JPH11325180A - 防振器具 - Google Patents
防振器具Info
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- JPH11325180A JPH11325180A JP14843498A JP14843498A JPH11325180A JP H11325180 A JPH11325180 A JP H11325180A JP 14843498 A JP14843498 A JP 14843498A JP 14843498 A JP14843498 A JP 14843498A JP H11325180 A JPH11325180 A JP H11325180A
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- absorbing material
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Abstract
(57)【要約】
【課題】微振動まで十分に振動を吸収し、しかも薄形で
安価な防振器具を提供する。 【解決手段】剛性を有する板状体２の下面に、衝撃吸収
率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．
６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下
の範囲にある衝撃吸収材層５が形成された防振器具であ
って、上記衝撃吸収材層５が、硬度の異なる複数枚の衝
撃吸収材３，４が積層されて構成されるようにした。
安価な防振器具を提供する。 【解決手段】剛性を有する板状体２の下面に、衝撃吸収
率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．
６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下
の範囲にある衝撃吸収材層５が形成された防振器具であ
って、上記衝撃吸収材層５が、硬度の異なる複数枚の衝
撃吸収材３，４が積層されて構成されるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学顕微鏡・電子
顕微鏡・医療機器・各種計測器・精密機器等の設置品
が、振動等の影響を受けるのを防止する防振器具に関す
るものである。
顕微鏡・医療機器・各種計測器・精密機器等の設置品
が、振動等の影響を受けるのを防止する防振器具に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、光学顕微鏡・電子顕微鏡・各
種計測器等は、床振動が伝わって機器自体が振動する
と、画像がぶれたり測定誤差が大きくなったりする。こ
のため、機器の下に防振ゴムを敷いたり防振装置を設置
することにより、床振動の影響をできるだけ減少させる
ことが行われている。
種計測器等は、床振動が伝わって機器自体が振動する
と、画像がぶれたり測定誤差が大きくなったりする。こ
のため、機器の下に防振ゴムを敷いたり防振装置を設置
することにより、床振動の影響をできるだけ減少させる
ことが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように防振ゴムを敷く方法では、比較的大きな振動は吸
収できるが、微振動まで十分に吸収することができない
という問題がある。また、防振装置は、ばねやダンパを
使用するため、装置自体が大形となり、機器の下に設置
するとその分だけ機器の高さが高くなって操作性に難が
生じる。また、微振動まで十分に吸収するものは極めて
少なく、しかも装置そのものが非常に高価であるという
問題がある。
ように防振ゴムを敷く方法では、比較的大きな振動は吸
収できるが、微振動まで十分に吸収することができない
という問題がある。また、防振装置は、ばねやダンパを
使用するため、装置自体が大形となり、機器の下に設置
するとその分だけ機器の高さが高くなって操作性に難が
生じる。また、微振動まで十分に吸収するものは極めて
少なく、しかも装置そのものが非常に高価であるという
問題がある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、微振動まで十分に振動を吸収し、しかも薄形で
安価な防振器具の提供をその目的とする。
もので、微振動まで十分に振動を吸収し、しかも薄形で
安価な防振器具の提供をその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の防振器具は、剛性を有する板状体の下面
に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃ
ｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以
