JPH0546631A

JPH0546631A - 製造ライン

Info

Publication number: JPH0546631A
Application number: JP20515991A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Wada; 康和田; Tsuneo Okubo; 恒夫大久保; Satoshi Tazawa; 聰田沢; Masahiro Yoshizawa; 正浩吉沢
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1991-08-15
Filing date: 1991-08-15
Publication date: 1993-02-26
Anticipated expiration: 2014-11-22
Also published as: JP2980180B2

Abstract

(57)【要約】【目的】複数の製造装置／検査装置が設けられている製
造ラインにおいて、任意の場所からこれら全ての製造装
置／検査装置を統一されたマンマシンインターフェース
環境で制御できるようにする。【構成】複数の製造・検査装置４と複数のホストコンピ
ュータ１をＬＡＮ５で接続し、各ホストコンピュータ１
と各製造・検査装置４との制御コマンドや返信情報の通
信をホストコンピュータ１に共通の書式で行なうように
し、各ホストコンピュータ１のそれぞれに、各製造・検
査装置４の行ない得る処理や取り得る状態を統一的に記
述したメッセージを格納するホスト処理パラメータテー
ブルを備えることによって、任意のホストコンピュータ
１に接続されたマンマシンインターフェース装置から統
一的なコマンド操作で任意の製造・検査装置４を制御で
きるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、製造ラインに関し、特
に、物理・化学反応、機械加工、測定などを行なう製造
装置／検査装置と、これら製造装置／検査装置から離れ
た場所にマンマシンインターフェース装置が設けられ、
製造装置／検査装置とマンマシンインターフェース装置
との間で通信を行なうことによって製造装置／検査装置
の制御が行なわれる製造ラインに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近の半導体製造装置、半導体検査装置
などは、マイクロコンピュータなどを内蔵することによ
り装置自体が比較的高度にインテリジェント化され、こ
れら装置は工場全体の制御を行なうホストコンピュータ
にローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続
されるようになっている。装置自体がインテリジェント
化されていることにより、ホストコンピュータが装置内
部の状態信号を直接監視して当該装置での物理量を制御
することは行なわれず、これらの監視・制御は当該装置
に内蔵されたマイクロコンピュータなどに任されるのが
普通である。そしてホストコンピュータは、マクロなコ
マンドによりこれら装置の処理進行状態を大雑把に把握
するだけで、系全体の高精度の制御を行なうことが可能
である。

【０００３】ホストコンピュータから半導体製造装置、
半導体検査装置などを制御する装置制御方法の例とし
て、例えば、半導体製造装置材料協会（Semiconductor
Equipment & Materials Institute）が発行している
「半導体製造装置通信スタンダード(SECS), BOOK OF SE
MI STANDARDS 1978, 1990, SEMI」に記載されている装
置制御方法がある。このスタンダードでは、ホストコン
ピュータと装置の内蔵コンピュータとの通信に関する下
位のプロトコルおよび通信内容について規定している
が、コマンドの作り方、コマンドの処理結果の確認方法
などは規定されていない。したがって、ホストコンピュ
ータ側、内蔵コンピュータ側の双方とも、独自のマンマ
シンインターフェース（ＭＭＩ）を構成し、このため工
場内には極めて多種多様なマンマシンインターフェース
装置すなわちディスプレイ装置やパネルが満ちあふれて
いる。

【０００４】一方、半導体製造装置や半導体検査装置の
自動化が進行し、工場内で働くオペレータや作業員の人
数は低減される傾向にあり、一人一人のオペレータが担
当する装置台数が増加している。また半導体ウェハの搬
送の自動化などによって生じた余力の活用として、単な
る装置の起動や稼働状態の確認だけではなく、ロット処
理の結果の妥当性確認やデータベースへのデータの追記
など、作業の内容自体も多様化している。この結果、一
人のオペレータが多種多様なマンマシンインターフェー
スを取り扱う必要が生じている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した半導体製造装
置や半導体検査装置を有する工場などの製造ラインで
は、多種多様なマンマシンインターフェースが使用され
ているため、オペレータが多種類のマンマシンインタ
ーフェースの操作に習熟できず、そのため操作ミスが頻
発し、マンマシンインターフェース装置が広い工場空
間の中に散在する各製造装置／検査装置の近傍に設けら
れているため、オペレータがこれらマンマシンインター
フェース装置を操作するために駆けずり回らなければな
らない、という問題点がある。

【０００６】本発明の目的は、複数の製造装置／検査装
置が設けられている製造ラインにおいて、任意の場所か
らこれら全ての製造装置／検査装置を統一されたマンマ
シンインターフェース環境で監視しあるいは制御できる
製造ラインを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】第１の発明の製造ライン
は、内蔵コンピュータを有する複数の製造装置／検査装
置と、マンマシンインターフェース装置の接続された複
数のホストコンピュータとが設けられ、前記各製造装置
／検査装置と前記各ホストコンピュータとがローカルエ
リアネットワークによって相互に接続されているコンピ
ュータ統合型の製造ラインにおいて、前記各内蔵コンピ
ュータは、当該製造装置／検査装置の処理を制御し、当
該製造装置／検査装置の現在の状態を前記各ホストコン
ピュータに共通した書式の返信情報で前記ローカルエリ
アネットワークに発信するものであり、前記各ホストコ
ンピュータは、前記各製造装置／検査装置ごとに当該製
造装置／検査装置の取り得る状態の種類と前記状態の種
類ごとに当該状態を統一的に記述するメッセージとを格
納したホスト処理パラメータテーブルを有し、前記マン
マシンインターフェース装置を介して前記各製造装置／
検査装置のいずれかを監視する要求が入力したとき、当
該製造装置／検査装置の内蔵コンピュータとの間に通信
路が確立されていなければ前記通信路を確立し、前記内
蔵コンピュータから前記返信情報を取得して前記ホスト
処理パラメータテーブルを参照して当該現在の状態に対
応する前記メッセージを対応するマンマシンインターフ
ェース装置に出力するものであり、前記対応するマンマ
シンインターフェース装置が同時に複数の前記製造装置
／検査装置の状態を表示することを特徴とする。

