載置される。

【００３０】 キャリアテープ付きグリーンシートが１枚積層台に載置されたら、前記アクチ ュエータ５７によって、積層台４８がプレス機５２側に搬送される。加圧プレス ５３が作動し、門型フレーム５４の陰にある同加圧プレス５３のラムにより、積 層台４８上のグリーンシートの積層体が仮圧着される。ラムは、積層台４８の位 置決めピンを避けるようにグリーンシートをキャリアテープが付いたまま仮圧着 する。

【００３１】 仮圧着が終わったキャリアテープ付きグリーンシートは、アクチュエータ５７ によって、積層台４８ごと再び図５に示す位置に移動する。図７で示すように、 保持チャック６１でキャリアテープｄの端を保持し、キャリアテープｄをグリー ンシートｂから剥がしていく。これによって、グリーンシートｂのみが積層台４ ８に残る。

【００３２】 この間、前述のようにして、シート反転台３８で次のキャリアテープ付きグリ ーンシートｂがシート受け台４２の上に載せられ、その後、搬送ヘッド４４が図 ４で実践で示す位置に戻り、その反転されたキャリアテープ付きグリーンシート ｂを保持する。

【００３３】 さらにこの間に、前記搬送ヘッド４４が図４で二点鎖線で示す位置に移動し、 ここから更に下降し、その下面に保持したキャリアテープ付きグリーンシートｂ を積層台４８の上に載せる。以下、前述の操作を繰り返しながら、次々と必要な 回数だけ、キャリアテープ付きグリーンシートｂが積層台４８の上に運ばれ、積 層、仮圧着、キャリアテープ剥離が行われる。

【００３４】 所定の枚数のグリーンシートが所定順序で積層台４８の上で積層、仮圧着され たら、図５に示す位置に移動し、エアシリンダー５０によって積層台４８の上面 から位置決めピン４９が引き込められ、圧着した積層体ｃが取り出される。取り 出された積層体ｃは次の本圧着工程に回される。

【００３５】 この場合のグリーンシートの積層順序は、個々の積層チップコンデンサにおい て、各々図８で示された積層順序となるように積層されるのは言うまでもない。 なお、以上説明した実施例は、積層セラミックコンデンサの製造に本発明を適 用したものであるが、積層セラミックインダクタや積層セラミックＬＣフィルタ 等の製造についても、印刷パターン等が異なるだけで、同様にして本発明の印刷 積層方法と装置を適用することが可能である。

【００３６】

【発明の効果】

以上説明した通り、本発明によれば、積層機のプレス機のサイクルタイムが速 く、効率良くグリーンフィルムの積層が行えるグリーンシートの印刷積層装置を 提供することができるようになる。

【提出日】平成４年１１月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】 【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、積層セラミックコンデンサや積層インダクタ等を製造するため、セ ラミックグリーンシートを所定の大きさに裁断し、積層する方法とその装置に関 する。

【０００２】

【従来の技術】

積層電子部品の最も代表的な例である積層セラミックコンデンサは、内部電極 を有する誘電体セラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端面に交 互に引き出されている。そして、これらの内部電極が引き出された積層体の端面 に外部電極が形成されている。

【０００３】 このような積層セラミックコンデンサの製造方法は、例えば、図８に示すよう に、誘電体セラミック粉末を有機バインダーに分散させたセラミックスラリーを シート状に成形してグリーンシート７１、７１…を作り、スクリーン印刷法等に より、このグリーンシート７１、７１…の上に導電ペーストで内部電極パターン ７５、７６を印刷する。そして、この内部電極パターン７５、７６が印刷された グリーンシート７１、７１…を図８で示す順序に積層し、さらにその両側に内部 電極パターンが印刷されてないグリーンシート７７、７８を複数枚積み重ねる。 こうして得られた積層体を内部電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断 し、これを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ、前記内部電極パ ターン７５、７６を形成する導体層が内部電極となる。そして、この焼結された 積層体の内部電極が露出した端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外 部電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完成する。

