JPH0544771A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPH0544771A JPH0544771A JP22111091A JP22111091A JPH0544771A JP H0544771 A JPH0544771 A JP H0544771A JP 22111091 A JP22111091 A JP 22111091A JP 22111091 A JP22111091 A JP 22111091A JP H0544771 A JPH0544771 A JP H0544771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- mounting base
- piezoelectric actuator
- piezoelectric
- equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 機器搭載台２２に発生した鉛直方向及び水平
方向の微振動を除振することができる圧電アクチュエー
タ１６を備えた除振装置１０を提供する。 【構成】 工場等の床面１２上に固定された下部安定板
１４と精密機器２４が載置される機器搭載台２２との間
に圧電アクチュエータ１６、１６…を安定板１８、１８
…と交互に積層して介在させ、この圧電アクチュエータ
１６をピエゾ素子３０とゴム片３２とを交互に積層して
構成し、機器搭載台２２に発生した鉛直方向の微振動を
ピエゾ素子３０で除振し、また水平方向の微振動をゴム
片３２の弾性変形で吸収して除振する。
方向の微振動を除振することができる圧電アクチュエー
タ１６を備えた除振装置１０を提供する。 【構成】 工場等の床面１２上に固定された下部安定板
１４と精密機器２４が載置される機器搭載台２２との間
に圧電アクチュエータ１６、１６…を安定板１８、１８
…と交互に積層して介在させ、この圧電アクチュエータ
１６をピエゾ素子３０とゴム片３２とを交互に積層して
構成し、機器搭載台２２に発生した鉛直方向の微振動を
ピエゾ素子３０で除振し、また水平方向の微振動をゴム
片３２の弾性変形で吸収して除振する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は除振装置に係り、特に圧
電アクチュエータを基台と機器搭載台との間に介在させ
た除振装置に関する。
電アクチュエータを基台と機器搭載台との間に介在させ
た除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密機器等の嫌振機器を工場の床
面上に据え付けるに際し、地震時の揺れや交通振動等の
振動（１０-6ｍオーダの振動、以下微振動という）が精
密機器等に伝達するのを防止する為に除振装置が使用さ
れている。この種の除振装置は図３に示すように、工場
の床面１上に矩形状の基台２を固定し、この基台２上の
４角に４本の圧電アクチュエータ３を介して精密機器４
が載置される機器搭載台５が取付けられる。圧電アクチ
ュエータ３は、圧電素子であるピエゾ素子６、６…を積
層して構成され、これらのピエゾ素子６、６…に電圧を
印加すると圧電アクチュエータ３の軸方向、即ち鉛直方
向（矢印方向）に電界誘起ひずみが生じることによっ
て、圧電アクチュエータ３が振動する。
面上に据え付けるに際し、地震時の揺れや交通振動等の
振動（１０-6ｍオーダの振動、以下微振動という）が精
密機器等に伝達するのを防止する為に除振装置が使用さ
れている。この種の除振装置は図３に示すように、工場
の床面１上に矩形状の基台２を固定し、この基台２上の
４角に４本の圧電アクチュエータ３を介して精密機器４
が載置される機器搭載台５が取付けられる。圧電アクチ
ュエータ３は、圧電素子であるピエゾ素子６、６…を積
層して構成され、これらのピエゾ素子６、６…に電圧を
印加すると圧電アクチュエータ３の軸方向、即ち鉛直方
向（矢印方向）に電界誘起ひずみが生じることによっ
て、圧電アクチュエータ３が振動する。
【０００３】機器搭載台５には、機器搭載台５に発生し
た振動を検知する振動センサ７が取付けられ、この振動
センサ７から制御装置８に機器搭載台５で発生した振動
を示す電気信号が入力される。制御装置８は前記電気信
号に基づき、この振動と逆位相の振動を圧電アクチュエ
ータ３に発生させる為の電圧をピエゾ素子６、６…に印
加する。
た振動を検知する振動センサ７が取付けられ、この振動
センサ７から制御装置８に機器搭載台５で発生した振動
を示す電気信号が入力される。制御装置８は前記電気信
号に基づき、この振動と逆位相の振動を圧電アクチュエ
ータ３に発生させる為の電圧をピエゾ素子６、６…に印
加する。
【０００４】これによって、機器搭載台５に発生した振
動を除振することができるので、微振動が精密機器４に
伝達するのを阻止することができる。
動を除振することができるので、微振動が精密機器４に
伝達するのを阻止することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
除振装置では、ピエゾ素子６、６…の積層方向の振動、
即ち鉛直方向の振動は、圧電アクチュエータ３によって
除振することができるが、水平方向の振動は除振できな
いという欠点がある。また、前記水平方向の入力振動の
大きさによっては、圧電アクチュエータ３が破損すると
いう欠点がある。
除振装置では、ピエゾ素子６、６…の積層方向の振動、
即ち鉛直方向の振動は、圧電アクチュエータ３によって
除振することができるが、水平方向の振動は除振できな
いという欠点がある。また、前記水平方向の入力振動の
大きさによっては、圧電アクチュエータ３が破損すると
いう欠点がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、機器搭載台に発生した鉛直方向及び水平方向の
