JP2006272223A - 異物除去装置および基板保持装置、電気光学装置の製造方法および異物除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板の表面に付着した異物を隈なく除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置および基板保持装置、これらの装置を用いた電気光学装置の製造方法および異物除去方法を提供すること。
【解決手段】 異物除去装置１００は、ＦＰＣ７を両面から把持して液晶表示パネル１を支えると共に、液晶表示パネル１の表面３ａを下方に向けて保持搬送する基板保持装置１０１と、該表面３ａと対向配置されたワイピングクロス１０の供給を行うクロス供給機構１１１とを備えている。また、ワイピングクロス１０を下面から支持する押圧部１１５と、ワイピングクロス１０の表面に溶剤を塗布するディスペンサ１２４とを備えている。そして、ワイピングクロス１０を該表面３ａに押圧部１１５で押圧した状態で、液晶表示パネル１を移動させて異物を除去する拭き取り動作を行わせる制御部とを備えている。
【選択図】 図３

Description

本発明は、電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去するための異物除去装置および基板保持装置、これらの装置を用いた電気光学装置の製造方法および異物除去方法に関する。

電気光学パネルに用いられる基板の表面を洗浄して、付着した異物や汚れを除去する装置としては、特許文献１の基板洗浄装置が知られている。この基板洗浄装置は、基板を洗浄位置に搬送する基板搬送機構と、先端部分が先細にされたクリーニングヘッドとを有している。また、該先端部分を洗浄位置に設定される基板の表面に向け、クリーニングヘッドを基板表面に垂直に移動可能に支持しているヘッド駆動機構と、クリーニングヘッドの後端部に取り付けられ、超音波をクリーニングヘッドの先端部分から発射させる超音波発生装置とを有している。そして、洗浄用の布であるワイピングクロスが、洗浄位置に設定された基板表面とクリーニングヘッドの先端部分との間に配置されるように、ワイピングクロスの両端を支持してワイピングクロスの供給および巻き取りを行う機構を有している。さらに、クリーニングヘッドに対してワイピングクロスの供給側においてワイピングクロスに溶剤を含浸させる溶剤供給装置と、各機構および装置を制御する制御部とを有している。

また上記基板洗浄装置を用いた基板洗浄方法は、基板搬送機構により洗浄位置に搬入させた基板の表面に、ワイピングクロスの溶剤を含浸させた部分を、超音波を発生するクリーニングヘッドの先端部分により押圧させた状態で、基板とワイピングクロスとを相互に摺動させ、基板表面を洗浄するものである。

さらには、ワイピングクロスへの溶剤の供給は、間欠的または連続的に行われる。そして、溶剤が含浸されていないワイピングクロスの部分と基板表面とを相互に摺動させて乾燥させることも可能としている。

特開平９−２０５０７４号公報

上記基板洗浄装置は、基板の表面に溶剤を付与してブラッシングする洗浄装置や基板を溶剤中に浸漬して超音波をあてる洗浄装置の機能を１つの装置に集約しようと試みたものである。しかしながら、洗浄中に超音波振動により基板が動いてしまい十分に洗浄できない部分が発生する可能性があった。また、洗浄される基板表面を上向きにして上方からワイピングクロスを押圧して相互に摺動させると、除去された異物がワイピングクロスに捕捉された後に、クリーニングヘッドの超音波振動によって落下し、洗浄された基板表面に再付着してしまう惧れがあった。

また、電気光学パネルに駆動用の中継基板等が接続された状態で、電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を上記基板洗浄装置でクリーニングすることは非常に困難である。実際には中継基板等を避けるようにクリーニングすると共に、電気光学パネルを保持して必要なクリーニング範囲でワイピングクロスと電気光学パネルの基板の表面とを相互に摺動させる工夫が必要である。

本発明は、上記課題の少なくとも１つを解決するためになされたものであり、基板の表面に付着した異物を隈なく除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置および基板保持装置、これらの装置を用いた電気光学装置の製造方法および異物除去方法を提供することを目的とする。

本発明の異物除去装置は、基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、パネル保持部に保持された基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、基板の表面との間にワイピングクロスを介して位置すると共に、ワイピングクロスの幅方向に渡ってワイピングクロスを下面から基板の表面側に向かって支持する押圧部と、パネル保持部と押圧部で支持されたワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロスで基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、制御部は、パネル保持部によって下方に向けられた基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロスで基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる。したがって、異物を除去しようとする基板の表面が上向きになっている場合に比べて、拭き取り動作によって発生したワイピングクロスからの発塵や除去された異物がワイピングクロスから落下して、基板の表面に再付着することを低減することができる。すなわち、基板の表面に付着した異物を除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置を提供することができる。

本発明の他の異物除去装置は、外部駆動回路に接続させるための中継基板を有する電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、パネル保持部に保持された基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、基板の表面との間にワイピングクロスを介して位置すると共に、ワイピングクロスの幅方向に渡ってワイピングクロスを下面から基板の表面側に向かって支持する押圧部と、パネル保持部と押圧部で支持されたワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロスで基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部とを備え、パネル保持部は、中継基板を把持して電気光学パネルを支えると共に、基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して電気光学パネルを保持することを特徴とする。

この構成によれば、パネル保持部は、中継基板を把持して電気光学パネルを支えると共に、基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して電気光学パネルを保持する。したがって、基板の表面側には、基板を保持する部分がはみ出していないので、異物を除去しようとする基板の表面にワイピングクロスを押圧部の先端部で押し当てて隈なく拭うことができる。ゆえに、電気光学パネルが中継基板を有していても、パネル保持部が拭き取り動作において、邪魔にならずに基板に付着した異物を除去することができる。また、基板の表面は下向きにワイピングクロスと対向するように配置されるため、異物を除去しようとする基板の表面が上向きになっている場合に比べて、拭き取り動作によって発生したワイピングクロスからの発塵や除去された異物がワイピングクロスから落下して、基板の表面に再付着することを低減することができる。すなわち電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を隈なく除去すると共に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置を提供することができる。パネル保持部が基板の表面とは反対側の表面の一部を支持する構成としては、吸着パッドを用いた真空吸着、あるいは中継基板を把持したときに、電気光学パネルの姿勢がほぼ一定した状態に把持できるならば、把持した部分を支点とし、作用点として機能する支持体でもよい。

上記パネル保持部は、電気光学パネルの一辺側に接続された中継基板を両面から把持する把持部と、基板の表面とは反対側の表面における一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して支持するパネル支持部とを有し、把持部とパネル支持部とによって電気光学パネルを保持することが好ましい。

この構成によれば、把持部により中継基板が両面から把持され、パネル支持部が基板の表面とは反対側の表面における中継基板が接続された一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して、電気光学パネルが保持される。したがって、パネル保持部は、電気光学パネルの中継基板を把持して落下させることなく保持すると共に、中継基板が把持された部位とパネル支持部が当接した部位との少なくとも２点で電気光学パネルを支え、異物を除去しようとする表面に触れることなく、該表面を下方に向けて保持することができる。

これらの本発明の異物除去装置において、押圧部に対してワイピングクロスの供給側に位置して、ワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備え、制御部は、溶剤塗布部からワイピングクロスの供給方向における押圧部の先端部側を含む手前の部分のワイピングクロスに溶剤を吐出して含浸させることが好ましい。

この構成によれば、ワイピングクロスの供給方向における押圧部の先端部側を含む手前の部分のワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備えているため、拭き取り動作時に溶剤が塗布されたワイピングクロスを基板の表面に押圧部の先端部で押し当てて、異物や溶剤に可溶な汚れを除去することができる。すなわち、異物と汚れの除去を同時に行うことができ、より効率的な拭き取りを行うことができる。

また、上記溶剤塗布部は、溶剤と空気とを混合した状態で、ノズルからワイピングクロスの表面に吐出することが好ましい。

この構成によれば、溶剤単独で吐出する場合に比べて、溶剤と空気とを混合した状態でワイピングクロスに吐出されるため、溶剤は、噴霧された状態となり、より広い範囲に渡って溶剤をワイピングクロスの表面に含浸させることができる。