【０００４】 多くの回路部品が小型化される中で、このような積層セラミックコンデンサに ついても、小型化、大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚さ１ ０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して積層セラミックコンデンサを 製造することが行なわれるようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製 造するためには、前記のような極めて薄いグリーンシートに精度良く印刷し、こ れを積層する技術が必要である。この場合、セラミックグリーンシートが極端に 薄いので、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーンシートが伸びたり 歪んだりしないよう、その取扱いに慎重を要する。

【０００５】 セラミックグリーンシートは、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のキャ リアフィルム上にセラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成され る。従来、薄いセラミックグリーンシートについては、前記のようにしてキャリ アフィルム上に形成した後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち 抜き、キャリアフィルムごと枠状体に貼り付け、その後の印刷、積層工程等を行 う、いわゆる「枠貼り法」が開発されている

【０００６】 この枠貼り法は、キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート をキャリアフィルムごと打ち抜き、この周辺部を額枠状のフレームに糊付けする 。そして、このフレームを印刷機にセットし、グリーンシート上に電極パターン を印刷し、乾燥する。ここでは、フレームを基準としてグリーンシートが位置決 めされ、印刷される。その後、フレームの内側でグリーンシートをキャリアフィ ルムごと打ち抜き、これを仮圧着機の圧着台上にセットする。このとき、最も下 の層のグリーンシートは、キャリアフィルム側を下にして前記仮圧着台の上に載 せ、その上にキャリアフィルム側を上にしてグリーンシートを載せ、軽く熱圧着 した後、キャリアシートを剥す。これを順次所定の層数だけ繰り返した後、最も 上の層のグリーンシートのキャリアフィルムを剥さず、残したまま、その上から 積層されたグリーンシートに圧力を加え、仮圧着する。その後、仮圧着された積 層体を金型に入れ、本圧着する。その後、積層体の最上層と最下層に貼り付いて いるキャリアフィルムを剥離し、電子部品複数個単位の積層体が完成する。なお 、この場合のグリーンシートの積層順序は、個々の積層チップコンデンサにおい て、各々図８で示された積層順序となるように積層されるのは言うまでもない。

【０００７】 このようにして積層された積層体は、個々の電子部品単位毎にチップ状に切り 分ける。さらに、このチップの端面から内部電極を露出させると共に、クラック が入り難いようにチップをバレル研磨した後、焼成炉に入れて焼成する。その後 、焼成したチップの両端面に外部電極を塗布し、焼き付けることにより、積層セ ラミックコンデンサが完成する。 しかしながら、前述のような枠貼り法では、キャリアフィルムごと裁断したグ リーンシートをフレームに貼り付ける工程が必要であり、その際には、フレーム への糊着けやその糊を乾燥する作業等も必要であり、面倒な工程を経なければな らない。さらに、使用するフレームを固定するためにラックが必要であること、 そして、これらフレームは消耗品であることから、ランニングコストが高くなる という問題点があった。

【０００８】

【考案が解決しようとしている課題】

そこで、このような枠貼り法によらず、キャリアフィルムごとグリーンシート を裁断し、印刷し、積層する方法を本件考案者らは提案した。この場合、キャリ アフィルム付グリーンシートは、１枚ずつ搬送ヘッドに保持して搬送し、積層台 で順次積層、熱圧着、キャリアフィルムの剥離の工程を繰り返さなければならな い。そのため、従来のプレス機をそのまま用いた場合、プレス機内部に搬送ヘッ ドを挿入する必要から、プレス機のラムから積層台までの高さを高くとらなけれ ばならない。 しかし、そうするとラムの昇降ストロークが高くなってしまい、プレスサイク ルが長くなり、生産性が低くなるという課題があった。 本考案は、このような従来のプレス機の欠点に鑑み、効率良くグリーンフィル ムの積層が行えるグリーンシートの印刷積層装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案では、前記の目的を達成するため、所定の印刷パターンが印 刷され、裁断されたグリーンシートを積層する装置において、グリーンシートを キャリアフィルムごと搬送ヘッドで保持し、搬送する搬送手段と、該搬送手段で 搬送されるグリーンシートを載せる積層台と、該積層台上に載せたグリーンシー トを圧縮するプレス機と、該プレス機と前記前記搬送ヘッドからグリーンシート を受ける位置との間で積層台を往復移動させる移動手段とを備えることを特徴と するグリーンシート積層装置を提供する。