微振動を除振することができる除振装置を提供すること
を目的とする。
もので、機器搭載台に発生した鉛直方向及び水平方向の
微振動を除振することができる除振装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、工場等の床面上に固定された基台と嫌振機器
が載置される機器搭載台との間に圧電アクチュエータを
介在させ、この圧電アクチュエータに電圧を印加して前
記機器搭載台に発生した振動と逆位相の振動を発生させ
て前記機器搭載台に発生した振動を除振する除振装置に
於いて、前記圧電アクチュエータは、圧電素子と弾性体
とを交互に積層して構成されたことを特徴とする。
する為に、工場等の床面上に固定された基台と嫌振機器
が載置される機器搭載台との間に圧電アクチュエータを
介在させ、この圧電アクチュエータに電圧を印加して前
記機器搭載台に発生した振動と逆位相の振動を発生させ
て前記機器搭載台に発生した振動を除振する除振装置に
於いて、前記圧電アクチュエータは、圧電素子と弾性体
とを交互に積層して構成されたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、圧電アクチュエータを、圧電
素子と弾性体とを交互に積層して構成し、鉛直方向の振
動を電圧が印加された圧電素子で除振し、また水平方向
の振動を弾性体の弾性変形で吸収して除振する。
素子と弾性体とを交互に積層して構成し、鉛直方向の振
動を電圧が印加された圧電素子で除振し、また水平方向
の振動を弾性体の弾性変形で吸収して除振する。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る除振装置
の好ましい実施例について詳説する。図１は本発明に係
る除振装置１０の実施例が示され、この除振装置１０は
工場の床面１２上に下部安定板１４が固定される。この
下部安定板１４の上面には、後述する複数の圧電アクチ
ュエータ１６、１６…が安定板１８、１８…と交互に５
段重ねられて鉛直方向に積層される。また、最上段に積
層された圧電アクチュエータ１６、１６の上部には上部
安定板２０を介して機器搭載台２２が固定され、この機
器搭載台２２には、嫌振機器である精密機器２４が載置
されている。
の好ましい実施例について詳説する。図１は本発明に係
る除振装置１０の実施例が示され、この除振装置１０は
工場の床面１２上に下部安定板１４が固定される。この
下部安定板１４の上面には、後述する複数の圧電アクチ
ュエータ１６、１６…が安定板１８、１８…と交互に５
段重ねられて鉛直方向に積層される。また、最上段に積
層された圧電アクチュエータ１６、１６の上部には上部
安定板２０を介して機器搭載台２２が固定され、この機
器搭載台２２には、嫌振機器である精密機器２４が載置
されている。
【００１０】前記圧電アクチュエータ１６は図２に示す
ように、下部フランジ２６と上部フランジ２８との間に
圧電素子であるピエゾ素子３０、３０…と弾性体である
ゴム片３２、３２…とが交互に積層されて固着されてい
る。また、各ピエゾ素子３０、３０…は、制御装置３４
から延設された電線３６に直列に接続される。前記制御
装置３４にはケーブル３８を介して図１に示す振動セン
サ４０が接続されており、この振動センサ４０は機器搭
載台２２に発生した微振動を検出する為に機器搭載台２
２の上面に設置されている。
ように、下部フランジ２６と上部フランジ２８との間に
圧電素子であるピエゾ素子３０、３０…と弾性体である
ゴム片３２、３２…とが交互に積層されて固着されてい
る。また、各ピエゾ素子３０、３０…は、制御装置３４
から延設された電線３６に直列に接続される。前記制御
装置３４にはケーブル３８を介して図１に示す振動セン
サ４０が接続されており、この振動センサ４０は機器搭
載台２２に発生した微振動を検出する為に機器搭載台２
２の上面に設置されている。
【００１１】次に、前記の如く構成された除振装置１０
の制御装置３４の制御方法について説明する。先ず、床
面１２から伝搬してきた交通振動又は精密機器２４の自
己振動で、機器搭載台２２に鉛直方向の微振動が発生す
ると、その振動を振動センサ４０で検知して振動センサ
４０からその振動の大きさを示す電気信号をケーブル３
８を介して制御装置３４に出力する。
の制御装置３４の制御方法について説明する。先ず、床
面１２から伝搬してきた交通振動又は精密機器２４の自
己振動で、機器搭載台２２に鉛直方向の微振動が発生す
ると、その振動を振動センサ４０で検知して振動センサ
４０からその振動の大きさを示す電気信号をケーブル３
８を介して制御装置３４に出力する。
【００１２】前記電気信号が制御装置３４に入力される
と、制御装置３４はこの電気信号に基づいて前記微振動
と逆位相の振動を圧電アクチュエータ１６発生させる為
の電圧を電線３６を介してピエゾ素子３０、３０…に印
加する。これによって、機器搭載台２２に発生した鉛直
方向の微振動を除振することができるので、微振動が精
密機器２４に伝達するのを阻止することができる。
と、制御装置３４はこの電気信号に基づいて前記微振動
と逆位相の振動を圧電アクチュエータ１６発生させる為
の電圧を電線３６を介してピエゾ素子３０、３０…に印
加する。これによって、機器搭載台２２に発生した鉛直
方向の微振動を除振することができるので、微振動が精
密機器２４に伝達するのを阻止することができる。
【００１３】次に、前記機器搭載台２２に３次元方向の
微振動が発生した場合、制御装置３４は振動センサ４０
から入力される電気信号に基づいて、前記微振動を鉛直
方向の振動と水平方向の振動とに分割する。そして、制
御装置３４は、前記鉛直方向の振動と逆位相の振動を圧
電アクチュエータ１６発生させる為の電圧を電線３６を