【０００８】第２の発明の製造ラインは、内蔵コンピュ
ータを有する複数の製造装置／検査装置と、マンマシン
インターフェース装置の接続された複数のホストコンピ
ュータとが設けられ、前記各製造装置／検査装置と前記
各ホストコンピュータとがローカルエリアネットワーク
によって相互に接続されているコンピュータ統合型の製
造ラインにおいて、前記各内蔵コンピュータは、当該製
造装置／検査装置の現在の状態を前記各ホストコンピュ
ータに共通した書式の返信情報で前記ローカルエリアネ
ットワークに発信し、前記ホストコンピュータのうちの
１のものからの要求に基づいて当該ホストコンピュータ
に排他的に制御権を与え、前記制御権を有するホストコ
ンピュータ名を記憶し、前記制御権のあるホストコンピ
ュータからの前記各ホストコンピュータに共通した書式
による制御コマンドを解釈して前記解釈に基づいて当該
製造装置／検査装置の処理を制御するものであり、前記
各ホストコンピュータは、前記各製造装置／検査装置ご
とに当該製造装置／検査装置の行ない得る処理の種類と
当該製造装置／検査装置の取り得る状態の種類と前記処
理の種類および前記状態の種類ごとに当該処理および状
態を統一的に記述するメッセージとを格納したホスト処
理パラメータテーブルを有し、前記マンマシンインター
フェース装置を介して前記各製造装置／検査装置のいず
れかを監視する要求が入力したとき、当該製造装置／検
査装置の内蔵コンピュータとの間に通信路が確立されて
いなければ前記通信路を確立し、前記内蔵コンピュータ
から前記返信情報を取得して前記ホスト処理パラメータ
テーブルを参照して当該現在の状態に対応する前記メッ
セージを対応するマンマシンインターフェース装置に出
力し、前記マンマシンインターフェース装置を介して前
記各製造装置／検査装置のいずれかを制御する要求が入
力したとき、当該製造装置／検査装置の内蔵コンピュー
タとの間に通信路が確立されていなければ前記通信路を
確立し、当該製造装置／検査装置に対する前記制御権を
取得していなければ前記制御権の取得を前記内蔵コンピ
ュータに要求し、前記ホスト処理パラメータテーブルを
参照して当該製造装置／検査装置の行ない得る処理に対
応するメッセージを前記マンマシンインターフェース装
置に出力し、前記行ない得る処理のうちのいずれかが前
記マンマシンインターフェース装置を介して選択された
ときに当該処理を表わす制御コマンドを前記内蔵コンピ
ュータに送信するものであることを特徴とする。

【０００９】

【作用】各ホストコンピュータと各製造装置／検査装置
との制御コマンドや返信情報の通信をホストコンピュー
タに共通の書式で行なうようにし、かつ各ホストコンピ
ュータのそれぞれに、各製造装置／検査装置の行ない得
る処理や各製造装置／検査装置の取り得る状態を統一的
に記述したメッセージを格納するホスト処理パラメータ
テーブルを備えているので、任意のホストコンピュータ
に接続されたマンマシンインターフェース装置から任意
の製造装置／検査装置を統一されたマンマシンインター
フェース環境で制御することができる。

【００１０】

【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図１は本発明の一実施例の製造ラインの構成
を示すブロック図、図２は製造・検査装置４の構成を示
すブロック図、図３はホストコンピュータの１構成を示
すブロック図、図４はホスト処理パラメータテーブル１
４の構成を説明する図、図５は内蔵コンピュータ２にお
ける処理を説明するフローチャート、図６はホストコン
ピュータ１における処理を説明するフローチャートであ
る。

【００１１】この製造ラインは半導体製造に使用される
ものであって、図１に示すように、複数のホストコンピ
ュータ１と複数の製造・検査装置４がＬＡＮ（ローカル
エリアネットワーク）５によって相互に接続されてい
る。この製造・検査装置４は、それぞれ、例えば物理反
応処理を実行するための物理反応系３ａ、化学反応処理
を実行するための化学反応系３ｂ、機械加工を実行する
機械加工系３ｃ、物理量を測定するための物理測定系３
ｄ、機械量を測定するための機械測定系３ｅで表わされ
る反応系３を有し、これら反応系３は、製造・検査装置
４内に設けられた内蔵コンピュータ２によって制御され
るようになっている。各製造・検査装置４に対し、複数
の反応系３が設けられていてもよい。

