JPH0544774A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPH0544774A JPH0544774A JP3200835A JP20083591A JPH0544774A JP H0544774 A JPH0544774 A JP H0544774A JP 3200835 A JP3200835 A JP 3200835A JP 20083591 A JP20083591 A JP 20083591A JP H0544774 A JPH0544774 A JP H0544774A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- vibration isolation
- vibration
- isolation device
- natural frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】定盤の重量および体積を増大させることなく、
定盤の固有振動数を高めることにより、高い除振性能を
有する除振装置を提供する。 【構成】対象物を搭載する面を有する定盤を有し、前記
定盤は、搭載面の外周において、直交していない隣接す
る二辺を有することを特徴とする。
定盤の固有振動数を高めることにより、高い除振性能を
有する除振装置を提供する。 【構成】対象物を搭載する面を有する定盤を有し、前記
定盤は、搭載面の外周において、直交していない隣接す
る二辺を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密測定機用の除振装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の除振装置を、図６および図７を用
いて説明する。図６のように、従来の除振装置におい
て、正方形または長方形の機器搭載面を有する定盤１０
１は、正方形または長方形フレーム１０３上に配置され
た４個の空気バネまたは防振ゴム１０２によって加重を
支持されていた。空気バネまたは防振ゴム１０２は、図
７に示すように、低周波数領域に固有振動数を有し、一
方、定盤１０１は、高周波数領域に固有振動数を有して
いた。
いて説明する。図６のように、従来の除振装置におい
て、正方形または長方形の機器搭載面を有する定盤１０
１は、正方形または長方形フレーム１０３上に配置され
た４個の空気バネまたは防振ゴム１０２によって加重を
支持されていた。空気バネまたは防振ゴム１０２は、図
７に示すように、低周波数領域に固有振動数を有し、一
方、定盤１０１は、高周波数領域に固有振動数を有して
いた。
【０００３】除振装置の除振特性を向上させるため、空
気バネまたは防振ゴム１０２の固有振動数と、定盤１０
１との固有振動数との差を大きくすることが望まれてお
り、定盤１０１の厚さを大きすることにより、定盤１０
１の固有振動数を高める工夫が行われていた。
気バネまたは防振ゴム１０２の固有振動数と、定盤１０
１との固有振動数との差を大きくすることが望まれてお
り、定盤１０１の厚さを大きすることにより、定盤１０
１の固有振動数を高める工夫が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
除振装置において、定盤の固有振動数を高めるため、定
盤の厚さを大きくした場合、重量が増えてしまうという
問題があった。
除振装置において、定盤の固有振動数を高めるため、定
盤の厚さを大きくした場合、重量が増えてしまうという
問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題を解決するため
に、定盤の重量および体積を増大させることなく、定盤
の固有振動数を高めることにより、高い除振性能を有す
る除振装置を提供することを目的とする。
に、定盤の重量および体積を増大させることなく、定盤
の固有振動数を高めることにより、高い除振性能を有す
る除振装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、対象物を搭載する面を有する定盤
を有し、前記定盤は、搭載面の外周において、直交して
いない隣接する二辺を有することを特徴とする除振装置
が提供される。
に、本発明によれば、対象物を搭載する面を有する定盤
を有し、前記定盤は、搭載面の外周において、直交して
いない隣接する二辺を有することを特徴とする除振装置
が提供される。
【０００７】前記定盤の搭載面の外周は、外周の一部の
辺がそれ自身もしくはその延長線を用いて仮想的に三角
形を構成する辺を有することが可能である。
辺がそれ自身もしくはその延長線を用いて仮想的に三角
形を構成する辺を有することが可能である。
【０００８】
【作用】従来の定盤は長方形もしくは正方形の形態を持
つので、振動が定在波を発生しやすかった。これに対
し、本発明は、仮想三角形を構成するような辺を有する
