JPH05341278A - 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 - Google Patents
板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法Info
- Publication number
- JPH05341278A JPH05341278A JP17618292A JP17618292A JPH05341278A JP H05341278 A JPH05341278 A JP H05341278A JP 17618292 A JP17618292 A JP 17618292A JP 17618292 A JP17618292 A JP 17618292A JP H05341278 A JPH05341278 A JP H05341278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rollers
- tackiness
- plate
- box body
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】板状材両面のゴミを同時に除去できるクリーニ
ング装置を提供する。 【構成】中間ローラー５と粘着ローラー６に囲まれた部
分８が外気に対して負圧となる状態で、ガラス板２が搬
送されてくると、ガラス板２が粘着ローラー６に押し付
けられ、ガラス板２の下面のゴミが除去される。
ング装置を提供する。 【構成】中間ローラー５と粘着ローラー６に囲まれた部
分８が外気に対して負圧となる状態で、ガラス板２が搬
送されてくると、ガラス板２が粘着ローラー６に押し付
けられ、ガラス板２の下面のゴミが除去される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状材のクリーニング装
置及び方法に関するものである。
置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶素子用ガラス基板等の板状材をクリ
ーニングする方法として、従来、板状材をベルトもしく
はコロにより搬送する際にクリーンエアを吹き付け、舞
い上がったゴミを吸引するという、いわゆるブローアン
ドバキュームの技術は広く利用されている。
ーニングする方法として、従来、板状材をベルトもしく
はコロにより搬送する際にクリーンエアを吹き付け、舞
い上がったゴミを吸引するという、いわゆるブローアン
ドバキュームの技術は広く利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ベルト、コロ
等による搬送ではブローによって板状材自身が浮き上が
り、バキュームにより吸い付けられてしまうという欠点
があることから、板状材の搬送には強固な真空吸着テー
ブルで板状材を吸着しテーブルごと走行させるという方
法が採用される。このため、板状材の下面（テーブルに
吸着される面）に付着しているゴミは除去することがで
きなかった。
等による搬送ではブローによって板状材自身が浮き上が
り、バキュームにより吸い付けられてしまうという欠点
があることから、板状材の搬送には強固な真空吸着テー
ブルで板状材を吸着しテーブルごと走行させるという方
法が採用される。このため、板状材の下面（テーブルに
吸着される面）に付着しているゴミは除去することがで
きなかった。
【０００４】また、従来法ではブローによって舞い上が
ったゴミをバキュームで完全に吸い取れず、板状材に再
付着するという欠点が有った。すなわち、吹き出された
空気の一部はテーブルの搬送具（ボールねじ等）に吹き
付けられ、ここで発生したゴミ及び吸引しきれなかった
ゴミを舞い上がらせて板状材に再付着させることにな
る。これを回避するためには板状材の３倍程度の大きさ
の吸着テーブルとし、吹き出し口下部をテーブルでさえ
ぎる構造にしておく必要があり、装置が大型化せざるを
得ないという欠点もあった。
ったゴミをバキュームで完全に吸い取れず、板状材に再
付着するという欠点が有った。すなわち、吹き出された
空気の一部はテーブルの搬送具（ボールねじ等）に吹き
付けられ、ここで発生したゴミ及び吸引しきれなかった
ゴミを舞い上がらせて板状材に再付着させることにな
る。これを回避するためには板状材の３倍程度の大きさ
の吸着テーブルとし、吹き出し口下部をテーブルでさえ
ぎる構造にしておく必要があり、装置が大型化せざるを
得ないという欠点もあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決すべくなされたものであり、上部が開口された箱
体とその上部開口面近傍に配設された粘着ローラーとか
らなるガラス板クリーニング装置であって、箱体内を負
圧に保持する手段と、前記粘着ローラー上で板状材が搬
送され得るように粘着ローラーを駆動する手段とを備え
た板状材のクリーニング装置を提供するものである。
を解決すべくなされたものであり、上部が開口された箱
体とその上部開口面近傍に配設された粘着ローラーとか
らなるガラス板クリーニング装置であって、箱体内を負
圧に保持する手段と、前記粘着ローラー上で板状材が搬
送され得るように粘着ローラーを駆動する手段とを備え
た板状材のクリーニング装置を提供するものである。