上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が形成された防振
器具であって、上記衝撃吸収材層が、硬度の異なる複数
枚の衝撃吸収材が積層されて構成されていることを第１
の要旨とする。
め、本発明の防振器具は、剛性を有する板状体の下面
に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃ
ｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以
上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が形成された防振
器具であって、上記衝撃吸収材層が、硬度の異なる複数
枚の衝撃吸収材が積層されて構成されていることを第１
の要旨とする。
【０００６】また、本発明の防振器具は、剛性を有する
板状体の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が
０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカ
ーＣ硬度が１以上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が
形成された防振器具であって、上記衝撃吸収材層中に、
エア保持空間が形成されていることを第２の要旨とす
る。
板状体の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が
０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカ
ーＣ硬度が１以上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が
形成された防振器具であって、上記衝撃吸収材層中に、
エア保持空間が形成されていることを第２の要旨とす
る。
【０００７】本発明の防振器具は、剛性を有する板状体
の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が０．３ｋ
ｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度
が１以上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が形成され
た防振器具であって、上記衝撃吸収材層中に、鉛層が形
成されていることを第３の要旨とする。
の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、粘着力が０．３ｋ
ｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度
が１以上５０以下の範囲にある衝撃吸収材層が形成され
た防振器具であって、上記衝撃吸収材層中に、鉛層が形
成されていることを第３の要旨とする。
【０００８】すなわち、本発明の第１の防振器具は、剛
性を有する板状体の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、
粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以
下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下の範囲にある衝撃
吸収材層が形成された防振器具である。そして、上記衝
撃吸収材層が、硬度の異なる複数枚の衝撃吸収材が積層
されて構成されている。このため、硬度の低い衝撃吸収
材によって、周波数の低い振動から高い振動まで全体的
に振動を吸収する。同時に、硬度の高い衝撃吸収材は、
反発弾性が高いため、特に周波数が高い微振動を効率的
に吸収する。したがって、特に微振動の吸収性能に優れ
た防振器具となり、顕微鏡や精密計測器の下に設置する
ことにより、画像のぶれや測定誤差が生じるのを有効に
防止することができる。
性を有する板状体の下面に、衝撃吸収率が８０％以上、
粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以
下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下の範囲にある衝撃
吸収材層が形成された防振器具である。そして、上記衝
撃吸収材層が、硬度の異なる複数枚の衝撃吸収材が積層
されて構成されている。このため、硬度の低い衝撃吸収
材によって、周波数の低い振動から高い振動まで全体的
に振動を吸収する。同時に、硬度の高い衝撃吸収材は、
反発弾性が高いため、特に周波数が高い微振動を効率的
に吸収する。したがって、特に微振動の吸収性能に優れ
た防振器具となり、顕微鏡や精密計測器の下に設置する
ことにより、画像のぶれや測定誤差が生じるのを有効に
防止することができる。
【０００９】また、本発明の第２の防振器具は、衝撃吸
