JPH0724427A - 板体の除塵方法及び板体の除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 板体の両面を同時に除塵できるようにし、も
って、除塵処理効率の向上を図るとともに、確実に除塵
することができるようにし、しかも、板体の表面に悪影
響を及ぼすことがないように、平面状態を安定させつつ
除塵を行なうことができるようにする。 【構成】 搬送機構１１により水平に搬送される液晶ガ
ラスＧを保持機構２０の把持ハンド２１により着脱可能
に保持し、姿勢変換機構２８により把持ハンド２１を垂
直方向にして液晶ガラスＧを垂直にし、移動機構３０に
より保持機構２０を下降させて、垂直に保持された液晶
ガラスＧの両側表面に夫々対峙可能になるように一対設
けられた除塵ヘッド１間に液晶ガラスＧを位置させ、こ
の除塵ヘッド１によって、液晶ガラスＧの表面にエアを
吹き付けるとともにこのエアを吸引して液晶ガラスＧの
両側表面の除塵を同時に行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用の
液晶ガラスやレントゲンフィルム等の板体の表面の除塵
を行なう板体の除塵方法及び板体の除塵装置に関し、特
に、板体の非常に微細かつ敏感な平坦表面に付着した塵
埃を非接触で除去する板体の除塵方法及び板体の除塵装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、図１２に示すように、例えば、板
体として液晶ディスプレイ用の液晶ガラスＧの表面の除
塵を行なう除塵方法及び除塵装置は、吸着盤２に液晶ガ
ラスＧを水平にして吸着させ、この液晶ガラスＧの上側
の表面に、超音波エア方式型の除塵ヘッド１を対峙さ
せ、この除塵ヘッド１により、除塵を行なうようにして
いる。超音波エア方式型の除塵ヘッド１は、プレッシャ
チャンバ３から超音波振動を付与した清浄エアを吹き付
け、超音波により微粒子を瞬時に励起させ、境界層の領
域外の高速主流域に脱出させて隣接したバキュームチャ
ンバ４で集塵させている。このため板体の両面を除塵し
たい場合には、一方の側の表面の除塵が終ったならば、
もう一方の側の表面の除塵を行ない、片面ずつ除塵を行
なうという案はあるが、除塵終了面が再度吸着盤に接す
るため実際には採用されていない。

【０００３】また、吸着盤２で液晶ガラスＧを吸着支持
するのは、液晶ガラスＧがエアの吹き付けにより振動を
生じると、液晶ガラスＧの表面の生成膜に歪や亀裂が生
じたり、除塵のムラができたりするので、このようなこ
とがないように液晶ガラスＧの平面状態を安定させるた
めである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来の
板体の除塵方法及び板体の除塵装置にあっては、板体の
除塵を片面ずつ行なうので、それだけ、装置への装着や
取り外し等に要する工数が多く、除塵処理効率が悪いと
いう問題があった。また、一方の表面を除塵した後に、
他方の表面を除塵する際、他方に付着した塵埃が、先に
除塵した表面に再び付着してしまう虞があり、除塵が確
実に行なわれないことがあるという問題があった。

【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
ので、板体の両面を同時に除塵できるようにし、もっ
て、除塵処理効率の向上を図るとともに、確実に除塵す
ることができるようにし、しかも、板体の表面に悪影響
を及ぼすことがないように、平面状態を安定させつつ除
塵を行なうことができるようにした板体の除塵方法及び
板体の除塵装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明は、板体の表面の除塵を行なう板体の除塵
方法において、板体を垂直に保持し、板体の両側表面に
夫々エアを吹き付けるとともにこのエアを吸引して板体
の両側表面の除塵を同時に行なう構成としている。

【０００７】また、上記目的を達成するため本発明は、
板体の表面に対峙してエアを吹き付けるとともにこのエ
アを吸引して板体の表面の除塵を行なう除塵ヘッドを備
えた板体の除塵装置において、板体を着脱可能に垂直に
保持する保持機構を設け、該保持機構に保持された板体
の両側表面に夫々対峙可能になるように上記除塵ヘッド
を一対設けた構成としている。

【０００８】そして、必要に応じ、上記保持機構を上記
一対の除塵ヘッドに対して相対的に移動させ、保持機構
に保持させた板体を除塵ヘッドから離間した板体の着脱
位置及び除塵ヘッドに対峙させ除塵を可能にする除塵区
域に位置させる移動機構を設けている。

