JPH0688855A - 回路検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、被測定回路の測定中、回路温度を常
に一定に保ち、温度特性について厳密な測定を可能とし
た回路検査装置を提供することを目的とする。 【構成】被測定回路２３０の測定手順を記述した評価プ
ログラムを格納する記憶装置１０と、被測定回路２３０
に対して所定または任意のパターンデータを順次供給す
る測定系１００と、評価プログラムに基づき、測定時に
は、被測定回路２３０に対して所定のパターンデータを
順次供給するよう測定系１００を制御し、測定結果の処
理及びまたは出力時には、被測定回路２３０に対して任
意のパターンデータを順次供給するよう測定系１００を
制御する制御手段とを有して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路等の回路の試
験を行なう回路検査装置に関し、特に、温度特性につい
て厳密な測定を可能とした回路検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は、被測定回路（以下、ＤＵＴ；De
vice Under Test と略記する）の特性試験を行なう従来
の回路検査装置の構成図を示す。

【０００３】同図において、従来の回路試験装置は、評
価プログラムを格納する記憶装置１１０、制御装置１２
０、プログラム及びデータを格納するディスク１９０、
プログラムの内容やデータを表示するディスプレイ２０
０、プログラムの内容やデータを印字するプリンタ２１
０、並びに、タイミングパルス発生回路３０、パターン
発生回路４０、波形整形器５０、出力電圧設定器６０、
増幅器７０、可変電源８０、ＤＵＴ２３０、及びパフォ
ーマンスボード２２０から成る測定系１３０から構成さ
れている。

【０００４】制御装置１２０は、記憶装置１１０に格納
されている評価プログラムを実行するべく、測定系１３
０に対して測定開始を意味する制御信号（測定開始信
号）ＣＰＵＯＵＴを送り、測定系１３０からの評価結果
に対してデータ処理を行なう。

【０００５】測定系１３０内では、各構成要素は次のよ
うに機能する。タイミングパルス発生器３０では、測定
開始信号ＣＰＵＯＵＴに従ってタイミングパルスＴＧＯ
ＵＴを発生する。尚、タイミングパルスＴＧＯＵＴの発
生タイミングは、プログラムにより設定されている。パ
ターン発生器４０では、測定開始信号ＣＰＵＯＵＴに従
ってパターンＰＧＯＵＴを発生する。このパターンＰＧ
ＯＵＴはクロック信号に同期して変化する（図３では、
クロック信号を生成する装置、並びにクロック信号線は
省略している）。

【０００６】また、波形整形器５０では、タイミングパ
ルスＴＧＯＵＴ及びパターンＰＧＯＵＴから論理パター
ンＦＣＯＵＴを生成する。増幅器７０は、論理パターン
ＦＣＯＵＴをＤＵＴ２３０に加える印加信号ＶＯＵＴの
電圧値まで増幅する。尚、増幅器７０の出力である印加
信号ＶＯＵＴの電圧値は、出力電圧設定器６０からの設
定電圧ＶＩＨ及びＶＩＬにより設定される。更に、可変
電源８０は、ＤＵＴ２３０の電源端子に印加される供給
電圧ＰＰＳＯＵＴの電圧値を設定する。

【０００７】尚、ＤＵＴ２３０は、パフォーマンスボー
ド２２０上に装着されている。

【０００８】図４は、本従来例の回路試験装置の動作を
説明するタイミングチャートである。以下、図３及び図
４を用いて動作の詳細を説明する。尚、以下の説明で
は、有効な信号レベルは”Ｈ”レベル（論理値”
１”）、無効な信号レベルは”Ｌ”レベル（論理値”
０”）とする。

【０００９】先ず、第０クロックの始めに、制御装置１
２０からの測定開始信号ＣＰＵＯＵＴをアクティブとし
て、測定開始を指令する。この測定開始信号ＣＰＵＯＵ
Ｔに従って、第０クロックの終わりに、可変電源８０か
ら所定の電圧値の供給電圧ＰＰＳＯＵＴがＤＵＴ２３０
の電源端子に供給される。この時、タイミングパルス発
生器３０及びパターン発生器４０は動作しておらず、従
って、タイミングパルスＴＧＯＵＴ、パターンＰＧＯＵ
Ｔ、論理パターンＦＣＯＵＴ、及び印加信号ＶＯＵＴに
は、有効なデータは出力されていない。