収材層中に、エア保持空間が形成されている。このた
め、上記エア保持空間がいわばエアダンパとして作用し
て振動を吸収する。また、上記エア保持空間の存在によ
り、特に横方向の振動を効率的に吸収するため、顕微鏡
や精密計測器に用いた場合に、画像のぶれや測定誤差を
有効に防止することができる。
収材層中に、エア保持空間が形成されている。このた
め、上記エア保持空間がいわばエアダンパとして作用し
て振動を吸収する。また、上記エア保持空間の存在によ
り、特に横方向の振動を効率的に吸収するため、顕微鏡
や精密計測器に用いた場合に、画像のぶれや測定誤差を
有効に防止することができる。
【００１０】また、本発明の第３の防振器具は、衝撃吸
収材層中に、鉛層が形成されている。このため、上記鉛
層によって極めて微少な振動である音波が遮断され、極
微少な振動まで吸収する優れた防振器具となる。
収材層中に、鉛層が形成されている。このため、上記鉛
層によって極めて微少な振動である音波が遮断され、極
微少な振動まで吸収する優れた防振器具となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を詳
しく説明する。
しく説明する。
【００１２】図１および図２は、本発明の防振器具の一
実施の形態を示す図である。この防振器具１は、鋼製の
四角板状の板状体２の下面に、同じく四角板状の２枚の
衝撃吸収材３，４からなる衝撃吸収材層５が形成されて
いる。
実施の形態を示す図である。この防振器具１は、鋼製の
四角板状の板状体２の下面に、同じく四角板状の２枚の
衝撃吸収材３，４からなる衝撃吸収材層５が形成されて
いる。
【００１３】上記衝撃吸収材３，４としては、例えば、
中性ウレタンエラストマーに硬化剤を混入して半架橋状
態にした粘性および弾性を有するウレタン系ゴム（ゲル
ニック；ニック社の商品名，Ｇベース；ニック商品開発
センター社の商品名）が用いられる。
中性ウレタンエラストマーに硬化剤を混入して半架橋状
態にした粘性および弾性を有するウレタン系ゴム（ゲル
ニック；ニック社の商品名，Ｇベース；ニック商品開発
センター社の商品名）が用いられる。
【００１４】上記衝撃吸収材３，４の特性として、衝撃
吸収率は８０％以上が好ましく、９０％以上であればよ
り好ましい。８０％未満では、十分な振動吸収性能が得
られないからである。また、粘着力は０．３ｋｇ／ｃｍ
2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下が好ましく、１ｋｇ／ｃｍ
2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下であればより好ましい。
０．３ｋｇ／ｃｍ2未満では、板状体２や床面との固着
が十分にならないうえ、エア保持空間を設けた場合にエ
ア漏れを生じやすくなり、１．６ｋｇ／ｃｍ2を超える
と、衝撃吸収材３，４の除去が困難になるからである。
また、アスカーＣ硬度は、１以上５０以下の範囲内にあ
ることが好ましい。１未満では、機器等の重量で衝撃吸
収材３，４自体が圧縮されてつぶれてしまい、十分な振
動吸収性能が得られず、５０を超えると、硬すぎてかえ
って振動吸収性能に劣るからである。
吸収率は８０％以上が好ましく、９０％以上であればよ
り好ましい。８０％未満では、十分な振動吸収性能が得
られないからである。また、粘着力は０．３ｋｇ／ｃｍ
2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下が好ましく、１ｋｇ／ｃｍ
2以上１．６ｋｇ／ｃｍ2以下であればより好ましい。
０．３ｋｇ／ｃｍ2未満では、板状体２や床面との固着
が十分にならないうえ、エア保持空間を設けた場合にエ
ア漏れを生じやすくなり、１．６ｋｇ／ｃｍ2を超える
と、衝撃吸収材３，４の除去が困難になるからである。
また、アスカーＣ硬度は、１以上５０以下の範囲内にあ
ることが好ましい。１未満では、機器等の重量で衝撃吸
収材３，４自体が圧縮されてつぶれてしまい、十分な振
動吸収性能が得られず、５０を超えると、硬すぎてかえ
って振動吸収性能に劣るからである。
【００１５】上記防振器具１では、衝撃吸収材層５は、
板状体２に密着する比較的硬度が低い第１衝撃吸収材３
と、床面に密着する比較的硬度が高い第２衝撃吸収材４
とが積層されて構成されている。このように、硬度の異
なる２枚の衝撃吸収材３，４を積層することにより、微
振動を効果的に吸収するのである。すなわち、硬度の低
い第１衝撃吸収材３によって、周波数の低い振動から高
い振動まで全体的に振動を吸収するとともに、硬度の高
い第２衝撃吸収材４は、反発弾性が高いため、特に周波
数の高い微振動を効率的に吸収するのである。
板状体２に密着する比較的硬度が低い第１衝撃吸収材３
と、床面に密着する比較的硬度が高い第２衝撃吸収材４
とが積層されて構成されている。このように、硬度の異
なる２枚の衝撃吸収材３，４を積層することにより、微
振動を効果的に吸収するのである。すなわち、硬度の低
