JPH0554650A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

Info

Publication number
JPH0554650A
JPH0554650A JP3212545A JP21254591A JPH0554650A JP H0554650 A JPH0554650 A JP H0554650A JP 3212545 A JP3212545 A JP 3212545A JP 21254591 A JP21254591 A JP 21254591A JP H0554650 A JPH0554650 A JP H0554650A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
circuit
substrate
ring oscillator
detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3212545A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Koshikawa
康二 越川
Naohiko Sugibayashi
直彦 杉林
Takahiro Hara
高弘 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3212545A priority Critical patent/JPH0554650A/ja
Priority to US07/935,185 priority patent/US5270584A/en
Publication of JPH0554650A publication Critical patent/JPH0554650A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/145Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
    • G11C5/146Substrate bias generators

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【構成】ゲートが接地されソースが電源端子TCに接続
されドレインが検知出力節点Aに接続された高圧側Pチ
ャネルMOSトランジスタQ1と、ゲートが半導体基板
SUBに接続された低圧側PチャネルMOSトランジス
タQ2とを有する基板電圧変化検知回路2と、ドレイン
がCMOSインバータIV1を介してバッファ出力節点
Bに接続する高圧側PチャネルMOSトランジスタQ3
と、低圧側PチャネルMOSトランジスタQ4とでバッ
ファ出力電圧VBを出力するPMOSインバータIVP
を有するバッファ部3と、バッファ出力電圧VBでリン
グオシレータ切換電圧VACをリングオシレータ部5に
供給するヒステリシス回路4とを有するリングオシレー
タ切換制御部1とで構成されている。 【効果】半導体基板へ電源電流を流すことなく基板電圧
の変化を検知してリングオシレータ部を制御できる。外
部電源電圧が大きく変化しても、基板電圧の検知が安定
に動作する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に関し、
特に負の基板電圧発生回路を備えたダイナミックRAM
等の半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にダイナミックRAM等の半導体集
積回路のうち、外部から単一電源のみの供給を受ける半
導体集積回路では、その内部に負の基板電圧を発生する
回路を備える場合が多い。
【0003】従来、この種の半導体集積回路のリングオ
シレータ切換制御部1bは図3に示すように、外部電源
電圧端子TCと半導体基板SUB間にゲートがそれぞれ
接地され検知出力節点Aを介して直列接続されたPチャ
ネルMOSトランジスタQ1,Q2を有する基板電圧変
化検知回路2bと、検知出力節点電圧VAを入力してバ
ッファ出力節点電圧VBを出力するCMOSインバータ
IV0,IV1を有するバッファ回路3bと、バッファ
出力節点電圧VBを入力してリングオシレータ制御電圧
VACを出力するヒステリシス部4bとを有している。
そしてリングオシレータ切換制御部1bは、その出力端
TCからリングオシレータ切換制御電圧VACをリング
オシレータ部5に供給し、その出力電圧VRIを基板電
圧発生部6に供給している。
【0004】そして図4に示すようにこのリングオシレ
ータ切換制御電圧VACのレベルによってリングオシレ
ータ部5は、内部のアクティブ時用リングオシレータ5
Aかあるいは、インバータIV6の反転出力電圧VAC
Rを受けたスタンバイ時用リングオシレータ5Sのいず
れかが動作して、インバータIV7〜IV12およびコ
ンデンサC1,C2とPチャネルMOSトランジスタQ
7〜Q9で構成された基板電圧発生部6の出力する基板
電圧VSBを負に導く。
【0005】ここで、アクティブ時用リングオシレータ
5Aは、主にアクティブ期間中TA中において基板SU
Bに流れ込む電流が多い時に電圧発生部6に電源電流を
供給するためのもので、短い周期TAで内部のリングオ
シレータが動作するのでその電流供給能力は大きい。
【0006】また、スタンバイ時用リングオシレータ5
Sは、主にスタンバイ期間中において基板SUBに流れ
込む電流が少ない時に電圧発生部6に電流を供給するた
めのもので、スタンバイ時の消費電流を削減のために長
い周期で内部のリングオシレータが動作し、その電流能
力は小さい。
【0007】次に図5を参照して図3の回路のスタンバ
イ時の基板電圧検知動作について説明する。まず基板電
圧VSBが上昇していくと、トランジスタQ1のドレイ
ンに接続する検知出力節点Aの電圧VAも上昇する。そ
してこの例では基板電圧VSBが−1.0Vまで上昇した
時点t1で節点電圧VAは、2.8Vに達し、リングオ
シレータ切換制御電圧VACは0.0Vから電源電圧V
CCに等しい5.0Vへと変わる。すると時点t1まで
基板電圧発生部6に電圧VRIを供給していたスタンバ
イ時用リングオシレータ5Sから、短い周期TAのアク
ティブ時用リングオシレータ5Aに切換って電源供給動
作をするので、基板電圧VSBが下降をはじめる。 こ
こで、ヒステリシス回路4bのPチャンネルMOSトラ
ンジスタQ5の帰還作用により、節点VAが、2.8V