【００１０】次に、第１クロックでは、タイミングパル
ス発生器３０及びパターン発生器４０が動作を開始す
る。図４の例では、第１クロックから第６クロックまで
最初のパターンがＤＵＴ２３０に供給される場合を示し
ている。タイミングチャート中、パターンＰＧＯＵＴ及
び印加信号ＶＯＵＴにおけるＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，
Ａ５は最初のパターンデータを示している。このパター
ンデータが供給される間、ＤＵＴ２３０は動作するため
ＤＵＴ２３０の温度は上昇する。ここで、ＤＵＴ２３０
の温度は、第１クロックから第６クロックの間に飽和す
るものとする。

【００１１】第６クロックの終わりで印加信号ＶＯＵＴ
の供給が終了すると、第７クロックから第１４クロック
までの間、測定結果がディスク１９０、ディスプレイ２
００、またはプリンタ２１０に出力される。この期間で
は、ＤＵＴ２３０にパターン（印加信号ＶＯＵＴ）が供
給されないので、飽和状態にあるＤＵＴ２３０の温度は
下がっていく。

【００１２】第１４クロックでデータの出力が終了する
と、第１５クロックで測定開始信号ＣＰＵＯＵＴが再び
アクティブとなる。同様にして、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ
４，Ｂ５の次のパターンデータ、即ち印加信号ＶＯＵＴ
がＤＵＴ２３０に供給される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
回路検査装置では、パターンデータが供給される間、Ｄ
ＵＴ２３０が動作して回路温度は次第に上昇していく
が、測定結果のデータ処理及び出力の期間には、ＤＵＴ
２３０に対してパターンデータを供給しないので回路温
度が下がってしまい、更に、次のパターンデータを供給
する測定期間には、再びＤＵＴ２３０の回路温度が上が
ることになる。従って、１つの評価プログラムにより測
定を行なう際に、ＤＵＴ２３０の温度は常に一定ではな
く、ＤＵＴ２３０の温度特性については厳密な測定を行
なうことができないという問題があった。

【００１４】本発明は、上記問題点を解決するもので、
その目的は、被測定回路（ＤＵＴ）の測定中、回路温度
を常に一定に保ち、温度特性について厳密な測定を可能
とした回路検査装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の第１の特徴は、図１に示す如く、被測定回
路２３０の測定手順を記述した評価プログラムを格納す
る記憶装置１０と、前記被測定回路２３０に対して所定
または任意のパターンデータを順次供給する測定系１０
０と、前記評価プログラムに基づき、測定時には、前記
被測定回路２３０に対して所定のパターンデータを順次
供給するよう前記測定系１００を制御し、測定結果の処
理及びまたは出力時には、前記被測定回路２３０に対し
て任意のパターンデータを順次供給するよう前記測定系
１００を制御する制御手段とを具備することである。

【００１６】また、本発明の第２の特徴は、図１に示す
如く、被測定回路２３０の測定手順を記述した評価プロ
グラムを格納する記憶装置１０と、前記評価プログラム
を実行するべく、測定開始を指示する測定開始信号ＣＰ
ＵＯＵＴ１、及び、前記被測定回路２３０の温度につい
て、温度非安定状態で測定するか或いは温度安定状態で
測定するかを指定する温度モード信号ＣＰＵＯＵＴ２を
出力する制御装置２０と、前記被測定回路２３０に対し
て１組のパターンデータを順次供給し、該１組のパター
ンデータの供給終了時にパターン終了信号ＰＧＯＵＴ２
を出力する測定系１００と、前記測定開始信号ＣＰＵＯ
ＵＴ１がアクティブの時、前記被測定回路２３０に対し
て新たな１組のパターンデータを順次供給するよう前記
測定系１００を制御し、前記温度モード信号ＣＰＵＯＵ
Ｔ２がアクティブで且つ前記パターン終了信号ＰＧＯＵ
Ｔ２がアクティブの時、前記被測定回路２３０に対して
前回の１組のパターンデータを順次供給するよう前記測
定系１００を制御する制御手段とを具備することであ
る。