上記制御部は、基板の表面の一方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向に移動させて、押圧部の先端部が相対的に、基板の表面の一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を少なくとも１回行わせた後に、基板の表面の他方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、移動手段を制御して基板とワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させて、押圧部の先端部が相対的に一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を少なくとも１回行わせることが好ましい。

この構成によれば、第１の拭き取り方向に拭き取りを行う第１の拭き取り動作において、押圧部の先端部が触れた基板の表面の一方の端部に拭き取りができない部分が生じても、第２の拭き取り動作では、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に該一方の端部を通過するように拭き取りを行う。したがって、基板の表面に付着した異物や汚れをより隈なく除去することができる。また、基板の表面の一方の端部にワイピングクロスを押圧部の先端部で押圧した状態で、第１および第２の拭き取り動作を行う。したがって、ワイピングクロスの表面に基板のエッジ部が押圧されるように侵入しないので、基板のエッジ部でワイピングクロスが損傷することによる発塵を低減することができる。

また、上記制御部は、拭き取り動作１回ごとに、押圧部の先端部で押圧されるワイピングクロスの部分を更新するようにクロス供給手段を制御することが好ましい。

この構成によれば、制御部は、拭き取り動作１回ごとに、押圧部の先端部で押圧されるワイピングクロスの部分を更新するようにクロス供給手段を制御するため、基板の表面は、常にワイピングクロスの未使用部分が押圧されて拭き取り動作が行われる。したがって、除去された異物が再付着するような不具合をより低減することができる。

また、上記クロス供給手段は、開口した部分から押圧部が突出する吸気口を有すると共に、排気装置に接続する排気口を備えた排気フードによって覆われていることが好ましい。

この構成によれば、クロス供給機構は、吸気口側に位置する押圧部を除いて排気フードによって覆われているため、排気口を排気装置に配管接続すれば、拭き取り動作時にワイピングクロスから発生した発塵や除去した異物を、周囲の空気と一緒に吸気口から吸い込んで排気することができる。すなわち、拭き取り動作をよりクリーンな環境下で行わせることができるので、ワイピングクロスから発生した発塵や除去した異物の基板の表面への再付着をより低減した異物除去装置を提供することができる。

また、上記押圧部には、硬質体であり且つ導電体からなる本体の先端部に、軟質部材が前記ワイピングクロスの幅方向に渡って設けられていることが好ましい。

この構成によれば、押圧部の先端部には、軟質部材が設けられているため、ワイピングクロスは、基板の表面により密着した状態で押圧部の先端部で押圧される。よって、ムラなく基板の表面の異物を除去することができる。また、押圧部の本体は導電体であるため、基板の表面とワイピングクロスとの摺動により発生する静電気を、押圧部を通じて逃がすことができる。すなわち、静電気によりワイピングクロスの未使用部分に異物が付着して、その異物が基板の表面に転着してしまう不具合や、静電気による基板の表面破壊が起こることを低減することができる。

本発明の基板保持装置は、外部駆動回路に接続させるための中継基板を有する電気光学パネルの基板の表面を所定の方向に向けて保持する基板保持装置であって、電気光学パネルの一辺側に接続された中継基板を両面から把持して電気光学パネルを支える把持部と、基板の表面とは反対側の表面の少なくとも一部に当接して電気光学パネルを支えるパネル支持部とを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、把持部により電気光学パネルの一辺側に接続された中継基板を両面から把持して電気光学パネルを支え、パネル支持部により基板の表面とは反対側の表面の少なくとも一部に当接して電気光学パネルを支える。したがって、電気光学パネルを所定の方向に向けて保持する際に、該基板の表面に把持部やパネル支持部が掛かることなく、電気光学パネルを保持することができる。そして、例えば電気光学パネルの該基板の表面に付着した異物をワイピングクロスで除去する場合、本発明の基板保持装置を用いて電気光学パネルを保持すれば、ワイピングクロスによって隈なく基板の表面を拭って付着した異物を除去することができる。

また、上記把持部と、上記パネル支持部とを一体として所定の方向に移動させる移動手段をさらに備えることが好ましい。

この構成によれば、把持部と、パネル支持部とを一体として所定の方向に移動させる移動手段をさらに備えている。したがって、例えば、電気光学パネルの基板の表面に付着した異物をワイピングクロスで除去する場合、ワイピングクロスに対して電気光学パネルが押圧されるように移動させると共に、押圧した状態で電気光学パネルを拭き取り可能な方向に移動させて基板の表面に付着した異物を除去することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記発明の異物除去装置を用いて電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する工程と、電気光学パネルの両方の表面のうち少なくとも一方の表面に、透明基板を装着する工程と、透明基板が装着された電気光学パネルを筐体に収容する組立工程と、を備えたことを特徴する。

この方法によれば、異物を除去する工程では、電気光学パネルの基板の表面にワイピングクロスからの発塵や除去された異物が再付着することが低減され、基板の表面を隈なく拭って付着した異物を除去する。したがって、透明基板を装着する工程では、基板の表面に異物がほぼ残留することなく、電気光学パネルの少なくとも一方の表面に透明基板を装着することができる。すなわち、このような電気光学パネルを組立工程で筐体に収容すれば、異物の付着不良を低減して歩留まりよく透明基板が装着された電気光学装置を製造することができる。

本発明の異物除去方法は、基板の表面に付着した異物を除去する異物除去方法であって、基板の表面を下方に向けると共に、基板とワイピングクロスとを所定の位置に対向配置する工程と、所定の位置に対向配置された基板の表面の一方の端部に、ワイピングクロスの少なくとも一部が押圧された状態で、第１の拭き取り方向に基板を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロスの部分が基板の他方の端部を通過する拭き取り動作を少なくとも１回行う第１の拭き取り工程と、基板の他方の端部に、ワイピングクロスの少なくとも一部が押圧された状態で、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に基板を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロスの部分が一方の端部を通過する拭き取り動作を少なくとも１回行う第２の拭き取り工程とを備えたことを特徴とする。

この方法によれば、第１の拭き取り工程において、基板の表面に付着した異物を除去する際に、一方の端部に拭き取りできない部分が生じても、第２の拭き取り工程では、該一方の端部を通過するように第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に基板を相対的に移動させて拭き取り動作を少なくとも１回行う。したがって、基板の表面を隈なく拭き取りして異物を除去することができる。また、基板の表面は、下方に向けられてワイピングクロスによって拭き取られるので、拭き取り動作時に、ワイピングクロスからの発塵や除去された異物がワイピングクロスから落下しても、基板の表面に再付着することを低減することができる。さらに、所定の位置に対向配置された基板の表面の一方の端部あるいは他方の端部に、ワイピングクロスの少なくとも一部が押圧された状態で、第１の拭き取り工程および第２の拭き取り工程を行う。したがって、ワイピングクロスの表面に基板のエッジ部が押圧されるように侵入しないので、基板のエッジ部でワイピングクロスが損傷することによる発塵を低減することができる。

また、上記第１の拭き取り工程と上記第２の拭き取り工程では、拭き取り動作１回ごとに基板の表面に押圧されるワイピングクロスの部分を更新して拭き取り動作を行うことが好ましい。

この方法によれば、第１の拭き取り工程と第２の拭き取り工程では、拭き取り動作１回ごとに、基板の表面にワイピングクロスの未使用部分が押圧されるため、除去された異物や汚れが基板の表面に再付着することを低減することができる。

また本発明において、さらにワイピングクロスの表面に含浸するように溶剤を塗布する溶剤塗布工程を備え、溶剤塗布工程は、第１の拭き取り工程および／または第２の拭き取り工程が開始される前に、少なくとも１回溶剤を塗布することが好ましい。

この方法によれば、溶剤塗布工程では、第１の拭き取り工程および／または第２の拭き取り工程が開始される前に少なくとも１回溶剤を塗布するので、溶剤が塗布されたワイピングクロスによって、基板の表面を隈なく拭き取りして付着した異物や溶剤に可溶な汚れを除去することができる。すなわち、基板の表面をよりクリーンな状態にすることができる。