【００１０】

【作用】

前記本考案によるグリーンシートの積層装置によれば、プレス機と前記搬送ヘ ッドからグリーンシートを受ける位置との間で積層台を往復移動させる移動手段 とを備えるため、搬送ヘッドによる積層台へのグリーンシートの積み重ねは、プ レス機の外で行い、仮圧着のときのみプレス機の下に移動すればよいので、プレ ス機のラムのストロークを高くとる必要が無くなり、プレス機のプレスサイクル を短くすることができる。

【００１１】

【実施例】

次に、図面を参照しながら、本考案の実施例について詳細に説明する。 本考案による装置の例の概要を図１〜図７に示す。例えば、ドクターブレード 法等の手段により、ポリエチレンテレフタレートフィルム等からなる長尺なキャ リアテープ上にセラミックスラリーが所定の厚さで塗布され、乾燥されて、グリ ーンシートが形成される。 図１に示されたように、このキャリアテープ付グリーンシートａは、図示され てない巻出ロール側から繰り出され、図１に示す裁断機側に送られ、その裁断台 １１の上を通過するよう案内される。この長尺なキャリアテープ付グリーンシー トａは、裁断台１１上を間欠的に送られ、裁断台１１を通った後、ガイドロール １２を経て図示しない巻取ロールに巻き取られる。 前記裁断台１１に図示しない真空源が接続されており、キャリアテープ付グリ ーンシートａが停止したとき、これを裁断台１１の上に真空吸引し、保持する。 また、この裁断台１１の上に合計４つのピン受穴１６が設けられている。

【００１２】 裁断台１１の上に昇降機構駆動部１９により昇降されるカッター１８が設けら れている。このカッター１８は、前記裁断台１１のピン受穴１６に対応する位置 に孔開けパンチ１８ａを有し、その外側でキャリアテープ付グリーンシートａを 所定の寸法で裁断するブレード１８ｂが設けられている。このカッター１８が下 降し、裁断台１１上に保持されているキャリアテープ付グリーンシートａに前記 パンチ１８ａとブレード１８ｂが当たると、前記ブレード１８ｂによってキャリ アテープ付グリーンシートａが所定の形状に裁断されると共に、この裁断された キャリアテープ付グリーンシートの外形線を基準として所定の位置に位置決め孔 が開設される。

【００１３】 さらに、この裁断機側と後述する印刷機側との間にリニア駆動レール１７が配 置され、このリニア駆動レール１７に沿って前記裁断台１１と印刷機側の印刷台 ２３との間を往復する搬送ヘッド１３が設けられている。この搬送ヘッド１３は 、昇降駆動部１４を介して前記リニア駆動レール１７に取り付けられ、同駆動レ ール１７に対して昇降駆動される。また、搬送ヘッド１３は、前記裁断台１１の ピン受け孔１６の位置に対応して底面から突出するピン１５を有する。このピン １５は、エアシリンダー１５ａによって搬送ヘッド１３の底面から突出したり引 き込んだりすることができる。

【００１４】 前記カッター１８がキャリアテープ付グリーンシートａを裁断すると共に、そ れに位置決め孔を開設した後、カッター１８が図１に示すように上昇したとき、 前記搬送ヘッド１３は、リニア駆動レール１７の図１において左側に移動し、昇 降駆動部１４によって下降され、その底面が裁断されたキャリアテープ付グリー ンシートａの上に乗る。そして、同搬送ヘッド１３の底面からピン１５が突出さ れ、このピン１５の先端が裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂの位置 決め孔を通してその下の裁断台１１のピン受穴１６に僅かに入る。これによって 、裁断されたキャリアテープ付グリーンシートを位置決め孔を基準として保持す る。その後、裁断台１１の上面の負圧が解除されると共に、搬送ヘッド１３が昇 降駆動部１４によって上昇され、続いてリニア駆動レール１７上を印刷機側に移 動する。

