JPH0545014A

JPH0545014A - マルチ形極低温冷凍機

Info

Publication number: JPH0545014A
Application number: JP19933291A
Authority: JP
Inventors: Hirotoshi Torii; 宏年鳥居; Hiroyuki Morishita; 弘之森下
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1991-08-08
Filing date: 1991-08-08
Publication date: 1993-02-23
Anticipated expiration: 2014-07-28
Also published as: JP2927064B2

Abstract

(57)【要約】【目的】複数の膨張機の運転差圧を最大にできて、各
膨張機の冷凍能力を同等化できると共に、各膨張機の冷
凍能力を向上できるようにすること。【構成】１台の圧縮機ユニット１に、シリンダ５に対
し高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排通路
８１を高圧ガス通路９と低圧ガス通路１０とに交互に切
換える弁体２１と、該弁体２１を駆動する同期形モータ
２２とから成る切換弁装置２０を内装した複数の極低温
膨張機４を接続する。前記モータ２２の駆動時における
電圧を検出する電圧検出器１４と、前記各モータ２２の
発停タイミングを、前記各モータ２２の電圧が最小値と
なるように制御するモータ駆動制御装置１５とを設け
て、前記電圧の減少に反比例して増大する運転差圧を最
大にできるようにし、各膨張機の冷凍能力を同等化でき
ると共に、各膨張機の冷凍能力を向上できるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マルチ形極低温冷凍
機、詳しくは、圧縮機ユニットから延びる高圧ガス管と
低圧ガス管との間に、各分岐管を介して複数の極低温膨
張機を並列に接続して成るマルチ形極低温冷凍機に関す
る。

【０００２】

【従来技術】従来、マルチ形極低温冷凍機は、特開平２
ー３８７９５号公報に示されているようにすでに提案さ
れている。この冷凍機は、図１１に示したように、圧縮
機をもった１台の圧縮機ユニットＡと、２台の極低温膨
張機Ｂとを備え、これら各膨張機Ｂを、前記圧縮機ユニ
ットＡから延びる高圧ガス管Ｃと低圧ガス管Ｄとにそれ
ぞれ高圧側分岐管Ｅ、低圧側分岐管Ｆを介して並列に接
続し、１台の圧縮機ユニットＡから各膨張機Ｂに高圧ガ
スを分配して供給すると共に、各膨張機Ｂから排出され
た低圧ガスを前記圧縮機ユニットＡに戻して循環させる
ようにしている。また、前記各膨張機Ｂは、高圧ガスの
導入と低圧ガスの排出とを行なう注排通路（図示せず）
と、この注排通路を高圧ガス通路と低圧ガス通路とに交
互に切換える弁体及び該弁体を駆動する同期形モータと
をもった切換弁装置（図示せず）と、高圧ガスの導入と
低圧ガスの排出とにより往復動するディスプレーサ（図
示せず）とを備えている。

【０００３】そして、これら各膨張機Ｂは、図１０
（ａ）（ｂ）に示すごとく前記各モータの発停により、
高圧ガスを注入する注入行程と、膨張した低圧ガスを排
出する排出行程とのサイクルで運転されるのであるが、
前記各モータの発停タイミングを考慮しない場合は、図
１０（ａ）に示したように複数の膨張機における注入行
程と排出行程とが交互に行われる運転と、図１０（ｂ）
に示したように注入行程と排出行程とが同期したり、図
示していないが、図１０（ａ）（ｂ）の中間の状態で運
転されることになる。

【０００４】一方、１台の圧縮機ユニットＡを用いて複
数の膨張機Ｂを運転する場合、これら各膨張機Ｂにおい
て注入が同時に行われる運転においては、前記圧縮機ユ
ニットＡから吐出される高圧ガスが、前記各膨張機Ｂに
分配されることになり、この結果、各膨張機Ｂへの高圧
ガス流量が減少することになるから、各膨張機Ｂでの注
入行程がずれている場合に比較して膨張機Ｂにおける運
転差圧、つまり高低差圧が小さくなり、それだけ能力が
小さくなるのである。

【０００５】即ち、図１０（ａ）のように各モータの発
停タイミングが半サイクルずれて、１台の圧縮機ユニッ
トＡからの高圧ガスが各膨張機Ｂに交互に供給される
と、膨張機Ｂ側での高圧ガスと低圧ガスとの差による運
転差圧△Ｐが最大となり、この運転差圧と比例する冷凍
能力を最大にできるのであり、また、図１０（ｂ）のよ
うに各モータの発停タイミングが同期して、１台の圧縮
機ユニットＡからの高圧ガスが分配されて各膨張機Ｂに
同時に供給されると、膨張機Ｂ側での高圧ガスと低圧ガ
スとの差による運転差圧△Ｐが最小となり、この運転差
圧と比例する冷凍能力が最小になるのである。