【００１７】

【作用】本発明の第１の特徴の回路検査装置では、記憶
装置１０内に格納されている評価プログラムに基づい
て、制御手段は、測定時には、被測定回路２３０に対し
て所定のパターンデータを順次供給するよう測定系１０
０を制御し、測定結果の処理及びまたは出力時には、被
測定回路２３０に対して任意のパターンデータを順次供
給するよう測定系１００を制御するようにしている。

【００１８】これにより、測定結果のデータ処理及び出
力の期間にも、被測定回路２３０に対して任意のパター
ンデータを供給して被測定回路２３０を動作させるの
で、被測定回路２３０の回路温度が下がることなく、従
って、評価プログラムにより測定を行なう際に、被測定
回路２３０の回路温度を常に一定にすることができ、被
測定回路２３０の温度特性について厳密な測定を可能と
した回路検査装置を実現できる。

【００１９】また、本発明の第２の特徴の回路検査装置
では、図１に示す如く、測定系１００を、例えばタイミ
ングパルス発生回路３０、パターン発生回路４０、波形
整形器５０、出力電圧設定器６０、増幅器７０、及び可
変電源８０から構成し、記憶装置１０内に格納されてい
る評価プログラムに基づいて、制御装置２０は、測定開
始を指示する測定開始信号ＣＰＵＯＵＴ１、及び、被測
定回路２３０の温度について、温度非安定状態で測定す
るか或いは温度安定状態で測定するかを指定する温度モ
ード信号ＣＰＵＯＵＴ２を出力し、また、ＡＮＤゲート
１３１、並びにＯＲゲート３０１、３０２、３０３、３
０４、及び３０５で構成される制御手段は、測定開始信
号ＣＰＵＯＵＴ１がアクティブの時には、被測定回路２
３０に対して新たな１組のパターンデータを順次供給す
るよう測定系１００を制御し、温度モード信号ＣＰＵＯ
ＵＴ２がアクティブで、且つ（パターン発生回路４０か
らの）パターン終了信号ＰＧＯＵＴ２がアクティブの時
には、被測定回路２３０に対して前回の１組のパターン
データを再び順次供給するよう測定系１００を制御する
ようにしている。

【００２０】これにより、測定結果のデータ処理及び出
力の期間にも、被測定回路２３０に対して測定用のパタ
ーンデータを繰り返し供給して被測定回路２３０を動作
させるので、被測定回路２３０の回路温度が下がること
なく、従って、評価プログラムにより測定を行なう際
に、被測定回路２３０の回路温度を常に一定にすること
ができ、被測定回路２３０の温度特性について厳密な測
定を可能とした回路検査装置を実現できる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。

【００２２】図１に本発明の一実施例に係る回路検査装
置の構成図を示す。同図において、図３（従来例）と重
複する部分には同一の符号を附する。

【００２３】図１において、本実施例の回路検査装置
は、評価プログラムを格納する記憶装置１０、制御装置
２０、プログラム及びデータを格納するディスク１９
０、プログラムの内容やデータを表示するディスプレイ
２００、プログラムの内容やデータを印字するプリンタ
２１０、並びに、タイミングパルス発生回路３０、パタ
ーン発生回路４０、波形整形器５０、出力電圧設定器６
０、増幅器７０、可変電源８０、ＤＵＴ２３０、及びパ
フォーマンスボード２２０から成る測定系１００から構
成されている。尚、タイミングパルス発生回路３０、パ
ターン発生回路４０、波形整形器５０、出力電圧設定器
６０、増幅器７０、及び可変電源８０は、ＯＲゲート３
０１、３０２、３０３、３０４、及び３０５により、制
御信号１３３及びＣＰＵＯＵＴ１の論理和を取った信号
４０１、４０２、４０３、４０４、及び４０５により起
動制御される構成となっている。