【０００９】そしてまた、必要に応じ、上記板体を水平
にして上記着脱位置に搬送する搬送機構を設け、上記保
持機構は、上記着脱位置に搬送された水平な板体を把持
及び把持解除する把持ハンドと、この把持ハンドを移動
させ該把持ハンドに把持させた板体の姿勢を水平方向か
ら垂直方向に変換する姿勢変換機構とを備えて構成して
いる。

【００１０】また、上記搬送機構に、該搬送機構によっ
て搬送される板体に作用する静電気除去バーを設けたこ
とが有効である。

【００１１】更に、上記一対の除塵ヘッドの下方に、塵
埃の吸引ダクトを設けたことが有効である。

【００１２】

【作用】このように構成された板体の除塵方法及び板体
の除塵装置によれば、板体が垂直に保持され、この垂直
な板体の両側表面に夫々エアが吹き付けられるとともに
このエアが吸引されて板体の両側表面の除塵が同時に行
なわれる。この場合、板体の両面が同時に除塵されるの
で、それだけ、装置への装着や取り外し等に要する工数
が軽減され、除塵処理効率が向上させられる。また、板
体は、垂直に保持されているので、左右に撓むことがな
く、しかも左右から同時にエアの吹き付けが行なわれる
ことから、板体の表面が均一になって安定し、そのた
め、エアの吹き付けによる振動が生じにくくなり、除塵
中に板体が波打ったりする事態が防止される。

【００１３】

【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明の実施例に
係る板体の除塵方法及び板体の除塵装置を図面を詳細に
説明する。尚、上記と同様のものには同一の符号を付し
て説明する。実施例に係る除塵方法は、実施例に係る除
塵装置の機能によって実現されるので、除塵装置の説明
において説明する。

【００１４】図１に示すように、実施例に係る除塵装置
は、板体として液晶ディスプレイ用の液晶ガラスＧの表
面の除塵を行なうものである。液晶ガラスＧは、その厚
さが例えば１．１ｍｍ程度の薄板であり、矩形状（例え
ば３００ｍｍ×４００ｍｍ）に形成されている。

【００１５】図１乃至図５に示すように、実施例に係る
除塵装置において、１０は基台、１１は液晶ガラスＧを
水平方向にして受け入れるとともに後述の着脱ステージ
１２に位置させ、更に排出するよう搬送する搬送機構で
あり、ローラコンベアで構成されている。１は液晶ガラ
スＧの表面に対峙して液晶ガラスＧの表面の除塵を行な
う上記と同様の除塵ヘッドである。除塵ヘッド１は、超
音波エア方式型のヘッドであり、超音波振動を付与した
清浄エアを吹き付ける吐出スリット６を備えたプレッシ
ャチャンバ４と、プレッシャチャンバ４からの超音波に
より励起させられ境界層の領域外の高速主流域に脱出さ
せられた微粒子等の塵埃を吸引する吸引スリット５を備
えたバキュームチャンバ３とを備えている。プレッシャ
チャンバ４とバキュームチャンバ３とは、吐出スリット
６及び吸引スリット５が同一作用面７に位置するように
上下に隣接して設けられている。

【００１６】そして、この除塵ヘッド１は、一対設けら
れており、各除塵ヘッド１は、垂直にした液晶ガラスＧ
の両側表面に夫々対峙可能になるように、その作用面７
を垂直にし、この作用面７を互いに対向させて基台１０
内部に設けられている。作用面７と作用面７との間隔
は、垂直な液晶ガラスＧが、所定の間隙をもって通過し
うるように定められている。

【００１７】２０は液晶ガラスＧを垂直に着脱可能に保
持する保持機構である。上記保持機構２０は、搬送機構
１１によって着脱位置としての着脱ステージ１２に搬送
された水平な液晶ガラスＧを把持及び把持解除する把持
ハンド２１と、この把持ハンド２１を移動させ該把持ハ
ンド２１に把持させた液晶ガラスＧの姿勢を水平方向か
ら垂直方向に変換する姿勢変換機構２８とを備えてい
る。

