JPH0541564A - 半導体多重歪量子井戸構造 - Google Patents
半導体多重歪量子井戸構造Info
- Publication number
- JPH0541564A JPH0541564A JP19633991A JP19633991A JPH0541564A JP H0541564 A JPH0541564 A JP H0541564A JP 19633991 A JP19633991 A JP 19633991A JP 19633991 A JP19633991 A JP 19633991A JP H0541564 A JPH0541564 A JP H0541564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quantum well
- layer
- semiconductor
- well structure
- lattice constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
結晶転位が少なく光学特性に優れた多重歪量子井戸構造
を提供する。 【構成】 InP基板1上に半導体量子井戸層4と該半
導体量子井戸層よりもバンドギャップの大きい半導体バ
リア層5〜7を交互に積層した多重量子井戸構造におい
て、多重量子井戸構造の1つの周期が、前記InP基板
1と異なった格子定数a1 をもつ半導体層からなる量子
井戸層4と、前記半導体基板と同じ格子定数a0 をもつ
半導体層からなる第1のバリア層5と、格子定数a2 を
もつ半導体層からなる第2のバリア層6と、格子定数a
0 もつ半導体層からなる第3のバリア層7とを順次積層
してなる多層膜であり、かつa1 <a0 ≦a2 またはa
1>a0 ≧a2 である。
Description
体レーザの活性層に、また受光器や光変調器の光吸収層
に用いて、様々なデバイス特性向上が実証されている。
さらに、近年では多重量子井戸構造の量子井戸に圧縮
歪、引っ張り歪をかけてより一層の特性向上を目指した
研究が盛んに行われている。本発明は、このような半導
体多重歪量子井戸構造に関するものである。
子井戸構造の断面図である。この従来例は有機金属気相
成長法(Metal−Organic Vapor P
hase Epitaxy(MOVPE)法)を用いて
形成したInGaAs/InGaAsP/InP系の多
重歪量子井戸構造を示している。(例えば、C.E.Z
ah 他 Appl.Phys.lett.57(1
6),1608(1990))。この多重歪量子井戸構
造の製法としては、初めにInP基板15上にMOVP
E法により、InPバッファ層16、InP基板と同じ
格子定数を持つバンドギャップ波長1.2μmのInG
aAsPバッファ層17を順次積層させた後、InP基
板より長い格子定数を持つIn0 . 6 Ga0 . 4 As量
子井戸層18、InP基板に格子整合したバンドギャッ
プ波長1.2μmのInGaAsPバリア層19を順次
形成してなる多層膜を一周期としてこれを多数回繰り返
し積層させ、最後にInPのキャップ層20を積層させ
て完成する。量子井戸層18にはInP基板15面に平
行方向に0.5%の圧縮歪が掛けられる。
て得られた単一歪量子井戸構造、5周期の多重歪量子井
戸構造の温度77Kでのフォトルミネッセンススペクト
ルを示す。単一量子井戸構造では、バンド端発光が比較
的狭いスペクトル幅で観測されるが、5周期構造では、
歪の緩和によって結晶転位が発生し、バンド端発光以外
に結晶欠陥に起因する深い準位の発光が観測される。こ
の原因は主に2つあげられる。
nGaAsPの界面であり、5族元素の界面付近での拡
散現象のために良好な量子井戸界面が形成され難く、量
子井戸に歪がある場合に結晶転位が発生しやすいことで
ある。第2に結晶転位が発生せずに層構造が形成できる
層厚、すなわち臨界膜層は、歪量に層厚をかけたものを
多層構造内で平均化した量で決まるが、無歪のバリア層
が薄い場合にはこの量が大きくなり、多層膜の臨界膜厚
が小さくなることである。このように、従来例による多
重歪量子井戸構造の形成には、周期数に制限がある。単
に周期数を増やすだけならば、無歪のバリア層を非常に
厚くすれば可能であるが、多重量子井戸の量子井戸数の
一定層厚あたりの大きさがきわめて小さくなって、デバ
イス応用には適さない。上記の例は0.5%の比較的小
さい歪の歪量子井戸のものであるが、この歪量が大きい
場合は多重歪量子井戸構造の形成がより困難になる。
戸数が多く、かつ量子井戸の歪量が大きい領域でも結晶
欠陥の少ない光学特性に優れた多重量子井戸構造を提供
することにある。
歪量子井戸構造においては、多重量子井戸構造の1つの
周期が、半導体基板と異なった格子定数a1をもつ半導
体層からなる量子井戸層と、前記半導体基板と同じ格子
定数a0 をもつ半導体層からなる第1のバリア層と、格
子定数a2 をもつ半導体層からなる第2のバリア層と、
格子定数a0 をもつ半導体層からなる第3のバリア層と
を順次積層してなる多層膜であり、かつa1 <a0 ≦a
2 またはa1 >a0 ≧a2 であることを特徴とする。
は、前記半導体基板がInPで、前記量子井戸層がIn
x Ga1 - x As、前記第1及び第3のバリア層がIn
x Ga1 - x AsY P1 - Y である場合、前記第1及び
第3のバリア層のバンドギャップ波長が1.3μm以上
の長波長であることを特徴とする。
板の格子定数をa0、歪量子井戸層の格子定数をa1 と
すると、a1 <a0 ≦a2 またはa1 >a0 ≧a2 であ
る格子定数a2 を持つ第2のバリア層を格子定数a0 の
第1、第3バリア層内に挿入することにより多重歪量子
井戸構造の1周期あたりの平均歪量が小さくなり、前記
臨界膜厚が増大する。 また、前記半導体基板がInP
で、前記量子井戸層がInz Ga1 - z As、前記第1
及び第3のバリア層がInx Ga1 - xAsP1 - Y で
ある場合、前記第1及び第3のバリア層のバンドギャッ