【００１２】内蔵コンピュータ２は、ＬＡＮ５との通信
を司る上位通信プログラム２１、ＬＡＮ５を介してホス
トコンピュータ１とやりとりする制御コマンドおよび返
信情報と当該製造・検査装置４での内部表現とを相互に
変換する装置側コマンド処理プログラム２２、各反応系
３の処理を制御し各反応系３からの情報を収集する系制
御プログラム２３、通信時に必要となるパラメータを保
持する通信パラメータテーブル２４とから構成されてい
る。このように内蔵コンピュータ２を構成することによ
り、内蔵コンピュータ２は、反応系３の現在の状態を各
ホストコンピュータに共通した書式の返信情報でＬＡＮ
５に送出し、ホストコンピュータ１のうちの１のものか
らの要求に基づいて当該ホストコンピュータ１に排他的
に制御権を与え、制御権を有するホストコンピュータの
アドレスを通信パラメータテーブル２４に記憶し、制御
権のあるホストコンピュータ１からのＬＡＮ５を介して
送信されてくる各ホストコンピュータに共通した書式に
よる制御コマンドを解釈して、反応系３の処理をこの解
釈に基づいて制御することが可能となる。

【００１３】一方、ホストコンピュータ１は、図示しな
いマンマシンインターフェース装置が接続されており、
後述するホスト処理パラメータテーブル１４、ホスト処
理パラメータテーブル１４を参照しながらマンマシンイ
ンターフェース装置に入力された指示に従って制御コマ
ンドを装置制御プログラム１３に与えまた装置制御プロ
グラム１３から返信情報を受け取るホスト側コマンド処
理プログラム１１、マンマシンインターフェース装置の
ディスプレイ画面をマルチウィンドウで制御するウィン
ドウ制御プログラム１２、ホスト側コマンド処理プログ
ラム１１とＬＡＮ５とのインターフェースを司る装置制
御プログラム１３とから構成されている。図示されてい
ないが、このホストコンピュータ１はさらに上位のコン
ピュータに接続され、この上位のコンピュータにおいて
さらに巨視的な処理や上位特有の処理が行なわれるよう
にしてもよい。このように構成することにより、ホスト
コンピュータ１は、マンマシンインターフェース装置を
介して各製造・検査装置４のいずれかを監視する要求が
入力したとき、当該製造・検査装置４の内蔵コンピュー
タ２との間に通信路が確立されていなければ通信路を確
立し、ＬＡＮ５を介して内蔵コンピュータ２から当該製
造・検査装置４の現在の状態を表わす返信情報を取得し
てホスト処理パラメータテーブル１４を参照して当該現
在の状態に対応するメッセージを対応するマンマシンイ
ンターフェース装置に出力し、マンマシンインターフェ
ース装置を介して製造・検査装置４のいずれかを制御す
る要求が入力したとき、当該製造・検査装置４の内蔵コ
ンピュータ２との間に通信路が確立されていなければ通
信路を確立し、当該製造・検査装置４に対する制御権を
取得していなければ制御権の取得をその内蔵コンピュー
タ２に要求し、ホスト処理パラメータテーブル１４を参
照して当該製造・検査装置４の行ない得る処理に対応す
るメッセージをマンマシンインターフェース装置に出力
し、この行ない得る処理のうちのいずれかがマンマシン
インターフェース装置を介して選択されたときに当該処
理を表わす制御コマンドをＬＡＮ５を介して内蔵コンピ
ュータ２に送信することが可能となる。

【００１４】ここで、ホスト処理パラメータテーブル１
４の構成について、図４により説明する。このホスト処
理パラメータテーブル１４は、各製造・／検査装置４ご
とに当該製造・検査装置４の行ない得る処理の種類と当
該製造・検査装置４の取り得る状態の種類とこの処理お
よび状態の種類ごとに当該処理および状態を統一的に記
述するメッセージとを格納するためのものであり、装置
テーブル３１、コマンド定義テーブル３２、メッセージ
定義テーブル３３、名称定義テーブル３４、応答表示定
義テーブル３５、状況表示定義テーブル３６とによって
構成されている。

【００１５】装置テーブル３１は、各製造・検査装置４
のそれぞれの装置名とその内蔵コンピュータ２のＬＡＮ
５上でのアドレスを格納し、さらにホストコンピュータ
１と当該製造・検査装置４との接続状態を記憶する接続
フラグを有している。コマンド定義テーブル３２は制御
コマンドを指定するための送信コマンドや、マンマシン
インターフェース装置によって処理が指定されたことに
応答するものである受信コマンドの種類を格納するため
のものである。制御コマンドは、ＬＡＮ５を介して、各
ホストコンピュータ１から各製造・検査装置４へホスト
コンピュータ１に共通した書式で送信されるものであ
る。メッセージ定義テーブル３３は、各送信コマンドの
具体的内容、すなわち各製造・検査装置４を制御して処
理の実行を指示する際の制御パラメータ（制御コマンド
に付随して制御の具体的内容を示す部分）の指定を促す
ためにマンマシンインターフェース装置に表示されるメ
ッセージを格納するものである。このメッセージ定義テ
ーブル３３では、後述する名称定義テーブル３４内の名
称ファイルに関連付けるため、各メッセージに対応させ
て名称ファイル番号も格納している。名称定義テーブル
３４は、ホストコンピュータ１とマンマシンインターフ
ェース装置との間で送信コマンド、受信コマンドのやり
とりが行なわれたのち、このやりとりに基づいて実際に
制御コマンドを製造・検査装置４の内蔵コンピュータ２
に順を追って送出するためにものであり、各送信コマン
ドのそれぞれに対応する名称ファイルからなり、各名称
ファイルは、当該送信コマンドに対応する制御コマンド
の並び（シーケンス）を、その制御コマンド名称とその
メッセージＩＤ（各制御コマンドを表わす数字）とを対
応させて格納する。応答表示定義テーブル３５は、各受
信コマンドの具体的内容、すなわちマンマシンインター
フェース装置で処理が指定されたときに応答するものと
なるメッセージを格納する。状況表示定義テーブル３６
は、各製造・検査装置４の内蔵コンピュータ２から返信
情報が送られたとき、この返信情報を解読してマンマシ
ンインターフェース装置に対応するメッセージを表示す
るときに使用されるものであり、返信情報とそれに対応
するメッセージとが格納されている。次に、本実施例の
動作について説明する。

