JPH053653B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体、特に高記録密度にす
ぐれた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体に関するも
のである。 従来例の構成とその問題点 近年磁気記録媒体は、磁気記録密度の向上に見
られるようにその技術的発展はめざましいものが
ある。従来の磁気記録媒体の例としてオーデイ
オ、ビデオ用テープとして、γ−Fe₂O₃粉末、
CrO₂粉末、純鉄粉末等を樹脂等のバインダーと
ともに高分子フイルム上に塗着せしめたいわゆる
塗布型の磁気記録媒体がある。 しかし、従来の塗布型テープより保磁力、記録
密度、電磁変換特性を改良するために真空蒸着
法、メツキ、イオンプレーテイング、スパツタリ
ングなどの方法でFe，Ni，Co，Cr等の磁性体金
属を単独、もしくは合金で高分子フイルム基板上
に蒸着する金属薄膜型磁気記録媒体の検討がなさ
れている。また強磁性金属薄膜型磁気記録媒体と
して斜方入射蒸着法を用いたマイクロカセツト用
テープが既に実用化されている。 強磁性金属薄膜から成る磁気記録媒体における
大きな問題点として、例えばビデオテープレコー
ダ用テープとして使用する場合、走行安定で目づ
まりしない、スチルライフの長いものでなければ
ならない。 強磁性金属薄膜型テープは真空蒸着法等に見ら
れるようにテープの表面性は従来塗布型と比較し
て非常にすぐれ、数百Å以下の表面性を維持する
ことも可能でノイズの少ないカラー出力の高い、
高画質が得られる。しかし、表面性を良くすると
画質は改善されるが、記録再生時にヘツドとテー
プ間の摩擦係数は上昇し、走行が不安定になり、
繰り返し走行時には走行不能となる。また、静止
画像（スチル状態）を見るとテープ表面に傷が入
り易くライフの短いものである。 発明の目的 本発明は、上記の欠点をなくし、摩擦係数の低
い、走行耐久性の良い、スチルライフのある高出
力特性を示す磁気記録媒体を提供することを目的
とするものである。 発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、高分子フイルム基板
の強磁性薄膜中に有機化合物を含有することを特
徴とする。 本発明に用いられる高分子基板は、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポ
リ塩化ビニル、ポリエチレンナフタレート、ポリ
カーボネート、セルローズトリアセテート等であ
る。上記の基板上に強磁性金属薄膜を形成する方
法は、蒸着、イオンプレーテイング、スパツタリ
ングまたは気相成長法等を用いる。 本発明における蒸着は、電子ビーム蒸着、誘導
加熱蒸着、あるいは、磁界、電界蒸着等の方法を
さしている。 本発明に用いられる強磁性薄膜はCo，Fe，
Ni，Cr、或いはこれらをベースにした各種の合
金、例えばCo−Ni，Co−Fe，Co−Cr，Co−
Cu，Co−Pt，Co−Cd，Co−Sn，Co−Ni−Crお
よびこれらの酸化物をさし、磁化方法により面内
磁化膜、垂直磁化膜いずれも含まれる。 高分子フイルム基板上の強磁性薄膜に有機化合
物を含有する方法は、強磁性薄膜形成時の基板温
度と副射熱を利用するか、あるいは蒸着雰囲気中
に有機化合物を導入する方法、あるいは真空排気
に用いる油拡散ポンプ等のオイルミストの利用等
がある。 本発明は、従来法と異なり以下に述べる作用の
効果を有する。 強磁性金属薄膜中に有機化合物を含有すること
でヘツド表面との摩擦係数が低下し、走行耐久性
が大幅に改善出来る。また低温低湿での環境下に
おいても有機化合物の変化が少なく、安定した走
行性でスチルライフの長いものである。 勿論本発明を実施するにあたり、強磁性金属薄
膜フイルムの表面、裏面に湿式法、乾式法等の手
段を用いて滑剤、防錆剤等を塗布しても良い。 実施例の説明 以下実施例によつて本発明を具体的に説明す
る。 図に示すように巻出し軸１にセツトした高分子
フイルムは、円筒状のクーリングキヤン２の周側
面に沿つて移動し、巻取り軸３で巻取られる。ク
ーリングキヤン出入口にニツプローラ４，５を設
け、キヤンとの密着を良くすることで熱ダメージ
を少なくする。高分子フイルムの一方の面はクー
リングキヤンの周側面に沿つた状態で、下方の蒸
発源容器６内の強磁性金属材料７の蒸気流で強磁
性薄膜が形成される。 これらの系は真空槽８の内部に配設され、真空
槽は例えば隔壁９で２室に別けられ、夫々に真空
排気系１０，１１を具備する。 例えば真空蒸着法による場合、蒸着に不要な入
射角成分を遮へいするマスク１２がある。 また垂直磁化膜をスパツタリング、あるいは電
子ビーム蒸着で得る場合は別の工夫が必要とな
る。 ここで強磁性薄膜内に有機化合物を含有する方
法は、クーリングキヤンの設定温度範囲と蒸発源
容器の高さを最適位置にすることで含有する有機
化合物を調整する。また別の方法として、有機化
合物を蒸着金属の蒸気流中に入れ蒸着しても良
い。 （実施例 １） ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚み
10.5μｍ、幅50cm）を巻出し軸にセツトし、Co80
％−Ni20％の合金を電子ビーム溶解し、強磁性
薄膜1500Åを形成した。クーリングキヤンの直径
は1000mmφで表面温度０℃で行つた。蒸発源容器
は蒸着時の蒸気流の入射角が40゜Rから90゜R成分
になるよう、また高さはクーリングキヤン中心か
ら750mmの位置で平均蒸着速度は1000Å／sec.で
行つた。 蒸着時の真空度は２×10^-5torrで酸素導入雰囲
気下で蒸着した。 全長1000を蒸着後、大気中に取り出し、８mm幅
の裁断しテープとした。 （実施例 ２） ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚み、
8μｍ、幅50cm）を巻出し軸にセツトし、クーリ
ングキヤンの表面温度を25℃で蒸発源容器の高さ
をキヤンの中心位置から1000mmとし、（実施例１）
と同様に同条件の蒸着を行い、Co−Ni−Ｏ薄膜
を形成し、テープとした。 （実施例 ３） ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚み
8.5μｍ、幅50cm）を巻出し軸にセツトし、クーリ
ングキヤンの周側面に沿つて移動し、下方よりフ
イルム上にCo80％−Ni20％の合金を電子ビーム
蒸着する。この時蒸着金属の蒸気流中に誘導加熱
したベヘン酸アミドの有機化合物を導入する。そ
の他の蒸着方法、条件は実施例１と同様におこな
い、真空蒸着後大気中に取り出し、テープにす
る。 （実施例 ４） 真空蒸着機の排気系に用いる油拡散ポンプのオ
イルトラツプするバツフアの冷凍機を断続に停止
し、オイルの一部を真空槽内にミスト状に飛散さ
せる。その他の蒸着条件は（実施例１）と同条
件、同方法で行いテープにする。 （実施例 ５） ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚み
5μｍ幅50cm）を巻出し軸にセツトし、クーリン
グキヤンの周側面に沿い、下方よりCo78％−
Cr22％の合金を高周波マグネトロンスパツタ法
で0.2μｍ蒸着し、巻取る。 クーリングキヤンの表面温度は90℃でスパツタ
カソードの距離10cmでアルゴン雰囲気中で行つ
た。Co−Cr垂直磁化膜形成後、大気中に取り出
し、テープにした。 以上の実施例で得られたテープについて摩擦係
数および走行耐久性、スチルライムの評価を行つ
た。 評価法は市販のVHSデツキ（例えば松下電器
製マツクロード88：NV−8800型）と同等の走行
系を有する８mm幅用のデツキを試験機用として試
作し、テープ長50ｍにつき、摩擦係数、繰り返し
走行、スチルライフ特性試験を行つた。 また、強磁性金属薄膜内の有機化合物を定量化
するために光電子分光分析装置（ESCA）を用い
て、Co金属とCH結合のスペクトルを定量化し
CH／Co（スペクトルの感度補正を考慮）の比率
から有機化合物量を見積つた。走行耐久性は初期
値と100回繰返し後の摩擦係数をはかり100回走行
した後の値と初期値との比から求め、100回走行
後の目づまり状態を観察した。スチルライフは、
バツクテンシヨン15grで30分以上の寿命を有する
ものをＯとした。