い第１衝撃吸収材３によって、周波数の低い振動から高
い振動まで全体的に振動を吸収するとともに、硬度の高
い第２衝撃吸収材４は、反発弾性が高いため、特に周波
数の高い微振動を効率的に吸収するのである。
【００１６】特に、低硬度の第１衝撃吸収材３を板状体
２と高硬度の第２衝撃吸収材４との間に挟むようにする
のが効果的である。板状体２の上面にある程度の重量の
機器が載ったときに、高硬度の第２衝撃吸収材４の存在
によって低硬度の第１衝撃吸収材３が押し潰されるのが
抑制され、衝撃吸収性能の低下が防止されるからであ
る。
２と高硬度の第２衝撃吸収材４との間に挟むようにする
のが効果的である。板状体２の上面にある程度の重量の
機器が載ったときに、高硬度の第２衝撃吸収材４の存在
によって低硬度の第１衝撃吸収材３が押し潰されるのが
抑制され、衝撃吸収性能の低下が防止されるからであ
る。
【００１７】上記第１衝撃吸収材３の硬度は、アスカー
Ｃ硬度で、１以上３０以下の範囲内にあることが好まし
い。１未満では、機器等の重量で衝撃吸収材３，４自体
が圧縮されてつぶれてしまい、十分な振動吸収性能が得
られず、３０を超えると、第２衝撃吸収材４との硬度差
が小さくなりすぎて、硬度の異なる衝撃吸収材３，４を
積層する効果が薄くなるからである。また、上記第２衝
撃吸収材４の硬度は、アスカーＣ硬度で、１０以上５０
以下の範囲内にあることが好ましい。１０未満では、第
１衝撃吸収材３との硬度差が小さくなりすぎて、硬度の
異なる衝撃吸収材３，４を積層する効果が薄くなるから
であり、５０を超えると、硬すぎてかえって振動吸収性
能に劣るからである。
Ｃ硬度で、１以上３０以下の範囲内にあることが好まし
い。１未満では、機器等の重量で衝撃吸収材３，４自体
が圧縮されてつぶれてしまい、十分な振動吸収性能が得
られず、３０を超えると、第２衝撃吸収材４との硬度差
が小さくなりすぎて、硬度の異なる衝撃吸収材３，４を
積層する効果が薄くなるからである。また、上記第２衝
撃吸収材４の硬度は、アスカーＣ硬度で、１０以上５０
以下の範囲内にあることが好ましい。１０未満では、第
１衝撃吸収材３との硬度差が小さくなりすぎて、硬度の
異なる衝撃吸収材３，４を積層する効果が薄くなるから
であり、５０を超えると、硬すぎてかえって振動吸収性
能に劣るからである。
【００１８】上記防振器具１は、例えば、つぎのように
して使用することができる。すなわち、まず、図３に示
すように、防振器具１の衝撃吸収材層５を床面８に密着
させる。ついで、精密測定器等の機器６の脚部７を上記
防振器具１の板状体２の上面に載置する。これにより、
上記衝撃吸収材層５をクッションにして機器６が床面８
に載置されることになる。
して使用することができる。すなわち、まず、図３に示
すように、防振器具１の衝撃吸収材層５を床面８に密着
させる。ついで、精密測定器等の機器６の脚部７を上記
防振器具１の板状体２の上面に載置する。これにより、
上記衝撃吸収材層５をクッションにして機器６が床面８
に載置されることになる。
【００１９】上記防振器具１によれば、硬度が異なる２
枚の衝撃吸収材３，４からなる衝撃吸収材層５で床面８
の振動を吸収するため、特に微振動の吸収性能に優れて
いる。したがって、顕微鏡や精密計測器の下に設置する
ことにより、画像のぶれや測定誤差が生じるのを有効に
防止することができる。また、機器６を撤去したり移動
したりする際には、機器６を取り外して荷重を除去し、
板状体２と衝撃吸収材３，４を床面８からゆっくり剥離
させればよい。
枚の衝撃吸収材３，４からなる衝撃吸収材層５で床面８
の振動を吸収するため、特に微振動の吸収性能に優れて
いる。したがって、顕微鏡や精密計測器の下に設置する
ことにより、画像のぶれや測定誤差が生じるのを有効に
防止することができる。また、機器６を撤去したり移動
したりする際には、機器６を取り外して荷重を除去し、
板状体２と衝撃吸収材３，４を床面８からゆっくり剥離
させればよい。
【００２０】図４および図５は、本発明の防振器具の第
２の実施の形態を示す。この防振器具１０は、衝撃吸収
材層１１が、平面視円形の４枚の衝撃吸収材１２，１３
からなっている。このものでは、低硬度の２枚の第１衝
撃吸収材１２が高硬度の２枚の第２衝撃吸収材１３で挟
まれるように積層されている。それ以外は、図１および
図２に示すものと同様であり、同様の部分には同じ符号
を付している。このものでも、図１および図２に示すも
のと同様の作用効果を奏する。
２の実施の形態を示す。この防振器具１０は、衝撃吸収
材層１１が、平面視円形の４枚の衝撃吸収材１２，１３
からなっている。このものでは、低硬度の２枚の第１衝
撃吸収材１２が高硬度の２枚の第２衝撃吸収材１３で挟
まれるように積層されている。それ以外は、図１および
図２に示すものと同様であり、同様の部分には同じ符号
を付している。このものでも、図１および図２に示すも
のと同様の作用効果を奏する。
【００２１】図６および図７は、本発明の防振器具の第