【０００６】本発明はかかる構成を採用することにより
以下のような効果を有する。 （１）負圧を発生させたことにより板状材を粘着ローラ
ーに均一に一定圧力で押し付けながら搬送でき、単に板
状材の自重によって粘着ローラーに押し付けるよりゴミ
の除去効率が高い。 （２）負圧を発生させることにより、ブローアンドバキ
ュームによるクリーニングを行っても板状材が浮き上が
ることが防止できる。 （３）搬送に真空吸着テーブルを必要とせず、省スペー
スである。 （４）ガラスの上下面を同時にクリーニングすることが
できる。
以下のような効果を有する。 （１）負圧を発生させたことにより板状材を粘着ローラ
ーに均一に一定圧力で押し付けながら搬送でき、単に板
状材の自重によって粘着ローラーに押し付けるよりゴミ
の除去効率が高い。 （２）負圧を発生させることにより、ブローアンドバキ
ュームによるクリーニングを行っても板状材が浮き上が
ることが防止できる。 （３）搬送に真空吸着テーブルを必要とせず、省スペー
スである。 （４）ガラスの上下面を同時にクリーニングすることが
できる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例について図１〜図３に基
づき説明する。図１において１はブローアンドバキュー
ムのユニットであり従来より使用されているものであ
る。２はクリーニングの対象となるワークで本発明にお
いてはガラス板を使用した。３は箱体、４はスペーサ、
５は中間ローラー、６は粘着ローラー、７はクリーニン
グローラーを示している。
づき説明する。図１において１はブローアンドバキュー
ムのユニットであり従来より使用されているものであ
る。２はクリーニングの対象となるワークで本発明にお
いてはガラス板を使用した。３は箱体、４はスペーサ、
５は中間ローラー、６は粘着ローラー、７はクリーニン
グローラーを示している。
【０００８】箱体３の下部からブロワ装置等により吸引
を行うと、箱体内が負圧になり、中間ローラー５と粘着
ローラー６の間隙ａ及びローラーと箱体の間隙ｂから大
量の空気が箱体内に流入する。その状態にある時にガラ
ス板２が搬送されてくると、中間ローラー５と粘着ロー
ラー６に囲まれた部分８が外気に対して負圧になり、ガ
ラス板２が粘着ローラー６に押し付けられる力が作用す
る。
を行うと、箱体内が負圧になり、中間ローラー５と粘着
ローラー６の間隙ａ及びローラーと箱体の間隙ｂから大
量の空気が箱体内に流入する。その状態にある時にガラ
ス板２が搬送されてくると、中間ローラー５と粘着ロー
ラー６に囲まれた部分８が外気に対して負圧になり、ガ
ラス板２が粘着ローラー６に押し付けられる力が作用す
る。
【０００９】これによりガラス板２の下面のゴミが粘着
ローラー６によって除去される。スぺーサ４はガラス端
部と箱体の間に形成される大きな空間を埋めて、箱体３
内の負圧保持を容易にするもので、ガラス板２の幅より
小さい箱体を使用する場合には必要ない。
ローラー６によって除去される。スぺーサ４はガラス端
部と箱体の間に形成される大きな空間を埋めて、箱体３
内の負圧保持を容易にするもので、ガラス板２の幅より
小さい箱体を使用する場合には必要ない。
【００１０】クリーニングローラー７は粘着ローラーよ
りさらに強い粘着力を有する材料で製作し、粘着ローラ
ー６に付着したゴミを転写し、ガラス下面には常にクリ
ーンな粘着ロール面が接触するようにしたものである。
りさらに強い粘着力を有する材料で製作し、粘着ローラ
ー６に付着したゴミを転写し、ガラス下面には常にクリ
ーンな粘着ロール面が接触するようにしたものである。
【００１１】なお、本装置を通過させたガラス板には静
電気の帯電が認められることがあるため、装置通過直後
に静電気除去装置（図示せず）を取り付けるかまたは粘
着ローラー６及び中間ローラー５を導電性の材料で製作
し、静電気によるゴミの再付着を防止することが望まし
い。
電気の帯電が認められることがあるため、装置通過直後
に静電気除去装置（図示せず）を取り付けるかまたは粘
着ローラー６及び中間ローラー５を導電性の材料で製作
し、静電気によるゴミの再付着を防止することが望まし
い。
【００１２】また、中間ローラー５は、粘着ローラー６
の間隔をあけることによりクリーニングローラー７の設
置、交換等容易とするために使用されるものであって、
必ずしも用いなくともよい。ただし、中間ローラーの存
在する部分にローラーをなくしてしまうと、板状体のロ
ーラーでの支持点数が減るため、板状体のたわみ、両端
のそりなどが生ずるおそれがあること、中間ローラーを
すべて粘着ローラーにおきかえると、クリーニングロー
ラーの脱着が困難になるなどの問題点が生じることもあ
り、図２に示したようにすることが最も好ましい。
の間隔をあけることによりクリーニングローラー７の設
置、交換等容易とするために使用されるものであって、
必ずしも用いなくともよい。ただし、中間ローラーの存
在する部分にローラーをなくしてしまうと、板状体のロ
ーラーでの支持点数が減るため、板状体のたわみ、両端
のそりなどが生ずるおそれがあること、中間ローラーを
すべて粘着ローラーにおきかえると、クリーニングロー
ラーの脱着が困難になるなどの問題点が生じることもあ
り、図２に示したようにすることが最も好ましい。
【００１３】図３における間隔ａ、ｂ、ｃをそれぞれ