介してピエゾ素子３０、３０…に印加し、機器搭載台２
２に発生した微振動のうち鉛直方向の振動を除振する。
一方、前記水平方向の振動は、圧電アクチュエータ１６
のゴム片３２、３２の剪断方向の弾性変形によって吸収
し除振する。
微振動が発生した場合、制御装置３４は振動センサ４０
から入力される電気信号に基づいて、前記微振動を鉛直
方向の振動と水平方向の振動とに分割する。そして、制
御装置３４は、前記鉛直方向の振動と逆位相の振動を圧
電アクチュエータ１６発生させる為の電圧を電線３６を
介してピエゾ素子３０、３０…に印加し、機器搭載台２
２に発生した微振動のうち鉛直方向の振動を除振する。
一方、前記水平方向の振動は、圧電アクチュエータ１６
のゴム片３２、３２の剪断方向の弾性変形によって吸収
し除振する。
【００１４】これによって、本実施例では、機器搭載台
２２に鉛直方向の振動及び水平方向の振動が発生して
も、ピエゾ素子３０とゴム片３２とが交互に積層された
圧電アクチュエータ１６で除振することができる。
２２に鉛直方向の振動及び水平方向の振動が発生して
も、ピエゾ素子３０とゴム片３２とが交互に積層された
圧電アクチュエータ１６で除振することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る除振
装置によれば、圧電アクチュエータを圧電素子と弾性体
とを交互に積層して構成したので、機器搭載台に発生し
た鉛直方向の振動を圧電素子で除振することができ、ま
た水平方向の振動を弾性体の弾性変形で吸収して除振す
ることができる。
装置によれば、圧電アクチュエータを圧電素子と弾性体
とを交互に積層して構成したので、機器搭載台に発生し
た鉛直方向の振動を圧電素子で除振することができ、ま
た水平方向の振動を弾性体の弾性変形で吸収して除振す
ることができる。
【図１】本発明に係る除振装置の実施例を示す正面図
【図２】本発明に係る除振装置に適用された圧電アクチ
ュエータの説明図
ュエータの説明図
【図３】従来の除振装置の実施例を示す正面図
１０…除振装置 １６…圧電アクチュエータ １８…安定板 ２２…機器搭載台 ３０…ピエゾ素子 ３２…ゴム片 ３４…制御装置 ４０…振動センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 工場等の床面上に固定された基台と嫌振
機器が載置される機器搭載台との間に圧電アクチュエー
タを介在させ、この圧電アクチュエータに電圧を印加し
て前記機器搭載台に発生した振動と逆位相の振動を発生
させて前記機器搭載台に発生した振動を除振する除振装
置に於いて、 前記圧電アクチュエータは、圧電素子と弾性体とを交互
に積層して構成されたことを特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22111091A JPH0544771A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22111091A JPH0544771A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544771A true JPH0544771A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16761641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22111091A Pending JPH0544771A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544771A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002201A (en) * | 1996-01-08 | 1999-12-14 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube with reduced astigmatism and curvature of field |
| JP2018091447A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 株式会社免制震ディバイス | 直動転がり支承 |
| CN113531041A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-10-22 | 山东大学 | 堆叠型压电陶瓷减振环 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP22111091A patent/JPH0544771A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002201A (en) * | 1996-01-08 | 1999-12-14 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube with reduced astigmatism and curvature of field |
| JP2018091447A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 株式会社免制震ディバイス | 直動転がり支承 |
| CN113531041A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-10-22 | 山东大学 | 堆叠型压电陶瓷减振环 |
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