プ波長が1.3μm以上の長波長とすれば、バリア層の
Inx Ga1 - x AsY P1 - Y のAs組成比が充分大
きくなるため、量子井戸界面付近での5族元素の拡散現
象の影響が小さくなり、良好な量子井戸界面が形成さ
れ、量子井戸の歪量が小さい場合は結晶転位が発生し難
く、多周期の多重歪量子井戸構造が形成できる。
子井戸構造の断面図である。ここではMOVPE法を用
いたInGaAs/InGaAsP/InP系の多重歪
量子井戸構造について説明する。
にMOVPE法によって、層厚0.3μmのInPバッ
ファ層2、InP基板と同じ格子定数a0 を持つ層厚1
2nm、バンドギャップ波長1.3μmのInGaAs
Pバッファ層3を順次積層させた後、InP基板より長
い格子定数a1 を持つ層厚3nmのIn0 . 7 5 Ga
0 . 2 5 Asから成る量子井戸層4、格子定数a0 を持
つ層厚4nm、バンドギャップ波長1.3μmのInG
aAsPから成る第1のバリア層5、InP基板よりも
短い格子定数a2 を持つ層厚4nm、バンドギャップ波
長1.3μmのInGaAsPから成る第2のバリア層
6、格子定数a0 を持つ層厚4nm、バンドギャップ波
長1.3μmのInGaAsPから成る第3のバリア層
7を順次形成してなる多層膜を一周期としてこれを多数
回繰り返し積層させ、最後に0.5μmのInPのキャ
ップ層8を積層させて本発明にかかる多重歪量子井戸構
造は完成する。量子井戸層4には1.5%の圧縮歪、第
2のバリア層6には0.2%の引っ張り歪がそれぞれか
かっている。
り得られる多重歪量子井戸構造の断面図である。ここで
はMOVPE法を用いたInGaAs/InGaAsP
/InP系の多重歪量子井戸構造の製造方法について説
明する。
層厚0.3μmのInPバッファ層10、InP基板と
同じ格子定数a0 を持つ層厚12nm、バンドギャップ
波長1.3μmのInGaAsPバッファ層11を順次
積層させた後、InP基板より長い格子定数a1 を持つ
層厚3nmのIn0 . 6 Ga0 . 4 Asから成る量子井
戸層12、格子定数a0 を持つ層厚12nm、バンドギ
ャップ波長1.3μmのInGaAsPから成るバリア
層13を順次形成してなる多層膜を一周期としてこれを
多数回繰り返し積層させ、最後に0.5μmのInPの
キャップ層14を積層させて本発明にかかる多重歪量子
井戸構造は完成する。量子井戸層12は0.5%の圧縮
歪がかかっている。歪量子井戸層の歪量が小さい場合に
有効である。
の請求項1、請求項2の実施例で説明したい20周期の
多重歪量子井戸構造の温度77Kでのフォトルミネッセ
ンススペクトルを示す。いずれの場合も狭いスペクトル
線幅のバンド端発光以外に結晶欠陥に起因する深い準位
からの発光は観測されず、歪の緩和による結晶転位の発
生が抑制されていることが判る。請求項1の実施例の場
合は、量子井戸の歪量が1.5%と大きい場合でも、量
子井戸と反対方向の歪方向を持つ第2のバリア層によっ
て、多重量子井戸1周期あたりの平均歪量が小さくな
り、多周期の良好な多重歪量子井戸構造が得られる。請
求項2の実施例の場合は、量子井戸の歪量が0.5%と
小さいため、請求項1の実施例の様な第2のバリア層を
用いなくても良好な多重歪量子井戸構造が得られる。こ
れは、従来例の場合と異なり、バリア層が1.3μmの
バンドギャップ波長を持ち、InGaAsPのAs組成
比が大きく、InGaAs量子井戸界面での5族元素の
拡散が起きにくい為である。従って、良好な量子井戸界
面が得られ、歪に対する結晶の耐性が大きくなってい
る。ちなみに、請求項2のみを用いて1.5%の歪量の
多重歪量子井戸構造を形成した場合は、77Kでのフォ
トルミネッセンスにおいて結晶欠陥に起因する深い準位
の発光がみられ、歪量が大きい場合に請求項1の構造が
有効であることを示している。
定層厚あたりの量子井戸数が大きく、かつ結晶欠陥の少
ない光学特性に優れた多重歪量子井戸構造を得ることが
できる。この構造を半導体レーザ、光変調器、受光器等
に適用することにより素子特性が向上する。
いたInGaAs/InGaAsP/InP系の多重歪
量子井戸構造について述べたが、請求項1の発明は他の
エピタキシャル成長法を用いた場合または他の材料の多
重歪量子井戸構造にも適用できる。また請求項2発明
は、他のエピタキシャル成長法を用いた多重歪量子井戸
構造に適用できることはいうまでもない。
る。
る。
トルを示す図である。(a)(b)はそれぞれ請求項
1、2の発明の実施例の場合を示す。
ある。
スペクトルを示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体基板上に形成された、半導体量子
井戸層と該半導体量子井戸層よりもバンドギャップの大
きい半導体バリア層を交互に積層した多重量子井戸構造
に於いて、前記多重量子井戸構造の1つの周期が、前記
半導体基板と異なった格子定数a1 をもつ半導体層から
なる量子井戸層と、前記半導体基板と同じ格子定数a0
をもつ半導体からなる第1のバリア層と、格子定数a2
をもつ半導体層からなる第2のバリア層と、格子定数a
0 をもつ半導体層からなる第3のバリア層とを順次積層
してなる多層膜であり、かつa1 <a0 ≦a2 またはa
1 >a0 ≧a2 であることを特徴とする半導体多重歪量
子井戸構造。 - 【請求項2】 前記半導体基板がInPで、前記量子井
戸層がInz Ga1- z As、前記第1及び第3のバリ
ア層がInx Ga1 - x AsY P1 - Y であり、前記第
1及び第3のバリア層のバンドギャップ波長が1.3μ
m以上の長波長であることを特徴とする請求項1記載の