０．５ｍｍとし、静圧７００ｍｍＡｑのブロワで箱体内
の空気を吸引した場合３０ｃｍ×４０ｃｍ（１２００ｃ
ｍ2 ）のガラス板に生じる押し付け力は５ｋｇｆであっ
た。この装置を液晶表示素子製造工程中に付着するラビ
ング布の除去に適用したところガラス板裏表全体で９０
％の除去率を示した。
０．５ｍｍとし、静圧７００ｍｍＡｑのブロワで箱体内
の空気を吸引した場合３０ｃｍ×４０ｃｍ（１２００ｃ
ｍ2 ）のガラス板に生じる押し付け力は５ｋｇｆであっ
た。この装置を液晶表示素子製造工程中に付着するラビ
ング布の除去に適用したところガラス板裏表全体で９０
％の除去率を示した。
【００１４】
【発明の効果】本発明は省スペースでありながら、板状
材の表裏両面を同時にクリーニングできるという優れた
効果を有し、特に前述のラビング布の除去に関しては、
従来、液中洗浄に頼らざるを得なかったものを乾式化で
きるという効果も認められる。
材の表裏両面を同時にクリーニングできるという優れた
効果を有し、特に前述のラビング布の除去に関しては、
従来、液中洗浄に頼らざるを得なかったものを乾式化で
きるという効果も認められる。
【００１５】また、下方から板状材を吸引するので、板
状材の浮き上がりを防止するとともに、粘着ローラーに
効果的に押し付けられるので、ゴミの除去効率が高いと
いう効果もある。
状材の浮き上がりを防止するとともに、粘着ローラーに
効果的に押し付けられるので、ゴミの除去効率が高いと
いう効果もある。
【図１】本発明装置の平面図である。
【図２】本発明装置の断面図である。
【図３】本発明装置の断面図の部分拡大図である。
１：ブローアンドバキュームユニット ２：ガラス板 ３：箱体 ４：スペーサ ５：中間ローラー ６：粘着ローラー ７：クリーニングローラー
Claims (3)
- 【請求項１】上部が開口された箱体とその上部開口面近
傍に配設された粘着ローラーとからなるガラス板クリー
ニング装置であって、箱体内を負圧に保持する手段と、
前記粘着ローラー上で板状材が搬送され得るように粘着
ローラーを駆動する手段とを備えた板状材のクリーニン
グ装置。 - 【請求項２】板状材を下方から吸引するとともに、粘着
ローラー上で搬送することを特徴とする板状材のクリー
ニング方法。 - 【請求項３】板状材が電極付ガラス基板であることを特
徴とする請求項２の板状材のクリーニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17618292A JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17618292A JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05341278A true JPH05341278A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3192759B2 JP3192759B2 (ja) | 2001-07-30 |
Family
ID=16009090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17618292A Expired - Fee Related JP3192759B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3192759B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007308232A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Nec Lcd Technologies Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2009056378A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Sd Future Technology Co Ltd | 基板用除塵装置 |
| CN102989732A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-03-27 | 彩虹（张家港）平板显示有限公司 | 一种离子风幕除尘方法 |
| JP2016018840A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップの実装装置 |
| CN110161727A (zh) * | 2018-02-13 | 2019-08-23 | 夏普株式会社 | 液晶面板用基板的制造方法 |
