JPS59185033A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体の製造方法、特に高記録密度に
すぐれた強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関
するものである。

従来例の構成とその問題点 近年磁気記録媒体は、磁気記録密度の向上に見られるよ
うにその技術的発展はめざましいものがある。従来の磁
気記録媒体の例としてオーディオ。

ビデオ用テープとしてγ−Ｆｅ２０３粉末、　ＣｒＯ２
粉末、純鉄粉末等を樹脂等のバインダーとともに高分子
フィルム上に塗着せしめたいわゆる塗布型の磁気記録媒
体がある。

しかし、従来の塗布型テープよシ保磁力、記録密度、電
磁変換特性を改良するために、真空蒸着法、メッキ、イ
オンプンーティング、スパッタリングなどの方法でＦｅ
　、　Ｎｉ　、　Ｇｏ　、　Ｏｒ　等の強磁性体金属を
単独；もしくは合金で高分子フィルム基板上に蒸着する
金属薄膜型磁気記録媒体の検討がなされている。また強
磁性金属薄膜型磁気記録媒体として斜方入射蒸着法を用
いたマイクロカセット用テープが既に実用化されている
。

強磁性金属薄膜から成る磁気記録媒体における大きな問
題点として、例えばビデオ用テープとして使用する場合
、各種環境下にあっても走行安定で目づまシしない、画
質が良好なものでなければならない。

強磁性金属薄膜型テープは真空蒸着法等に見られるよう
にテープ表面性は従来塗布型と比較して非常にすぐれ、
数百Å以下の表面性を維持することも可能でノイズの少
ないカラー出力の高い高画質が得られる。しかし、表面
性を良くすると画質は改善されるが、記録再生時にヘッ
ドとテープ間の摩擦係数は上昇し、走行が不安定になり
、高温高湿の環境下では走行不能となる。

磁気記録媒体は各種環境下においても磁気信号の記録、
再生時に磁気ヘッドとの走行が円滑にかつ安定な状態で
なければなら々いため、真空蒸着法による金属薄膜テー
プでは従来、表面層に種々の滑剤層を設ける検討がなさ
れている。しかし滑剤による滑性および走行の安定性に
ついては通常環境（例えば２６°Ｃ，６０％ＲＨ）では
改善されるが、高温高湿、（例えば３０°Ｃ，９０係）
、低温低湿（例えば６°Ｃ，１０％ＲＨ）では滑性およ
び走行耐久性については問題が多く残っている。これは
滑剤の安定性とテープ表面との耐着強度が弱く、耐摩耗
性がないことによる。

発明の目的 本発明は上記の欠点を々くし、摩擦係数の低い、走行耐
久性の安定な、高出力を有する磁気記録媒体の製造方法
を提供することを目的とするものである。

発明の構成 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、高分子フィルム基
板またはこのフィルムの表面に強磁性金属を蒸着した蒸
着フィルムを加圧ローラで加圧することを特徴とする。

本発明に用いられる高分子基板は、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリアミド、ポリイミド、月ぼす塩化ビニル
、ポリエチレンナフタレ−１−、ポリカーボネート、セ
ルローズトリアセテート等であるが、必要に応じて、上
記の基板上に、蒸着、メッキ、イオンブレーティング、
ス・くツタリング又は気相成長法等により、強磁性金属
薄膜を形成しでも良い。

本発明における蒸着は、電子ヒーム蒸着、誘導加熱蒸着
、イオンブレーティング、スノくツタリング、電界蒸着
等の方法をさしている。

本発明に用いられる強磁性薄膜はｃｏ　、　Ｆｅ　、Ｎ
ｉ。

Ｇｒ、或いはこれらをベースにしだ各錘の合金、例えば
Ｇｏ−Ｎｉ　、　Ｃｏ−Ｆｅ　、　Ｇｏ−Ｃｒ　、　Ｇ
ｏ−Ｃｕ　、　Ｇｏ−Ｐｔ　。

Ｇｏ　−Ｇｄ　、　Ｇｏ−３ｎ　、　Ｇｏ−Ｎｉ−Ｃｒ
およびこれらの酸化物をさし、磁化方法により面内磁化
薄、垂直磁化膜のいずれも含まれる。

高分子フィルムに形状を付与する方法として２つのロー
ラ間に高分子フィルムを通し、加圧する。

この場合複数個のローラで構成することも可能であり、
ローラを加熱することで形状付与を行っても良い。

ローラ加圧で形状付与する場合、高分子フィルムに形状
付与後、蒸着を行っても、蒸着後に加圧して形状付力し
ても良い。形状付力する場合、高分子フィルムあるいは
蒸着フィルムに５０〜１０００人の範囲が有効で、好ま
しくは１００人着フィルムの表面、裏面に湿式法、乾式
法等の手段を用いて有機化合物を附着しても良い。有機
化合物を附着する目的は、滑性の効果を高め、防錆剤の
機能をもたせる。