【００２４】制御装置２０は、記憶装置１０に格納され
ている評価プログラムを実行するべく、測定系１００に
対して測定開始を意味する制御信号（測定開始信号）Ｃ
ＰＵＯＵＴ１を送り、測定系１００からの評価結果に対
してデータ処理を行なう。また制御装置２０は、ＤＵＴ
２３０の温度について、従来通りの温度非安定状態で測
定する（ノンアクティブ時）か、或いは温度安定状態で
測定する（アクティブ時）かを指定する温度モード信号
ＣＰＵＯＵＴ２を出力する。

【００２５】測定系１００内では、各構成要素は次のよ
うに機能する。タイミングパルス発生器３０では、測定
開始信号ＣＰＵＯＵＴ１に従ってタイミングパルスＴＧ
ＯＵＴを発生する。尚、タイミングパルスＴＧＯＵＴの
発生タイミングは、プログラムにより設定されている。
パターン発生器４０では、測定開始信号ＣＰＵＯＵＴ１
に従ってパターンＰＧＯＵＴ１を発生する。このパター
ンＰＧＯＵＴ１はクロック信号に同期して変化する（図
１では、クロック信号を生成する装置、並びにクロック
信号線は省略している）。またパターン発生器４０で
は、パターンＰＧＯＵＴ１の１つのパターンが終了した
時点でアクティブとなるパターン終了信号ＰＧＯＵＴ２
を発生する。

【００２６】また、波形整形器５０では、タイミングパ
ルスＴＧＯＵＴ及びパターンＰＧＯＵＴ１から論理パタ
ーンＦＣＯＵＴを生成する。増幅器７０は、論理パター
ンＦＣＯＵＴをＤＵＴ２３０に加える印加信号ＶＯＵＴ
の電圧値まで増幅する。尚、増幅器７０の出力である印
加信号ＶＯＵＴの電圧値は、出力電圧設定器６０からの
設定電圧ＶＩＨ及びＶＩＬにより設定される。更に、可
変電源８０は、ＤＵＴ２３０の電源端子に印加される供
給電圧ＰＰＳＯＵＴの電圧値を設定する。

【００２７】尚、ＤＵＴ２３０は、パフォーマンスボー
ド２２０上に装着されている。また、タイミングパルス
発生回路３０、パターン発生回路４０、波形整形器５
０、出力電圧設定器６０、増幅器７０、及び可変電源８
０の起動制御は、ＯＲゲート３０１、３０２、３０３、
３０４、及び３０５の出力信号により行なわれるが、こ
の信号は、温度モード信号ＣＰＵＯＵＴ２及びパターン
終了信号ＰＧＯＵＴ２をＡＮＤゲート１３１により論理
積を取った制御信号１３３、並びに測定開始信号ＣＰＵ
ＯＵＴ１の論理和により生成されている。

【００２８】図２は、本実施例の回路試験装置の動作を
説明するタイミングチャートである。以下、図１及び図
２を用いて動作の詳細を説明する。尚、以下の説明で
は、有効な信号レベルは”Ｈ”レベル（論理値”
１”）、無効な信号レベルは”Ｌ”レベル（論理値”
０”）とする。

【００２９】先ず、第０クロックの始めに、制御装置２
０からの測定開始信号ＣＰＵＯＵＴ１及び温度モード信
号ＣＰＵＯＵＴ２をアクティブとして、温度安定モード
での測定開始を指令する。この測定開始信号ＣＰＵＯＵ
Ｔ１に従って、第０クロックの終わりに、可変電源８０
から所定の電圧値の供給電圧ＰＰＳＯＵＴがＤＵＴ２３
０の電源端子に供給される。この時、タイミングパルス
発生器３０及びパターン発生器４０は動作しておらず、
従って、タイミングパルスＴＧＯＵＴ、パターンＰＧＯ
ＵＴ１及びパターン終了信号ＰＧＯＵＴ２、論理パター
ンＦＣＯＵＴ、並びに印加信号ＶＯＵＴには、有効なデ
ータは出力されていない。

【００３０】次に、第１クロックでは、タイミングパル
ス発生器３０及びパターン発生器４０が動作を開始す
る。図２の例では、第１クロックから第６クロックまで
最初のパターンがＤＵＴ２３０に供給されるとしてい
る。タイミングチャート中、パターンＰＧＯＵＴ１及び
印加信号ＶＯＵＴにおけるＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ
５は最初のパターンデータを示している。このパターン
データが供給される間、ＤＵＴ２３０は動作するためＤ
ＵＴ２３０の温度は上昇する。ここで、ＤＵＴ２３０の
温度は、第１クロックから第６クロックの間に飽和する
ものとする。

【００３１】第５クロックでパターンＰＧＯＵＴ１の最
後のパターンデータＡ５が発生すると、第５クロックの
終わりから第６クロックにかけてパターン終了信号ＰＧ
ＯＵＴ２がアクティブとなり、この時、温度モード信号
ＣＰＵＯＵＴ２はアクティブであるので、ＡＮＤゲート
１３１の出力１３３は”１”となり、タイミングパルス
発生回路３０、パターン発生回路４０、波形整形器５
０、出力電圧設定器６０、増幅器７０、及び可変電源８
０に対して起動制御がかかり、第７クロックから第１１
クロックの間に、第２クロックから第６クロックの間と
同様にパターンデータＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５
が、印加信号ＶＯＵＴとしてＤＵＴ２３０に供給され
る。

【００３２】同様に、第１０クロックでパターンＰＧＯ
ＵＴ１の最後のパターンデータＡ５が発生すると、再び
パターン終了信号ＰＧＯＵＴ２がアクティブとなり、第
１２クロックから第１６クロックの間に、第２クロック
から第６クロックの間と同じパターンデータＡ１，Ａ
２，Ａ３，Ａ４，Ａ５が、印加信号ＶＯＵＴとしてＤＵ
Ｔ２３０に供給される。つまり、第７クロックから第１
４クロックまでの間の測定結果の出力期間にも、ＤＵＴ
２３０にパターンデータＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５
が繰り返し供給されるので、ＤＵＴ２３０の温度は飽和
状態で一定値となる。

【００３３】測定結果の出力期間が終わると、第１５ク
ロックの始めに測定開始信号ＣＰＵＯＵＴ１が再びアク
ティブに、また、温度モード信号ＣＰＵＯＵＴ２をノン
アクティブとして、温度非安定モードでの測定開始を指
令する。測定開始信号ＣＰＵＯＵＴ１により、タイミン
グパルス発生回路３０、パターン発生回路４０、波形整
形器５０、出力電圧設定器６０、増幅器７０、及び可変
電源８０に対して起動制御がかかり、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ
３，Ｂ４，Ｂ５の次のパターンデータ、即ち印加信号Ｖ
ＯＵＴが、第１７クロックから第２１クロックに渡って
ＤＵＴ２３０に供給される。

【００３４】第２０クロックでパターンＰＧＯＵＴ１の
最後のパターンデータＢ５が発生すると、第２０クロッ
クの終わりから第２１クロックにかけてパターン終了信
号ＰＧＯＵＴ２がアクティブとなるが、温度モード信号
ＣＰＵＯＵＴ２はノンアクティブであるので、ＡＮＤゲ
ート１３１の出力１３３は”０”となり、タイミングパ
ルス発生回路３０、パターン発生回路４０、波形整形器
５０、出力電圧設定器６０、増幅器７０、及び可変電源
８０に対して起動制御はかからない。

【００３５】従って、第２１クロック以降の測定結果の
出力期間にはＤＵＴ２３０は動作せず、ＤＵＴ２３０の
温度は下がっていくこととなる。つまり、パターンデー
タＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５に対しては、従来の回
路検査装置と同様の動作を行なうこととなる。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、記憶装置
内に格納されている評価プログラムに基づいて、制御手
段は、測定時には、被測定回路に対して所定のパターン
データを順次供給するよう測定系を制御し、測定結果の
処理及びまたは出力時には、被測定回路に対して任意の
パターンデータを順次供給するよう測定系を制御するの
で、測定結果のデータ処理及び出力の期間にも、被測定
回路に対して任意のパターンデータを供給して動作させ
ることとなり、被測定回路の回路温度が下がることな
く、被測定回路の回路温度を常に一定にすることがで
き、被測定回路の温度特性について厳密な測定が可能な
回路検査装置を提供することができる。