| CN114195406A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-18 | 安徽鸿玻玻璃科技有限公司 | 一种防辐射型钢化玻璃钢化冷却后用烘干设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106773166B (zh) * | 2016-12-27 | 2020-05-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于清洗液晶面板的清洗设备 |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP17618292A patent/JP3192759B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007308232A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Nec Lcd Technologies Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2009056378A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Sd Future Technology Co Ltd | 基板用除塵装置 |
| CN102989732A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-03-27 | 彩虹（张家港）平板显示有限公司 | 一种离子风幕除尘方法 |
| JP2016018840A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップの実装装置 |
| CN110161727A (zh) * | 2018-02-13 | 2019-08-23 | 夏普株式会社 | 液晶面板用基板的制造方法 |
| CN114195406A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-18 | 安徽鸿玻玻璃科技有限公司 | 一种防辐射型钢化玻璃钢化冷却后用烘干设备 |
| CN114195406B (zh) * | 2021-12-28 | 2023-07-11 | 安徽鸿玻玻璃科技有限公司 | 一种防辐射型钢化玻璃钢化冷却后用烘干设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3192759B2 (ja) | 2001-07-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20090223015A1 (en) | Automatic pallet cleaning apparatus | |
| JPS63137429A (ja) | 基板の両面洗浄装置 | |
| JP3851077B2 (ja) | 基板エア浮上搬送装置及びそれを用いた基板搬送方法 | |
| JPH05341278A (ja) | 板状材のクリーニング装置及びクリーニング方法 | |
| JPH09278181A (ja) | ワーク搬送装置及び搬送方法 | |
| JP2006272223A (ja) | 異物除去装置および基板保持装置、電気光学装置の製造方法および異物除去方法 | |
| JPH1157631A (ja) | レーザ加工用クリーナ | |
| JP2007254072A (ja) | ガラス板ハンドリング装置 | |
| JP2003321117A (ja) | フラットパネルと保持機器との間の圧力域によってフラットパネルを保持する機器及びロボットハンド | |
| JPH11271704A (ja) | 液晶表示素子の製造方法およびダスト除去装置 | |
| WO2006064596A1 (ja) | 基板の清掃装置及び清掃方法 | |
| KR200437868Y1 (ko) | 필름대면측 제진장치노즐의 형상 | |
| JP3834469B2 (ja) | 基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法 | |
| JP2000210630A (ja) | 基板用搬送除塵装置 | |
| JP2005238109A (ja) | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び電気光学装置の製造方法 | |
| JP3690372B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JP2002096035A (ja) | 基板又はシート表面洗浄装置 | |
| JP3136089B2 (ja) | 粉塵拭取装置 | |
| JPH0724427A (ja) | 板体の除塵方法及び板体の除塵装置 | |
| JP2005272113A (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
| KR100297367B1 (ko) | 액정표시장치용편광판부착설비 | |
| JP2000084510A (ja) | 基板用搬送除塵装置 | |
| KR200317728Y1 (ko) | 에어로졸을 이용한 리드프레임 세정장치 | |
| JPH1195242A (ja) | 液晶パネル端子クリーニング方法及び装置 | |
| JPH07275805A (ja) | 薄板状体の表面清掃装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080525 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |