JPS59188825A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体、特に高記録密度にすぐれた強
磁性金属薄膜型磁気記録媒体に関するものである。

従来例の構成とその問題点 近年磁気記録媒体は、磁気記録密度の向上に見られるよ
うにその技術的発展はめざましいものがある。従来の磁
気記録媒体の例としてオーディオ。

ビデオ用テープとして、γ−Ｆｅｚ９ｓ粉末、　ＣｒＯ
２粉末、純鉄粉末等全樹脂等のバインダーとともに高分
子フィルム上に塗着せしめたいわゆる塗布型の磁気記録
媒体がある。

しかし、従来の塗布型テープよシ保磁力、記録密度、電
磁変換特性を改良するために真空蒸着法。

メッキ、イオンプレーチイング、スパッタリングなどの
方法でＦｅ、）ｉｉ、Ｃｏ、Ｃｒ等の磁性体金嘱を単独
、もしくは合金で高分子フィルム基板上に蒸着する金属
簿膜型磁気記録媒体の検討がなされている。筐だ強磁性
金属薄膜型磁気記録媒体として斜方入射蒸着法を用いた
マイクロカセット用テープが既に実用化されている。

強磁性金属薄膜から成る磁気記録媒体における大きな問
題点として、例えばビデオテープレコーダ用テープとし
て便用する場合、走行安定で目づまりしない、メチルラ
イフの長いものでなければならない。

強磁性金属薄膜型テープは真空蒸着法等に見られるよう
にテープの表面性は従来塗布型と比較して非常にすぐれ
、数百Å以下の表面性全維持することも可能でノイズの
少ないカラー出カフの高い、高画質が得られる。しかし
、辰面性金良くすると画質は改善されるが、記録再生時
にヘッドとテ−プ間の摩擦係数は上昇し、走行が不安定
になり、繰り返し走行時には走行不能となる。また、静
止画像（メチル状態）を見るとテープ表面に傷が入り易
くライフの短いものである。

発明の目的 本発明は、上記の入点？：なくし、摩擦係数の低い、走
行耐久性の良い、スチルラ・イフのある高出力特性を示
す磁気記録媒体を提供すること全目的とするものである
。

発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、高分子フィルム基板の強磁性
薄膜中に有機化合物を含有することを特徴とする。

本発明に用いられる高分子基板は、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、
ポリエチレンナフタレート、ポリカーホネート、セルロ
ーズトリアセテート等である。」二記の基板上に強磁性
金属薄膜全形成する方法は、蒸着、イオンブレーティン
グ、スノくツタＩＪングまたは気相成長法等を用いる０ 本発明における蒸着は、電子ビーム蒸着、誘導加熱蒸着
、あるいは、磁界、電界蒸着等の方法金さしている。

本発明に用いられる強磁性薄膜はｃｏ　、　Ｆｅ　、Ｎ
ｉ。

Ｃｒ、或いはこれらをベースにした各種の合金、例えば
Ｃｏ−Ｎｉ　、　Ｃｏ−Ｆ’ｅ　、　Ｃｏ−Ｃｒ　、　
Ｃｏ−Ｃｕ。

Ｃｏ−Ｐｔ　、　Ｃｏ−Ｃｄ、　Ｃｏ−３ｎ　、　Ｃｏ
−Ｎ’１−Ｃｒおよびこれらの酸化物をさし、磁化方法
により面内磁化膜、垂直磁化膜いずれも含まれる。

高分子フィルム基板上の強磁性薄膜に有機化合物を含有
する方法は、強磁性薄膜形成時の基板端ＩＷと副射熱を
利用するか、あるいは蒸着雰囲気中に有機化合物を導入
する方法、あるいは真空排気に用いる油拡散ポンプ等の
オイルミストの利用等がある。

本発明は、従来法と異な９以下に述べる作用の効果を有
する。

強磁性金属薄膜中に有機化合物を含有することでヘッド
表面との摩擦係数が低下し、走行耐久性が大幅に改善出
来る。また低温低湿での環境下においても有機化合物の
変化が少なく、安定した走行性でスチルライフの長いも
のである。

勿論本発明全実施するにあたり、強磁性金属薄膜フィル
ムの表面、裏面に湿式法、乾式法等の手段を用いて滑剤
、防錆剤等全塗布しても良い。

実施例の説明 以下実施例によって本発明全具体的に説明する。

図に示すように巻出し軸１にセットした高分子フィルム
は、円筒状のクーリングキャン２の周側面に沿って移動
し、巻取り軸３で巻取られる。クーリングキャン出入口
にニップローラ４．５を設け、キャンとの密着を良くす
ることで熱ダメージを少なくする。高分子フィルムの一
方の面はクー１１ングキヤンの局側面に沿った状態で、
下方の蒸発源容器θ内の強磁性金属材料７の蒸気流で強
磁性薄膜が形成される。