ため、低周波数での定在波を発生しにくいと考えられ
る。従って、固有振動数が、従来の形態のものより高い
周波数側に移るので、本発明の定盤によれば、定盤の厚
さが薄くても、高い除振性能が得られる。
つので、振動が定在波を発生しやすかった。これに対
し、本発明は、仮想三角形を構成するような辺を有する
ため、低周波数での定在波を発生しにくいと考えられ
る。従って、固有振動数が、従来の形態のものより高い
周波数側に移るので、本発明の定盤によれば、定盤の厚
さが薄くても、高い除振性能が得られる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。図
１は、本発明の第１の実施例の除振装置の一例を示した
斜視図である。図１のように、定盤１において、対象物
を搭載する搭載面は、辺１１、１２、１３から構成され
る三角形を有しており、フレーム３上に配置された空気
バネ２ａ、２ｂ、２ｃにより３点で加重を支持される。
定盤１の搭載面の辺１１、１２、１３の長さは、それぞ
れ４５０ｍｍ、隣接する二辺のなす角は６０度の正三角
形であり、厚さ３０ｍｍの板状である。
１は、本発明の第１の実施例の除振装置の一例を示した
斜視図である。図１のように、定盤１において、対象物
を搭載する搭載面は、辺１１、１２、１３から構成され
る三角形を有しており、フレーム３上に配置された空気
バネ２ａ、２ｂ、２ｃにより３点で加重を支持される。
定盤１の搭載面の辺１１、１２、１３の長さは、それぞ
れ４５０ｍｍ、隣接する二辺のなす角は６０度の正三角
形であり、厚さ３０ｍｍの板状である。
【００１０】定盤１の固有振動数を、以下のような方法
で測定した。図２は、固有振動数の測定方法を示す説明
図である。まず、図２に示すように、加速度ピックアッ
プ４を取り付けた定盤１に、加振用ハンマ５で打撃を加
えて、強制的に加振させる。発生した振動を、加速度ピ
ックアップ４で検出し、ピックアップ用チャージアンプ
６を介して、電気信号に変換し、ＦＦＴアナライザ７に
入力する。ＦＦＴアナライザ７によって、電気信号を周
波数分析し、振動波形に含まれるあらゆる周波数成分の
うち、顕著な周波数を検出する。この顕著な周波数が、
固有振動数であり、本実施例では、固有振動数中で最も
低い周波数を、第１次の固有振動数とした。
で測定した。図２は、固有振動数の測定方法を示す説明
図である。まず、図２に示すように、加速度ピックアッ
プ４を取り付けた定盤１に、加振用ハンマ５で打撃を加
えて、強制的に加振させる。発生した振動を、加速度ピ
ックアップ４で検出し、ピックアップ用チャージアンプ
６を介して、電気信号に変換し、ＦＦＴアナライザ７に
入力する。ＦＦＴアナライザ７によって、電気信号を周
波数分析し、振動波形に含まれるあらゆる周波数成分の
うち、顕著な周波数を検出する。この顕著な周波数が、
固有振動数であり、本実施例では、固有振動数中で最も
低い周波数を、第１次の固有振動数とした。
【００１１】上述の方法で測定した、定盤１の第１次の
固有振動数は、図３（ｂ）に示すように、９５６Ｈｚで
あり、比較例として同様の方法で測定した図３（ａ）に
示した一辺３４２ｍｍ、厚さ３０ｍｍの正方形の定盤の
８６１Ｈｚと比較して、周波数が高く、除振性能が優れ
ていることがわかった。比較例の定盤は、定盤１を同一
材料で作製し、体積が等しくなるようにした。
固有振動数は、図３（ｂ）に示すように、９５６Ｈｚで
あり、比較例として同様の方法で測定した図３（ａ）に
示した一辺３４２ｍｍ、厚さ３０ｍｍの正方形の定盤の
８６１Ｈｚと比較して、周波数が高く、除振性能が優れ
ていることがわかった。比較例の定盤は、定盤１を同一
材料で作製し、体積が等しくなるようにした。
【００１２】次に、本発明の第２の実施例として、図３
（ｃ）から（ｊ）形状の定盤を作製し、上述の方法で固
有振動数を測定した。図３（ｃ）から（ｊ）は、定盤の
搭載面の形状と、測定した第１次の固有振動数を示すも
のである。これらの定盤は、搭載面の外周において、直
交していない隣接する二辺を有し、また、外周の一部の
辺がそれ自身もしくはその延長線を用いて仮想的に三角
形を構成する。これらの定盤の材料は定盤１と同じもの
とし、厚さおよび各辺の長さは、定盤１と同じ厚さ、同
じ体積になるように決定した。測定を行った図３（ｃ）
から（ｊ）に示した定盤は、いずれも、図３（ａ）に示
した比較例の正方形の定盤より、高い固有振動数を有し
ていることがわかった。特に、搭載面の底角の一方が、
５９度から６４度であり、かつ、高さは、底辺の７５％
から９０％のものが、高い固有振動数を有し、除振性能
が優れていることがわかった。
（ｃ）から（ｊ）形状の定盤を作製し、上述の方法で固
有振動数を測定した。図３（ｃ）から（ｊ）は、定盤の
搭載面の形状と、測定した第１次の固有振動数を示すも
のである。これらの定盤は、搭載面の外周において、直
交していない隣接する二辺を有し、また、外周の一部の