本発明の実施形態は、投射型表示装置（プロジェクタ）に用いられる電気光学装置としての液晶表示装置（液晶ライトバルブ）において、液晶表示パネルの基板の表面に付着した異物や汚れを除去する異物除去装置、異物除去方法、並びにこの異物除去装置を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法を例に説明する。

（電気光学装置としての液晶表示装置）
まず、液晶表示装置および液晶表示パネルについて説明する。図１は、液晶表示装置を示す概略図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図である。

図１（ａ）に示すように液晶表示装置２０は、中継基板としてのフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）７を有する液晶表示パネル１と、液晶表示パネル１を収容する筐体としてのケース２３と、液晶表示パネル１を覆う開口部２５ａを有する金属枠２５とを備えている。液晶表示パネル１は、ＦＰＣ７がケース２３の切り欠き部２３ｃから突出するように収容されている。また、金属枠２５は、アーム部２５ｂに設けられた開口部２５ｃとケース２３の側面に設けられたフック部２３ａとが係合することによってケース２３に取り付けられている。

図１（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１は、外部から光が入射する側の対向基板３の表面と入射した光が出射する側の素子基板２の表面とに、透明基板としての防塵ガラス２１，２２を備えている。そして、防塵ガラス２２の光の入射面２２ａがケース２３の額縁部２３ｂによって支持され、ケース２３の内壁面２３ｄと液晶表示パネル１の外周側面１ａとの隙間に接着剤２４が充填されてケース２３と液晶表示パネル１とが接着固定されている。

液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に設けられる防塵ガラス２１，２２は、液晶表示パネル１の表面にゴミや異物が付着することを防止し、投射型表示装置に液晶表示装置２０が取り付けられて、投影されたときに付着したゴミや異物が目立たないようにするためのものである。

（電気光学パネルとしての液晶表示パネル）
図２は、液晶表示パネルを示す概略図であり、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。液晶表示パネル１は、高温ポリシリコンタイプのＴＦＴ（Thin Film Transister）アクティブマトリクス型の液晶表示パネルである。

図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１は、ＴＦＴ素子とＴＦＴ素子の一端子に接続された画素電極とを有する素子基板２と、対向電極を有する対向基板３と、素子基板２と対向基板３とに挟持され、シール材によって封止された液晶とを有している。また、素子基板２には、ＴＦＴ素子のゲート電極に接続された配線としての走査線と、同じくソース電極に接続された配線としての信号線とを有している。各配線は、素子基板２の周縁部に引き出されて、端子部２ｂに配設されたドライバＩＣ４の出力端子と、左右の周縁部に配設されたドライバＩＣ５，６の出力端子とにそれぞれ接続されている。さらに各ドライバＩＣ４，５，６の入力端子は、図示省略の配線によって素子基板２の端子部２ｂに導かれ、中継基板であるＦＰＣ７の端子部７ａと電気的に接続されている。ＦＰＣ７の他方の端子部７ｂは、外部の駆動回路（図示せず）に接続される。

このような液晶表示パネル１は、駆動回路からの入力信号に基づいて各ドライバＩＣ４，５，６が駆動用の電気信号をＴＦＴ素子に送り、ＴＦＴ素子がスイッチングされる。これにより液晶表示パネル１の表示エリア８内にマトリクス状に配置された画素電極（素子基板２側）と対向電極（対向基板３側）との間に電界が加わることによって、各基板２，３の表面に配向した液晶分子の方向が電界方向に向くことにより、偏向された入射光を光変調して出射することができる。尚、本実施形態において、ＴＦＴ素子、画素電極、対向電極、配線等の配置および液晶等は、公知のものを用いており、図１および図２では図示を省略した。

（異物除去装置）
次に本実施形態の異物除去装置について、図３〜図７に基づいて説明する。図３は、異物除去装置の要部構造を示す模式図である。尚、図３は、対向基板３の表面３ａに付着した異物を除去するように異物除去装置１００に液晶表示パネル１をセットした状態を示している。

図３に示すように、本実施形態の異物除去装置１００は、液晶表示パネル１の表面３ａを下方に向けて保持し、液晶表示パネル１を所定の位置に搬送する基板保持装置１０１を備えている。また、所定の位置に配置された液晶表示パネル１の表面３ａに、異物を拭き取る布であるワイピングクロス１０が対向するように配置されると共に、ワイピングクロス１０の両端を支持してワイピングクロス１０の供給および巻き取りを行うクロス供給手段としてのクロス供給機構１１１を備えている。また、液晶表示パネル１の表面３ａとの間にワイピングクロス１０を介して位置すると共に、ワイピングクロス１０の幅方向に渡ってワイピングクロス１０を下面から基板としての対向基板３の表面３ａ側に向かって支持する押圧部１１５と、クロス供給機構１１１と押圧部１１５とを一体として移動させるクロス部搬送機構１４１とを備えている。また、液晶表示パネル１の表面３ａにワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、液晶表示パネル１を拭き取り方向に移動させて、ワイピングクロス１０で液晶表示パネル１の表面３ａを拭う拭き取り動作を行わせる制御部１３１（図８参照）とを備えている。さらに押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置して、ワイピングクロス１０に溶剤を塗布する溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４を備えている。

図４は、基板保持装置を示す模式図である。詳しくは、図３のＸ方向から見た要部模式図である。基板保持装置１０１は、中継基板としてのＦＰＣ７を両面から把持して電気光学パネルとしての液晶表示パネル１を支えると共に、液晶表示パネル１の異物を除去する表面とは反対側の表面の一部を支持して液晶表示パネル１を支えるパネル保持部１０１ａを備えている。基板保持装置１０１は、パネル保持部１０１ａを所望の方向に移動させる移動手段としてのスライド機構１１０を有している。スライド機構１１０は、シリンダ固定フレーム１０６をＺ方向に上下動させる上下駆動用シリンダ１０９と、上下駆動用シリンダ１０９が配設されたスライド部１１０ｄと、スライド部１１０ｄをレール部１１０ｃに沿ってＹ方向に移動させるＹ軸駆動用モータ１１０ｂとを備えている。また、レール部１１０ｃが配置されたスライド部１１０ｅと、スライド部１１０ｅをレール部１１０ｆに沿ってＸ方向に移動させるＸ軸駆動用モータ１１０ａとを備えている。

図５は、パネル保持部を示す概略図であり、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は平面図である。同図（ａ）に示すように、パネル保持部１０１ａは、液晶表示パネル１の端子部２ｂからはみ出たＦＰＣ７をＺ方向において上下に把持する把持部としての上側把持部１０２と下側把持部１０３と、パネル保持部駆動用シリンダ１０７とを有している。上側把持部１０２は、シリンダ固定フレーム１０６にバネ１０８を介して取付られている。パネル保持部駆動用シリンダ１０７は、シリンダ固定フレーム１０６の上部に配置され、ロッド１０７ａは、コイル状のバネ１０８の内側と上側把持部１０２の孔１０２ｃとを貫通して、ロッド先端部１０７ｂが下側把持部１０３に固定されている。

同図（ｂ）に示すように、上側把持部１０２は、平面視でコの字型の形状となっており、アーム部１０５とアーム部１０５の先端側に設けられたパネル支持部１０４を有している。

パネル保持部１０１ａは、液晶表示パネル１の端子部２ｂからはみ出したＦＰＣ７を上側把持部１０２の下面１０２ｂと下側把持部１０３の上面１０３ａとで挟むと共に、上側把持部１０２の側面１０２ａが端子部２ｂの側端面２ｃに当接するようにＦＰＣ７を把持する。また、同時にパネル支持部１０４の下面１０４ａが、液晶表示パネル１の表面３ａとは反対側の表面２ａの周縁部（ＦＰＣ７が接続された液晶表示パネル１の一辺部としての端子部と対向する辺部）に当接して支持する。これにより、液晶表示パネル１の表面３ａがＺ方向において下向きとなると共に、Ｘ方向に対して略平行な状態に保持される。したがって、異物を除去しようとする表面３ａに当接して保持するような機構となっていないので、表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭き取りすることが可能な構造となっている。