湿式法としてはロントコ−ティング法、エアーナイフ法
、グラビア法、リバースロール法、ドクターナイフ法が
あり、乾式法は有機蒸着、プラズマ重合法などがある。

本発明は、従来法と異なり以下に述べる作用の効果を有
する。

強磁性金属薄膜上に形状付与することでヘッド表面との
摩擦係数が低下し、走行耐久性が太中畠に改善出来る。

また、形状付力することで各種環境下での繰り返し走行
に効果がある。しかし、形１ｅ付与する場合、形状の高
さ２割合を最適値にしなければ、カラー出力、Ｃ／Ｎ　
、Ｓ／Ｎが悪くなり、走行が不安定になるので注意しな
ければならない。

次に本発明の実施例を具体的に説明する。

実施例の説明 以下実施例によって本発明を具体的に説明する。

第１図に示すように巻出し７軸１にセットした高分子フ
ィルムは、円筒状のクーリングキャン２の周側面に沿っ
て移動し、巻取り軸３で巻き取られ。

る。高分子フィルムの一方の面はクーリングキャンの周
側面に沿った状態で、下方の蒸発源容器４内の強磁性金
属材料の蒸着流で強磁性薄膜が形成される。

形状付与する場合は例えば強磁性薄膜形成前に加圧ロー
ラ５，６で加圧して形状付与するか、強磁性薄膜形成後
に加圧ローラ７．８で形状付与する。壕だクーリングキ
ャンを固定ローラとし、加圧ローラ９，１０を用いて強
磁性薄膜形成前後に形状付与しても良い。

形状伺与を加熱ローラを用いて行う場合は、ローラの熱
媒を循環させながら高分子フィルムの隅点以下の温度で
加圧する。

これらの系は真空槽１１の内部に配設され、真空槽は例
えば隔壁１２二室に別けられ、夫々に真空排気系１３．
１４を具備する。

１４は例えば真空蒸着法による場合、蒸着に不要な入射
角成分を避へいするマスク１５である。

垂直磁化薄をスパッタリングあるいは電子ビーム蒸着で
得る場合は別の工夫が必要となる。

（実施例１） ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＪｌｌＱ、５μ
ｍ５幅６（＋ｃ１ｎ）を巻出し軸にセットし、表面ｉｏ
、５　Ｓ　ｔ７）　０−７　テ加圧後、ｃｏ　ｓ　ｏ　
％　＋　Ｎ１２ｏｉの合金を電子ビーム溶解し、強磁性
薄膜１６００人を形成した。クーリングキャンの直径は
１ｏｏｏａで表面温度３０°ｌＣで行った。蒸着時の真
空度は２Ｘ１０”ｔｏｒｒで、酸素導入雰囲気下で蒸着
した。

蒸着時の蒸気流の入射角は４０°Ｒから９００Ｒ成分を
用い、平均蒸着速度は１０００人、／ｓｅｃで行った。

全長１，０００ｍを蒸着後大気中に取り出し、８朋幅の
磁気テープを得た。

（実施例２） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚ミ８μｍ１幅
６ｏ　ｃｍ　）を巻出し軸にセットし、表面性０．３Ｓ
、表面温度８０℃のローラ間で加圧後、Ｃｏ５ｏ％Ｎ１
２ｏ％の合金を電子ビーム蒸着する。

蒸着条件、蒸着方法は実施例１と同様１５００人のＣｏ
−Ｎｉ−０薄膜を形成後、テープにした。

（実施例３） ポリエチレンテレフタレート（厚み９．０μｍ。

幅５０ＣＴＬ）を巻出し軸にセットし、表面性０．２８
のクーリングキャンの周側面に沿わず。この場合クーリ
ングキャン表面の高分子フィルムを他方から表面性０．
５８のローラで加圧し、形状付４後実施例１と同様の方
法、同条件で蒸着する。蒸着後大気中に取り出し、テー
プにする。

（実施例４） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚ミ８．６μｍ
２幅５０　ａｒｔ　）を巻出し軸にセットし、りＩＪン
グキャンの周側面に沿って移動し、下方よりフィルム上
にＣｏ５ｏ％Ｎ１２ｏ％の合金を電子ビーム蒸着する。

蒸着後クーリングキャンの側面力・ら実施例３と同様に
加圧し蒸着した強磁性薄膜表面に形状を付与し、巻取シ
軸で巻取られる。この場合の蒸着方法６条件は実施例１
と同様におこない、真空蒸着後大気中に取り出し、テー
プにする。

（実施例６） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚ミ１０μｍ９
幅ｓ　ｃ）　ｃｍ　）を巻出し軸にセットし、クーリン
グキャンの周側面に沿って移動し、下方よりフィルム上
にＧｏ８０％Ｎ１２Ｑ％の合金を電子ビーム蒸着する。