【００１５】 図２及び図３にも示すように、印刷機の印刷台２３は、その上面に多数の保持 孔２６、２６…を有し、この吸引孔２６、２６…を通して上面を負圧とし、その 上に裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂを保持できるようになってい る。さらに、前記搬送ヘッド１３のピン１５に対応する位置にピン受穴２５が設 けられている。 この印刷台２３は、スライドテーブル２２の上に載せられ、このスライドテー ブル２２は、ガイドレール２１に沿って図２において左右にスライド自在となっ ている。さらに、このスライドテーブル２２にアクチュエータ２８が連結され、 同テーブル２２がガイドレール２１に沿って図２に実線で示す位置と二点鎖線で 示す位置との間で移動される。

【００１６】 印刷台２３は、前記スライド台２２に軸２２ａを支点として揺動自在に取り付 けられている。スライド台２２の軸２２ａに支持された部分の図２において右側 からアーム２４が同図において上側に延設されており、印刷台２３が図２で実線 位置にあるとき、このアーム２４の真上に当たる位置にエアシリンダ３１が配置 されている。前記アーム２４の図２において上側に、適当な傾斜角をもって板状 のシート受治具３３を載せた傾斜台３２が配置されている。また、印刷台２３が 図２で右側の二点鎖線の位置に移動したとき、その真上に対応して印刷機２９が 配置されている。

【００１７】 前記アクチュエータ２８により、印刷台２３が図２で実線の位置に位置された とき、前記搬送ヘッド１３が図１で二点鎖線で示す位置に移動し、ここからさら に下降し、その下面に保持したキャリアテープ付グリーンシートｂを印刷台２３ の上に載せる。このとき、ピン１５が印刷台２３のピン受穴２５に嵌合され、こ れによって搬送ヘッド１３及びキャリアテープ付グリーンシートｂがピン１５を 基準として印刷台２３の上に載せられる。その後、図２に示す印刷台２３の上面 が吸引孔２６、２６…を通して負圧に維持され、そこにキャリアテープ付グリー ンシートｂを保持すると共に、搬送ヘッド１３のピン１５が引き込まれる。この 間、前述のようにして、カッター１８で次のキャリアテープ付グリーンシートｂ が裁断され、その後、搬送ヘッド１３が図１で実線で示す位置に戻り、その裁断 したキャリアテープ付グリーンシートｂを保持する。

【００１８】 キャリアテープ付グリーンシートｂを載せた印刷台２３は、前記アクチュエー タ２８によってガイドレール２１上を図２に二点鎖線で示す位置まで移動され、 そこで導電ペースト等を用いて、キャリアテープ付グリーンシートｂのグリーン シート表面に所定の電極パターンが印刷される。印刷台２３は、前記アクチュエ ータ２８によってガイドレール２１上を図２に実線で示す位置まで戻される。こ こで、図３に示すように、前記エアシリンダ３１のプランジャが伸び、それがア ーム２４を下方に押して、印刷台２３を同図において二点鎖線で示す位置から実 線で示すように傾ける。このとき、図２に示す前記吸引孔２６、２６の開口部を 大気圧より若干高い圧力とすることによって、キャリアテープ付グリーンシート ｂが印刷台２３の傾斜に沿って滑り落ち、その脇の傾斜台３２の上に載せた板状 のシート受治具３３に受けられる。板状のシート受治具３３は、突起状のストッ パを有し、前記印刷済みのキャリアテープ付グリーンシートｂを所定の位置に受 ける。

【００１９】 その後、エアシリンダ３１のプランジャが元位置に復帰することで、印刷台２ ３が復帰して、スライドテーブル２２の上に水平に置かれ、ここで前述と同様に して次のキャリアテープ付グリーンシートｂの供給を受ける。 前記キャリアテープ付グリーンシートｂを載せたシート受治具３３は、搬送機 ３４で図示しない乾燥位置に搬送され、印刷された導電ペーストが乾燥される。