【０００６】そこで従来、前記した特開平２ー３８７９
５号公報に示されているように（図１２に記載）、前記
各膨張機ＢのディスプレーサＧに磁性体Ｈを設けると共
に、前記ディスプレーサＧを内装するシリンダＪに、前
記磁性体Ｈにより開閉動作する磁気近接スイッチＫを設
けて、この近接スイッチＫと前記磁性体Ｈとから成るス
トローク検出器により前記ディスプレーサＧの動作位置
を検出して、前記弁体駆動用モータの発停タイミングを
制御するようにしたものが提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】所が、この従来のマル
チ形極低温冷凍機は、ディスプレーサＧの動作位置を検
出して弁体駆動用モータの発停タイミングを制御するも
のであるから、各膨張機の冷凍能力との関係で前記モー
タの発停タイミングにバラツキがあり、この発停タイミ
ングを高精度に制御し難いのであって、各膨張機の冷凍
能力を同等化できない問題があるし、また、前記各膨張
機に容量差がある場合には前記発停タイミングの制御が
困難である。しかも、前記センサーを前記ディスプレー
サＧとシリンダＪとに組み込む必要があるから、このセ
ンサーの組込みが非常に煩雑であり、コスト高となるの
である。また、前記センサーは、磁性体を用いているか
ら、磁場のある箇所では前記モータの発停タイミングを
制御できない問題がある。

【０００８】本発明は複数の膨張機を運転する場合、各
膨張機における運転差圧の増加によって弁体駆動用モー
タの負荷トルクが増大し、逆に前記モータにおける端子
間電圧が低下すること、つまり、端子間電圧を検出する
ことにより運転差圧が検出できることに着目し、端子間
電圧を最小にし、運転差圧、つまり運転差圧に比例する
能力が最大になるようにしたものであって、目的は、各
膨張機のモータ駆動時における電圧を検出し、この検出
値に基づいて前記モータの発停タイミングを制御して、
各モータの電圧が最小となるように制御することによ
り、各膨張機における冷凍能力を向上できるようにする
点にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、圧縮機ユニット１から延びる高圧ガス
管２と低圧ガス管３との間に、各分岐管２ａ、３ａを介
して複数の極低温膨張機４を並列に接続すると共に、前
記各膨張機４は、ヒートステージ５１をもつシリンダ５
とモータハウジング７を備え、該モータハウジング７
に、高圧側受圧面２１ａと低圧側受圧面２１ｂとをも
ち、前記シリンダ５に対し高圧ガスの導入と低圧ガスの
排出とを行なう注排通路８１を、高圧ガス通路９と低圧
ガス通路１０とに交互に切換える弁体２１と、該弁体２
１を駆動する同期形モータ２２とから成る切換弁装置２
０を内装したマルチ形極低温冷凍機において、前記モー
タ２２の駆動時における電圧を検出する電圧検出器１４
を設けると共に、前記各膨張機４における前記各モータ
２２の発停タイミングを、前記各モータ２２の電圧が最
小値となるように制御するモータ駆動制御装置１５を設
けたのである。

【００１０】

【作用】前記各膨張機４における弁体２１の高圧側受圧
面２１ａには高圧ガス通路９内の高圧ガス圧力が作用
し、低圧側受圧面２１ｂにはシリンダ５内の低圧ガスを
低圧ガス通路１０に排出するときの低圧ガス圧力が作用
して、これら高圧、低圧の差による運転差圧により前記
弁体２１は注排通路８１側に押しつけられているから、
この弁体２１を駆動する前記各モータ２２の負荷トルク
は、図６に示すごとく運転差圧、つまり高低差圧の増大
に比例して負荷トルクが増大することになり、逆に前記
各膨張機４における前記各モータ２２の端子間電圧は、
図７に示すように前記モータの負荷トルクの増大に反比
例して減少することになり、前記端子間電圧は、図８の
ように運転差圧の増大に反比例して減少するのである。
従って、前記端子間電圧を検出することにより運転差
圧、つまり能力が検出できるのである。

