JP2016018840A - 半導体チップの実装装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記半導体チップを供給する供給部と、
この供給部から前記半導体チップを吸着保持して取り出し、前記基板に実装する実装ツールと、
この実装ツールの先端に挿嵌して装着されるコレットと、
このコレットの前記半導体チップに接触する下面と粘着ローラを接触させて、前記コレットと前記粘着ローラとを前記コレットの下面と平行な方向へ相対移動させることで、前記コレットの下面をクリーニングするクリーニング手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップの実装装置にある。
図1はこの発明の実施の形態である基板に半導体チップを実装する実装装置としてのダイボンダの主要部分を示す斜視図である。このダイボンダはリードフレームや樹脂製シートなどの基板5の搬送及び支持手段としての一対のガイドレール51、半導体ウエハ1を保持して半導体チップ2を供給する供給部であるウエハテーブル52、供給部から取り出された半導体チップ2が一時載置される中間ステージとしてのプリサイサステージ40、供給部の半導体ウエハ1より半導体チップ2を吸着保持することでピックアップし、プリサイサステージ40に載置する実装ツールとしての吸着ノズル30、プリサイサステージ40に載置された半導体チップ2を基板5に実装する実装ツールとしての実装ツール10と、実装ツール10又は吸着ノズル30の先端に挿嵌して装着されたコレット20をクリーニングするクリーニングユニット100などで構成されており、これらが図示しない制御手段により統括制御されている。
2…半導体チップ
5…基板
10…実装ツール
20…コレット
30…吸着ノズル
50…ウエハリング
51…ガイドレール
52…ウエハテーブル
60…クリーニングステージ
62…粘着ローラ
100…クリーニングユニット
Claims (3)
- 基板に半導体チップを実装するための実装装置であって、
前記半導体チップを供給する供給部と、
この供給部から前記半導体チップを吸着保持して取り出し、前記基板に実装する実装ツールと、
この実装ツールの先端に挿嵌して装着されるコレットと、
このコレットの前記半導体チップに接触する下面と粘着ローラを接触させて、前記コレットと前記粘着ローラとを前記コレットの下面と平行な方向へ相対移動させることで、前記コレットの下面をクリーニングするクリーニング手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップの実装装置。 - 前記コレットは、前記コレットの下面と平行な方向の相対移動によって、前記コレットと前記粘着ローラとが離れた後、前記粘着ローラからコレットの下面と垂直な方向に離れることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの実装装置。
- 前記クリーニング手段は複数の粘着ローラを有し、
この複数の粘着ローラを前記コレットの下面に順次接触させてクリーニングすることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体チップの実装装置。
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2014
- 2014-07-07 JP JP2014139467A patent/JP6408269B2/ja active Active
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