３の実施の形態を示す。この防振器具２０は、衝撃吸収
材層２２の第１および第２衝撃吸収材３，４の間に鉛板
２１が挟まれている。それ以外は、図１および図２に示
すものと同様であり、同様の部分には同じ符号を付して
いる。このものでは、上記鉛板２１によって極めて微少
な振動である音波が遮断され、極微少な振動まで吸収す
るようになる。
３の実施の形態を示す。この防振器具２０は、衝撃吸収
材層２２の第１および第２衝撃吸収材３，４の間に鉛板
２１が挟まれている。それ以外は、図１および図２に示
すものと同様であり、同様の部分には同じ符号を付して
いる。このものでは、上記鉛板２１によって極めて微少
な振動である音波が遮断され、極微少な振動まで吸収す
るようになる。
【００２２】図８および図９は、本発明の防振器具の第
４の実施の形態を示す。この防振器具３０は、平面視円
形の２枚の板状体３１，３２の間にリング状の衝撃吸収
材３３が挟まれ、上記板状体３１の上にキャップ部材３
４が冠着されている。これにより、衝撃吸収材層３５中
にエア保持空間３６が形成されるようになっている。図
において３７は足ゴムである。このものでは、上記エア
保持空間３６がいわばエアダンパとして作用して振動を
吸収し、特に横方向の振動を効率的に吸収するようにな
る。
４の実施の形態を示す。この防振器具３０は、平面視円
形の２枚の板状体３１，３２の間にリング状の衝撃吸収
材３３が挟まれ、上記板状体３１の上にキャップ部材３
４が冠着されている。これにより、衝撃吸収材層３５中
にエア保持空間３６が形成されるようになっている。図
において３７は足ゴムである。このものでは、上記エア
保持空間３６がいわばエアダンパとして作用して振動を
吸収し、特に横方向の振動を効率的に吸収するようにな
る。
【００２３】図１０は、本発明の防振器具の第５の実施
の形態を示す。複数の円形穴４２が穿設されたれんこん
状の衝撃吸収材３３用いられることにより、上記円形穴
４２の部分がエア保持空間に形成されるようになってい
る。それ以外は、図８及び図９に示すものと同様であ
り、同様の部分には同じ符号を付している。このもので
も、図８及び図９に示すものと同様の作用効果を奏す
る。
の形態を示す。複数の円形穴４２が穿設されたれんこん
状の衝撃吸収材３３用いられることにより、上記円形穴
４２の部分がエア保持空間に形成されるようになってい
る。それ以外は、図８及び図９に示すものと同様であ
り、同様の部分には同じ符号を付している。このもので
も、図８及び図９に示すものと同様の作用効果を奏す
る。
【００２４】なお、本発明において、衝撃吸収率は、鋼
球を衝撃吸収材上に落下させ、衝撃吸収材を通じて伝わ
った振動を測定することにより求められ、例えば、図１
１に示す測定器によって測定される。すなわち、３点支
持法のロードセル４５の上に厚み４．２ｍｍの鋼板４６
を設け、この鋼板４６の上面に厚み１０ｍｍの衝撃吸収
材４７を載置する。そして、スタンド４８に保持された
鋼球（φ２５ｍｍ，６５ｇ）４９を１００ｍｍ自然落下
させたときの最大衝撃荷重Ｈ（ｋｇ）を測定する。一
方、衝撃吸収材４７を載置しないときの最大衝撃荷重Ｇ
（ｋｇ）を測定する。そして、下記の式（１）により、
衝撃吸収率（％）を求める。図において５０は鋼球４９
を保持する電磁石、５１は動歪み測定器（６００２Ｆ振
興通信工業）、５２は波動記録計（８８０３日置電機）
である。
球を衝撃吸収材上に落下させ、衝撃吸収材を通じて伝わ
った振動を測定することにより求められ、例えば、図１
１に示す測定器によって測定される。すなわち、３点支
持法のロードセル４５の上に厚み４．２ｍｍの鋼板４６
を設け、この鋼板４６の上面に厚み１０ｍｍの衝撃吸収
材４７を載置する。そして、スタンド４８に保持された
鋼球（φ２５ｍｍ，６５ｇ）４９を１００ｍｍ自然落下
させたときの最大衝撃荷重Ｈ（ｋｇ）を測定する。一
方、衝撃吸収材４７を載置しないときの最大衝撃荷重Ｇ
（ｋｇ）を測定する。そして、下記の式（１）により、
衝撃吸収率（％）を求める。図において５０は鋼球４９
を保持する電磁石、５１は動歪み測定器（６００２Ｆ振
興通信工業）、５２は波動記録計（８８０３日置電機）
である。
【００２５】
【式１】（Ｇ−Ｈ）／Ｇ×１００ …（１）
【００２６】また、上記各実施の形態では、板状体２，
３１として鋼板を用いたが、これに限定するものではな
く、ある程度の剛性を有するものであれば、セラミッ
ク，コンクリート，樹脂，木材，ＦＲＰ等各種のものが
用いられる。
３１として鋼板を用いたが、これに限定するものではな
く、ある程度の剛性を有するものであれば、セラミッ
ク，コンクリート，樹脂，木材，ＦＲＰ等各種のものが
用いられる。
【００２７】
【実施例】図１および図２に示す防振器具１を下記の仕
様で作製し、振動伝達率の測定を行った。 ［仕様］ 板状体：ステンレス製，１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×５ｍ
