JPH05347324A - 半導体パッケージ - Google Patents
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- H01L2924/15747—Copper [Cu] as principal constituent
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ソースワイヤのボンディング品質の向上を図
るとともに、小型の半導体パッケージを得る。 【構成】 ソースワイヤボンディング用のメタルブロッ
ク10をCu基板1に取付けることで、ボンディング位
置を高く保つとともに、チップのボンディング用半田の
流れによるワイヤボンドの影響をなくすようにした。 【効果】 ワイヤボンドの信頼性を向上でき、チップキ
ャリアのサイズを縮小することができる。
るとともに、小型の半導体パッケージを得る。 【構成】 ソースワイヤボンディング用のメタルブロッ
ク10をCu基板1に取付けることで、ボンディング位
置を高く保つとともに、チップのボンディング用半田の
流れによるワイヤボンドの影響をなくすようにした。 【効果】 ワイヤボンドの信頼性を向上でき、チップキ
ャリアのサイズを縮小することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体パッケージに
関し、特に、高周波FETを搭載する混成集積回路に使
用されるものの改良に関するものである。
関し、特に、高周波FETを搭載する混成集積回路に使
用されるものの改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の半導体パッケージの斜視図
であり、このチップキャリアは例えば2mm平方の大きさ
に形成されている。図において、1はこのパッケージの
基体となる、導電性基板としてのCu基板、2はその中
央部に矩形の開口部2aが形成されている、絶縁性基体
としての絶縁セラミックス、3は絶縁セラミックス2の
上面に取付けられたゲート用外部リード、5は絶縁セラ
ミックス2の開口部2aによりその表面の一部が露出し
たCu基板1上に搭載された高周波FETチップ、6は
高周波FETチップ5のドレインと、ドレイン用外部リ
ード13を接続するドレイン用ワイヤ、11は高周波F
ETチップ5のソースとCu基板1を接続するソース用
ワイヤ、12は高周波FETチップ5のゲートとゲート
用外部リード3を接続するゲート用ワイヤ、13は絶縁
セラミックス2の上面に取付けられたドレイン用外部リ
ードである。
であり、このチップキャリアは例えば2mm平方の大きさ
に形成されている。図において、1はこのパッケージの
基体となる、導電性基板としてのCu基板、2はその中
央部に矩形の開口部2aが形成されている、絶縁性基体
としての絶縁セラミックス、3は絶縁セラミックス2の
上面に取付けられたゲート用外部リード、5は絶縁セラ
ミックス2の開口部2aによりその表面の一部が露出し
たCu基板1上に搭載された高周波FETチップ、6は
高周波FETチップ5のドレインと、ドレイン用外部リ
ード13を接続するドレイン用ワイヤ、11は高周波F
ETチップ5のソースとCu基板1を接続するソース用
ワイヤ、12は高周波FETチップ5のゲートとゲート
用外部リード3を接続するゲート用ワイヤ、13は絶縁
セラミックス2の上面に取付けられたドレイン用外部リ
ードである。
【0003】図6は図5の断面図である。この図6から
わかるように、高周波FETチップ5はCu基板上メタ
ライズ7を介してCu基板1に取付けられている。
わかるように、高周波FETチップ5はCu基板上メタ
ライズ7を介してCu基板1に取付けられている。
【0004】Cu基板1上部には、絶縁セラミックス2
が接着され、セラミック上部には外部リード3,13が
図示しないメタライズを介してろう付けされている。高
周波FETチップ5はCu基板1に機械的にボンディン
グされた後に、FETチップ表面の電極と外部リードが
ワイヤによって電気的に接続される。即ち、ゲートはゲ
ート用ワイヤ12を介してゲート外部リード3に接続さ
れ、ドレインはドレイン用ワイヤ6を介してドレイン外
部リード13にそれぞれ接続される。また、ソースにつ
いてはソース用ワイヤ11をもってグランドとなるCu
基板1に直接接続される。そして、絶縁セラミックス2
の開口部2aには樹脂が充填されて、パッケージが完成
した状態になる。
が接着され、セラミック上部には外部リード3,13が
図示しないメタライズを介してろう付けされている。高
周波FETチップ5はCu基板1に機械的にボンディン
グされた後に、FETチップ表面の電極と外部リードが
ワイヤによって電気的に接続される。即ち、ゲートはゲ
ート用ワイヤ12を介してゲート外部リード3に接続さ
れ、ドレインはドレイン用ワイヤ6を介してドレイン外
部リード13にそれぞれ接続される。また、ソースにつ
いてはソース用ワイヤ11をもってグランドとなるCu
基板1に直接接続される。そして、絶縁セラミックス2
の開口部2aには樹脂が充填されて、パッケージが完成
した状態になる。
【0005】そしてその動作は次のようになる。即ち、