辺がそれ自身もしくはその延長線を用いて仮想的に三角
形を構成する。これらの定盤の材料は定盤１と同じもの
とし、厚さおよび各辺の長さは、定盤１と同じ厚さ、同
じ体積になるように決定した。測定を行った図３（ｃ）
から（ｊ）に示した定盤は、いずれも、図３（ａ）に示
した比較例の正方形の定盤より、高い固有振動数を有し
ていることがわかった。特に、搭載面の底角の一方が、
５９度から６４度であり、かつ、高さは、底辺の７５％
から９０％のものが、高い固有振動数を有し、除振性能
が優れていることがわかった。
【００１３】図４は、本発明の第３の実施例を示す斜視
図である。定盤２１の搭載面は、長さ６８０ｍｍの長辺
２１１、２１３、２１５と、長さ１１６ｍｍの短辺２１
２、２１４、２１６を交互に有する六角形であり、定盤
２１の厚さは、１５０ｍｍである。長辺およびその延長
線は正三角形を形成する。定盤２１は、フレーム２３上
に配置された空気バネ２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃに
より、荷重を３点で支持されている。また、定盤２１
は、内部に図５に示すような、リブ構造を有している。
図５（ａ）は、定盤２１の断面図、（ｂ）は、定盤２１
を底面から見た図である。
図である。定盤２１の搭載面は、長さ６８０ｍｍの長辺
２１１、２１３、２１５と、長さ１１６ｍｍの短辺２１
２、２１４、２１６を交互に有する六角形であり、定盤
２１の厚さは、１５０ｍｍである。長辺およびその延長
線は正三角形を形成する。定盤２１は、フレーム２３上
に配置された空気バネ２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃに
より、荷重を３点で支持されている。また、定盤２１
は、内部に図５に示すような、リブ構造を有している。
図５（ａ）は、定盤２１の断面図、（ｂ）は、定盤２１
を底面から見た図である。
【００１４】定盤２１の固有振動数を、上述の方法と同
様に測定したところ、７６０Ｈｚであり、従来の正方形
の定盤より、高い固有振動数を有しており、除振性能が
優れていることがわかった。
様に測定したところ、７６０Ｈｚであり、従来の正方形
の定盤より、高い固有振動数を有しており、除振性能が
優れていることがわかった。
【００１５】上述のように、本実施例の定盤を用いるこ
とにより、定盤の厚さを増加させることなく、高い固有
振動数を有する定盤が得られる。したがって、防振ゴム
もしくは空気バネの固有振動数との差を大きくすること
ができるため、高い除振性能を有する除振装置を提供す
ることができる。
とにより、定盤の厚さを増加させることなく、高い固有
振動数を有する定盤が得られる。したがって、防振ゴム
もしくは空気バネの固有振動数との差を大きくすること
ができるため、高い除振性能を有する除振装置を提供す
ることができる。
【００１６】本発明は、本実施例に示した定盤を有する
除振装置に限定されるものではなく、搭載面の外周にお
いて、直交していない隣接する二辺を有する定盤を有す
る除振装置であればよい。
除振装置に限定されるものではなく、搭載面の外周にお
いて、直交していない隣接する二辺を有する定盤を有す
る除振装置であればよい。
【００１７】また、本発明に用いられる定盤は、面取り
を施すことにより使い勝手を向上させることができる。
を施すことにより使い勝手を向上させることができる。
【００１８】
【発明の効果】上述のように、本発明を用いることによ
り、定盤の重量および体積を増大させることなく、定盤
の固有振動数を高めることができ、高い除振性能を有す
る除振装置が提供される。
り、定盤の重量および体積を増大させることなく、定盤
の固有振動数を高めることができ、高い除振性能を有す
る除振装置が提供される。
【図１】本発明の除振装置の一例を示す斜視図。
【図２】本実施例で用いた固有振動数の測定方法を示す
説明図。
説明図。
【図３】本発明の定盤の形状の一例と、測定した第１次
の固有振動数を示す説明図。
の固有振動数を示す説明図。
【図４】本発明の第２の実施例を示す斜視図。
【図５】本発明の第２の実施例の定盤２１の断面図、お
よび、底面図。
よび、底面図。
【図６】従来の除振装置の一例を示す斜視図。
【図７】定盤、および、防振ゴムまたは空気バネの振動
伝達率を示す図。
伝達率を示す図。
１…定盤、２…空気バネ、３…フレーム、４…加速度ピ
ックアップ、５…加振用ハンマ、６…ピックアップ用チ
ャージアンプ、７…ＦＦＴアナライザ、１０１…定盤、
１０２…空気バネ、１０３…フレーム、２１…定盤、２
２２…空気バネ、２３…フレーム
ックアップ、５…加振用ハンマ、６…ピックアップ用チ
ャージアンプ、７…ＦＦＴアナライザ、１０１…定盤、
１０２…空気バネ、１０３…フレーム、２１…定盤、２
２２…空気バネ、２３…フレーム
Claims (9)
- 【請求項１】対象物を搭載する面を有する定盤を有し、
前記定盤は、搭載面の外周において、直交していない隣