【００１１】しかして、複数台の膨張機を運転すると
き、その各膨張機におけるモータ２２の電圧を電圧検出
器１４により検出し、この検出値に基づいてモータ駆動
制御装置１５により、各モータ２２の発停タイミングを
制御し、各モータ２２の電圧が最小値となるように制御
できるから、それぞれの膨張機を最大の運転差圧で運転
することができるのであって、各膨張機の冷凍能力を向
上できるし、また、各膨張機の能力を同等化できると共
に、圧力脈動も低減できるのである。また、容量の異な
る膨張機を用いる場合でも、ガス分配を最適にできる
し、また、モータの電圧を検出して前記モータの発停タ
イミングを制御するのであるから、つまり従来例のよう
に磁性体と近接スイッチとを用いて制御するものでない
から、磁場のある箇所であってもモータの発停タイミン
グを支障なく制御できるのである。

【００１２】

【実施例】図１に示した実施例では、圧縮機をもった１
台の圧縮機ユニット１から延びる１本の高圧ガス管２と
１本の低圧ガス管３とに、３本の高圧側分岐管２ａと３
本の低圧側分岐管３ａとを介してクライオポンプヘッド
として使用する３台の極低温膨張機４を並列に接続し、
前記圧縮機ユニット１から各膨張機４に高圧ガスを分配
して供給すると共に、各膨張機４から排出された低圧ガ
スを前記圧縮機ユニット１に戻して循環させるようにし
ている。

【００１３】また、前記各膨張機４は、図１、図２に示
すごとく端部と中間部とにヒートステージ５１を備え、
高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とで往復動するディス
プレーサ６を内装したシリンダ５と、前記各分岐管２
ａ、３ａの接続口７１、７２をもち、前記各シリンダ５
に連結するモータハウジング７とを備え、このモータハ
ウジング７内に、前記各接続口７１、７２と連通して前
記シリンダ５に対し高圧ガスの導入と低圧ガスの排出と
を行う注排通路８１をもった通路ブロック８と、高圧側
受圧面２１ａと低圧側受圧面２１ｂとをもち、前記注排
通路８１を前記接続口７１に連通する高圧ガス通路９と
前記接続口７２に連通する低圧ガス通路１０とに交互に
切換える弁体２１と、該弁体２１を駆動する同期形モー
タ２２から成る切換弁装置２０を配設し、前記各モータ
２２の発停制御により前記各弁体２１を開閉制御し、前
記注排通路８１を高圧ガス通路９に連通させることによ
り、前記高圧ガス管２から各シリンダ５内に高圧ガスを
導入して、前記ディスプレーサ６を復動させたり、ま
た、前記注排通路８１を低圧ガス通路１０と連通させる
ことにより、前記ディスプレーサ６を往動させ、前記各
シリンダ５内のガスを膨張させ、この膨張後の低圧ガス
が前記低圧ガス通路１０に排出させ、これら高圧ガスの
導入と排出との繰り返しにより前記ヒートステージ５１
に極低温を得るようにしている。

【００１４】また、前記各膨張機４における弁体２１の
高圧側受圧面２１ａには高圧ガス通路９内の高圧ガス圧
力が作用し、低圧側受圧面２１ｂにはシリンダ５内の低
圧ガスを低圧ガス通路１０に排出するときの低圧ガス圧
力が作用して、これら高圧、低圧の差による運転差圧に
より前記弁体２１は通路ブロック８に押しつけられてい
るから、この弁体２１を駆動する前記各モータ２２の負
荷トルクは、図６に示すごとく前記運転差圧の増大に比
例して増大することになるし、又、前記各膨張機４にお
ける前記各モータ２２の端子間電圧は、図７に示すよう
に前記モータの負荷トルクの増大に反比例して減少する
ことになる。因って図６及び図７により運転差圧と端子
間電圧とは、図８のように運転差圧の増大に端子間電圧
が反比例する関係になる。

【００１５】即ち、前記各膨張機４における前記同期形
モータ２２は、シンクロナスモータなどの三相同期形モ
ータを用いて、その第１端子ａをＲ相電源に、第２端子
ｂをＳ相電源にそれぞれ接続すると共に、前記第１端子
ａ回路に、抵抗とコンデンサとを備えたＲＣ回路を接続
し、このＲＣ回路を第３端子ｃに接続しているのであっ
て、前記第１端子ａと第３端子ｃとの端子間電圧Ｖ₁ 及
び前記第２端子ｂと第３端子ｃとの端子間電圧Ｖ₂ は図
８のように運転差圧の増大に反比例することになる。