【００１８】把持ハンド２１は、図６及び図７に示すよ
うに、搬送方向左右に夫々設けられ、液晶ガラスＧの端
部（例えば、側縁から５ｍｍ）を差し込んで挾持するく
し歯状の挾持部２２を備えた一対の挾持板２３を備えて
いる。各把持ハンド２１において、２４は挾持板２３を
支持する支持シャフト、２５はベース２６に固定され支
持シャフト２４を回転可能かつ進退可能に支持する軸受
部２５である。そして、挾持板２３は、支持シャフト２
４の進出により液晶ガラスＧを差し込み挾持して把持す
る把持位置Ａと、支持シャフト２４の後退により液晶ガ
ラスＧの挾持を解除して把持解除する把持解除位置Ｂの
２位置に移動可能になっている。２７は支持シャフト２
４を進退動させ、把持位置Ａおよび把持解除位置Ｂに移
動させるエアシリンダである。左右のエアシリンダ２７
は同期して駆動される。

【００１９】姿勢変換機構２８は、軸受部２５に軸支さ
れた支持シャフト２４と、この支持シャフト２４を回転
させて挾持板２３を液晶ガラスＧの姿勢が水平方向及び
垂直方向になるように水平方向位置Ｈ及び垂直方向位置
Ｖの２位置に回転させるベルト２９ａ伝動型の回転モー
タ２９とを備えている。左右の回転モータ２９は同期し
て駆動される。この回転モータ２９の駆動は、後述の移
動機構３０によりベース２６が持ち上げられ、回転によ
って液晶ガラスＧが他と干渉しない位置において行なわ
れる。

【００２０】３０は上記保持機構２０を上記一対の除塵
ヘッド１に対して移動させる移動機構である。この移動
機構３０は、図５にも示すように、上記保持機構２０を
支持したベース２６を上下動可能にガイドするガイドシ
ャフト３１と、このベース２６を上下動させるケーブル
駆動型の駆動部３２とを備えている。そして、この駆動
部３２の駆動によりベース２６を上下動させ、除塵ヘッ
ド１から離間した液晶ガラスＧの着脱位置、即ち、保持
機構２０に保持させた液晶ガラスＧのステージ位置Ｔ1
と、該着脱ステージ１２から持ち上げ上記の姿勢変換機
構２８の駆動を可能にする上位置Ｔ2 とに位置させる。

【００２１】また、この移動機構３０は、上記保持機構
２０が液晶ガラスＧを垂直に保持した状態で沈降させ、
除塵ヘッド１に対峙させ除塵を可能にする除塵区域Ｔ3
（液晶ガラスＧの長さ程度の幅を持つ）に位置させる。
除塵区域Ｔ3 においては、図１０に示すように、液晶ガ
ラスＧの表面とこれに対峙した除塵ヘッド１の作用面７
との距離Ｌは、左右同じになるように、例えば３ｍｍ、
に設定されている。即ち、移動機構３０は、垂直な液晶
ガラスＧを除塵ヘッド１間の中間に沈降させるものであ
る。

【００２２】図１及び図５に示すように、３５は一対の
除塵ヘッド１の下方に設けられ、塵埃を吸引する吸引ダ
クトである。更に、図２及び図３に示すように、３６は
搬送機構１１の液晶ガラスＧの受入側及び排出側に夫々
設けられ、該搬送機構１１によって搬送される液晶ガラ
スＧに作用する静電気除去バーである。この静電気除去
バー３６は、正負の電圧が交互に印加される交流方式の
複数の放電電極を備え、この放電電極のコロナ放電によ
り、付近の空気をイオン化し、液晶ガラスＧを除電する
ものである。

【００２３】また、上記搬送機構１１の所要の個所には
搬送される液晶ガラスＧを検知するいくつかの検知スイ
ッチ３７，３８（図８）が設けられている。そして、搬
送機構１１，保持機構２０，姿勢変換機構２８，移動機
構３０等の駆動タイミングはこの検知スイッチの検知等
に基づいて行なわれる。

【００２４】従って、この実施例に係るの除塵装置によ
れば、以下のようにして液晶ガラスＧの除塵を行なう。
搬送機構１１に液晶ガラスＧが受け入れられると、搬送
機構１１は液晶ガラスＧを着脱ステージ１２に搬送す
る。この搬送過程では、液晶ガラスＧが静電気除去バー
３６を通過するので、静電気除去バー３６の放電により
除電される。そのため、塵埃が付着しにくくなるととも
に、付着している塵埃も離脱し易くなる。