また、液晶表示パネル１の表面２ａに付着した異物を除去する場合、パネル保持部１０１ａは、表面２ａがＺ方向において下向きとなるようにＦＰＣ７を上側把持部１０２の下面１０２ｂと下側把持部１０３の上面１０３ａとで挟むと共に、下側把持部１０３の側面１０３ｃが端子部２ｂの側端面２ｃに当接するようにＦＰＣ７を把持する。また、同時にパネル支持部１０４の下面１０４ａが表面２ａとは反対側の表面３ａの周縁部に当接して支持する。これにより、液晶表示パネル１の表面２ａがＺ方向において下向きとなると共に、Ｘ方向に対して略平行な状態に保持される。ゆえに、パネル保持部１０１ａが異物を除去しようとする表面２ａに当接して保持しないので、表面２ａを隈なくワイピングクロス１０で拭き取りすることが可能である。

同図（ｂ）に示すように、平面視では、パネル保持部１０１ａのコの字の内側に液晶表示パネル１の表示エリア８が位置しており、表示エリア８がパネル保持部１０１ａのいずれの部位とも接触しない構造となっている。すなわち、パネル保持部１０１ａの各部位に異物等が付着しても、少なくとも表示エリア８内に異物等が転着することを防止する構造となっている。

図３に示すように、クロス供給機構１１１は、帯状のワイピングクロス１０の両端を支持してワイピングクロス１０の供給（巻き出し）を行うリール状の巻き出し部１１３と、同じくリール状の巻き取り部１１４とを有している。ワイピングクロス１０は、巻き出し部１１３から送り出され、回転自在な状態で取り付けられた各クランプローラ１１６〜１２０を経由して巻き取り部１１４に巻き取られる。押圧部１１５は、クランプローラ１１６とクランプローラ１１７との間に位置して取り付けられ、ワイピングクロス１０をＺ方向において下面から上方向に支持している。クランプローラ１１７には、Ｘ方向にクランプローラ１１７をワイピングクロス１０に押し付けてワイピングクロス１０が緩まないようにテンションを与えるクランプ用シリンダ１２３が設けられている。巻き出し部１１３には、巻き出し用モータ１２１が取り付けられ、巻き取り部１１４には、巻き取り用モータ１２２が取り付けられている。各モータ１２１，１２２は、例えばサーボモータである。

巻き出し部１１３、巻き取り部１１４、押圧部１１５、各クランプローラ１１６〜１２０、クランプ用シリンダ１２３、各モータ１２１，１２２の機構部品は、すべて支持プレート１１２に取り付けられている。支持プレート１１２は、異物除去装置１００の骨組みの一部であるアングル１４０に設けられたクロス部搬送機構１４１に取り付けられている。クロス部搬送機構１４１は、アングル１４０上に設けられたレール１４３と、レール１４３上を移動可能な状態に設けられたスライド部１４２とを備えている。支持プレート１１２は、スライド部１４２に取り付けられて、Ｘ方向に移動可能な状態となっている。

また、クロス供給機構１１１は、開口した部分から押圧部１１５が突出する吸気口１２６ｂと排気装置に配管によって接続される排気口１２６ａとを有する排気フード１２６によって覆われている。

ワイピングクロス１０は、頻繁に交換する手間を省くために、帯状の布またはテープ等を用いるのが好ましい。本実施形態において用いられたワイピングクロス１０は、帝人（株）製のミクロスターワイピングロール（Ｒ）であり、ポリエステル７０％、ナイロン３０％の割合で各繊維を織り込んだものである。幅は、およそ４０ｍｍ、長さは、およそ４０ｍである。このワイピングクロス１０は、不要な異物等が取り除かれていると共に、低発塵で高い異物捕集性能を備えている。ワイピングクロス１０を新しいものと交換する際には、クロス部搬送機構１４１により、排気フード１２６ごとクロス供給機構１１１をＸ方向の装置手前に引き出して、開閉可能な状態に取り付けられた排気フード１２６の一部を開いて、使用済みのワイピングクロス１０が巻き取られた巻き取り部１１４と巻き出し部１１３とを新しいものに交換する。

溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４は、排気フード１２６の吸気口１２６ｂから突出した押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置すると共に、排気フード１２６の外側に配設されている。

図６は、溶剤塗布部を示す概略図である。溶剤塗布部は、２本のノズル１２５を有するディスペンサ１２４からなり、ディスペンサ１２４には、取り入れ口１２４ａに配管が取付られて圧縮空気が導入されると共に、取り入れ口１２４ｂに配管が取り付けられて溶剤が導入される。導入された圧縮空気と溶剤は、ディスペンサ１２４の内部で混合されノズル１２５からワイピングクロス１０の表面に向けて吐出される。２本のノズル１２５は、吐出された溶剤がワイピングクロス１０の幅方向において含浸されるように、適度な間隔を持ってディスペンサ１２４に取り付けられている。ノズル１２５から吐出される溶剤は、圧縮空気が混合されているので、噴霧された状態となりワイピングクロス１０の表面にムラなく溶剤を塗布できるようになっている。また、ワイピングクロス１０の供給方向において押圧部１１５の先端部１１５ａ側を含む手前のワイピングクロス１０に溶剤を含浸させることができるように、ノズル１２５の向きや角度、ノズル径、長さが調整されている。

図７は、押圧部を示す概略斜視図である。押圧部１１５の本体は、導電性の硬質部材であるステンレス等の金属からなり、先端部１１５ａは剣先状となっている。また、先端部１１５ａには、ワイピングクロス１０の幅方向に対応するように、長さＬに渡って例えば発泡ウレタン樹脂シート等の軟質部材１１５ｂが接着固定されている。このような押圧部１１５の先端部１１５ａでワイピングクロス１０を下面から支持して液晶表示パネル１の各表面２ａ，３ａを押圧すれば、ワイピングクロス１０を各表面２ａ，３ａに密着させて拭き取りを行うことが可能である。

押圧部１１５は、Ｚ方向に対して傾斜して支持プレート１１２に固定されている。これは、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧した時に、面接触するように考慮したものである。尚、パネル保持部１０１ａに保持された液晶表示パネル１のＸ方向における移動方向に対応して、押圧部１１５の傾斜角度を変える駆動部を支持プレート１１２に設けてもよい。また好ましくは、移動する液晶表示パネル１の表面に対して、先端部１１５ａが略垂直な方向でワイピングクロス１０を押圧したほうがよい。このようにすれば、液晶表示パネル１の移動方向の変化に対して、ワイピングクロス１０の面接触状態をほぼ一定な状態に維持することが可能である。

図８は、異物除去装置の電気的、機械的な構成を示すブロック図である。図８に示すように、異物除去装置１００の電気的、機械的な構成は、基板保持装置１０１と、クロス供給機構１１１と、溶剤塗布機構１３０と、基板保持装置１０１および各機構１１１，１３０を制御する制御部１３１とに大別される。制御部１３１には、演算と実行命令を行う演算部（ＣＰＵ）１３２と、記憶部１３３と、時間を計測するタイマ１３４と、拭き取り回数をカウントするカウンタ１３５とが内蔵されている。

