JPH0557678U

JPH0557678U - Ｉｃ試験装置

Info

Publication number: JPH0557678U
Application number: JP10762191U
Authority: JP
Inventors: 康之平井
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1991-12-27
Filing date: 1991-12-27
Publication date: 1993-07-30

Abstract

(57)【要約】【目的】ＩＣテスタによりＩＣ素子に対するテスト信
号に印加条件を徐々に変化させ、その各変化ごとにＩＣ
素子の指定個所の電位変化波形をＥＢテスタで測定する
ことを短時間で行う。【構成】ＩＣテスタでまず条件ファイル１５からその
設定順にテスト条件読出し（Ｓ₁）、その条件に変更し
（Ｓ₃）、その条件でテストプログラムを起動してその
起動をＥＢテスタへ通知して（Ｓ₄）、割込み待ち状態
になる（Ｓ₅）。ＥＢテスタ側ではまず割込み待ち状態
（Ｓ₆）となり、ＩＣテスタから起動通知が入力される
と、波形測定を実行し（Ｓ₈）、その測定が終了すると
ＩＣテスタへ中止を通知して割込み待状態（ステップＳ
₆）に戻る（Ｓ₉）。ＩＣステタ側では中止通知が入力
されると条件ファイルからの次のテスト条件を読出しス
テップＳ₁に戻り、前記のことが可変テスト条件の最後
の変化が終るまで繰返される。起動通知、中止通知はＩ
ＣテスタとＥＢテスタとの間に通信手段を設けて行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案はＩＣテスタで被試験ＩＣ素子を動作させ、そのＩＣ素子の動作状態を、ＥＢテスタにより電子ビームやイオンビームなどの荷電粒子ビームを照射して測定するＩＣ試験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＥＢテスタには通常、多点測定モードが備えられてあり、複数個所の波形測定を比較的短時間で行うことができる。ＩＣ素子の不良を解析するためには、多点測定だけではなく、ある特定の個所で、ＩＣ素子に対する電源電圧、入力信号のタイミングなどの各種の印加条件（テスト条件）を変化させながら、ＥＢテスタで波形測定をする必要がある場合がある。

【０００３】この場合、従来においては操作員はＩＣテスタの位置に行き、そのテスト条件をＩＣテスタに設定し、その後ＥＢテスタの位置に移動して波形測定を行い、再びＩＣテスタの位置に行きテスト条件を設定し、その後ＥＢテスタの位置で測定するということを繰返していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

以上のように従来においてはテスト条件を変更しながら測定する場合は、１つの波形測定を完了するごとに、ＩＣテスタへ行ってそのテスト条件の設定をやりなおさなければならないため、テスト条件をわずかずつ変化させて多数回測定する場合には、測定時間が長くなり、かつ操作員の負担も大きくなるという問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この考案によれば、ＩＣテスタ側ではその割込み待ち状態で、起動指令または中止通知が入力されると、予め決められた順でテスト条件の更新を行い、その更新されたテスト条件でテストプログラムを起動して被試験ＩＣ素子を動作状態とし、その起動をＥＢテスタへ通知して割込み待ち状態となる。一方ＥＢテスタ側では割込み状態でＩＣテスタから起動通知が入力されると、測定を実行し、その測定が終了すると、中止をＩＣテスタへ通知して割込み待ち状態となる。

【０００６】

【実施例】

図１Ａにこの考案の実施例を示す。ＩＣテスタ１１はＩＣ素子を試験するために必要な、各線のテストパターンを発生、かつその振幅やタイミングを変化させることができ、かつＩＣ素子へ印加する動作電源電圧を変化させることができるものであればよく、テストパターンをＩＣ素子へ印加して、そのＩＣ素子の出力を取込み、その状態を検査するＩＣテスタのパターン発生側が用いられる他、単にテストパターン発生器と電源ユニットからのみなるものでもよい。

【０００７】このＩＣテスタ１１より発生されたテストパターンや電源電圧などの試験信号がＥＢテスタ１２内の被試験ＩＣ素子１３に印加されてそのＩＣ素子１３が動作状態とされる。ＥＢテスタ１２はそのＩＣ素子１３の設定した任意の位置に例えば電子ビームを照射してその点の電位の状態を波形として測定することができる。

【０００８】この考案ではＩＣテスタ１１とＥＢテスタ１２とが、汎用プロトコルまたは専用バスによる通信手段１４で接続される。またＩＣテスタ１１内の条件ファイル１５に、テスト条件が設定記憶される。テスト条件は例えば、図２に示すように、例えばタイミングについて見ると、種類としてＡｃｌｋ１が、初期値として０ｎＳが変化ステップとして１ｎＳが、波形測定回数として１０回がそれぞれ設定され、その変化条件の各値０ｎＳ、１ｎＳ、２ｎＳ、３ｎＳ、…が順次記憶される。