【００１６】まず、内蔵コンピュータ２の動作の流れに
ついて、図５を用いて説明する。ここでは、内蔵コンピ
ュータ２のホストコンピュータ１との通信に関係する部
分のみを述べるものとする。

【００１７】複数のホストコンピュータ１のいずれかか
らコネクション（接続）の要求があった場合（ステップ
１０１）、上位通信プログラム２１はこれに応答し、接
続許可応答を当該ホストコンピュータ１に返す（ステッ
プ１０２）。このとき、接続要求を行なったホストコン
ピュータ１のアドレス番号を、通信パラメータテーブル
２４内に蓄積する（ステップ１０３）。接続許可要求を
受け取ったホストコンピュータ１は通信路を確立し、通
信を開始する（ステップ１０４）。この場合、異なるホ
ストコンピュータ１との複数の通信路が同時に確立した
状態にあってもよい。ここで、ホストコンピュータ１か
らの終了要求があれば（ステップ１０５）、上位通信プ
ログラム２１はこれに対応し、ホストコンピュータ１が
通信路を閉鎖して（ステップ１０８）、処理を終了す
る。

【００１８】終了要求がなかった場合、ホストコンピュ
ータ１からの制御コマンドの入力を待つ（ステップ１０
６）。制御コマンドが入力したら、装置側コマンド処理
プログラム２２によって制御コマンドを解析し（ステッ
プ１０７）、解析結果である内部表現を系制御プログラ
ム２３に送信し（ステップ１０９）、系制御プログラム
２３によって反応系３を制御する（ステップ１１０）。
反応系３の制御に伴って制御結果や計測結果などをホス
トコンピュータ１に通信する必要がない場合にはステッ
プ１０５に戻る（ステップ１１１）。ホストコンピュー
タ１に通信する必要がある場合、系制御プログラム２３
は反応系３の処理途中の情報や処理終了時の情報を収集
し、適切なタイミングで装置側コマンド処理プログラム
２２に返信する（ステップ１１２）。装置側コマンド処
理プログラム２２は系制御プログラム２３から得た情報
をもとにホストコンピュータ１が解釈できる形式に変換
し（ステップ１１３）、返信情報を作成する（ステップ
１１４）。そして上位通信プログラム２１の助けを借り
て、この返信情報をＬＡＮ５を介してホストコンピュー
タ１に送信する（ステップ１１５）。このとき、通信パ
ラメータテーブル２４に格納したホストコンピュータ１
のアドレス番号を返送先アドレスとして使用する。ホス
トコンピュータ１との通信の終了後、ステップ１１１に
戻る。

【００１９】以上のようにして、内蔵コンピュータ２は
ホストコンピュータ１からの制御コマンドに応じて反応
系３の制御を行ない、ホストコンピュータ１との通信を
行なうようになっている。ここでは、後述する制御権を
獲得しているホストコンピュータ１との通信の流れであ
るが、制御権を獲得していないホストコンピュータ１で
あってもこの製造・検査装置４の監視を行なうことはで
きる。この監視を行なう場合には、監視操作のみを表わ
す制御コマンドが用いられることになり、他は上述と同
様に動作が進行する。

【００２０】次に、ホストコンピュータ１の動作の流れ
について、図６および図８（画面例）を用いて説明す
る。ここでは、ホストコンピュータ１の内蔵コンピュー
タ２との通信に関係する部分のみを述べるものとする。

【００２１】予め、制御あるいは監視対象の製造・検査
装置４の装置名が指定されているとする。まずホスト側
コマンド処理プログラム１１は、指定された装置名につ
いてホスト処理パラメータテーブル１４の装置テーブル
３１と照合し（ステップ１２１）、装置テーブル３１内
の接続フラグを所定のモードに設定するとともに、当該
製造・検査装置４の内蔵コンピュータ２のネットワーク
アドレスを読みだしてその情報を装置制御プログラム１
３に渡す（ステップ１２２）。装置制御プログラム１３
は、取得したアドレスをもとに、ＬＡＮ５を介して対象
の内蔵コンピュータ２との間のコネクションを確立する
（ステップ１２３）とともに、ホスト側コマンド処理プ
ログラム１１から情報を受け取って製造・検査装置４に
制御コマンドを送出したり、製造・検査装置４からの返
信情報を受け取ってホスト側コマンド処理プログラム１
１に渡したりする態勢に入る。そして、ウィンドウ処理
プログラム１２は、マンマシンインターフェース装置の
ディスプレイ装置上にメニュー操作画面４３を表示する
（ステップ１２４）とともに、指定された装置名を考慮
してホスト処理パラメータテーブル１４を参照して、操
作用のマンマシンインターフェース画面４２内の残りの
ウィンドウ枠（４５,４６,４７）を作成し表示させる。
このとき各製造・検査装置４からの返信情報に基づきオ
ペレータに通知すべき情報を装置側コマンド処理プログ
ラム１１が保持していれば、ウィンドウ処理プログラム
１２はこの情報を受信してマンマシンインターフェース
装置の画面に表示する（ステップ１２５）。この表示
は、それぞれの製造・検査装置４の状態情報／異常情報
を獲得したとき、状態が変化したときに更新されるよう
になっている。