よりもΔVほど下降するすなわち、基板電圧VSBが十
分に下降する時点t2まで、制御電圧VACは5.0V
を保ち、その後は0.0Vとなってリングオシレータ部
5の動作するオシレータをアクティブ時用リングオシレ
ータ5Aからスタンバイ時用リングオシレータ5Sに切
換えさせる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体集積
回路では、基板電圧変化検知回路において外部の供給電
源と半導体基板との間に常に電流が流れる構成になって
いた為、基板電圧を負にする場合によりも大きな基板電
圧発生部の電流能力を必要とするという問題点があっ
た。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、ゲートが接地されソースが外部電源に接続されドレ
インが検知出力節点に接続された高圧側PチャネルMO
Sトランジスタとゲートが半導体基板に接続されソース
が前記検知出力節点に接続されドレインが接地された低
圧側PチャネルMOSトランジスタとを有する基板電圧
変化検知回路と、前記検知出力節点電圧をバッファ回路
を介して入力してリングオシレータ切換電圧を出力する
ヒステリシス回路とを有するリングオシレータ切換制御
部を含んで構成されている。
【0010】また、本発明の半導体集積回路は、前記バ
ッファ回路の初段論理ゲートが全てPチャネルMOSト
ランジスタを有している。
【0011】さらに本発明の半導体集積回路は、前記外
部電源に接続されて降圧した基準電圧を供給する基準電
圧発生回路と、前記基板電圧変化検知回路およびバッフ
ァ回路の高電圧側Pチャネルトランジスタのソースに前
記基準電圧を供給して構成されている。
【0012】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図1は本発明の第1の実施例の回路図であ
る。
【0013】本実施例の半導体集積回路は、ゲートが接
地電位点Gに接続されソースが電源端子TCに接続され
ドレインが検知出力節点Aに接続された高圧側Pチャネ
ルMOSトランジスタQ1と、ゲートが半導体基板SU
Bに接続されソースが検知出力節点Aに接続されドレイ
ンが接地された低圧側PチャネルMOSトランジスタQ
2とを有する基板電圧変化検知回路2と、ゲートが検知
出力節点Aに接続しソースが電源端子TCに接続しドレ
インがCMOSインバータIV1を介してバッファ出力
節点Bに接続する高圧側PチャネルMOSトランジスタ
Q3と、ゲートおよびドレインが接地されソースがトラ
ンジスタQ3のドレインに接続する低圧側PチャネルM
OSトランジスタQ4とを有してバッファ出力電圧VB
を出力するPMOSインバータIVPを有するバッファ
部3と、バッファ出力電圧VBを入力してリングオシレ
ータ切換電圧VACをリングオシレータ部5に供給する
ヒステリシス回路4とを有するリングオシレータ切換制
御部1とを含んで構成されている。
【0014】次に図1の回路の動作を説明する。検知出
力節点電圧VAは、半導体基板SUBの電圧VSBの変
化に対応して従来例の説明で図5に示したように変化す
るが、本実施例で基板電圧変化検知回路2は負電位のV
SBをPチャンネル型トランジスタQ2のドレインでな
くゲートに供給している。従って電源端子TCと基板S
UBとの間には電流回路は無くなるので、検知回路2に
おいて基板電流を流さずに基板電圧の変化を検知するこ
とができる。
【0015】ここでバッファ回路3の初段を従来のバッ
ファ回路3aのCMOSインバータIV0の代りにPM
OSインバータIVPとしたのは、IC製造プロセス起
因によるMOSトランジスタのしきい値電圧の変動で検
知電圧が変化するのをなるべく減らすためと、半導体基
板電圧VSBが上昇した際にしきい値電圧が小さくなる
Nチャンネル型トランジスタの特性の影響を避けるため
である。
【0016】図2は本発明の第2の実施例の回路図であ
る。本実施例のリングオシレータ切換制御部1aは、図
1に示した第1の実施例の基板電圧変化検知回路2とバ
ッファ回路3の高圧側PMOSトランジスタQ1,Q3
およびCMOSインバータIV1に、外部からの電源電
圧VCCを供給する代りに、半導体集積回路に内蔵する
通常の内部基準電圧発生回路の発生する基準電圧VRE
Fを供給した検知回路2aとバッファ回路3aとを有し
ている。
【0017】この基準電圧VREFは、外部電源電圧V
CCが、VREF以上に上昇した時には一定である。従
って、外部電圧VCCが変化してもバッファ出力電圧V
Bの最大値は影響を受けないので半導体基板検知動作は
安定である。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の基
板電圧変化検知回路の低圧側PチャンネルMOSトラン
ジスタのゲート,ドレインの接地電位点,半導体基板と
の接続を入れ換えたので、半導体基板へ電源電流を流す
ことなく基板電圧の変化を検知してリングオシレータ部
を制御できるという効果を有する。
【0019】更に、基板電圧検知回路の電源に内部基準
電圧を用いた場合は、外部電源電圧が大きく変化して
も、基板電圧の検知が安定に動作するという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の回路図である。
【図2】本発明の第2の実施例の回路図である。
【図3】従来の半導体集積回路の一例の回路図である。
【図4】図3のリングオシレータ部および基板電位発生
部の回路図である。
【図5】図3の回路の動作を説明するための各電圧の波
形図である。
【符号の説明】
1,1a リングオシレータ切換制御部 2,2a 基板電圧変化検知回路 3,3a バッファ回路 4 ヒステリシス回路 5 リングオシレータ部 5A アクティブ時用ハイパワーオシレータ 5S スタンバイ時用ローパワーオシレータ 6 基板電圧発生部 A 検知出力節点 B バッファ出力節点 C1〜C2 コンデンサ IV1〜IV2 CMOSインバータ IVP PMOSインバータ Q1〜Q5 PチャネルMOSトランジスタ Q6 NチャネルMOSトランジスタ SUB 半導体基板 VA 検知出力節点電圧 VB バッファ出力電圧 VAC リングオシレータ切換制御電圧 VCC 電源電圧 VREF 基準電圧 VSB 基板電圧
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H02M 3/00 H 8726−5H