【００１６】尚、図１において１１は前記各シリンダ５
の端部側ヒートステージ５１に取付けたヒートパネル、
１２は前記各シリンダ５の中間部側ヒートステージ５１
に取付けたヒートシールド、１３は前記各ヒートシール
ド１２に取付けたバッフルである。

【００１７】しかして、本発明は、以上のごとく構成す
るマルチ形極低温冷凍機において、前記各モータ２２に
おける前記端子間電圧Ｖ₁ 、Ｖ₂ の何れか一方を検出す
る電圧検出器１４を設けると共に、前記各膨張機４にお
ける前記各モータ２２の発停タイミングを、前記各モー
タ２２の端子間電圧Ｖ₁ が最小値となるように制御する
モータ駆動制御装置１５を設けたのである。

【００１８】図１及び図３に示した実施例における前記
モータ駆動制御装置１５は、前記各膨張機４の全台数を
運転した場合におけるモータの端子間電圧Ｖ₁ が最小と
なる目標最小値Ｖ（ｉ）を演算して設定する演算部と、
前記目標最小値Ｖ（ｉ）を記憶させる記憶部を備え、各
膨張機４におけるモータの端子間電圧Ｖ₁ が前記目標最
小値Ｖ（ｉ）となるように各モータ２２の発停タイミン
グを制御するように成すのである。即ち、膨張機４を図
１のように３台接続する場合、これら全台数を運転した
場合における前記各モータの端子間電圧が最小となる目
標最小値Ｖ（ｉ）を予め設定し、先ず基準となる特定の
膨張機４を運転している状態で、２台目の膨張機４を運
転する場合、この膨張機４におけるモータを、目標最小
値Ｖ（ｉ）の制約をもとに制御するのであり、更に３台
目の膨張機４を運転する場合、その直前に運転する２台
目の前記膨張機４を基準に目標最小値Ｖ（ｉ）の制約の
もとに、該膨張機４におけるモータを制御するのであ
る。

【００１９】次に以上のごとく３台の極低温膨張機４を
備えた冷凍機の作動を、図４に示したフローチャートに
基づいて説明する。

【００２０】先ず、予めスタートに先立って膨張機４の
接続台数Ｎに応じ、その全ての膨張機４を運転した場合
におけるモータ２２の端子間電圧Ｖ₁ が最小となる目標
最小値Ｖ（ｉ）を初期設定するのである。

【００２１】ステップＳ１で、基準となる１台目の膨張
機（Ｎ０．１）のＮ０．１モータ２２を起動すると共
に、このモータ２２が起動したときの運転台数ｉを１と
する。

【００２２】そして、ステップＳ２では、前記モータの
運転台数ｉが接続台数以上か否かが判断され、Ｎ０の場
合、つまり運転台数ｉが１台の場合には、ステップＳ３
に移り、２台目の膨張機４のモータを運転するに先立
ち、運転台数ｉが２となるように設定し、然る後ステッ
プＳ４において、２台目の膨張機におけるモータ２２
（Ｎ０．２）を起動する。

【００２３】そして、ステップＳ５において、２台目膨
張機におけるＮ０．２モータ２２の端子間電圧Ｖ₁ が検
出され、この電圧Ｖ₁ がステップＳ６において、予め設
定した目標最小値Ｖ（ｉ）と比較される。

【００２４】この比較にいて、前記電圧Ｖ₁ が目標最小
値Ｖ（ｉ）以下の場合、１台目膨張機４のＮ０．１モー
タ２２における発停タイミングと２台目膨張機４のＮ
０．２モータ２２における発停タイミングとが適正ずれ
で行われることになるから、２台目膨張機のＮ０．２モ
ータの運転は継続され、ステップＳ２に戻り、このステ
ップＳ２を経てステップＳ３に移り、このステップＳ３
で３台目の膨張機４のＮ０．３モータを運転するに先立
ち、運転台数ｉが３になるように設定し、ステップＳ４
で３台目の膨張機におけるＮ０．３モータ２２を起動す
るのである。この場合も前記同様、ステップＳ５におい
てＮ０．３モータの端子間電圧Ｖ₁ が検出され、ステッ
プＳ６において予め設定した目標最小値Ｖ（ｉ）と比較
される。