基板保持装置１０１において、パネル保持部１０１ａをＺ方向に上下動させる上下駆動用シリンダ１０９は、電磁バルブ１０９ａを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１０９ａは、電気的に制御部１３１と接続されている。ロッド先端部１０７ｂが下側把持部１０３に固定されたパネル保持部駆動用シリンダ１０７は、電磁バルブ１０７ｃを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１０７ｃは、電気的に制御部１３１と接続されている。パネル保持部１０１ａをＸ，Ｙ方向に移動させるＸ軸駆動用モータ１１０ａとＹ軸駆動用モータ１１０ｂとは、それぞれ電気的に制御部１３１と接続されている。制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを電気的に開閉することにより、上下駆動用シリンダ１０９に圧空を送り込んでパネル保持部１０１ａをＺ方向に上下動させる。また、電磁バルブ１０７ｃを開閉することによりパネル保持部駆動用シリンダ１０７に圧空を送り込み、下側把持部１０３を動かして上側把持部１０２との間にＦＰＣ７を把持させる。また、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａとＹ軸駆動用モータ１１０ｂとを駆動してパネル保持部１０１ａをＸ，Ｙ方向に移動させる。基板保持装置１０１のスライド機構１１０には、液晶表示パネル１をＸ，Ｙ，Ｚ方向における所定の位置に位置決めするために、液晶表示パネル１の位置を検出する複数のセンサ（図示省略）が設けられている。センサは、光感応式や接触式、電磁式等の方式のものを採用することができる。これらのセンサも当然のことながら電気的に制御部１３１に接続されている。

クロス供給機構１１１において、巻き出し部１１３を駆動する巻き出し用モータ１２１は、内部にエンコーダ１２１ａを有し、いずれも制御部１３１に電気的に接続されている。巻き取り部１１４を駆動する巻き取り用モータ１２２は、電気的に制御部１３１に接続されている。クランプ用シリンダ１２３は、電磁バルブ１２３ａを介して圧空源１２９に配管接続されている。電磁バルブ１２３ａは、電気的に制御部１３１に接続されている。制御部１３１は、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、ワイピングクロス１０を供給する。また、エンコーダ１２１ａからの信号を基に巻き出し用モータ１２１の回転数を記憶部１３３に随時記憶させ、巻き出し用モータ１２１の回転による巻き出し量を演算部１３２で演算させて、所定の巻き出し量となるように巻き出し用モータ１２１を駆動する。また、巻き出し用モータ１２１の回転に応じて巻き取り用モータ１２２を駆動させる。さらには、記憶部１３３に記憶された回転数の累積からワイピングクロス１０の終点を予測して、終点検出を知らせるアラーム用の図示しないランプ等を点灯させる。制御部１３１は、電磁バルブ１２３ａを開閉してクランプ用シリンダ１２３に圧空を送り込み、クランプローラ１１７をＸ方向に移動させてワイピングクロス１０にテンションを与える。

溶剤塗布機構１３０は、溶剤が貯留される溶剤タンク１２７と、２つの電磁バルブ１２４ｃ，１２８と、ディスペンサ１２４とを有している。溶剤タンク１２７は、電磁バルブ１２８を介して圧空源１２９に配管接続されている。また、溶剤タンク１２７は、ディスペンサ１２４と配管接続され、配管を通じて溶剤が送り込まれる。ディスペンサ１２４は、電磁バルブ１２４ｃを介して圧空源１２９と配管接続されている。電磁バルブ１２４ｃは、電気的に制御部１３１に接続されている。制御部１３１は、電磁バルブ１２８を開閉して圧空を溶剤タンク１２７に送り込み、貯留された溶剤がディスペンサ１２４に送られる。また、電磁バルブ１２４ｃを開閉して圧空をディスペンサ１２４に送り、送られた圧空は、ディスペンサ１２４内で溶剤と混合されてノズル１２５から吐出される。制御部１３１は、記憶部１３３に記憶された拭き取り動作のプログラムとこれに対応する溶剤塗布のプログラムを読み出して、溶剤塗布のタイミングを電気信号として電磁バルブ１２４ｃに送り、ディスペンサ１２４から溶剤をワイピングクロス１０に塗布させる。

本実施形態の異物除去装置１００では、制御部１３１は、まず液晶表示パネル１の基板の表面の一方の端部に、ワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、第１の拭き取り方向にパネル保持部１０１ａを移動させて、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に、基板の表面の一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を３回行わせる。次に基板の表面の他方の端部にワイピングクロス１０を押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧した状態で、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に基板保持装置１０１を移動させて、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に、基板の表面の上記一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を３回行わせる。また、拭き取り動作１回ごとに、押圧されるワイピングクロス１０の部分が更新されるように、クロス供給機構１１１の巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動させる。さらに、第１および第２の拭き取り動作の最初の１回目の拭き取り動作を行う前に、ワイピングクロス１０にディスペンサ１２４から溶剤を吐出して含浸させる。

（異物除去方法）
次に本実施形態の異物除去装置を用いた異物除去方法について図９〜図１１に基づいて説明する。図９は、異物除去方法を示すフローチャート、図１０（ａ）〜（ｄ）および図１１（ｅ）〜（ｈ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図である。

図９に示すように、本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１の表面を下方に向けると共に、液晶表示パネル１とワイピングクロス１０とを所定の位置に対向配置するパネル搬送位置決め工程を備えている。また、所定の位置に対向配置された液晶表示パネル１の表面の一方の端部に、ワイピングクロス１０が押圧された状態で、第１の拭き取り方向に液晶表示パネル１を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロス１０の部分が液晶表示パネル１の表面の他方の端部を通過する拭き取り動作を３回行う第１の拭き取り工程と、液晶表示パネル１の表面の他方の端部に、ワイピングクロス１０が押圧された状態で、第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に液晶表示パネル１を相対的に移動させて、押圧されたワイピングクロス１０の部分が一方の端部を通過する拭き取り動作を３回行う第２の拭き取り工程とを備えている。

また、第１の拭き取り工程および第２の拭き取り工程では、拭き取り動作１回ごとに、液晶表示パネル１の表面に押圧部１１５の先端部１１５ａで押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程を含んでいる。また、それぞれ１回目の拭き取り動作を行う前に、ワイピングクロス１０の表面に溶剤を塗布する溶剤塗布工程を備えている。

図９のステップＳ１は、パネル搬送位置決め工程である。ステップＳ１では、図１０（ａ）に示すように、制御部１３１は、基板保持装置１０１の電磁バルブ１０７ｃを開いて、パネル保持部駆動用シリンダ１０７を駆動し、パネル保持部１０１ａに液晶表示パネル１を保持させる。この場合、液晶表示パネル１の表面３ａに付着した異物を除去するように、表面３ａをＺ方向において下向きに保持させる。そして、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａおよびＹ軸駆動用モータ１１０ｂを駆動して、パネル保持部１０１ａを移動させ、表面３ａがワイピングクロス１０と対向する所定の位置に液晶表示パネル１を搬送して位置決めする。そしてステップＳ２へ進む。

図９のステップＳ２は、溶剤塗布工程である。ステップＳ２では、図１０（ａ）に示すように、制御部１３１は、溶剤塗布機構１３０の電磁バルブ１２８，１２４ｃを開いて溶剤タンク１２７から溶剤１１をディスペンサ１２４に送り込むと共に、圧空源１２９からディスペンサ１２４に圧空を送り込んで、ディスペンサ１２４のノズル１２５から溶剤１１をワイピングクロス１０に塗布（噴霧）する。制御部１３１は、タイマ１３４を作動させ、所定の設定時間で溶剤１１を塗布し、その後、電磁バルブ１２８，１２４ｃを閉じて溶剤塗布を終了する。ステップＳ２は、ステップＳ１のパネル保持位置決め工程と同時進行してもよい。尚、溶剤１１としては、有機溶剤のアセトンを用いたが、適度な揮発性と脱脂力を有する有機溶剤を用いることが好ましい。溶剤１１としては、アルコール類やケトン類、あるいはこれらの有機溶剤の混合物でもよい。そしてステップＳ３へ進む。

図９のステップＳ３は、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧する工程である。ステップＳ３では、図１０（ｂ）に示すように、制御部１３１は、基板保持装置１０１の電磁バルブ１０９ａを開閉して、上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において下降させる。そして押圧部１１５の先端部１１５ａで支持されたワイピングクロス１０の部分に液晶表示パネル１の表面３ａの一方の端部３ｃを押圧する。この場合、液晶表示パネル１の対向基板３の周縁部のエッジによって、ワイピングクロス１０が損傷することを避けるために、表面３ａ上の一方の端部３ｃにワイピングクロス１０が押圧されるように設定されている。そしてスッテップＳ４へ進む。