ｍ厚 第１衝撃吸収材：ゲルニック（アスカーＣ硬度１）５ｍ
ｍ厚 第２衝撃吸収材：ゲルニック（アスカーＣ硬度１５）５
ｍｍ厚
様で作製し、振動伝達率の測定を行った。 ［仕様］ 板状体：ステンレス製，１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×５ｍ
ｍ厚 第１衝撃吸収材：ゲルニック（アスカーＣ硬度１）５ｍ
ｍ厚 第２衝撃吸収材：ゲルニック（アスカーＣ硬度１５）５
ｍｍ厚
【００２８】図１２に示すように、測定台６０の上に顕
微鏡６２を載置し、床面Ａ，測定台６０上面Ｂおよび顕
微鏡６２の上面Ｃの三個所に加速度計を置き、それぞれ
の箇所における振動加速度を、測定台６０のアジャスタ
６１と床との間に防振器具１を設置した場合としない場
合それぞれについて測定した。その結果を図１３〜図１
７に示す。図１３は床の振動であり、図１４は防振器具
がない場合のＡ−Ｂ間の振動伝達率、図１５は防振器具
を設置した場合のＡ−Ｂ間の振動伝達率である。また、
図１６は防振器具がない場合のＣ−Ｂ間の振動伝達率、
図１７は防振器具を設置した場合のＣ−Ｂ間の振動伝達
率である。
微鏡６２を載置し、床面Ａ，測定台６０上面Ｂおよび顕
微鏡６２の上面Ｃの三個所に加速度計を置き、それぞれ
の箇所における振動加速度を、測定台６０のアジャスタ
６１と床との間に防振器具１を設置した場合としない場
合それぞれについて測定した。その結果を図１３〜図１
７に示す。図１３は床の振動であり、図１４は防振器具
がない場合のＡ−Ｂ間の振動伝達率、図１５は防振器具
を設置した場合のＡ−Ｂ間の振動伝達率である。また、
図１６は防振器具がない場合のＣ−Ｂ間の振動伝達率、
図１７は防振器具を設置した場合のＣ−Ｂ間の振動伝達
率である。
【００２９】上記測定結果から、床振動のピーク値は、
Ｘ方向０．５８ｇａｌ／５５Ｈｚ，Ｙ方向０．９５ｇａ
ｌ／３０Ｈｚ，Ｚ方向１．１０ｇａｌ／５５Ｈｚであっ
た。この振動は、５０〜６０Ｈｚ付近にピークがあり、
送風機等による振動であると考えられる。
Ｘ方向０．５８ｇａｌ／５５Ｈｚ，Ｙ方向０．９５ｇａ
ｌ／３０Ｈｚ，Ｚ方向１．１０ｇａｌ／５５Ｈｚであっ
た。この振動は、５０〜６０Ｈｚ付近にピークがあり、
送風機等による振動であると考えられる。
【００３０】Ａ−Ｂ間の振動伝達率は、Ｘ方向・Ｙ方向
は−４０ｄＢ（＝１／１００）、Ｚ方向は、−２０ｄＢ
（＝１／１０）であった。この結果より、Ａ−Ｂ間の除
振後の振幅Ｓを計算すると、加速度α＝Ｓ（２π
ｆ）2、Ｓ＝α／（２πｆ）2より、つぎのとおりにな
る。なお、ｆは周波数である。 Ｘ方向：ＳＸ＝０．５８／（２π・５５）2×（１／１
００）＝０．４８×１０-3μｍ Ｙ方向：ＳＹ＝０．９５／（２π・３０）2×（１／１
００）＝２．６×１０-3μｍ Ｚ方向：ＳＺ＝１．１０／（２π・５５）2×（１／１
０）＝９．２×１０-3μｍ
は−４０ｄＢ（＝１／１００）、Ｚ方向は、−２０ｄＢ
（＝１／１０）であった。この結果より、Ａ−Ｂ間の除
振後の振幅Ｓを計算すると、加速度α＝Ｓ（２π
ｆ）2、Ｓ＝α／（２πｆ）2より、つぎのとおりにな
る。なお、ｆは周波数である。 Ｘ方向：ＳＸ＝０．５８／（２π・５５）2×（１／１
００）＝０．４８×１０-3μｍ Ｙ方向：ＳＹ＝０．９５／（２π・３０）2×（１／１
００）＝２．６×１０-3μｍ Ｚ方向：ＳＺ＝１．１０／（２π・５５）2×（１／１
０）＝９．２×１０-3μｍ
【００３１】Ｃ−Ｂ間の振動伝達率の結果より、顕微鏡
６２部の共振点がＸ方向，Ｙ方向，Ｚ方向ともに５０Ｈ
ｚ付近に見られ、その伝達率は、つぎのとおりである。 Ｘ方向：３ｄＢ／５０Ｈｚ（＝１．４倍） Ｙ方向：１４ｄＢ／５０Ｈｚ（＝５倍） Ｚ方向：７ｄＢ／５０Ｈｚ（＝２．２倍）
６２部の共振点がＸ方向，Ｙ方向，Ｚ方向ともに５０Ｈ
ｚ付近に見られ、その伝達率は、つぎのとおりである。 Ｘ方向：３ｄＢ／５０Ｈｚ（＝１．４倍） Ｙ方向：１４ｄＢ／５０Ｈｚ（＝５倍） Ｚ方向：７ｄＢ／５０Ｈｚ（＝２．２倍）
【００３２】したがって、振幅ＳＸ，ＳＹ，ＳＺが増幅
した後の振幅ＴＸ，ＴＹ，ＴＺを計算すると、つぎのと
おりになる。 Ｘ方向：ＴＸ＝０．４８×１０-3μｍ×１．４＝０．６
７２×１０-3μｍ Ｙ方向：ＴＹ＝２．６×１０-3μｍ×５＝１３×１０-3
μｍ Ｚ方向：ＴＺ＝９．２×１０-3μｍ×２．２＝２０．２
×１０-3μｍ
した後の振幅ＴＸ，ＴＹ，ＴＺを計算すると、つぎのと
おりになる。 Ｘ方向：ＴＸ＝０．４８×１０-3μｍ×１．４＝０．６
７２×１０-3μｍ Ｙ方向：ＴＹ＝２．６×１０-3μｍ×５＝１３×１０-3
μｍ Ｚ方向：ＴＺ＝９．２×１０-3μｍ×２．２＝２０．２
×１０-3μｍ
【００３３】上記振幅ＴＸ，ＴＹ，ＴＺは、０．０３μ
ｍの計測精度を維持するうえで許容される程度のもので
あり、上記防振器具１を使用することにより、十分に振
動が吸収されていることがわかる。
ｍの計測精度を維持するうえで許容される程度のもので