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ゲートが接地されソースが外部電源に接
    続されドレインが検知出力節点に接続された高圧側Pチ
    ャネルMOSトランジスタとゲートが半導体基板に接続
    されソースが前記検知出力節点に接続されドレインが接
    地された低圧側PチャネルMOSトランジスタとを有す
    る基板電圧変化検知回路と、前記検知出力節点電圧をバ
    ッファ回路を介して入力してリングオシレータ切換電圧
    を出力するヒステリシス回路とを有するリングオシレー
    タ切換制御部を含むことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記バッファ回路の初段論理ゲートが全
    てPチャンネルMOSトランジスタを有していることを
    特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記外部電源に接続されて降圧した基準
    電圧を供給する基準電圧発生回路と、前記基板電圧変化
    検知回路およびバッファ回路の高電圧側Pチャネルトラ
    ンジスタのソースに前記基準電圧を供給することを特徴
    とする請求項1記載の半導体集積回路。
JP3212545A 1991-08-26 1991-08-26 半導体集積回路 Pending JPH0554650A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3212545A JPH0554650A (ja) 1991-08-26 1991-08-26 半導体集積回路
US07/935,185 US5270584A (en) 1991-08-26 1992-08-26 Semiconductor integrated circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3212545A JPH0554650A (ja) 1991-08-26 1991-08-26 半導体集積回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0554650A true JPH0554650A (ja) 1993-03-05