【００２２】さて、オペレータが監視モードすなわち製
造・検査装置４の状態の監視のみを行なうモードを選択
している場合には（ステップ１２６）、オペレータが処
理したい内容を選択させることにより（ステップ１３
０）、画面を監視用画面に設定するか、製造・検査装置
４の制御とは直接関係ない他の処理を行なうための画面
（ロット処理用モード画面やデータ処理モード用画面）
に設定し、監視モード下でオペレータが前記の処理を実
行する（ステップ１３１）。オペレータが全処理の終了
を選択すれば動作を終了させ、そうでなければステップ
１２５に戻る。

【００２３】監視モードでないとき、すなわち製造・検
査装置４への制御を行なうモード（制御モード）である
とき、ウィンドウ制御プログラム１２は制御権を獲得済
みである装置に対する制御用画面（後述する装置制御画
面４８）をマンマシンインターフェース装置に表示させ
（ステップ１２７）、マンマシンインターフェース装置
から入力に基づきホスト側コマンド処理プログラム１１
は制御コマンドを当該製造・検査装置４の内蔵コンピュ
ータ２に送信して、その製造・検査装置４の制御を実行
する（ステップ１２８）。そして制御の継続が選択され
ていればステップ１２７に戻り、制御の継続が選択され
ていなければステップ１３０に進む（ステップ１２
９）。

【００２４】以上のようにして、ホストコンピュータ１
は内蔵コンピュータ２と通信を行ない、製造・検査装置
４の監視・制御を行なうようになっている。ここでは流
れ図を用いて説明した関係上、同時には１つのプログラ
ムのみが実行されているように見えるが、制御や監視モ
ード下で処理がなされている間に各製造・検査装置の最
新の状態情報／異常情報を獲得する必要があるから、３
本のプログラムすなわちホスト側コマンド処理プログラ
ム１１、ウィンドウ処理プログラム１２、装置制御プロ
グラム１３は、実際にはマルチプロセスにより、相互に
連携しながら同時に稼働している。このことにより、装
置状態の変化時には即座に表示内容を更新できるように
なっている。

【００２５】次に、マンマシンインターフェース装置の
画面例を挙げながら、実際の動作についてオペレータの
行なう操作の方法も含めて、さらに詳しく説明する。図
７は初期処理用の画面の一例を説明する図、図８はホス
トコンピュータ１の操作用の画面の表示例を説明する
図、図９は装置制御モード時の画面の一例を説明する
図、図１０は定型的に製造・検査装置４を制御する手順
を説明する図である。

【００２６】ホストコンピュータ１の立ち上げ時には、
図７に示す初期処理用の画面４１が表示される。この画
面４１は、起動すべきプログラム、監視・制御対象とす
べき製造・検査装置４の装置名を入力するためのもので
ある。オペレータは、製造・検査装置４の制御に関係す
るプログラム（ホスト側コマンド処理プログラム１１、
ウィンドウ処理プログラム１２、装置制御プログラム１
３）を選択して起動し、さらに装置制御とは直接関係は
ないが実行しようとするプログラム（例えばロットトラ
ッキングに関係するプログラムやデータベース処理に関
係するプログラムなど）を選択して起動し、監視・制御
対象としたい製造・検査装置４の装置名を指定する。こ
の装置名は一度に複数のものを指定することができる。
装置名の指定を行なう場合、当該装置の制御権を要求す
るか、単に当該装置の監視のみを行なうかの指定の区別
を行なわなければならない。もし、複数のホストコンピ
ュータ１が同一の製造・検査装置４に対して制御を行な
おうとすれば、その製造・検査装置４の制御が混乱する
ことになるから、制御権の排他制御がなされるようにし
なければならない。このような排他制御を行なう仕組と
して、各内蔵コンピュータ２の通信パラメータテーブル
２４に、どのホストコンピュータ１に制御権が渡されて
いるかを記憶させ、そのホストコンピュータ１以外のホ
ストコンピュータ１からの制御権要求を拒否するように
すればよい。この場合、各ホストコンピュータ１におい
てもそのホストコンピュータ１が現に制御権を有する製
造・検査装置４を記憶して、その制御権が不要になれば
直ちに制御権を明け渡すようにする。

【００２７】装置名の指定が行なわれると、ホストコン
ピュータ１と当該装置の内蔵コンピュータ２との間の通
信路が確立され、続いてウィンドウ処理プログラム１２
は、図８に示すような操作用のマンマシンインターフェ
ース画面４２をマンマシンインターフェース装置に表示
する。このマンマシンインターフェース画面４２は、メ
ニュー操作画面４３と同時にマルチウィンドウ方式で表
示され、共通操作画面領域４４、状態表示画面４５、異
常表示画面４６などを含んでいる。