【００２５】そして、この比較において前記電圧Ｖ₁ が
目標最小値Ｖ（ｉ）以下の場合は、Ｎ０．３モータの運
転は継続され、ステップＳ２に戻る。

【００２６】この場合、運転台数ｉは３となり、接続台
数Ｎと等しくなるから、ステップＳ２においてリターン
され、各モータの運転が継続されるのである。

【００２７】また一方、前記ステップＳ６の比較におい
て、前記Ｎ０．２モータ２２における端子間電圧Ｖ₁ の
検出値が前記目標最小値Ｖ（ｉ）を越えている場合は、
ステップＳ７で前記モータ駆動制御装置１５によりＮ
０．２モータ２２を一旦止める。そして、ステップＳ８
でタイマがＴ秒間セットされて計時を開始し、ステップ
Ｓ９において前記タイマがタイムアップしたか否かを判
定して、タイムアップしていない場合は計時を継続し、
また、タイムアップすればステップＳ５に戻り、前記ス
テップＳ６においてＮ０．２モータの端子間電圧Ｖ₁ の
検出値が目標最小値Ｖ（ｉ）と再び比較され、目標最小
値Ｖ（ｉ）以下であれぱ、前記ステップＳ２に戻り、ス
テップＳ４においてＮ０．２モータが再起動され、ステ
ップＳ６での判定が繰り返される。

【００２８】また、前記ステップＳ６において、前記Ｎ
０．３モータ２２における端子間電圧Ｖ₁ の検出値が前
記目標最小値Ｖ（ｉ）を越えている場合もＮ０．２モー
タの場合と同様ステップＳ７〜ステップＳ９及びステッ
プＳ５、ステップＳ６の制御が行われ、Ｎ０．３モータ
２２の端子間電圧Ｖ₁ の検出値が、前記目標最小値Ｖ
（ｉ）以下になった後、ステップＳ２に戻り、ステップ
Ｓ４においてＮ０．３モータ２２が再起動され、ステッ
プＳ６での判定が繰り返される。従って、以上の制御に
よりＮ０．２及びＮ０．３モータ２２は、３台接続の場
合における最小の端子間電圧に制御され、各膨張機４に
おいては、最大の運転差圧で運転される。

【００２９】尚、前記ステップＳ９においてタイマで計
時する場合、前記各モータ２２の定格周波数５０Ｈｚ．
６０Ｈｚに対応した最適な時間を予め設定するのであ
る。

【００３０】以上のごとく３台の膨張機４におけるモー
タ２２の発停タイミングを１／３サイクルずらして、３
台運転時における端子間電圧Ｖ₁ が最小になるように制
御することにより、各膨張機の運転差圧を最大にできる
ので、各膨張機４の冷凍能力を同等化できると共に、個
々の冷凍能力を向上できるのであり、また、前記注排サ
イクルを１／３サイクルずらせることにより、各膨張機
４における圧力脈動のバラツキを小さくできるのであ
る。また、以上説明した実施例では、前記複数の膨張機
を運転制御する方法として、目標最小値Ｖ（ｉ）を設定
し、この目標最小値Ｖ（ｉ）をもとにＮ０．２及びＮ
０．３モータ２２の運転時期をずらすように制御した
が、その他、図９に示したフローチャートのように制御
してもよい。図９に示したフローチヤートは、ステップ
Ｓ１０において、先ず基準となる１台目の膨張機４のＮ
０．１モータ２２を起動し、ステップＳ１１において２
台目及び３台目の膨張機４のＮ０．２及びＮ０．３モー
タ２２を、その発停タイミングが同期するように、換言
すると、Ｎ０．２及びＮ０．３モータ２２における端子
間電圧Ｖ₁ が最大となるように起動するのである。

【００３１】そして、ステップＳ１２において、Ｎ０．
２及びＮ０．３モータ２２を停止した後、ステップＳ１
３においてＮ０．２モータ２２を再起動する時間Ｔ₁ 、
例えば１４０秒と、Ｎ０．３モータ２２を再起動する時
間Ｔ₂ 、例えば２８０秒とをセットするのである。

【００３２】然る後ステップＳ１４において、時間Ｔ₁
が経過したかどうかが判断され、ｙｅｓの場合にはステ
ップＳ１５でＮ０．２モータ２２を再起動するのであ
り、また、ステップＳ１６において時間Ｔ₂ が経過した
かどうかが判断され、ｙｅｓの場合にはステップＳ１７
でＮ０．３モータ２２を再起動するのである。

【００３３】しかして、前記時間Ｔ₁ 、Ｔ₂ は、端子間
電圧Ｖ₁ が最小となる時間差、即ち、注排サイクルが例
えばＴ秒の場合、Ｎ０．１モータ２２に対し１／３サイ
クル遅れた時間差となるＴ₁ 秒後にＮ０．２モータが再
起動すると共に、Ｎ０．３モータ２２をＮ０．１モータ
２２に対し２／３サイクル遅れた時間差となるＴ₂ 秒後
に再起動させるのであって、この起動調節により、これ
らＮ０．２及びＮ０．３モータ２２の端子間電圧Ｖ₁ を
最小値にできるのである。