【００２０】 印刷機において前述のようにして電極パターンが印刷されたキャリアテープ付 グリーンシートｂは、乾燥の後、前記の搬送機３４によって、シート受治具３３ ごと図４に示すシート反転機へ送られる。 このシート反転機において、前記シート受治具３３の導入部となるのは、治具 受台３５であり、この治具受台３５の上にシート受治具３３が動かないように保 持される。この治具受台３５は、その一端側が軸３７を支点として揺動自在に支 持されていると共に、その他端側にエアシリンダー３６が連結され、同エアシリ ンダー３６のプランジャーの延伸動作によって、治具受台３５が軸３７を支点と して揺動される。

【００２１】 治具受台３５の軸ピン３７側に隣接して、シート反転台３８が配置されている 。このシート反転台３８は、その上面を負圧に維持することができるとともに、 突出、引き込み自在なストッパ４０と位置決めピン３９、３９とを備えている。 また、このシート反転台３８の一端側は、駆動軸４１ａを介して回転駆動機構４ １に連結されており、回転駆動機構４１によって、図４に示す位置から、矢印で 示すように、時針方向に１８０°反転できるようになっている。

【００２２】 シート反転台３８が図４において実線に示す位置にあるとき、ストッパ４０を シート反転台３８の上面から突出させると共に、位置決めピン３９、３９を引き 込めた状態で、前記治具受台３５を図４で示すように傾けると、シート受治具３ ３のキャリアテープ付グリーンシートｂがその上からシート反転台３８の上に滑 り落ち、ストッパ４０で所定の位置に停止される。前記位置決めピン３９、３９ は、ストッパ４０で停止されたキャリアテープ付グリーンシートｂの位置決め孔 の位置に対応する位置に設けられており、同グリーンシートｂがシート反転台３ ８の上に乗った時点で、これら位置決めピン３９、３９がシート反転台３８の上 面から突出され、さらにキャリアテープ付グリーンシートｂの位置決め孔に挿入 されて、同キャリアテープ付グリーンシートｂを所定の位置に固定する。これと 同時に、シート反転台３８の上面が負圧となり、キャリアテープ付グリーンシー トｂが同上面上に保持される。

【００２３】 シート反転台３８の駆動軸４１ａ側に隣接して、シート受台４２が配置されて いる。このシート受台４２は、その上面を負圧に維持することができると共に、 前記シート反転台３８の位置決めピン３９、３９に対応して、ピン受穴４３を備 えている。 前記のようにして、キャリアテープ付グリーンシートｂを上面に保持したシー ト反転台３８は、そのストッパー４０が引き込まれ、さらに回転駆動機構４１に よって、図４に実線で示す位置から、その駆動軸４１ａを支点として１８０°反 転される。そうすると、その上のキャリアテープ付グリーンシートｂが１８０° 反転した状態、つまりキャリアテープ側が上側となった状態でシート受台４２の 上に載せられる。またこのとき、シート反転台３８側の位置決めピン３９がシー ト受台４２側の突起受穴４３に嵌合し、キャリアテープ付グリーンシートｂをシ ート受台４２の所定の位置に位置決めする。その後、シート反転台３８のキャリ アテープ付グリーンシートｂに対する保持が解除されると共に、シート受台４２ の上面の保持が行なわれ、続いて回転駆動機構４１により、シート反転台３８が 図４に実線で示す位置に戻される。これにより、シート受台４２上に反転したキ ャリアテープ付グリーンシートｂが残る。

【００２４】 このシート反転機側と後述する積層台４８側との間に、リニア駆動レール４７ が配置され、このリニア駆動レール４７に沿って前記シート受台４２と積層機側 の積層台４８との間を往復する搬送ヘッド４４が設けられている。この搬送ヘッ ド４４は、前記搬送ヘッド１３と同様のものであり、昇降駆動部４５を介して前 記リニア駆動レール４７に取り付けられている。また、搬送ヘッド４４は、前記 シート受台４２のピン受け孔４３の位置に対応してピン４６を有する。このピン ４６は、エアシリンダー４６ａによって搬送ヘッド４４の下面から突出したり引 き込んだりすることができる点も、前記搬送ヘッド１３と同様である。。