半導体多重歪量子井戸構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19633991A JP2806089B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 半導体多重歪量子井戸構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19633991A JP2806089B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 半導体多重歪量子井戸構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0541564A true JPH0541564A (ja) | 1993-02-19 |
JP2806089B2 JP2806089B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=16356191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19633991A Expired - Lifetime JP2806089B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 半導体多重歪量子井戸構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2806089B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308463A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-02 | Sony Corp | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
KR100780212B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2007-11-27 | 삼성전기주식회사 | 질화물 반도체 소자 |
JP2010093192A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Anritsu Corp | 半導体発光素子 |
KR100963973B1 (ko) * | 2008-02-26 | 2010-06-15 | 한국광기술원 | 질화물계 발광소자 및 그의 제조방법 |
JP2012114464A (ja) * | 2008-02-01 | 2012-06-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャルウエハおよびその製造方法 |
US8610105B2 (en) | 2009-05-15 | 2013-12-17 | Oclaro Japan, Inc. | Semiconductor electroluminescent device with a multiple-quantum well layer formed therein |
JP2020109817A (ja) * | 2019-01-07 | 2020-07-16 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02130988A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 量子井戸半導体レーザ素子 |
JPH02310985A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ装置 |
JPH033384A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Hitachi Ltd | 半導体光素子 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP19633991A patent/JP2806089B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02130988A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 量子井戸半導体レーザ素子 |
JPH02310985A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ装置 |
JPH033384A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Hitachi Ltd | 半導体光素子 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308463A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-02 | Sony Corp | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
JP4560885B2 (ja) * | 2000-04-27 | 2010-10-13 | ソニー株式会社 | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
KR100780212B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2007-11-27 | 삼성전기주식회사 | 질화물 반도체 소자 |
JP2012114464A (ja) * | 2008-02-01 | 2012-06-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャルウエハおよびその製造方法 |
US8729527B2 (en) | 2008-02-01 | 2014-05-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Light-receiving element, light-receiving element array, method for manufacturing light-receiving element and method for manufacturing light-receiving element array |