【００２８】メニュー操作画面４３は、機能の選択、モ
ードの選択、処理の終了などを実行するためのものであ
り、常時表示され、マウスでその項目をクリックするこ
となどによって当該項目の内容が実行されるようになっ
ている。共通操作画面領域４４は、監視・制御対象の装
置ごとの装置操作画面４７を表示するための領域であっ
て、装置名を選択することによって当該装置についての
装置操作画面４７がポップアップするようになってい
る。この装置操作画面４７は装置の監視用と制御用の双
方に使用できるものであり、制御用以外に使用されてい
る場合には、装置の監視の他にレシピの検索・編集・差
し替えやロットの進行管理やデータベースの検索などに
広範囲に利用することができる。このように制御用と制
御用以外に画面を区別する目的は、制御権を奪い合う確
率を減らすことにある。制御用以外の画面を表示してい
るときは、当面は制御を行なうことがないものとして、
制御権を獲得していても一時的に他のホストコンピュー
タ１にこの制御権を譲るようにすることができる。装置
操作画面４７の上端部には、例えば「装置＜制御，監視
＞，ロット，データ」などの項目の表示がなされ、これ
らの項目をカーソルやマウスなどで選択することによ
り、装置制御、装置詳細情報監視、ロット進行管理、デ
ータベース検索などの操作を選択的に行なうことができ
るようになっている。

【００２９】状態表示画面４５は、装置監視の指定がな
されている限り常時表示され、監視対象の製造・検査装
置４の最新の状態がここに表示されるようになってい
る。異常表示画面４６は、監視対象の製造・検査装置４
のいずれかに異常が発生したとき、その異常の内容を表
示する領域であり、必要に応じて画面サイズを拡大して
表示できるようになっている。

【００３０】装置操作画面４７が制御モードになってい
るときはすなわち装置制御画面４８である。この装置制
御画面４８の一例が図９に示され、マンマシンインター
フェース装置に表示された装置制御画面４８に対して対
話的に操作を行なうことにより製造・検査装置４を定型
的に制御する場合の処理の流れが図１０に示されてい
る。この装置制御画面４８は、上部が制御対象の装置
名、操作しているオペレータ名、ロット名、レシピ名、
工程名などを表示する領域となっており、このうち装置
名やオペレータ名は一般にこの画面に移行する前に確定
しているから、該当欄はその情報で埋められている。装
置制御画面４８の左側部分は、コマンドやマクロコマン
ドを指定するためのコマンド指定欄５１であり、このコ
マンド指定欄５１では選択し得るコマンドやマクロコマ
ンドが表示されている。装置制御画面４８の中央部には
上から、制御パラメータの入力を指示するための制御パ
ラメータ指示欄５２、実行状況を表示する実行状況表示
欄５３が設けられ、装置制御画面４８の右側部分には上
から、応答メッセージを表示するための応答パラメータ
表示欄５４、スクロール、検索、実行や終了などの処理
を選択するためのメニュー操作欄５５が設けられてい
る。

【００３１】次に、この装置制御画面４８を利用して対
話的に操作を行なう手順について説明する。ここでは、
制御対象の製造・検査装置４として、エッチャが選択さ
れているとする。まず、ウィンドウ処理プログラム１２
は、ホスト処理パラメータテーブル１４の装置テーブル
３１とコマンド定義テーブル３２を参照して、コマンド
指定欄５１に、指定し得るマクロコマンドやコマンドを
表示する（ステップ１５１）。ここでマクロコマンドに
ついて説明すると、このマクロコマンドは、制御の実行
をオペレータが主体になって行なうかホストコンピュー
タ１が主体になって行なうかの処理モードを選択するも
のである。「上位自動制御モード」は、このホストコン
ピュータ１が自分より上位の図示しない上位のコンピュ
ータに処理を任せ、ホストコンピュータ１自体はその上
位のコンピュータと内蔵コンピュータ２との通信の仲介
を行なうモードである。「自動制御＜即時＞モード」
は、実行を指示するとこのホストコンピュータ１の責任
で直ちに自動処理するモードである。「自動制御＜待時
＞モード」は、実行に入るべき時刻を指定してその時刻
になればこのホストコンピュータ１の責任で自動処理す
るモードである。「マニュアル制御モード」は、オペレ
ータの責任で処理するモードである。一方、コマンド
は、当該製造・検査装置４が実際に実行し得る処理を表
わしており、エッチャであれば、図示されたように、
「登録ロット確認」、「詳細表示（装置の状態の詳細を
表示する）」、「ローカル／リモート（装置としての動
作モードの指定）」、「処理開始／中止／再開」、「デ
ータ収集／非収集」などのものが指定できるコマンドと
して挙げられる。

【００３２】オペレータは、各コマンドの前に表示され
たクリックマーク（”□”のこと）をマウスなどでクリ
ックし、次にメニュー操作欄５５の「実行」をクリック
してコマンド、マクロコマンドを選択する。この選択は
送信コマンドを選択したことに相当し、この選択が行な
われると、当該コマンド、マクロコマンドに対応するモ
ードに遷移して、クリックしたクリックマークの色が変
色し、選択が完了したことを表示する。もし選択しよう
とするコマンド、マクロコマンドが表示されていないと
きには、メニュー操作欄５５を適宜操作することによっ
て画面をスクロールさせ、選択しようとするコマンド、
マクロコマンドを表示させるようにすればよい。ここで
は、「自動制御＜即時＞モード」で「処理再開」が選択
されたとする。