【００２５】 前述のようにして、シート受台４２上にキャリアテープ付グリーンシートｂが 反転して載せられ、その後シート反転台３８が図４に実線で示す元の位置の戻っ たとき、前記搬送ヘッド４４は、リニア駆動レール４７の図４において左側に移 動し、昇降駆動部４５によって下降され、キャリアテープ付グリーンシートａの 上に乗る。そして、ピン４６が突出され、このピン４６の先端がキャリアテープ 付グリーンシートｂの位置決め孔を通してその下のシート受台４２のピン受穴４ ３に僅かに入る。これによって、キャリアテープ付グリーンシートｂが位置決め 孔を基準として、保持される。その後、シート受台４２の上面の負圧が解除され ると共に、搬送ヘッド４４が昇降駆動部４５によって上昇され、続いてリニア駆 動レール４７上を積層機側に移動する。

【００２６】 図６に示すように、積層台４８は、その上面に多数の保持孔５１、５１…を有 し、この吸引孔５１、５１…を通してグリーンシートの載置面である上面を負圧 として、その上に裁断されたキャリアテープ付グリーンシートｂを保持できるよ うになっている。さらに、この吸引孔５１、５１…を囲んで、前記搬送ヘッド４ ４のピン４６に対応する位置に位置決ピン４９が設けられている。この位置決ピ ン４９は、ごく低いものであるが、図６に示すエアシリンダ５０で積層台４８の 上面から引き込むことができるようになっている。

【００２７】 図４と図５に示されたように、この積層台４８は、スライドレール５５に沿っ て水平方向に移動自在なスライダ５６の上に固定され、スライダ５６には、それ を前記スライドレール５５に沿って往復駆動するためのアクチュエータ５７が連 結されている。さらにこのスライドレール５５のアクチュエータ５７側には、プ レス機５２が配置されており、スライドレール５５を跨ぐように配置された門形 フレーム５４に加圧プレス５３が設置さている。

【００２８】 前記搬送ヘッド４４が図４で二点鎖線で示す位置に移動し、ここから更に下降 し、その下面に保持したキャリアテープ付きグリーンシートｂを積層台４８の上 に載せる。このとき、積層台４８は、図５で示す位置にある。また、この積層台 ４８の位置決めピン４９は突出しており、これに搬送ヘッド４４のピン４６の先 端が当たる。

【００２９】 その後、図７に示す積層台４８の上面の吸引孔５１、５１…を通して、その上 面が負圧になると共に、これによって積層台４８の上にキャリアテープ付きグリ ーンシートｂが載せられる。このとき、前記位置決めピン４９にキャリアテープ 付きグリーンシートｂの位置決め孔ｅが嵌合され、これを基準として同キャリア テープ付きグリーンシートｂが積層台４８上に載置される。

【００３０】 キャリアテープ付きグリーンシートが１枚積層台に載置されたら、前記アクチ ュエータ５７によって、積層台４８がプレス機５２側に搬送される。加圧プレス ５３が作動し、門型フレーム５４の陰にある同加圧プレス５３のラムにより、積 層台４８上のグリーンシートの積層体が仮圧着される。ラムは、積層台４８の位 置決めピンを避けるようにグリーンシートをキャリアテープが付いたまま仮圧着 する。

【００３１】 仮圧着が終わったキャリアテープ付きグリーンシートは、アクチュエータ５７ によって、積層台４８ごと再び図５に示す位置に移動する。図７で示すように、 保持チャック６１でキャリアテープｄの端を保持し、キャリアテープｄをグリー ンシートｂから剥がしていく。これによって、グリーンシートｂのみが積層台４ ８に残る。