JP2014135523A (ja) * | 2008-02-01 | 2014-07-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャルウエハおよびその製造方法 |
KR100963973B1 (ko) * | 2008-02-26 | 2010-06-15 | 한국광기술원 | 질화물계 발광소자 및 그의 제조방법 |
JP2010093192A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Anritsu Corp | 半導体発光素子 |
US8610105B2 (en) | 2009-05-15 | 2013-12-17 | Oclaro Japan, Inc. | Semiconductor electroluminescent device with a multiple-quantum well layer formed therein |
JP2020109817A (ja) * | 2019-01-07 | 2020-07-16 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
US11888090B2 (en) | 2019-01-07 | 2024-01-30 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting element and method of producing semiconductor light-emitting element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2806089B2 (ja) | 1998-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2959933B2 (ja) | 半導体素子 | |
US11201261B2 (en) | Deep ultraviolet light emitting element and method of manufacturing the same | |
US20060017063A1 (en) | Metamorphic buffer on small lattice constant substrates | |
JP3362356B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP4554526B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JPH0418476B2 (ja) | ||
US5929462A (en) | Semiconductor optical device having a strained quantum well structure | |
Yasuoka et al. | Quantum-dot semiconductor optical amplifiers with polarization-independent gains in 1.5-$\mu $ m wavelength bands | |
US9548414B2 (en) | Optical device based on bismuth-containing III-V compound multilayer semiconductors | |
JP2806089B2 (ja) | 半導体多重歪量子井戸構造 | |
JPH06216403A (ja) | 半導体受光素子 | |
CN113272974A (zh) | 半导体发光元件和半导体发光元件的制造方法 | |
Ning et al. | Interband cascade lasers with short electron injector | |
JP3443803B2 (ja) | 半導体構造およびその製造方法 | |
JP2008103498A (ja) | 発光素子 | |
CN109742205B (zh) | 一种具有极性反转层的led外延结构及制作方法 | |
JPS62291184A (ja) | 半導体受光装置 | |
JPH07118571B2 (ja) | 半導体歪量子井戸構造 | |
JP3582021B2 (ja) | 光半導体素子 | |
JP3014364B2 (ja) | 量子波干渉層を有した半導体素子 | |
JPS62169115A (ja) | 光変調器 | |
JP3169064B2 (ja) | 半導体立体量子構造の作製方法 | |
KR100701127B1 (ko) | 교번 성장법에 의한 양자점 형성 방법 | |
JPH10242511A (ja) | 歪多重量子井戸構造 | |
JPH05343738A (ja) | 光半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980623 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070724 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080724 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090724 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100724 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110724 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110724 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 14 |