これらの系は真空槽８の内部に配設され、真空槽は例え
ば隔壁９で２室に別けられ、夫々に真空排気系１０．１
１を具備する。

例えば真空蒸着法による場合、蒸着に不安な入射角成分
を遮へいするマスク１２がある。

また垂直磁化膜をスパッタリング、あるいは電子ビーム
蒸着で得る場合は別の工夫が必安となる。

ここで強磁性薄膜内に有機化合物全含有する方法は、ク
ーリングキャンの設定温度範囲と蒸発源容器の高さ全最
適位置にすることで含有する有機化合物量全調整する。

また別の方法として、有機化合物を蒸着金属の蒸気流中
に入れ蒸着しても良い０ （実施例１） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み１０ｊ６　
μｍ　、幅６０ｃＩＩＬ）’ｉ巻出し軸にセットし、Ｃ
ｏ８０９６−Ｎｉ２ｏ％の合金全電子ビーム溶解し、強
磁性薄膜１５００Ａを形成した。クーリングキャンの直
径は１０００ｍｍφで表面温度０”′Ｃで行った。蒸発
源容器は蒸着時の蒸気流の入射角が４０′）Ｒから９０
０Ｒ成分になるよう、−ｉた高さはクーリングキャン中
心から７５０　ｍｍの位置で平均蒸着速ｉ１は１０００
人／　ｓｅｃ、で行った。

蒸着時の真空度は２　Ｘ　１０−”　ｔｏｒｒで酸素導
入雰囲気下で蒸着した。

全長１０００全蒸着後、大気中に取り出し、８【面幅の
裁断しテープとした。

（実施例２） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み、８μｍ１
幅６ｏＣ１ｎ）ｉ巻出し軸にセットし、クーリングキャ
ンの表面温変音２６℃で蒸発源容器の高さをキャンの中
心位置から１０００　ａｍとし、（実施９１１１）と同
様に同条件の蒸着全行い、Ｃ０−Ｎ１−０薄膜全形成し
、テープとした。

（実施例３） ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み８．６μｍ
９幅６０ＣＴＬ）ｉ巻出し軸にセットし、クーリングキ
ャンの周側面に沿って移動し、下方よりフィルム上にＣ
ｏ　８０％−Ｎｉ　２０％の合金を電子ビーム蒸着する
。この時蒸着金属の蒸気流中に誘導加熱したベヘン酸ア
ミドの有機化合物を導入する。その他の蒸着方法１条件
は実施例１と同様におこない、真空蒸着後大気中に取り
出し、テープにする。

（実施例４） 真空蒸着機の排気系に用いる油拡散ポンプのオイルトラ
ップするバッファの冷凍機を断続に停止し、オイルの一
部を真空槽内にミスト状に飛散させる。その他の蒸着条
件は（実施？１Ｊ１）と同条件。

同方法で行いテープにする。

（実施例５） ポリエチレンナックレートフィルム（厚み６μｍｉＰＭ
　６０鍜）ヲ巻出し軸にセットし、クー１Ｊングキヤン
の周側面に沿い、下方よりｃｏ７Ｂ９ｄ−Ｃｒ２２９６
の合金を高周波マグネトロンスパッタ法で０．２μｍ蒸
着し、巻取る０ クーリングキャンの表面温度は９０℃でスハツタカソー
ドの距離１０＋ｍでアルゴン雰囲気中で行った０ＣＯ−
Ｃｒ垂直磁化膜形成後、大気中に敗り出し、テープにし
た。

以上の実施例で得られたテープについて摩擦係数および
走行耐久性、スチルライムの評価を行った０ 評価法は市販のＶＨＳデツキ（例えば松下電器製マツク
ロ）”　８８　：　Ｎ　”ｉ　　８８００型）と同等の
走行系を有するｓｍｍ幅用のデツキを試験機用として試
作し、テープ長５０ｍにつき、摩擦係数。

繰り返し走行、スチルラ・ｆフ特性試験を行った。

また、強磁性金属薄膜内の有機化合物を定量化するため
に光電子分光分析装置（ＥＳＣ＆）−ｉ用いて、Ｃｏ金
属とＣＨ結合のスペクトルを定量化しＣＨ／Ｃｏ　　（
スペクトルの感度補正を考１恵）の比率から有機化合物
量を見積った。走行耐久性は初期値と１００回繰返し後
の摩擦係数をはかり１００回走行した後の値と初期値と
の比から求め、１００回走行後の目づまり状態を観察し
た。メチルライフは、バックテンション１５ｇｒで３０
分以上の寿命ヲ有するもの’Ｉｏとした。

以下余白 第　　　１　　　表 以上の結果をまとめると第−表に示すように磁性金属薄
膜内に有機化合物を有することでテープの走行性能は改
善し、耐久性が出来、メチルライフも長くなる。走行耐
久性、スチルライフは有機化合物の含有歌の増加に比例
して良くなるが、目づ寸９も増加する０本発明で有機化
合物の最適歇はＣＨ／Ｃｏ比０．５〜１６の範囲である
。

０．６以下では走行耐久性が悪く、１６以上では目づま
りが多く実用範囲でない。寸だ、本発明の右壁化合物を
含有することで、磁気ヘッドの面粗れ、摩耗が少なく安
定なもので効果が明白である。

発明の効果 実施例で記述したように、強磁性金属島膜中に有機化合
物を含有することで走行耐久性、メチルライフが向上し
、電磁変換特性のすぐれた量産可１泪な磁気記録媒体全
供給することを可能にする。

【図面の簡単な説明】

図は本発明全実施するために用いた蒸着装置の主要構成
図である。 １．３・・・・・高分子フィルムの巻出し、巻取り軸、
２・・・・・・クーリングキャン（又は加熱ロールキャ
ン）、４．６・・・・・・ニップロール、６・・・・・
・蒸発源容器、７・・・・・・強磁性金属、８・・・・
・・真空槽、９・・・・・・真空槽隔壁、１０．１１・
・・・・・真空排気ポンプ、１２・・・・・・遮へい板
（マスク）。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ことを特徴とする磁気記録媒体。