ゲート外部リード3からゲート用ワイヤ12を介して入
力された高周波信号は、ソース接地されたFETチップ
5により増幅され、この増幅された信号がドレイン用ワ
イヤ6を介してドレイン外部リード13より外部に向け
て出力される。
ゲート外部リード3からゲート用ワイヤ12を介して入
力された高周波信号は、ソース接地されたFETチップ
5により増幅され、この増幅された信号がドレイン用ワ
イヤ6を介してドレイン外部リード13より外部に向け
て出力される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体パッケー
ジは以上のように構成されているので、チップを半田で
ボンディングした後、ソースワイヤをボンディングする
際、Cu基板上の半田流れ等の影響があり、ソースワイ
ヤのボンディング位置をチップから離す必要が生じるた
め、パッケージの寸法が必然的に大きくなるとともに、
半田の流れた部分にボンディングが行なわれることもあ
り、品質上、問題を生じることもあった。
ジは以上のように構成されているので、チップを半田で
ボンディングした後、ソースワイヤをボンディングする
際、Cu基板上の半田流れ等の影響があり、ソースワイ
ヤのボンディング位置をチップから離す必要が生じるた
め、パッケージの寸法が必然的に大きくなるとともに、
半田の流れた部分にボンディングが行なわれることもあ
り、品質上、問題を生じることもあった。
【0007】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、ワイヤボンドの信頼性向上に
良好でかつ小型に形成できる、半導体パッケージを提供
することを目的とする。
るためになされたもので、ワイヤボンドの信頼性向上に
良好でかつ小型に形成できる、半導体パッケージを提供
することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる半導体
パッケージは、ソースワイヤのボンディング場所とし
て、外部リード取付け用の絶縁セラミックスと同じ高さ
のメタルブロックをCu基板上に設ける構造にしたもの
である。
パッケージは、ソースワイヤのボンディング場所とし
て、外部リード取付け用の絶縁セラミックスと同じ高さ
のメタルブロックをCu基板上に設ける構造にしたもの
である。
【0009】また、メタルブロックの代わりに、外部リ
ード取付部絶縁セラミックスにソースワイヤのボンディ
ング用の電極を形成し、絶縁セラミックスに形成したス
ルーホールにより、Cu基板との導通を図る構造にした
ものである。
ード取付部絶縁セラミックスにソースワイヤのボンディ
ング用の電極を形成し、絶縁セラミックスに形成したス
ルーホールにより、Cu基板との導通を図る構造にした
ものである。
【0010】さらに、メタルブロックの代わりに、外部
リード取付部絶縁セラミックスにソースワイヤのボンデ
ィング用の電極を形成し、絶縁セラミックスの側面に形
成したメタライズにより、Cu基板との導通を図る構造
にしたものである。
リード取付部絶縁セラミックスにソースワイヤのボンデ
ィング用の電極を形成し、絶縁セラミックスの側面に形
成したメタライズにより、Cu基板との導通を図る構造
にしたものである。
【0011】
【作用】この発明においては、ソースワイヤボンディン
グ用のメタルブロックにより、チップ付のための半田の
影響を受けることなく、ワイヤボンドができるととも
に、ワイヤボンド位置をチップ面より高くすることがで
きるため、ワイヤボンドの信頼性の向上が図れる。
グ用のメタルブロックにより、チップ付のための半田の
影響を受けることなく、ワイヤボンドができるととも
に、ワイヤボンド位置をチップ面より高くすることがで
きるため、ワイヤボンドの信頼性の向上が図れる。
【0012】また、この発明においては、外部リード取
付用絶縁セラミックスの上面に、スルーホールによりC
u基板との導通がとられた電極が設けられているので、
この電極に、ソースワイヤをボンディングすることによ
り、チップ付のための半田の影響を受けることなく、ワ
イヤボンドができるとともに、ワイヤボンド位置をチッ
プ面より高くすることができるため、ワイヤボンドの信
頼性の向上が図れる。
付用絶縁セラミックスの上面に、スルーホールによりC
u基板との導通がとられた電極が設けられているので、
この電極に、ソースワイヤをボンディングすることによ
り、チップ付のための半田の影響を受けることなく、ワ
イヤボンドができるとともに、ワイヤボンド位置をチッ
プ面より高くすることができるため、ワイヤボンドの信
頼性の向上が図れる。
【0013】さらに、外部リード取付用絶縁セラミック
スの上面に、側面メタライズによりCu基板との導通が
とられた電極が設けられているので、この電極に、ソー
スワイヤをボンディングすることにより、チップ付のた
めの半田の影響を受けることなく、ワイヤボンドができ
るとともに、ワイヤボンド位置をチップ面より高くする
ことができるため、ワイヤボンドの信頼性の向上が図れ
る。
スの上面に、側面メタライズによりCu基板との導通が
とられた電極が設けられているので、この電極に、ソー
スワイヤをボンディングすることにより、チップ付のた