あり、上記防振器具１を使用することにより、十分に振
動が吸収されていることがわかる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明の第１の防振器具
によれば、硬度の低い衝撃吸収材によって、周波数の低
い振動から高い振動まで全体的に振動を吸収する。同時
に、硬度の高い衝撃吸収材は、反発弾性が高いため、特
に周波数が高い微振動を効率的に吸収する。したがっ
て、特に微振動の吸収性能に優れた防振器具となり、顕
微鏡や精密計測器の下に設置することにより、画像のぶ
れや測定誤差が生じるのを有効に防止することができ
る。
によれば、硬度の低い衝撃吸収材によって、周波数の低
い振動から高い振動まで全体的に振動を吸収する。同時
に、硬度の高い衝撃吸収材は、反発弾性が高いため、特
に周波数が高い微振動を効率的に吸収する。したがっ
て、特に微振動の吸収性能に優れた防振器具となり、顕
微鏡や精密計測器の下に設置することにより、画像のぶ
れや測定誤差が生じるのを有効に防止することができ
る。
【００３５】また、本発明の第２の防振器具によれば、
エア保持空間がいわばエアダンパとして作用して振動を
吸収する。また、上記エア保持空間の存在により、特に
横方向の振動を効率的に吸収するため、顕微鏡や精密計
測器に用いた場合に、画像のぶれや測定誤差を有効に防
止することができる。
エア保持空間がいわばエアダンパとして作用して振動を
吸収する。また、上記エア保持空間の存在により、特に
横方向の振動を効率的に吸収するため、顕微鏡や精密計
測器に用いた場合に、画像のぶれや測定誤差を有効に防
止することができる。
【００３６】また、本発明の第３の防振器具によれば、
鉛層によって極めて微少な振動である音波が遮断され、
極微少な振動まで吸収する優れた防振器具となる。
鉛層によって極めて微少な振動である音波が遮断され、
極微少な振動まで吸収する優れた防振器具となる。
【図１】本発明の防振器具の一実施の形態を示す分解斜
視図である。
視図である。
【図２】上記防振器具を示す断面図である。
【図３】上記防振器具の使用状態を示す正面図である。
【図４】本発明の防振器具の第２の実施の形態を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図５】上記防振器具を示す断面図である。
【図６】本発明の防振器具の第３の実施の形態を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図７】上記防振器具を示す断面図である。
【図８】本発明の防振器具の第４の実施の形態を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図９】上記防振器具を示す断面図である。
【図１０】本発明の防振器具の第５の実施の形態を示す
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図１１】衝撃吸収率の測定方法を説明する構成図であ
る。
る。
【図１２】振動測定方法を説明する構成図である。
【図１３】床振動の測定結果を示す線図であり、（ａ）
はＸ方向、（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果
である。
はＸ方向、（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果
である。
【図１４】防振器具を使用しない状態のＡ−Ｂ間の振動
伝達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
伝達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
【図１５】防振器具を使用した状態のＡ−Ｂ間の振動伝
達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
【図１６】防振器具を使用しない状態のＢ−Ｃ間の振動
伝達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
伝達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
【図１７】防振器具を使用した状態のＢ−Ｃ間の振動伝
達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
達率の測定結果を示す線図であり、（ａ）はＸ方向、
（ｂ）はＹ方向、（ｃ）はＺ方向の測定結果である。
２ 板状体 ３，４ 衝撃吸収材 ５ 衝撃吸収材層
Claims (3)
- 【請求項１】 剛性を有する板状体の下面に、衝撃吸収
率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．
６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下