【００２５】そして、着脱ステージ１２の直前では、図
８（ａ）に示すように、検知スイッチ３７が液晶ガラス
Ｇを検知し、この検知に基づいて、一時搬送を停止す
る。そして、先に処理した液晶ガラスＧの排出を確認し
たならば、再び搬送し、図８（ｂ）に示すように、着脱
ステージ１２のところで検知スイッチ３８が液晶ガラス
Ｇを検知すると、搬送機構１１が停止して、液晶ガラス
Ｇを着脱ステージ１２に位置決めする。

【００２６】次に、図８（ｃ）に示すように、保持機構
２０において、把持ハンド２１の挾持板２３がエアシリ
ンダ２７の駆動により、把持位置Ａに位置させられる。
これにより、液晶ガラスＧの端部が挾持部２２に差し込
まれて挾持される。その後、図９（ｄ）に示すように、
移動機構３０の駆動部３２が駆動され、保持機構２０に
保持させた液晶ガラスＧをステージ位置Ｔ1 から上位置
Ｔ2 に持ち上げる。この上位置Ｔ2 において、図９
（ｅ）に示すように、姿勢変換機構２８の回転モータ２
９が駆動し、把持ハンド２１の挾持板２３を水平方向位
置Ｈから垂直方向位置Ｖにする。これにより、液晶ガラ
スＧの姿勢が水平方向から垂直方向にさせられる。

【００２７】次に、図９（ｆ）に示すように、移動機構
３０の駆動部３２が駆動され、上記保持機構２０を液晶
ガラスＧが垂直に保持させた状態で沈降させ、除塵ヘッ
ド１に対峙させ除塵を可能にする除塵区域Ｔ3 に位置さ
せる。このとき、図１０に示すように、除塵ヘッド１
は、プレッシャチャンバ４から超音波振動を付与した清
浄エアを吹き付け、超音波により微粒子を瞬時に励起さ
せ、境界層の領域外の高速主流域に脱出させて隣接した
バキュームチャンバ３で集塵させている。

【００２８】この場合、図１０に示すように、液晶ガラ
スＧの両面を同時に除塵するので、それだけ、装置への
装着や取り外し等に要する工数が軽減され、除塵処理効
率が向上させられる。また、液晶ガラスＧは、垂直に保
持されているので、左右に撓むことがなく、しかも左右
から同時にエアの吹き付けを行なうことから、液晶ガラ
スＧの表面が均一になって安定し、そのため、エアの吹
き付けによる振動が生じにくくなり、除塵中に液晶ガラ
スＧが波打ったりする事態が防止され、表面の液晶を操
る生成膜に歪や亀裂を生じてしまう事態が防止される。
また、液晶ガラスＧの表面が均一になって安定するの
で、除塵にムラが生じる事態が防止される。即ち、液晶
ガラスＧを水平に保持した場合には中央がたわんでしま
い、除塵ヘッド１に対して表面が均一にならないので、
超音波振動による振動が生じてしまい、そのため、液晶
を操る生成膜に歪や亀裂を生じてしまうという問題があ
るが、本実施例では、これが解消される。

【００２９】特に，実施例では、垂直な液晶ガラスＧを
除塵ヘッド１間の中間に沈降させるので、液晶ガラスＧ
の左右表面に吹き付けられるエアが均等に当たることに
なり、しかも把持ハンド２１により、液晶ガラスＧの両
端部を挾持して保持するので保持が確実になり、そのた
め、より一層液晶ガラスＧの振動が抑止され、表面の液
晶を操る生成膜に歪や亀裂を生じてしまう事態や除塵に
ムラが生じる事態が防止される。

【００３０】また、除塵ヘッド１の下方には塵埃を吸引
する吸引ダクト３５が設けられているので、除塵ヘッド
１で吸引できずに落下する塵埃が、この吸引ダクト３５
に取り込まれることになり、そのため、塵埃の除去が確
実に行なわれ、液晶ガラスＧの塵埃の再付着が防止さ
れ、液晶ガラスＧを清浄なものとして排出することがで
きる。