【００３２】 この間、前述のようにして、シート反転台３８で次のキャリアテープ付きグリ ーンシートｂがシート受け台４２の上に載せられ、その後、搬送ヘッド４４が図 ４で実践で示す位置に戻り、その反転されたキャリアテープ付きグリーンシート ｂを保持する。

【００３３】 さらにこの間に、前記搬送ヘッド４４が図４で二点鎖線で示す位置に移動し、 ここから更に下降し、その下面に保持したキャリアテープ付きグリーンシートｂ を積層台４８の上に載せる。以下、前述の操作を繰り返しながら、次々と必要な 回数だけ、キャリアテープ付きグリーンシートｂが積層台４８の上に運ばれ、積 層、仮圧着、キャリアテープ剥離が行われる。

【００３４】 所定の枚数のグリーンシートが所定順序で積層台４８の上で積層、仮圧着され たら、図５に示す位置に移動し、エアシリンダー５０によって積層台４８の上面 から位置決めピン４９が引き込められ、圧着した積層体ｃが取り出される。取り 出された積層体ｃは次の本圧着工程に回される。

【００３５】 この場合のグリーンシートの積層順序は、個々の積層チップコンデンサにおい て、各々図８で示された積層順序となるように積層されるのは言うまでもない。 なお、以上説明した実施例は、積層セラミックコンデンサの製造に本考案を適 用したものであるが、積層セラミックインダクタや積層セラミックＬＣフィルタ 等の製造についても、印刷パターン等が異なるだけで、同様にして本考案の印刷 積層方法と装置を適用することが可能である。

【００３６】

【考案の効果】

以上説明した通り、本考案によれば、積層機のプレス機のサイクルタイムが速 く、効率良くグリーンフィルムの積層が行えるグリーンシートの印刷積層装置を 提供することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における裁断機と印刷機の部分
の要部側面である。

【図２】同実施例における印刷機の部分の平面図であ
る。

【図３】同実施例における印刷機の部分の要部側面図で
ある。

【図４】同実施例における反転機と積層機の部分を示す
側面図である。

【図６】同実施例における積層機の積層台の概略斜視図
である。

【図５】同実施例における積層機の部分を示す斜視図で
ある。

【図７】同実施例における積層機の積層台の概略側面図
である。

【図８】積層セラミックコンデンサを製造するためのグ
リーンシートの積層順序の例を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

４４ 搬送ヘッド ４８ 積層台 ５２ プレス機 ５５ ガイドレール ５６ スライダ ５７ アクチュエータ ｄ グリーンシート

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【手続補正書】

【提出日】平成４年１１月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【考案の名称】 グリーンシート積層装置

【実用新案登録請求の範囲】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例における裁断機と印刷機の部分
の要部側面である。

【図２】同実施例における印刷機の部分の平面図であ
る。

【図３】同実施例における印刷機の部分の要部側面図で
ある。

【図４】同実施例における反転機と積層機の部分を示す
側面図である。

【図６】同実施例における積層機の積層台の概略斜視図
である。

【図５】同実施例における積層機の部分を示す斜視図で
ある。

【図７】同実施例における積層機の積層台の概略側面図
である。

【図８】積層セラミックコンデンサを製造するためのグ
リーンシートの積層順序の例を示す分解斜視図である。

【符号の説明】 ４４ 搬送ヘッド ４８ 積層台 ５２ プレス機 ５５ ガイドレール ５６ スライダ ５７ アクチュエータ ｄ グリーンシート

Claims (1)

【整理番号】 ００３０４８３−０１ 【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の印刷パターンが印刷され、裁断さ
   れたグリーンシートを積層する装置において、グリーン
   シートをキャリアフィルムごと搬送ヘッドで保持し、搬
   送する搬送手段と、該搬送手段で搬送されるグリーンシ
   ートを載せる積層台と、該積層台上に載せたグリーンシ
   ートを圧縮するプレス機と、該プレス機と前記前記搬送
   ヘッドからグリーンシートを受ける位置との間で積層台
   を往復移動させる移動手段とを備えることを特徴とする
   グリーンシート積層装置。