【表】 以上の結果をまとめると第一表に示すように磁
性金属薄膜内に有機化合物を有することでテープ
の走行性能は改善し、耐久性が出来、スチルライ
フも長くなる。走行耐久性、スチルライフは有機
化合物の含有量の増加に比例して良くなるが、目
ずまりも増加する。本発明で有機化合物の最適量
はCH／CO比0.5〜15の範囲である。 0.5以下では走行耐久性が悪く、15以下では目
づまりが多く実用範囲でない。また、本発明の有
機化合物を含有することで、磁気ヘツドの面粗れ
摩耗が少なく安定なもなで効果が明白である。 発明の効果 実施例で記述したように、強磁性金属薄膜中に
有機化合物を含有することで走行耐久性、スチル
ライフが向上し、電磁変換特性のすぐれた量産可
能な磁気記録媒体を供給することを可能にする。

【図面の簡単な説明】

図は本発明を実施するために用いた蒸着装置の
主要構成図である。 １，３……高分子フイルムの巻出し、巻取り
軸、２……クーリングキヤン（又は加熱ロールキ
ヤン）、４，５……ニツプロール、６……蒸発源
容器、７……強磁性金属、８……真空槽、９……
真空槽隔壁、１０，１１……真空排気ポンプ、１
２……遮へい板（マスク）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 高分子フイルムに強磁性金属薄膜を形成した
   蒸着フイルムの前記金属薄膜内に磁性金属が
   CH／Co比で0.5〜15の範囲の有機化合物を含有
   することを特徴とする磁気記録媒体。