【００３１】除塵ヘッド１により除塵が終了すると、移
動機構３０の駆動部３２が駆動され、上記の除塵区域Ｔ
3 から上位置Ｔ2 まで、液晶ガラスＧが上昇させられ
る。そしてこの位置において、姿勢変換機構２８の回転
モータ２９が駆動し、把持ハンド２１の挾持板２３を垂
直方向位置Ｖから水平方向位置Ｈにさせる。これによ
り、液晶ガラスＧの姿勢が垂直方向から水平方向にさせ
られる。次に、移動機構３０の駆動部３２が駆動され、
保持機構２０を液晶ガラスＧが水平に保持された状態で
下降させ、ステージ位置Ｔ1 にして着脱ステージ１２に
位置決めする。そして、保持機構２０において、把持ハ
ンド２１の挾持板２３がエアシリンダ２７の駆動によ
り、把持解除位置Ｂに位置させられ、これにより、液晶
ガラスＧの端部が挾持部２２から解放される。

【００３２】この後、搬送機構１１が駆動され、液晶ガ
ラスＧが排出されていく。この場合においても、液晶ガ
ラスＧが静電気除去バー３６を通過するので、静電気除
去バー３６の放電により除電される。そのため、塵埃が
再付着しにくくなる。液晶ガラスＧが排出されると、再
び、次の液晶ガラスＧが供給され、上記と同様に除塵が
行なわれる。このようにして、順次、液晶ガラスＧを除
塵していく。

【００３３】なお、上記実施例において、移動機構３０
は、保持機構２０を移動させるが、必ずしもこれに限定
されるものではなく、除塵ヘッド１を移動させるように
しても良く、要するに保持機構２０を一対の除塵ヘッド
１に対して相対的に移動させるものであればどのような
ものでも良い。また、上記実施例においては、移動機構
３０は、液晶ガラスＧを昇降させるものであるが、必ず
しもこれに限定されるものではなく、例えば、図１１に
示すように、垂直にした液晶ガラスＧを水平方向に相対
移動させるようにしても良く、適宜変更して差し支えな
い。

【００３４】なおまた、上記除塵ヘッド１は超音波エア
方式型であるが、必ずしもこれに限定されるものではな
く、超音波によらない所謂エアナイフ式のものであって
も良く、適宜変更して差し支えない。更に、保持機構２
０は、左右から液晶ガラスＧを挾持する把持ハンド２１
を備えたものに限らず、どのような形態の保持であって
も良く、適宜変更して差し支えない。また、上記実施例
は、板体として、液晶ガラスＧを除塵するものである
が、必ずしもこれに限定されるものではなく、他のどの
ような板体を除塵するものでも良いことは勿論である。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の板体の除
塵方法及び板体の除塵装置によれば、板体を垂直に保持
し、板体の両側表面を同時に除塵するので、従来に比較
して装置への装着や取り外し等に要する工数を軽減する
ことができ、そのため、除塵処理効率を大幅に向上させ
ることができる。また、両側表面を同時に除塵するの
で、両方の表面に塵埃を残すことがなくなり、そのた
め、塵埃の再付着を防止でき、除塵を確実に行なうこと
ができる。

【００３６】また、板体を垂直に保持するので、板体が
左右に撓むことがなく、しかも左右から同時にエアの吹
き付けを行なうことから、板体の表面が均一になって安
定し、そのため、エアの吹き付けによる振動が生じにく
くなり、除塵中に板体が波打ったりする事態を防止で
き、そのため、板体に悪影響を与える事態を防止するこ
とができる。特に、板体等の表面が傷つき易い板体では
極めて有効になる。

【００３７】そして、除塵装置において保持機構を一対
の除塵ヘッドに対して相対的に移動させる移動機構を設
けた場合には、除塵ヘッドから離間したところで板体の
着脱を行なうことができるので、板体の着脱を容易に行
なうことができる。

【００３８】また、板体を水平方向にして搬送する搬送
機構を設け、保持機構を板体の把持ハンドと姿勢変換機
構とを備えて構成した場合には、板体の供給排出を水平
方向にしてできるので、取り扱いを容易に行なうことが
でき、また、搬送装置も複雑にしなくても良くなる。し
かも、把持ハンドで板体を把持するので、保持が確実に
なり、この点でも、板体の表面を均一に安定化でき、板
体に悪影響を与えることなく除塵することができる。