めの半田の影響を受けることなく、ワイヤボンドができ
るとともに、ワイヤボンド位置をチップ面より高くする
ことができるため、ワイヤボンドの信頼性の向上が図れ
る。
【0014】
【実施例】以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図1は本発明の一実施例による半導体パッケージの
構造図であり、図において、1〜3,5,6,11〜1
3は図5と同一のものである。10はソースワイヤボン
ディング用のメタルブロックとしてのCuブロックであ
り、ゲート外部リード3が取付けられた側の絶縁用セラ
ミックス2の側壁に接するようにCu基板1に取付けら
れている。また、7はCu基板1上のメタライズであ
り、絶縁用セラミックス2およびメタルブロック10以
外のCu基板1表面に形成されている。
る。図1は本発明の一実施例による半導体パッケージの
構造図であり、図において、1〜3,5,6,11〜1
3は図5と同一のものである。10はソースワイヤボン
ディング用のメタルブロックとしてのCuブロックであ
り、ゲート外部リード3が取付けられた側の絶縁用セラ
ミックス2の側壁に接するようにCu基板1に取付けら
れている。また、7はCu基板1上のメタライズであ
り、絶縁用セラミックス2およびメタルブロック10以
外のCu基板1表面に形成されている。
【0015】次に作用,効果について説明する。上記の
ようにメタルブロック10をCu基板1上にろう付け等
によってこれを設けることにより、チップ5を半田付け
する際に生ずる半田流れの影響をうけなくすることがで
きる。即ち、本実施例では、ソースワイヤをボンディン
グする箇所がCu基板表面ではなくメタルブロック10
の上面であるため、Cu基板上の半田流れ等の影響をう
けることはない。
ようにメタルブロック10をCu基板1上にろう付け等
によってこれを設けることにより、チップ5を半田付け
する際に生ずる半田流れの影響をうけなくすることがで
きる。即ち、本実施例では、ソースワイヤをボンディン
グする箇所がCu基板表面ではなくメタルブロック10
の上面であるため、Cu基板上の半田流れ等の影響をう
けることはない。
【0016】その結果、パッケージサイズを例えば従来
の2/3程度に、即ち、従来のものが2mm平方であった
とすれば、本実施例は例えば1.5 mm平方の大きさにこれ
を縮小できるとともに、メタルブロック10の高さをゲ
ート用外部リードと同じ高さにすることによって、ワイ
ヤボンドの信頼性を高めることができる。
の2/3程度に、即ち、従来のものが2mm平方であった
とすれば、本実施例は例えば1.5 mm平方の大きさにこれ
を縮小できるとともに、メタルブロック10の高さをゲ
ート用外部リードと同じ高さにすることによって、ワイ
ヤボンドの信頼性を高めることができる。
【0017】また、図3は本発明の他の実施例による半
導体パッケージのパッケージ構造の一例で、図中の1〜
3,5〜7,11〜13は図5と同一のものである。4
は絶縁用セラミックス2の表面にパターニングにより設
けられたソースリード用電極、8はスルーホールであっ
て、絶縁用セラミックス2のゲート用外部リード3取付
け位置より内側に、パターニングによりこれを開口し、
その内部をメタライズする等によってこれを形成したも
のである。
導体パッケージのパッケージ構造の一例で、図中の1〜
3,5〜7,11〜13は図5と同一のものである。4
は絶縁用セラミックス2の表面にパターニングにより設
けられたソースリード用電極、8はスルーホールであっ
て、絶縁用セラミックス2のゲート用外部リード3取付
け位置より内側に、パターニングによりこれを開口し、
その内部をメタライズする等によってこれを形成したも
のである。
【0018】本実施例では、図1の実施例のようにメタ
ルブロックを設けるのではなく、絶縁用セラミックス2
の一辺の幅を厚くし、ここにスルーホール8を設けると
ともにその表面にソースリード用電極4を設けて、この
ソースリード用電極4とCu基板1とを電気的に接続す
るようにしている。従って、このソースリード用電極4
とFETのソースとをワイヤボンディングすることによ
り、メタルブロックを設けることなく、半田流れの影響
をうけなくでき、ワイヤボンドの信頼性を高めることが
できるものが得られる。
ルブロックを設けるのではなく、絶縁用セラミックス2
の一辺の幅を厚くし、ここにスルーホール8を設けると
ともにその表面にソースリード用電極4を設けて、この
ソースリード用電極4とCu基板1とを電気的に接続す
るようにしている。従って、このソースリード用電極4
とFETのソースとをワイヤボンディングすることによ
り、メタルブロックを設けることなく、半田流れの影響
をうけなくでき、ワイヤボンドの信頼性を高めることが
できるものが得られる。
【0019】図4は本発明のさらに他の実施例による半
導体パッケージのパッケージ構造の一例で、図中の1〜
3,5〜7,11〜13は図5と同一のものである。4
はソースリード用電極、9は絶縁用セラミックス2の側
面に、手塗り等により形成された側面メタライズであ
る。
導体パッケージのパッケージ構造の一例で、図中の1〜
3,5〜7,11〜13は図5と同一のものである。4