Family

ID=16624459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3212545A Pending JPH0554650A (ja) 1991-08-26 1991-08-26 半導体集積回路

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5270584A (ja)
JP (1) JPH0554650A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07176187A (ja) * 1993-12-17 1995-07-14 Nec Corp 基板電位検知回路
JPH08203281A (ja) * 1995-01-30 1996-08-09 Nec Corp 半導体装置
US6265932B1 (en) * 1999-03-12 2001-07-24 Oki Electric Industry Co., Ltd. Substrate control voltage circuit of a semiconductor memory
US6812748B2 (en) 2002-07-09 2004-11-02 Renesas Technology Corp. Semiconductor device having substrate potential detection circuit less influenced by change in manufacturing conditions

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5394026A (en) * 1993-02-02 1995-02-28 Motorola Inc. Substrate bias generating circuit
KR0124046B1 (ko) * 1993-11-18 1997-11-25 김광호 반도체메모리장치의 승압레벨 감지회로
US6882215B1 (en) * 1994-01-21 2005-04-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Substrate bias generator in semiconductor memory device
KR0127318B1 (ko) * 1994-04-13 1998-04-02 문정환 백바이어스전압 발생기
KR0154167B1 (ko) * 1994-09-12 1998-10-15 김영환 백 바이어스 검출회로
JP2812230B2 (ja) * 1995-02-15 1998-10-22 日本電気株式会社 バイアス電圧発生回路
KR0142967B1 (ko) * 1995-04-26 1998-08-17 김광호 반도체 메모리장치의 기판 전압 제어회로
JP3597281B2 (ja) * 1995-11-28 2004-12-02 株式会社ルネサステクノロジ 電位検出回路及び半導体集積回路
US6172554B1 (en) * 1998-09-24 2001-01-09 Mosel Vitelic, Inc. Power supply insensitive substrate bias voltage detector circuit
KR100343380B1 (ko) * 2000-10-19 2002-07-15 윤종용 전압 레벨 검출회로 및 이를 이용한 전압 발생회로
JP2008252047A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路装置、半導体集積回路の設計方法及び半導体集積回路設計装置
JP6719236B2 (ja) * 2016-03-18 2020-07-08 エイブリック株式会社 発振回路、昇圧回路及び半導体装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS621184A (ja) * 1985-06-26 1987-01-07 Hitachi Ltd ダイナミック型ram
JPH0262071A (ja) * 1988-08-26 1990-03-01 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
JPH03184419A (ja) * 1989-12-13 1991-08-12 Fujitsu Ltd 半導体集積回路装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4455493A (en) * 1982-06-30 1984-06-19 Motorola, Inc. Substrate bias pump
JPS6020394A (ja) * 1983-07-14 1985-02-01 Ricoh Co Ltd 電源切換回路
IT1217104B (it) * 1987-03-03 1990-03-14 Sgs Microelettronica Spa Circuito integrato cmos a due alimentazioni con un transistore mos integrato di protezione contro il <<latch-up>>.
JP2772522B2 (ja) * 1987-11-06 1998-07-02 日本電気アイシーマイコンシステム 株式会社 パワーオン信号発生回路
JP2752640B2 (ja) * 1988-08-07 1998-05-18 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 中間レベル発生回路
KR0133933B1 (ko) * 1988-11-09 1998-04-25 고스기 노부미쓰 기판바이어스 발생회로
US5120993A (en) * 1990-02-05 1992-06-09 Texas Instruments Incorporated Substrate bias voltage detection circuit
JPH03253114A (ja) * 1990-03-02 1991-11-12 Nec Corp 半導体装置
JP2870277B2 (ja) * 1991-01-29 1999-03-17 日本電気株式会社 ダイナミック型ランダムアクセスメモリ装置
JP2820331B2 (ja) * 1991-06-21 1998-11-05 シャープ株式会社 チャージポンプ回路
US5168174A (en) * 1991-07-12 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Negative-voltage charge pump with feedback control
US5153465A (en) * 1991-08-06 1992-10-06 National Semiconductor Corporation Differential, high-speed, low power ECL-to-CMOS translator