【００３４】しかして、この運転方法においても、３台
の膨張機４におけるモータの発停タイミングを１／３サ
イクルずらして、３台運転時における端子間電圧Ｖ₁ を
最小に制御できるのであるから、図５に示すごとく３台
の各膨張機４における各モータ２２による注排サイクル
を１／３サイクルずつずらすことができるので、各膨張
機４の運転差圧を最大にできるのである。

【００３５】尚、以上説明した実施例では、前記各モー
タ２２の駆動時における前記第１端子ａと第３端子ｃと
の端子間電圧Ｖ₁ を電圧検出器１４で検出するようにし
たが、その他、前記各モータ２２の駆動時における前記
第２端子ｂと第３端子ｃとの端子間電圧Ｖ₂ を検出して
もよい。しかし、図７、図８のごとく端子間電圧Ｖ₂よ
りも端子間電圧Ｖ₁ の変化量の方が大きいので、端子間
電圧Ｖ₁ を検出するのが好ましい。

【００３６】

【発明の効果】以上のごとく本発明は、弁体２１を駆動
する同期形モータ２２の駆動時における電圧を検出する
電圧検出器１４を設けて、各モータ２２の電圧を検出
し、この検出値に基づいて前記各モータ２２の発停タイ
ミングを、各モータ２２の電圧が最小値となるように制
御し、この端子間電圧の減少に反比例して増大する運転
差圧を最大にできるようにしたから、各膨張機の冷凍能
力を向上できるし、また、各膨張機の能力を同等化でき
ると共に、圧力脈動も低減できるのである。また、容量
の異なる膨張機を用いる場合でも、ガス分配を最適にで
きるし、また、モータの電圧を検出して前記モータの発
停タイミングを制御するのであるから、つまり従来例の
ように磁性体と近接スイッチとを用いて制御するもので
ないから、磁場のある箇所であってもモータの発停タイ
ミングを支障なく制御できるのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明冷凍機の回路図である。

【図２】極低温膨張機の一部を省略した部分断面図であ
る。

【図３】極低温膨張機のモータの電気回路図である。

【図４】フローチャートである。

【図５】３台の極低温膨張機を運転して、その運転差圧
を最大にしたときのガスの注排サイクルを表す説明図で
ある。

【図６】運転差圧と負荷トルクとの関係を示すグラフで
ある。

【図７】負荷トルクと端子間電圧との関係を示すグラフ
である。

【図８】運転差圧と端子間電圧との関係を示すグラフで
ある。

【図９】別のフローチャートである。

【図１０】２台の極低温膨張機を運転して、その運転差
圧を最大と最小にしたときのガスの注排サイクルを表す
説明図である。

【図１１】従来冷凍機の回路図である。

【図１２】同従来冷凍機における極低温膨張機の一部を
省略した部分断面図である。

【符号の説明】

１圧縮機ユニット２高圧ガス管３低圧ガス管４極低温膨張機５シリンダ７モータハウジング９高圧ガス通路１０低圧ガス通路１４電圧検出器１５モータ駆動制御装置２０切換弁装置２１弁体２１ａ高圧側受圧面２１ｂ低圧側受圧面２２モータ８１注排通路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧縮機ユニット１から延びる高圧ガス管２
と低圧ガス管３との間に、各分岐管２ａ、３ａを介して
複数の極低温膨張機４を並列に接続すると共に、前記各
膨張機４は、ヒートステージ５１をもつシリンダ５とモ
ータハウジング７を備え、該モータハウジング７に、高
圧側受圧面２１ａと低圧側受圧面２１ｂとをもち、前記
シリンダ５に対し高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを
行なう注排通路８１を、高圧ガス通路９と低圧ガス通路
１０とに交互に切換える弁体２１と、該弁体２１を駆動
する同期形モータ２２とから成る切換弁装置２０を内装
したマルチ形極低温冷凍機において、前記モータ２２の
駆動時における電圧を検出する電圧検出器１４を設ける
と共に、前記各膨張機４における前記各モータ２２の発
停タイミングを、前記各モータ２２の電圧が最小値とな
るように制御するモータ駆動制御装置１５を設けている
ことを特徴とするマルチ形極低温冷凍機。