蒸着後、クーリングキャンと巻取り軸の中間位置に実施
例１同様に２ケの加圧口−ラで蒸着フィルム表面に形状
を付与し、巻取り後に大気中に取シ出し、テープにする
。

この場合の蒸着方法、糸外は実施例１と同様におこなっ
た。

（実施例６） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚ミ５μｍ５幅
５ｏｍ）を巻出し軸に七ノトシ、表面性０、Ｉ　Ｓのり
〜リングキャンの周側面に沿わす。この場合クーリング
キャン表面を１ｏｏ’ｃで側面より加圧ローラで形状付
与し、実施例１と同様にＣｏ−Ｎｉ−０薄嘆を形成し、
大気中に取り出しだ後テープにする。

（実施例７） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚ミ５μｍ１幅
６０ｃｆｒＬ）を巻出し軸にセットし、表面性０．５８
表面温度１２０℃のローラ間で加圧後、クーリングキャ
ンの周側面に沿い、下方よりＧＯ７８％Ｏｒ　２０％の
′合金を高周波マグネトロンスパッタ法で０．２μｍ蒸
着し、巻取る。

り〜リングキャン（直径１０００φ５表面温度ｍ広 ９０°Ｃ）とスパッタカソードの距離１０ｃＩｒＬで、
アルゴン雰囲気中で行った。Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜形成
後、大気中に取シ出し、テープにした。

（比較例１） 実施例１と同様、ポリエチレンテレフタレートフィルム
（厚み１０．５μｍ２幅６ｏ　ｃｍ　）を巻出し軸にセ
ントし、クーリングキャンの周側面に沿って下方よりＧ
ｏＢＯ％Ｎ工２０チの工性０チを電子ビーム蒸着し、Ｇ
ｏ　−Ｎｉ−０膜を形成し巻取る。真空蒸着後大気中に
取り出しテープにする。

蒸着条件および蒸着方法は実施例１と同様におこなった
。

以上の実施例および比較例で得られたテープについて摩
擦係数および走行耐久性、各種環境下での性能を総合的
に評価した。

評価法は市販のＶＨＳデツキ（例えば松下電器製マノク
ｏ−）”８８　：ＮＶ−８８００型）と同等の走行系を
有する８問幅用のデツキを試験機用として試作し、テー
プ長６０ｍにつき、摩擦係数。

繰り返し走行、メチル特性、耐蝕性試験を行った。

評価環境は３０℃９０％ＲＨ，耐蝕性試験は６０°Ｃ９
０％ＲＨ１ケ月放置後の値を示す。測定結果を第１表に
示す。走行耐久性の摩擦係数は比較例１の初期値を１と
し、その相対値を示す。耐蝕性試験は１ケ月放置後の摩
擦係数を示す。また、スチルライフハハノクテンション
１５ｇ「で３０分以上の寿命の場合を○印で、５分以下
を××としだ。

以上の結果をまとめると本発明の形状付与したテープは
１００パス後も走行が安定し、耐蝕性にもすぐれておシ
、かつスチルライフについてもいずれもＧｏ分以上の寿
命があり、磁気ヘッドの面粗れ、摩耗が非常に少なく安
定なもので本発明の効果が明白である。

本発明の形状を調べるために、表面粗さ計（クリステノ
ブ）を用いて蒸着テープ表面の粗さを測定した。その結
果を第２図に示す。この結果従来例のポリエステルフィ
ルムは表面性にすぐれその表面粗さは平均６０〜１００
人であるが形状付与したものは表面粗さが５０〜１５０
人でかつ粒子状の突起物の形をしていることが走査型電
子顕微鏡から解った。

発明の効果 以上の実施例で記述したように、加圧ローラで強磁性金
属薄膜表面に形状付与することで、走行耐久性、各種雰
囲気でも高性能な、メチルライフの長い磁気記録媒体が
得られる。まだ本発明は従来表面性がすぐれた蒸着テー
プの問題点であっだ走行性能を大幅に改善し、電磁変換
特性のすぐれた量産可能な磁気記録媒体を供給すること
を可能にする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を実施するだめに用いた蒸着装置の主要
部構成図、第２図は本発明の実施例と比較的における磁
気記録媒体の表面あらさを示す図である。 １．３・・・・・・高分子フィルムの巻出し１巻取ｐ軸
、２・・・・・クーリングキャン（又は加熱ロールキャ
ン）５．６，９，１０，７．８・・・・・・加圧ロール
（加熱可能）４・・・・・・強磁性金属材料、１１・川
・・真空槽、１２・・・・・真空槽隔壁、１３．１４・
・・・・・真空排気系。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子フィルムまたはこのフィルムの表面に強磁性薄膜
   を形成した蒸着フィルムを加圧ローラで加圧することを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。