図９のステップＳ４は、液晶表示パネル１をワイピングクロス１０に対して拭き取り方向に摺動するパネル摺動工程である。ステップＳ４では、図１０（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液晶表示パネル１の表面３ａの一方の端部３ｃにワイピングクロス１０を押圧した状態で、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動させて、パネル保持部１０１ａをＸ方向において第１の拭き取り方向に移動させ、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に表面３ａの他方の端部３ｂを通過したところで止める。これにより表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭って、付着した異物を除去する拭き取り動作を行う。そして、ステップＳ５へ進む。

図９のステップＳ５は、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程である。ステップＳ５では、図１０（ｄ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において上昇させる。そして、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、巻き出し部１１３から所定の長さ分でワイピングクロス１０を送り出し、巻き取り部１１４に巻き取る。これにより、押圧されるワイピングクロス１０の部分が未使用状態に更新される。そしてステップＳ６へ進む。

図９のステップＳ６は、拭き取り動作によるクリーニング回数（拭き取り動作の回数）を判定する工程である。ステップＳ６では、制御部１３１は、所定の回数拭き取り動作が行われたか否か判定する。この場合、第１の拭き取り工程における所定の回数は、３回に設定されているため、制御部１３１は、カウンタ１３５でカウントした回数を読み取って、３回終了していなければ、ステップＳ３に戻って拭き取り動作を繰り返させる。３回終了すれば、ステップＳ７へ進む。

図９のステップＳ７は、先のステップＳ１と同様に、液晶表示パネル１を所定の位置に位置決めするパネル搬送位置決め工程である。ステップＳ７では、この場合、図１１（ｅ）に示すように、制御部１３１は、液晶表示パネル１の表面３ａにおいて、前述の一方の端部３ｃと反対側の他方の端部３ｂが、押圧部１１５の先端部１１５ａと対向する所定の位置に、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動してパネル保持部１０１ａを移動させる。そしてステップＳ８へ進む。

図９のステップＳ８は、溶剤塗布工程である。ステップＳ８では、図１１（ｅ）に示すように、制御部１３１は、ディスペンサ１２４のノズル１２５から溶剤１１をワイピングクロス１０に塗布させる。詳細は、ステップＳ２と同様なため、説明は省く。そしてステップＳ９へ進む。

図９のステップＳ９は、液晶表示パネル１の表面３ａをワイピングクロス１０に押圧する工程である。ステップＳ９では、図１１（ｆ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向に下降させる。これにより、押圧部１１５の先端部１１５ａで支持されたワイピングクロス１０の部分に液晶表示パネル１の表面３ａの他方の端部３ｂを押圧する。そしてステップＳ１０へ進む。

図９のステップＳ１０は、液晶表示パネル１をワイピングクロス１０に対して摺動するパネル摺動工程である。ステップＳ１０では、図１１（ｆ）及び（ｇ）に示すように、液晶表示パネル１の表面３ａの他方の端部３ｂにワイピングクロス１０を押圧した状態で、制御部１３１は、Ｘ軸駆動用モータ１１０ａを駆動させて、パネル保持部１０１ａをＸ方向において第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させ、押圧部１１５の先端部１１５ａが相対的に表面３ａの一方の端部３ｃを通過したところで止める。これにより表面３ａを隈なくワイピングクロス１０で拭って、付着した異物を除去する拭き取り動作を行う。そして、ステップＳ１１へ進む。

図９のステップＳ１１は、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程である。ステップＳ１１では、図１１（ｈ）に示すように、制御部１３１は、電磁バルブ１０９ａを開閉して上下駆動用シリンダ１０９を駆動させ、パネル保持部１０１ａをＺ方向において上昇させる。そして、巻き出し用モータ１２１と巻き取り用モータ１２２とを駆動して、巻き出し部１１３から所定の長さ分でワイピングクロス１０を送り出し、巻き取り部１１４に巻き取る。これにより、押圧されるワイピングクロス１０の部分が未使用状態に更新される。そしてステップＳ１２へ進む。

図９のステップＳ１２は、拭き取り動作によるクリーニング回数を判定する工程である。ステップＳ１２では、制御部１３１は、所定の回数拭き取り動作が行われたか否か判定する。この場合、第２の拭き取り工程における所定の回数は、３回に設定されているため、制御部１３１は、カウンタ１３５でカウントした回数を読み取って、３回終了していなければ、ステップＳ９に戻って拭き取り動作を繰り返させる。３回終了すれば、拭き取り動作を終了させる。

以上の工程により液晶表示パネル１の表面３ａに付着した異物の除去が終了する。もちろん、表面３ａとは反対側の表面２ａに付着した異物を除去する場合は、表面２ａがＺ方向において下向きになるようにパネル保持部１０１ａに液晶表示パネル１を保持して、上記ステップＳ１からスッテップＳ１２を行えばよい。また、異物除去装置１００を２台用意して、一方の装置では、表面３ａに付着した異物を除去し、他方の装置で表面２ａに付着した異物を除去してもよい。

本実施形態の異物除去方法は、第１の拭き取り工程で第１の方向に３回拭き取り動作を行い、第２の拭き取り工程では第１の方向とは反対の第２の方向に３回拭き取り動作を行う。したがって、第１の拭き取り工程で液晶表示パネル１の表面の一方の端部３ｃに拭き取りできない部分が生じても、第２の拭き取り工程で先に拭き取りできなかった部分を含めて拭き取りがされ、表面を隈なく拭き取れるような動作となっている。

また、拭き取り動作ごとに液晶表示パネル１の表面に押圧されるワイピングクロス１０が更新され、常に未使用状態のワイピングクロス１０で拭き取り動作が行われる。よって、拭き取られた異物が液晶表示パネル１の表面に再付着する不具合が起こることが低減される。さらに、第１の拭き取り工程と第２の拭き取り工程がそれぞれ開始される前に、未使用状態のワイピングクロス１０の表面に溶剤１１が塗布される。よって、異物の除去と同時に、溶剤１１に可溶性の汚れも除去される。また、溶剤塗布工程は、それぞれ３回行われる拭き取り動作が開始される前に、１回行われる。したがって、２回目以降では、溶剤が塗布されていないワイピングクロス１０の未使用部分によって表面の拭き取り動作が行われるので、１回目の拭き取り動作で表面に溶剤分が残留しても、２回目以降で乾燥させることが可能である。すなわち、溶剤によるシミ等が目立つことなく、表面をクリーンな状態とすることが可能である。

本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１に中継基板としてのＦＰＣ７が接続されていても、パネル保持部１０１ａは、ＦＰＣ７を両面から把持して液晶表示パネル１を保持するため、拭き取り動作時に、ＦＰＣ７にワイピングクロス１０が触れることなく、液晶表示パネル１の表面に付着した異物や汚れが除去される。

（電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法）
上記液晶表示装置２０の製造方法は、液晶表示パネル１の表面に付着した異物を除去する工程と、液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に透明基板としての防塵ガラス２１，２２を装着する工程と、液晶表示パネル１を筐体としてのケース２３に収容する組立工程とを備えている。異物を除去する工程では、防塵ガラス２１，２２を装着する前に、各基板２，３の表面に付着した異物や汚れを取り除いて、表面をクリーンな状態にする。防塵ガラス２１，２２を装着する工程では、表面がクリーンな状態となった液晶表示パネル１に防塵ガラス２１，２２を接着剤を用いて装着する。組立工程では、防塵ガラス２１，２２が装着された液晶表示パネル１を、ケース２３に収容して金属枠２５を取り付ける。本実施形態の液晶表示装置２０の製造方法は、異物を除去する工程において、上記実施形態の異物除去装置１００を用いている。液晶表示パネル１には、電子部品として各ドライバＩＣ４，５，６やＦＰＣ７が配設されている。異物除去装置１００は、これらの電子部品に影響を与えないように表面を隈なくワイピングクロス１０で拭き取りして、異物や汚れを除去できるため、異物不良や汚れ不良を低減して歩留まりよく液晶表示装置２０の製造が可能である。