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS621184A (ja) * 1985-06-26 1987-01-07 Hitachi Ltd ダイナミック型ram
JPH0262071A (ja) * 1988-08-26 1990-03-01 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
JPH03184419A (ja) * 1989-12-13 1991-08-12 Fujitsu Ltd 半導体集積回路装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07176187A (ja) * 1993-12-17 1995-07-14 Nec Corp 基板電位検知回路
US5668487A (en) * 1993-12-17 1997-09-16 Nec Corporation Circuit detecting electric potential of semiconductor substrate by compensating fluctuation in threshold voltage of transistor
JPH08203281A (ja) * 1995-01-30 1996-08-09 Nec Corp 半導体装置
US6265932B1 (en) * 1999-03-12 2001-07-24 Oki Electric Industry Co., Ltd. Substrate control voltage circuit of a semiconductor memory
US6812748B2 (en) 2002-07-09 2004-11-02 Renesas Technology Corp. Semiconductor device having substrate potential detection circuit less influenced by change in manufacturing conditions

Also Published As

Publication number Publication date
US5270584A (en) 1993-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960009394B1 (ko) 동적 임의 접근 메모리용 전원 회로
US5694072A (en) Programmable substrate bias generator with current-mirrored differential comparator and isolated bulk-node sensing transistor for bias voltage control
JP2557271B2 (ja) 内部降圧電源電圧を有する半導体装置における基板電圧発生回路
KR0133933B1 (ko) 기판바이어스 발생회로
JPH0554650A (ja) 半導体集積回路
JP2870277B2 (ja) ダイナミック型ランダムアクセスメモリ装置
JPH09288523A (ja) 内部電源電圧発生回路、内部電圧発生回路および半導体装置
KR100302589B1 (ko) 기준전압발생기의스타트업회로
KR0142970B1 (ko) 반도체 메모리 장치의 기준전압 발생회로
US6798276B2 (en) Reduced potential generation circuit operable at low power-supply potential
JPH11161353A (ja) 半導体集積回路装置
US6304120B1 (en) Buffer circuit operating with a small through current and potential detecting circuit using the same
JPH1166855A (ja) 電位検出回路、半導体装置、及び半導体記憶装置
KR0142967B1 (ko) 반도체 메모리장치의 기판 전압 제어회로
US10038372B2 (en) Method and device for controlling a charge pump circuit
KR19990029191A (ko) 저전압 동작 특성이 개선된 반도체 집적 회로 장치
US4682051A (en) Voltage level detection circuit
KR19990060766A (ko) 반도체메모리장치의내부전압발생회로
JP2002319283A (ja) 高電圧感知器
US6650152B2 (en) Intermediate voltage control circuit having reduced power consumption
JPH0278090A (ja) メモリ装置の供給電圧安定化回路
US5886550A (en) Integrated circuit built-in type supply power delay circuit
KR100585144B1 (ko) 차아지 펌핑 효율을 유지하는 승압 전압 발생 회로
JP3742345B2 (ja) オシレータ回路、該オシレータ回路を備えた半導体装置、及び該オシレータ回路を備えた半導体記憶装置
JP3068450B2 (ja) 基板電圧発生回路

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19971216