接する二辺を有することを特徴とする除振装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記定盤の搭載面の外
周は、外周の一部の辺がそれ自身もしくはその延長線を
用いて仮想的に三角形を構成する辺を有することを特徴
とする除振装置。 - 【請求項３】請求項２において、前記搭載面の外周は、
三角形であることを特徴とする除振装置。 - 【請求項４】請求項２において、前記搭載面の外周は、
台形であることを特徴とする除振装置。 - 【請求項５】請求項２において、前記搭載面の外周は、
長辺と短辺を交互に有する六角形であることを特徴とす
る除振装置。 - 【請求項６】請求項３において、前記三角形の底角の少
なくとも一方は５９度から６４度であり、かつ、前記三
角形の高さは、底辺の７５％から９０％の長さであるこ
とを特徴とする除振装置。 - 【請求項７】請求項４において、前記台形の底角の少な
くとも一方は５９度から６４度であり、かつ、前記台形
の高さは、底辺の７５％から９０％の長さであることを
特徴とする除振装置。 - 【請求項８】請求項１、２、３、４、５、６または７に
おいて、前記定盤を支持するフレームをさらに有するこ
とを特徴とする除振装置。 - 【請求項９】請求項８において、前記フレームは３点で
前記定盤の荷重を支持することを特徴とする除振装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200835A JPH0544774A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 除振装置 |
| US07/922,505 US5317153A (en) | 1991-08-08 | 1992-07-31 | Scanning probe microscope |
| EP92307220A EP0529846A1 (en) | 1991-08-08 | 1992-08-07 | Scanning probe microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200835A JPH0544774A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544774A true JPH0544774A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16431002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3200835A Pending JPH0544774A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-09 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544774A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005319522A (ja) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Canon Inc | 装置用定盤 |
| JP2007187180A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Tokkyokiki Corp | 動吸振器 |
| JP2011504571A (ja) * | 2007-11-22 | 2011-02-10 | アストリウム エスアーエス | エラストマーに基づいた、振動および衝撃を多軸式に防振するためのモジュール装置 |
-
1991
- 1991-08-09 JP JP3200835A patent/JPH0544774A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005319522A (ja) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Canon Inc | 装置用定盤 |
| JP2007187180A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Tokkyokiki Corp | 動吸振器 |
| JP4624266B2 (ja) * | 2006-01-11 | 2011-02-02 | 特許機器株式会社 | 動吸振器 |
| JP2011504571A (ja) * | 2007-11-22 | 2011-02-10 | アストリウム エスアーエス | エラストマーに基づいた、振動および衝撃を多軸式に防振するためのモジュール装置 |
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