【００３３】コマンドやマクロコマンドが選択される
と、ウィンドウ処理プログラムは、例えば処理対象のロ
ット名の特定などのために、メッセージ定義テーブル３
３を参照して制御パラメータの入力を促すメッセージを
制御パラメータ指示欄５２に表示し、オペレータはこの
メッセージに従って、ロット名などの制御パラメータを
入力する（ステップ１５２）。この入力が行なわれれば
処理が再開される。

【００３４】ところで装置制御画面４８の上部には、今
処理しようとしているロット名、処理条件を定義したレ
シピ名および処理される工程名などを表示する領域が設
けられている。もし内容が表示されていない項目があれ
ばその項目のクリックマークを選びさらにメニュー操作
欄５５の検索を選ぶと、データベースを検索し、消去可
能な領域に新たにウィンドウが開かれ、これら項目に対
する候補が表示される。候補の中から適当なものをクリ
ックすればそれが選択され、画面上部の該当項目の表示
欄に表示される。このようにして制御対象の装置が実行
すべき処理内容の指定を行なうことができ、そののちメ
ニュー操作欄５５の実行をクリックすることにより、送
信コマンドとして指定したように処理が再開される。上
述の制御パラメータ指示欄５２への制御パラメータの入
力に代えてこのようにして処理対象の選択を行なうこと
もできる。

【００３５】制御パラメータの入力あるいは上述したよ
うな処理対象の選択がなされ、内蔵コンピュータ２で処
理が再開されたら、ウィンドウ処理プログラム１３は、
応答表示定義テーブル３５を参照して、選択された送信
コマンド（ここでは処理の再開）に対応する受信コマン
ドのメッセージを応答パラメータ表示欄５４に表示する
（ステップ１５３）。ここでは処理再開に関するメッセ
ージが表示される。

【００３６】以上のように送信コマンドと受信コマンド
とのやり取りが終了すると、ホストコンピュータ１は、
引続き、名称定義テーブル３４内の名称ファイル番号で
指定される名称の並びと、これに対応するメッセージＩ
Ｄの並びに従い、一連の処理（ここでは再開後のウェハ
エッチング）を継続するよう内蔵コンピュータ２に制御
コマンドを送出する。個々のメッセージＩＤと制御コマ
ンドとの対応関係は、ホスト処理パラメータテーブル１
４の中に蓄積されており、制御コマンドを受信すれば、
内蔵コンピュータ２は、製造・検査などの本来の処理を
実行するよう反応系３を制御する。また、処理の実行
中、内蔵コンピュータ２からホストコンピュータ１に送
信される返信情報は、随時ホストコンピュータによって
受け付けられ、それに基づいて状況表示定義テーブル３
６を参照することにより、処理の進行状況などが実行状
況表示欄５３に表示される（ステップ１５４）。

【００３７】以上のようにして、一連の処理が定型化さ
れ、統一されたマンマシンインターフェース環境下での
操作による、複数のホストコンピュータ１の内の任意の
ものに接続されたマンマシンインターフェース装置から
の複数の製造・検査装置４の制御や監視が可能となり、
装置制御、装置詳細情報監視、ロット進行管理、データ
ベース検索などの操作を並行して行なうことができるよ
うになる。また、統一したマンマシンインターフェース
環境が提供できることは、ホストコンピュータにさらに
上位のコンピュータが接続されている場合に、その上位
のコンピュータによるこの製造ラインの制御もこの統一
したマンマシンインターフェース環境で行なえることを
意味し、上位のコンピュータによる制御も容易になる。

【００３８】

【発明の効果】各ホストコンピュータと各製造装置／検
査装置との制御コマンドや返信情報の通信をホストコン
ピュータに共通の書式で行ない、各ホストコンピュータ
のそれぞれに、各製造装置／検査装置の行ない得る処理
や各製造装置／検査装置の状態を統一的に記述したメッ
セージを格納するホスト処理パラメータテーブルを備え
ることにより、分散配置された任意のホストコンピュー
タに接続されたマンマシンインターフェース装置から、
所望の多数の製造装置／検査装置の最新の稼働状況を監
視しながらこれら装置の制御や監視とは直接は関係のな
い処理を行ないなうことができ、またこれらの製造装置
／検査装置の制御を統一されたマンマシンインターフェ
ース環境で制御することができるので、オペレータが習熟すべきマンマシンインターフェー
スが一種類となって操作ミスが激減し、一箇所のマンマシンインターフェース装置から所望
の製造装置／検査装置を制御できるので走り回る必要が
なくなる、という効果を有する。さらに本発明は、ホス
トコンピュータがさらに上位のコンピュータに接続され
ている場合に、その上位のコンピュータによる製造ライ
ンの制御がより容易になるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の製造ラインの構成を示すブ
ロック図である。