【００３７】また、本発明によれば、記憶装置内に格納
されている評価プログラムに基づいて、制御装置は、測
定開始を指示する測定開始信号、及び、被測定回路の温
度について、温度非安定状態で測定するか或いは温度安
定状態で測定するかを指定する温度モード信号を出力
し、また制御手段は、測定開始信号がアクティブの時に
は、被測定回路に対して新たな１組のパターンデータを
順次供給するよう測定系を制御し、温度モード信号がア
クティブで、且つパターン終了信号がアクティブの時に
は、被測定回路に対して前回の１組のパターンデータを
再び順次供給するよう測定系を制御するので、測定結果
のデータ処理及び出力の期間にも、被測定回路に対して
測定用のパターンデータを繰り返し供給して動作させる
ので、被測定回路の回路温度が下がることなく、被測定
回路の回路温度を常に一定にすることができ、被測定回
路の温度特性について厳密な測定が可能な回路検査装置
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る回路検査装置の構成図
である。

【図２】実施例の回路試験装置の動作を説明するタイミ
ングチャートである。

【図３】被測定回路の特性試験を行なう従来の回路検査
装置の構成図である。

【図４】従来例の回路試験装置の動作を説明するタイミ
ングチャートである。

【符号の説明】

１０，１１０ 記憶装置 ２０，１２０ 制御装置 １００，１３０ 測定系 ３０ タイミングパルス発生回路 ４０ パターン発生回路 ５０ 波形整形器 ６０ 出力電圧設定器 ７０ 増幅器 ８０ 可変電源 ２３０ ＤＵＴ（被測定回路） ２２０ パフォーマンスボード １３１ ＡＮＤゲート ３０１〜３０５ ＯＲゲート １９０ ディスク ２００ ディスプレイ ２１０ プリンタ ＣＰＵＯＵＴ１，ＣＰＵＯＵＴ 制御信号（測定開始信
号） ＣＰＵＯＵＴ２ 温度モード信号 １３３ 制御信号 ４０１〜４０５ 起動制御信号 ＴＧＯＵＴ タイミングパルス ＰＧＯＵＴ１，ＰＧＯＵＴ パターン ＰＧＯＵＴ２ パターン終了信号 ＦＣＯＵＴ 論理パターン ＶＯＵＴ 印加信号 ＶＩＨ，ＶＩＬ 制御電圧 ＰＰＳＯＵＴ 供給電圧 Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５ パターンデータ Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５ パターンデータ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定回路の測定手順を記述した評価プ
   ログラムを格納する記憶装置と、 前記被測定回路に対して所定または任意のパターンデー
   タを順次供給する測定系と、 前記評価プログラムに基づき、測定時には、前記被測定
   回路に対して所定のパターンデータを順次供給するよう
   前記測定系を制御し、測定結果の処理及びまたは出力時
   には、前記被測定回路に対して任意のパターンデータを
   順次供給するよう前記測定系を制御する制御手段とを有
   することを特徴とする回路検査装置。
2. 【請求項２】 被測定回路の測定手順を記述した評価プ
   ログラムを格納する記憶装置と、 前記評価プログラムを実行するべく、測定開始を指示す
   る測定開始信号、及び、前記被測定回路の温度につい
   て、温度非安定状態で測定するか或いは温度安定状態で
   測定するかを指定する温度モード信号を出力する制御装
   置と、 前記被測定回路に対して１組のパターンデータを順次供
   給し、該１組のパターンデータの供給終了時にパターン
   終了信号を出力する測定系と、 前記測定開始信号がアクティブの時、前記被測定回路に
   対して新たな１組のパターンデータを順次供給するよう
   前記測定系を制御し、前記温度モード信号がアクティブ
   で且つ前記パターン終了信号がアクティブの時、前記被
   測定回路に対して前回の１組のパターンデータを順次供
   給するよう前記測定系を制御する制御手段とを有するこ
   とを特徴とする回路検査装置。