本実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）本実施形態の異物除去装置１００において、パネル保持部１０１ａは、ＦＰＣ７を両面から把持して液晶表示パネル１を支えると共に、液晶表示パネル１の異物を除去しようとする表面とは反対側の表面の周縁部を支持して液晶表示パネル１を保持する。したがって、液晶表示パネル１の異物を除去しようとする表面側には、液晶表示パネル１を保持する部分が当接していないので、異物を除去しようとする表面をワイピングクロス１０に押圧部１１５の先端部１１５ａで押し当てて隈なく拭うことができる。ゆえに、液晶表示パネル１がＦＰＣ７を有していても、パネル保持部１０１ａが拭き取り動作において、邪魔にならずに表面に付着した異物を除去することができる。また、液晶表示パネル１の表面は下向きにワイピングクロス１０と対向するように配置されるため、異物を除去しようとする表面が上向きになっている場合に比べて、拭き取り動作によって発生したワイピングクロス１０からの発塵や除去された異物がワイピングクロス１０から落下して、液晶表示パネル１の表面に再付着することを低減することができる。すなわち液晶表示パネル１の各基板２，３の表面を隈なく拭って付着した異物を除去すると共に、ワイピングクロス１０からの発塵や除去された異物の再付着を低減した異物除去装置１００を提供することができる。

（２）異物除去装置１００は、押圧部１１５に対してワイピングクロス１０の供給側に位置すると共に、ワイピングクロス１０の表面に溶剤を塗布する溶剤塗布部としてのディスペンサ１２４を備えている。したがって、溶剤が塗布されて含浸したワイピングクロス１０を液晶表示パネル１の表面に押圧した状態で、制御部１３１によって拭き取り動作を行わせることによって、液晶表示パネル１の各表面２ａ，３ａに付着した異物を除去すると共に、各表面２ａ，３ａに付着した汚れも同時に除去することができる。

（３）異物除去装置１００において、クロス供給機構１１１は、押圧部１１５が開口した部分から突出する吸気口１２６ｂと排気口１２６ａとを備えた排気フード１２６によって覆われている。よって、排気口１２６ａを排気装置に配管接続すれば、拭き取り動作時に発生するワイピングクロス１０の発塵や除去された異物を、周囲の空気と一緒に吸気口１２６ｂから吸引して排気口１２６ａから排気することができる。すなわち、ワイピングクロス１０の発塵や除去された異物が液晶表示パネル１の表面に再付着することをより低減した異物除去装置１００を提供することができる。

（４）異物除去装置１００において、押圧部１１５の先端部１１５ａには、軟質部材１１５ｂがワイピングクロス１０の幅方向に対応して設けられている。したがって、先端部１１５ａに支持されたワイピングクロス１０に液晶表示パネル１の表面が押圧された場合、該表面とワイピングクロス１０の押圧された部分とがより密着して、該表面をワイピングクロス１０でムラなく拭き取りすることができる。また、押圧部１１５の本体は導電性の金属からなるため、該表面とワイピングクロス１０との摩擦によって発生する静電気を押圧部１１５側に逃がすことができる。すなわち、静電気によるゴミなどの異物が該表面に再付着することを低減すると共に、液晶表示パネル１を構成する各基板２，３の静電気による表面破壊を低減することができる。

（５）異物除去装置１００を用いた本実施形態の異物除去方法は、異物を除去しようとする液晶表示パネル１の表面を、第１の拭き取り工程で第１の拭き取り方向に拭き取り動作を行った後に、第２の拭き取り工程で第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に拭き取り動作を行う。したがって、第１の拭き取り工程で液晶表示パネル１の表面の一方の端部に拭き取りできない部分が生じても、第２の拭き取り工程で先に拭き取りできなかった部分を含めて拭き取りがされ、表面を隈なく拭き取って付着した異物や汚れを除去することができる。

（６）本実施形態の異物除去方法は、拭き取り動作１回ごとに、押圧されるワイピングクロス１０の部分を更新する工程を備えているので、常に未使用な状態のワイピングクロス１０の表面で、液晶表示パネル１の表面を拭き取って付着した異物を除去することができる。すなわち、除去された異物や汚れが表面に再付着することを低減することができる。

（７）本実施形態の異物除去方法は、第１の拭き取り方向と第２の拭き取り方向のいずれか一方向で液晶表示パネル１とワイピングクロス１０とを相対的に摺動させる。したがって、液晶表示パネル１の表面をワイピングクロス１０に押圧した状態で、拭き取り方向を変えることがないので、押圧されたワイピングクロス１０が異なる方向に引っ張られて発塵することを低減することができる。

（８）本実施形態の異物除去方法は、液晶表示パネル１の表面の一方の端部をワイピングクロス１０に押圧してから拭き取り動作を開始し、押圧部１１５が相対的に他方の端部を通過した位置で、拭き取り動作が止まる。したがって、液晶表示パネル１の側端部のエッジがワイピングクロス１０に侵入するように拭き取りがされないので、側端部のエッジでワイピングクロス１０が損傷して発塵したり、最悪の場合は、断裂してしまうことを低減することができる。

（９）本実施形態の液晶表示装置２０の製造方法は、異物除去装置１００を用いて液晶表示パネル１の表面を隈なく拭き取りして、付着した異物や汚れを除去した後に、液晶表示パネル１の光の入射側と出射側の表面に防塵ガラス２１，２２を装着する。したがって、異物不良や汚れ不良を低減して、歩留まりよく防塵ガラス２１，２２を備えた液晶表示装置２０を製造することができる。

前記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
（変形例１）異物除去装置１００において、液晶表示パネル１の表面とワイピングクロス１０とを相対的に摺動させる構成は、前記実施形態に限定されない。所定の位置に配置された液晶表示パネル１に対して、クロス供給機構１１１と押圧部１１５とを一体としてクロス部搬送機構１４１を移動させて摺動させてもよい。また、基板保持装置１０１とクロス部搬送機構１４１の双方を移動させて摺動させてもよい。

（変形例２）パネル保持部１０１ａの構造は、前記実施形態に限定されない。例えば、上側把持部１０２と下側把持部１０３とによってＦＰＣ７を両面から把持すると共に、パネル支持部１０４が、液晶表示パネル１のＦＰＣ７が設けられた側と反対側の側端面を支持して液晶表示パネル１を保持してもよい。このようにすれば、異物を除去しようとする表面にパネル支持部１０４が触れない状態で液晶表示パネル１を保持することができる。すなわち、パネル保持部１０１ａに邪魔されることなく、ワイピングクロス１０で表面を隈なく拭き取りすることができる。また、液晶表示パネル１の片側の表面のみ異物の除去を行う場合は、反対側の表面のいずれの部分でも支持が可能である。例えば、吸着パッドをアーム部１０５に取り付けて反対側の表面を真空吸着することにより液晶表示パネル１を支持することも可能である。さらに、把持部としての上側把持部１０２と下側把持部１０３とによってＦＰＣ７を把持したときに、略水平状態に把持することができれば、パネル支持部１０４およびアーム部１０５は、不要とすることができる。

（変形例３）異物除去装置１００を用いた異物除去方法において、液晶表示パネル１の表面の一端部にワイピングクロス１０を押圧して拭き取る方法は、前記実施形態に限定されない。例えば、第１の拭き取り工程と第２の拭き取り工程とを逆にしてもよい。また、必ずしもそれぞれ３回拭き取りを行わなくてもよい。例えば、第１の拭き取り工程で３回拭き取り動作を行って、第２の拭き取り工程では、１回の拭き取り動作で済ませてもよい。また、それぞれ１回ずつ拭き取り動作を行わせてもよい。

（変形例４）異物除去装置１００を用いた異物除去方法において、溶剤塗布工程は、拭き取り動作１回ごと、ワイピングクロス１０を更新する工程の後に、１回ごと行ってもよい。