【図２】製造・検査装置４の構成を示すブロック図であ
る。

【図３】ホストコンピュータ１の構成を示すブロック図
である。

【図４】ホスト処理パラメータテーブル１４の構成を説
明する図である。

【図５】内蔵コンピュータ２における処理を説明するフ
ローチャートである。

【図６】ホストコンピュータ１における処理を説明する
フローチャートである。

【図７】初期処理用の画面の一例を説明する図である。

【図８】ホストコンピュータ１の操作用の画面の表示例
を説明する図である。

【図９】装置制御モード時の画面の一例を説明する図で
ある。

【図１０】定型的に製造・検査装置４を制御する手順を
説明する図である。

【符号の説明】

１ホストコンピュータ２内蔵コンピュータ３反応系４製造・検査装置５ＬＡＮ１１ホスト側コマンド処理プログラム１２ウィンドウ処理プログラム１３装置制御プログラム１４ホスト処理パラメータテーブル２１上位通信プログラム２２装置側コマンド処理プログラム２３系制御プログラム２４通信パラメータテーブル３１装置テーブル３２コマンド定義テーブル３３メッセージ定義テーブル３４名称定義テーブル３５応答表示定義テーブル３６状況表示定義テーブル４２マンマシンインターフェース画面４３メニュー操作画面４４共通操作画面領域４５状態表示画面４６異常表示画面４７装置操作画面４８装置制御画面

フロントページの続き (72)発明者吉沢正浩東京都千代田区内幸町一丁目１番６号日本電信電話株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内蔵コンピュータを有する複数の製造装
置／検査装置と、マンマシンインターフェース装置の接
続された複数のホストコンピュータとが設けられ、前記
各製造装置／検査装置と前記各ホストコンピュータとが
ローカルエリアネットワークによって相互に接続されて
いるコンピュータ統合型の製造ラインにおいて、前記各内蔵コンピュータは、当該製造装置／検査装置の
処理を制御し、当該製造装置／検査装置の現在の状態を
前記各ホストコンピュータに共通した書式の返信情報で
前記ローカルエリアネットワークに発信するものであ
り、前記各ホストコンピュータは、前記各製造装置／検査装
置ごとに当該製造装置／検査装置の取り得る状態の種類
と前記状態の種類ごとに当該状態を統一的に記述するメ
ッセージとを格納したホスト処理パラメータテーブルを
有し、前記マンマシンインターフェース装置を介して前
記各製造装置／検査装置のいずれかを監視する要求が入
力したとき、当該製造装置／検査装置の内蔵コンピュー
タとの間に通信路が確立されていなければ前記通信路を
確立し、前記内蔵コンピュータから前記返信情報を取得
して前記ホスト処理パラメータテーブルを参照して当該
現在の状態に対応する前記メッセージを対応するマンマ
シンインターフェース装置に出力するものであり、前記
対応するマンマシンインターフェース装置が同時に複数
の前記製造装置／検査装置の状態を表示することを特徴
とする製造ライン。
【請求項２】内蔵コンピュータを有する複数の製造装
置／検査装置と、マンマシンインターフェース装置の接
続された複数のホストコンピュータとが設けられ、前記
各製造装置／検査装置と前記各ホストコンピュータとが
ローカルエリアネットワークによって相互に接続されて
いるコンピュータ統合型の製造ラインにおいて、前記各内蔵コンピュータは、当該製造装置／検査装置の
現在の状態を前記各ホストコンピュータに共通した書式
の返信情報で前記ローカルエリアネットワークに発信
し、前記ホストコンピュータのうちの１のものからの要
求に基づいて当該ホストコンピュータに排他的に制御権
を与え、前記制御権を有するホストコンピュータ名を記
憶し、前記制御権のあるホストコンピュータからの前記
各ホストコンピュータに共通した書式による制御コマン
ドを解釈して前記解釈に基づいて当該製造装置／検査装
置の処理を制御するものであり、前記各ホストコンピュータは、前記各製造装置／検査装置ごとに当該製造装置／検査装
置の行ない得る処理の種類と当該製造装置／検査装置の
取り得る状態の種類と前記処理の種類および前記状態の
種類ごとに当該処理および状態を統一的に記述するメッ
セージとを格納したホスト処理パラメータテーブルを有
し、前記マンマシンインターフェース装置を介して前記各製
造装置／検査装置のいずれかを監視する要求が入力した
とき、当該製造装置／検査装置の内蔵コンピュータとの
間に通信路が確立されていなければ前記通信路を確立
し、前記内蔵コンピュータから前記返信情報を取得して
前記ホスト処理パラメータテーブルを参照して当該現在
の状態に対応する前記メッセージを対応するマンマシン
インターフェース装置に出力し、前記マンマシンインターフェース装置を介して前記各製
造装置／検査装置のいずれかを制御する要求が入力した
とき、当該製造装置／検査装置の内蔵コンピュータとの
間に通信路が確立されていなければ前記通信路を確立
し、当該製造装置／検査装置に対する前記制御権を取得
していなければ前記制御権の取得を前記内蔵コンピュー
タに要求し、前記ホスト処理パラメータテーブルを参照
して当該製造装置／検査装置の行ない得る処理に対応す
るメッセージを前記マンマシンインターフェース装置に
出力し、前記行ない得る処理のうちのいずれかが前記マ
ンマシンインターフェース装置を介して選択されたとき
に当該処理を表わす制御コマンドを前記内蔵コンピュー
タに送信するものであることを特徴とする製造ライン。
【請求項３】マンマシンインターフェース装置が、製
造装置／検査装置の現在の状態を表わす画面と、特定の
前記製造装置／検査装置の運用とは無関係であるが製造
ライン全体の運用に必要な操作を表わす画面とを同時に
表示するものである請求項１または２に記載の製造ライ
ン。