【００３９】更にまた、搬送機構に静電気除去バーを設
けた場合には、板体の除電を行なうことができるので、
塵埃が再付着しにくくなるとともに、付着している塵埃
も離脱し易くなる。

【００４０】また、一対の除塵ヘッドの下方に、塵埃の
吸引ダクトを設けた場合には、除塵ヘッドで吸引できず
に落下する塵埃が、この吸引ダクトに取り込まれること
になるので、塵埃の除去を確実に行なうことができ、塵
埃の再付着を防止して、板体を清浄なものとして排出す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る板体の除塵装置を示す要
部斜視図である。

【図２】本発明の実施例に係る板体の除塵装置を示す全
体斜視図である。

【図３】本発明の実施例に係る板体の除塵装置を示す平
面図である。

【図４】本発明の実施例に係る板体の除塵装置を示す側
面図である。

【図５】本発明の実施例に係る板体の除塵装置を示す正
面図である。

【図６】本発明の実施例に係る板体の除塵装置の保持機
構を示す拡大平面図である。

【図７】本発明の実施例に係る板体の除塵装置の保持機
構を示す拡大側面図である。

【図８】本発明の実施例に係る板体の除塵装置の作用を
示す工程図（ａ）（ｂ）（ｃ）である。

【図９】本発明の実施例に係る板体の除塵装置の作用を
示す工程図（ｄ）（ｅ）（ｆ）である。

【図１０】本発明の実施例に係る板体の除塵装置の除塵
状態を示す図である。

【図１１】本発明の実施例に係る他の移動機構の原理を
示す図である。

【図１２】従来の板体の除塵装置の一例を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

Ｇ 液晶ガラス（板体） １ 除塵ヘッド ７ 作用面 １０ 基台 １１ 搬送機構 １２ 着脱ステージ ２０ 保持機構 ２１ 把持ハンド Ａ 把持位置 Ｂ 把持解除位置 ２８ 姿勢変換機構 Ｈ 水平方向位置 Ｖ 垂直方向位置 ３０ 移動機構 Ｔ1 ステージ位置 Ｔ2 上位置 Ｔ3 除塵区域 ３５ 吸引ダクト ３６ 静電気除去バー

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板体の表面の除塵を行なう板体の除塵方
   法において、板体を垂直に保持し、板体の両側表面に夫
   々エアを吹き付けるとともにこのエアを吸引して板体の
   両側表面の除塵を同時に行なうことを特徴とする板体の
   除塵方法。
2. 【請求項２】 板体の表面に対峙してエアを吹き付ける
   とともにこのエアを吸引して板体の表面の除塵を行なう
   除塵ヘッドを備えた板体の除塵装置において、板体を着
   脱可能に垂直に保持する保持機構を設け、該保持機構に
   保持された板体の両側表面に夫々対峙可能になるように
   上記除塵ヘッドを一対設けたことを特徴とする板体の除
   塵装置。
3. 【請求項３】 上記保持機構を上記一対の除塵ヘッドに
   対して相対的に移動させ、保持機構に保持させた板体を
   除塵ヘッドから離間した板体の着脱位置及び除塵ヘッド
   に対峙させ除塵を可能にする除塵区域に位置させる移動
   機構を設けたことを特徴とする請求項２記載の板体の除
   塵装置。
4. 【請求項４】 上記板体を水平にして上記着脱位置に搬
   送する搬送機構を設け、上記保持機構は、上記着脱位置
   に搬送された水平な板体を把持及び把持解除する把持ハ
   ンドと、この把持ハンドを移動させ該把持ハンドに把持
   させた板体の姿勢を水平方向から垂直方向に変換する姿
   勢変換機構とを備えて構成したことを特徴とする請求項
   ３記載の板体の除塵装置。
5. 【請求項５】 上記搬送機構に、該搬送機構によって搬
   送される板体に作用する静電気除去バーを設けたことを
   特徴とする請求項４記載の板体の除塵装置。
6. 【請求項６】 上記一対の除塵ヘッドの下方に、塵埃の
   吸引ダクトを設けたことを特徴とする請求項２，３，４
   または５記載の板体の除塵装置。