【０００９】ＥＢテスタ１２を印加条件可変連続波形測定モードとし、またＳＥＭ像での測定個所を指定し、ＩＣテスタ１１に例えばタイミングについて前記のテスト条件を設定してファイル化する。その後、ＩＣテスタ１１に対して起動指令を入力する。すると図２に示すようにＩＣテスタ１１は条件ファイル１５から、先に設定されたテスト条件中の固定条件と、可変条件を設定順の最初のものとを読出し（Ｓ₁）、次にその印加条件可変連続波形測定が終了したか、つまり、可変条件の最後のものを設定し終って、ＥＮＤになったかをチェックし（Ｓ₂）、ＥＮＤでなければ、先に読出したテスト条件を設定し、つまり２回目からは可変条件についてのみ条件を変更設定し（Ｓ₃）、その後、テストプログラムを起動させると共に起動をＥＢテスタ１２へ通知し（Ｓ₄）、ＩＣテスタ１１は割込み待ち状態になる（Ｓ₅）。ＩＣ素子１３はＩＣテスタ１１によりその設定条件で動作状態となる。

【００１０】一方ＥＢテスタ１２側では起動されると先ず割込み待ち状態になり（Ｓ₆）、ＩＣテスタ１１から通知が来るとそれが印加条件可変連続波形測定の終了かがチェックされ（Ｓ₇）、終了でなければ、つまりテストプログラムの起動通知であれば波形測定を実行する（Ｓ₈）。その波形測定が終了すると、中止をＩＣテスタ１１に通知して、割り込み待ち状態（ステップＳ₆）に戻る（Ｓ₉）。ＩＣテスタ１１では割込み待ち状態（ステップＳ₅）でＥＢテスタ１２から中止が通知されるとステップＳ₁に戻り、条件ファイル１５から可変条件の次のものを読取り、ステップ（Ｓ₂）に移る。従ってこの可変条件についてのみテスト条件が変更されてＩＣ素子が動作され、それについてＥＢテスタ１２により波形測定が行われ、しかも中止通知がＥＢテスタから入力されるごとにテスト条件を変更してＩＣ素子を動作させてＩＣテスト１１は割込み待ち状態となり、一方ＥＢテスタ１２はＩＣテスタ１１から起動通知が入力されるごとに波形測定を行いその測定が終了するごとに割込み待ち状態となり、可変条件のすべてを設定し終るまで、自動的に、テスト条件の設定とそれに対する波形測定とが繰返される。起動通知と中止通知と終了通知とが通信手段１４により行われる。

【００１１】上記の１０回のテスト条件設定により測定された波形が例えば図１Ｂに示すように表示され、１〜８回目の条件設定までは波形がしきい値以上となり正しく動作するが、９回目と１０回目の条件では波形がしきい値以下となり、正しく動作しないことを知ることができる。上述ではテスト条件をその可変順に予め条件ファイル１５に記憶させたが、テスト条件の設定ごとに外部からもって来てもよいし、あるいはそのテスト条件をその都度順次作り出してもよい、つまりテスト条件の変更ごとにそれまでの可変条件にステップ値を例えば加算し、その加算値をテスト条件として設定してもよい。

【００１２】

【考案の効果】

以上述べたようにこの考案によれば、ＩＣテスタ１１とＥＢテスタ１２との間に相互に通知をさせることにより、操作員がいちいち可変条件をその測定ごとに設定する必要がなく、自動的に印加条件可変の連続測定が行われ、通常の多点測定モードと同程度の短時間で測定することができ、操作員の負担も著しく軽くなり、特に条件を微細に変化することを大幅な範囲で行う場合にこの考案は有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａはこの考案の実施例を示すブロック図、Ｂは
その実施例の測定波形例を示す図である。

【図２】この考案の実施例の動作例を示す流れ図。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ＩＣテスタで被試験ＩＣ素子を動作さ
せ、そのＩＣ素子の動作状態をＥＢテスタで測定するＩ
Ｃ試験装置において、上記ＩＣテスタに設けられ、その割込み待ち状態で、起
動指令または中止通知が入力されるごとに予め決められ
た順でテスト条件を更新する手段と、その更新されたテスト条件でテストプログラムを起動
し、上記ＩＣ素子を動作状態として、その起動を上記Ｅ
Ｂテスタへ通知して上記割込み待ち状態となる手段と、上記ＥＢテスタに設けられ、その割込み状態で、上記Ｉ
Ｃテスタからの上記起動通知が入力されると上記測定を
実行し、その測定が終了すると中止を上記ＩＣテスタへ
通知して上記割込み待ち状態となる手段と、を設けたことを特徴とするＩＣ試験装置。