はソースリード用電極、9は絶縁用セラミックス2の側
面に、手塗り等により形成された側面メタライズであ
る。
【0020】本実施例では、図3の実施例のように、絶
縁用セラミックス2の一辺の幅を厚くしてその表面にソ
ースリード用電極4を設けるとともに、その側面に側面
メタライズ9を設けるようにしており、この側面メタラ
イズ9によりソースリード用電極4とCu基板1とを電
気的に接続するようにしている。従って、このソースリ
ード用電極4とFETのソースとをワイヤボンディング
することにより、メタルブロックやスルーホールを設け
ることなく、半田流れの影響をうけなくでき、ワイヤボ
ンドの信頼性を高めることができるものが得られる。
縁用セラミックス2の一辺の幅を厚くしてその表面にソ
ースリード用電極4を設けるとともに、その側面に側面
メタライズ9を設けるようにしており、この側面メタラ
イズ9によりソースリード用電極4とCu基板1とを電
気的に接続するようにしている。従って、このソースリ
ード用電極4とFETのソースとをワイヤボンディング
することにより、メタルブロックやスルーホールを設け
ることなく、半田流れの影響をうけなくでき、ワイヤボ
ンドの信頼性を高めることができるものが得られる。
【0021】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る半導体パ
ッケージによれば、導電性基板上にソースワイヤボンド
用のメタルブロックを設けるようにしたので、FETの
ソースワイヤをこのメタルブロックにボンディングする
ことにより、チップボンディング用の半田の影響を受け
ずにワイヤボンディングが可能となり、しかも導電性基
板上のメタライズ領域にワイヤボンド用の領域を確保す
る必要がなく、パッケージを縮小できる効果がある。
ッケージによれば、導電性基板上にソースワイヤボンド
用のメタルブロックを設けるようにしたので、FETの
ソースワイヤをこのメタルブロックにボンディングする
ことにより、チップボンディング用の半田の影響を受け
ずにワイヤボンディングが可能となり、しかも導電性基
板上のメタライズ領域にワイヤボンド用の領域を確保す
る必要がなく、パッケージを縮小できる効果がある。
【0022】また、この発明に係る半導体パッケージに
よれば、絶縁性基体上にソースワイヤボンド用の電極を
設け、該絶縁性基体に形成されたスルーホールにより、
導電性基板と導通させるようにしたので、FETのソー
スワイヤをこの電極にボンディングすることにより、チ
ップボンディング用の半田の影響を受けずにワイヤボン
ディングが可能となり、導電性基板上のメタライズ領域
にワイヤボンド用の領域を確保する必要がなく、パッケ
ージを縮小でき、しかも、ソースワイヤボンド用のメタ
ルブロックが不要となる効果がある。
よれば、絶縁性基体上にソースワイヤボンド用の電極を
設け、該絶縁性基体に形成されたスルーホールにより、
導電性基板と導通させるようにしたので、FETのソー
スワイヤをこの電極にボンディングすることにより、チ
ップボンディング用の半田の影響を受けずにワイヤボン
ディングが可能となり、導電性基板上のメタライズ領域
にワイヤボンド用の領域を確保する必要がなく、パッケ
ージを縮小でき、しかも、ソースワイヤボンド用のメタ
ルブロックが不要となる効果がある。
【0023】さらに、この発明に係る半導体パッケージ
によれば、絶縁性基体上にソースワイヤボンド用の電極
を設け、該絶縁性基体の側面に形成されたメタライズに
より、導電性基板と導通させるようにしたので、FET
のソースワイヤをこの電極にボンディングすることによ
り、チップボンディング用の半田の影響を受けずにワイ
ヤボンディングが可能となり、導電性基板上のメタライ
ズ領域にワイヤボンド用の領域を確保する必要がなく、
パッケージを縮小でき、しかも、ソースワイヤボンド用
のメタルブロックやスルーホールが不要となる効果があ
る。
によれば、絶縁性基体上にソースワイヤボンド用の電極
を設け、該絶縁性基体の側面に形成されたメタライズに
より、導電性基板と導通させるようにしたので、FET
のソースワイヤをこの電極にボンディングすることによ
り、チップボンディング用の半田の影響を受けずにワイ
ヤボンディングが可能となり、導電性基板上のメタライ
ズ領域にワイヤボンド用の領域を確保する必要がなく、
パッケージを縮小でき、しかも、ソースワイヤボンド用
のメタルブロックやスルーホールが不要となる効果があ
る。
【図1】本発明による半導体パッケージの斜視図。
【図2】図1の断面図。
【図3】この発明の他の実施例を示す半導体パッケージ
の断面図。
の断面図。
【図4】この発明の他の実施例を示す半導体パッケージ
の断面図。
の断面図。
【図5】従来の半導体パッケージの斜視図。
【図6】図5の断面図。
【符号の説明】 1 Cu基板 2 絶縁セラミックス 3 ゲート用外部リード 4 ソースリード用電極 5 高周波FETチップ 6 ドレイン用ワイヤ 7 Cu基板上メタライズ 8 スルーホール 9 側面メタライズ 10 メタルブロック 11 ソース用ワイヤ 12 ゲート用ワイヤ 13 ドレイン用外部リード
Claims (3)