の範囲にある衝撃吸収材層が形成された防振器具であっ
て、上記衝撃吸収材層が、硬度の異なる複数枚の衝撃吸
収材が積層されて構成されていることを特徴とする防振
器具。 - 【請求項２】 剛性を有する板状体の下面に、衝撃吸収
率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．
６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下
の範囲にある衝撃吸収材層が形成された防振器具であっ
て、上記衝撃吸収材層中に、エア保持空間が形成されて
いることを特徴とする防振器具。 - 【請求項３】 剛性を有する板状体の下面に、衝撃吸収
率が８０％以上、粘着力が０．３ｋｇ／ｃｍ2以上１．
６ｋｇ／ｃｍ2以下、アスカーＣ硬度が１以上５０以下
の範囲にある衝撃吸収材層が形成された防振器具であっ
て、上記衝撃吸収材層中に、鉛層が形成されていること
を特徴とする防振器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843498A JPH11325180A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 防振器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843498A JPH11325180A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 防振器具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11325180A true JPH11325180A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15452715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14843498A Pending JPH11325180A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 防振器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11325180A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006322610A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-30 | Sony Corp | 振動衝撃吸収機構およびコンテンツ再生装置 |
| JP2009140550A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | レンズ駆動装置、光ピックアップ装置及び光ディスク装置 |
| JP2014113030A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-06-19 | Nidec Servo Corp | モータ |
| JP2017002567A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 株式会社ライテク | 保護構造物 |
-
1998
- 1998-05-12 JP JP14843498A patent/JPH11325180A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006322610A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-30 | Sony Corp | 振動衝撃吸収機構およびコンテンツ再生装置 |
| JP2009140550A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | レンズ駆動装置、光ピックアップ装置及び光ディスク装置 |
| JP2014113030A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-06-19 | Nidec Servo Corp | モータ |
| JP2017002567A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | 株式会社ライテク | 保護構造物 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040727 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070828 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080117 |