（ａ）は、液晶表示装置を示す概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図。 （ａ）は、液晶表パネルを示す正面図、（ｂ）は、液晶表示パネルを示す側面図。 異物除去装置の要部構造を示す模式図。 基板保持装置を示す模式図。 （ａ）は、パネル保持部を示す概略正面図、（ｂ）は、パネル保持部を示す概略平面図。 溶剤塗布部を示す概略図。 押圧部を示す概略斜視図。 異物除去装置の電気的、機械的な構成を示すブロック図。 異物除去方法を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｄ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図。 （ｅ）〜（ｈ）は、異物除去方法を示す異物除去装置の概略図。

符号の説明

１…電気光学パネルとしての液晶表示パネル、２…基板としての素子基板、２ａ…基板の表面としての素子基板の表面、３…基板としての対向基板、３ａ…基板の表面としての対向基板の表面、３ｂ…基板の表面の一方の端部、３ｃ…基板の表面の他方の端部、７…中継基板としてのＦＰＣ、１０…ワイピングクロス、１１…溶剤、２０…電気光学装置としての液晶表示装置、２１，２２…透明基板としての防塵ガラス、２３…筐体としてのケース、１００…異物除去装置、１０１ａ…パネル保持部、１０２…把持部としての上側把持部、１０３…把持部としての下側把持部、１０４…パネル支持部、１１０…移動手段としてのスライド機構、１１１…クロス供給手段としてのクロス供給機構、１１５…押圧部、１１５ａ…押圧部の先端部、１１５ｂ…軟質部材、１２４…溶剤塗布部としてのディスペンサ、１２５…ノズル、１２６…排気フード、１２６ａ…排気口、１２６ｂ…吸気口。

Claims (15)

1. 基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
   前記基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、
   前記パネル保持部に保持された前記基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、前記ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、
   前記基板の表面との間に前記ワイピングクロスを介して位置すると共に、前記ワイピングクロスの幅方向に渡って前記ワイピングクロスを下面から前記基板の表面側に向かって支持する押圧部と、
   前記パネル保持部と前記押圧部で支持された前記ワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を前記基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、
   前記基板の表面に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に前記拭き取り方向に移動させて、前記ワイピングクロスで前記基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする異物除去装置。
2. 外部駆動回路に接続させるための中継基板を有する電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する異物除去装置であって、
   前記基板の表面を下方に向けて保持するパネル保持部と、
   前記パネル保持部に保持された前記基板の表面に、ワイピングクロスが対向するように配置されると共に、前記ワイピングクロスの両端を支持して供給を行うクロス供給手段と、
   前記基板の表面との間に前記ワイピングクロスを介して位置すると共に、前記ワイピングクロスの幅方向に渡って前記ワイピングクロスを下面から前記基板の表面側に向かって支持する押圧部と、
   前記パネル保持部と前記押圧部で支持された前記ワイピングクロスとのうち、少なくとも一方を前記基板の表面を拭き取り可能な拭き取り方向に移動させる移動手段と、
   前記基板の表面に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に前記拭き取り方向に移動させて、前記ワイピングクロスで前記基板の表面を拭う拭き取り動作を行わせる制御部とを備え、
   前記パネル保持部は、前記中継基板を把持して前記電気光学パネルを支えると共に、前記基板の表面とは反対側の表面の一部を支持して前記電気光学パネルを保持することを特徴とする異物除去装置。
3. 前記パネル保持部は、前記電気光学パネルの一辺側に接続された前記中継基板を両面から把持する把持部と、前記基板の表面とは反対側の表面おける前記一辺側と対向する辺側の少なくとも一部に当接して支持するパネル支持部とを有し、前記把持部と前記パネル支持部とによって前記電気光学パネルを保持することを特徴とする請求項２に記載の異物除去装置。
4. 前記押圧部に対して前記ワイピングクロスの供給側に位置して、前記ワイピングクロスに溶剤を塗布する溶剤塗布部をさらに備え、
   前記制御部は、前記溶剤塗布部から前記ワイピングクロスの供給方向における前記押圧部の先端部側を含む手前の部分の前記ワイピングクロスに溶剤を吐出して含浸させることを特徴とする請求項１または２に記載の異物除去装置。
5. 前記溶剤塗布部は、溶剤と空気とを混合した状態で、ノズルから前記ワイピングクロスの表面に吐出することを特徴とする請求項４に記載の異物除去装置。
6. 前記制御部は、前記基板の表面の一方の端部に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に第１の拭き取り方向に移動させて、前記押圧部の先端部が相対的に、前記基板の表面の一方の端部とは反対側の他方の端部を通過する第１の拭き取り動作を少なくとも１回行わせた後に、前記基板の表面の前記他方の端部に前記ワイピングクロスを前記押圧部の先端部で押圧した状態で、前記移動手段を制御して前記基板と前記ワイピングクロスとを相対的に前記第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に移動させて、前記押圧部の先端部が相対的に前記一方の端部を通過する第２の拭き取り動作を少なくとも１回行わせることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の異物除去装置。
7. 前記制御部は、拭き取り動作１回ごとに、前記押圧部の先端部で押圧される前記ワイピングクロスの部分を更新するように前記クロス供給手段を制御することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の異物除去装置。
8. 前記クロス供給手段は、開口した部分から前記押圧部が突出する吸気口を有すると共に、排気装置に接続する排気口を備えた排気フードによって覆われていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の異物除去装置。
9. 前記押圧部には、硬質体であり且つ導電体からなる本体の先端部に、軟質部材が前記ワイピングクロスの幅方向に渡って設けられていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の異物除去装置。
10. 外部駆動回路に接続させるための中継基板を有する電気光学パネルの基板の表面を所定の方向に向けて保持する基板保持装置であって、
    前記電気光学パネルの一辺側に接続された前記中継基板を両面から把持して前記電気光学パネルを支える把持部と、
    前記基板の表面とは反対側の表面の少なくとも一部に当接して前記電気光学パネルを支えるパネル支持部とを備えたことを特徴とする基板保持装置。
11. 前記把持部と、前記パネル支持部とを一体として所定の方向に移動させる移動手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１０に記載の基板保持装置。
12. 請求項１ないし９のいずれか一項に記載の異物除去装置を用いて電気光学パネルの基板の表面に付着した異物を除去する工程と、
    前記電気光学パネルの両方の表面のうち少なくとも一方の表面に、透明基板を装着する工程と、
    前記透明基板が装着された前記電気光学パネルを筐体に収容する組立工程と、を備えたことを特徴する電気光学装置の製造方法。
13. 基板の表面に付着した異物を除去する異物除去方法であって、
    前記基板の表面を下方に向けると共に、前記基板とワイピングクロスとを所定の位置に対向配置する工程と、
    前記所定の位置に対向配置された前記基板の表面の一方の端部に、前記ワイピングクロスの少なくとも一部が押圧された状態で、第１の拭き取り方向に前記基板を相対的に移動させて、押圧された前記ワイピングクロスの部分が前記基板の他方の端部を通過する拭き取り動作を少なくとも１回行う第１の拭き取り工程と、
    前記基板の他方の端部に、前記ワイピングクロスの少なくとも一部が押圧された状態で、前記第１の拭き取り方向とは反対の第２の拭き取り方向に前記基板を相対的に移動させて、押圧された前記ワイピングクロスの部分が前記一方の端部を通過する拭き取り動作を少なくとも１回行う第２の拭き取り工程とを備えたことを特徴とする異物除去方法。
14. 前記第１の拭き取り工程と前記第２の拭き取り工程では、拭き取り動作１回ごとに前記基板の表面に押圧される前記ワイピングクロスの部分を更新して拭き取り動作を行うことを特徴とする請求項１３に記載の異物除去方法。
15. さらに前記ワイピングクロスの表面に含浸するように溶剤を塗布する溶剤塗布工程を備え、
    前記溶剤塗布工程は、前記第１の拭き取り工程および／または第２の拭き取り工程が開始される前に少なくとも１回溶剤を塗布することを特徴とする請求項１３または１４に記載の異物除去方法。
    

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