- 【請求項1】 FETを搭載するための導電性基板に絶
縁性基体が取り付けられ、さらにゲート及びドレイン用
の外部リードが該絶縁性基体に取り付けられてなる半導
体パッケージにおいて、 上記FETのソースワイヤを接続するための電極を、 上記絶縁性基体上面に形成された、上記ゲート用外部リ
ードの取付部と略同一高さを有するメタルブロックによ
り構成したことを特徴とする半導体パッケージ。 - 【請求項2】 上記メタルブロックのかわりに、上記絶
縁性基体上面にソースワイヤ接続用の電極を設け、 該絶縁性基体に設けたスルーホールによって上記導電性
基板と導通をとるようにしたことを特徴とする請求項1
記載の半導体パッケージ。 - 【請求項3】 上記ソースワイヤ接続用の電極と上記導
電性基板との導通を、上記スルーホールのかわりに上記
絶縁性基体の側面に形成した側面メタライズを用いて行
なうようにしたことを特徴とする請求項2記載の半導体
パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4181872A JPH05347324A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 半導体パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4181872A JPH05347324A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 半導体パッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05347324A true JPH05347324A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=16108331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4181872A Pending JPH05347324A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 半導体パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05347324A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007267026A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Fujitsu Ltd | 高出力増幅器 |
US7888180B2 (en) | 2007-05-30 | 2011-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor apparatus having a first and a second projection portion on opposite surfaces of a semiconductor wafer and method for manufacturing the same |
US8334173B2 (en) | 2008-07-28 | 2012-12-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing semiconductor apparatus |
CN113161319A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-07-23 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构及其制作方法 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP4181872A patent/JPH05347324A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007267026A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Fujitsu Ltd | 高出力増幅器 |
US7888180B2 (en) | 2007-05-30 | 2011-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor apparatus having a first and a second projection portion on opposite surfaces of a semiconductor wafer and method for manufacturing the same |
US8334173B2 (en) | 2008-07-28 | 2012-12-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing semiconductor apparatus |
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