JPH05340905A - 液晶表示素子の導通点検査方法と導通点修復方法及び導通点検査修復装置 - Google Patents
液晶表示素子の導通点検査方法と導通点修復方法及び導通点検査修復装置Info
- Publication number
- JPH05340905A JPH05340905A JP17377592A JP17377592A JPH05340905A JP H05340905 A JPH05340905 A JP H05340905A JP 17377592 A JP17377592 A JP 17377592A JP 17377592 A JP17377592 A JP 17377592A JP H05340905 A JPH05340905 A JP H05340905A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンタクトプローブを用いる場合のような高
い位置決め精度が不要で、簡便に導通点の検出を行なえ
るとともに、不良部位の修復を効率よく行なえるように
する。 【構成】 通電状態とした液晶表示パネル１の温度分布
を熱画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所の導通
点を検出するサーモグラフィＴＧと、このサーモグラフ
ィＴＧから得られる熱画像にもとづいて導通点の座標値
を決定する座標入力装置１１と、この座標入力装置１１
により決定した導通点の座標値にもとづいて導通点の修
復を行なうレーザリペア１３とを有する。
い位置決め精度が不要で、簡便に導通点の検出を行なえ
るとともに、不良部位の修復を効率よく行なえるように
する。 【構成】 通電状態とした液晶表示パネル１の温度分布
を熱画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所の導通
点を検出するサーモグラフィＴＧと、このサーモグラフ
ィＴＧから得られる熱画像にもとづいて導通点の座標値
を決定する座標入力装置１１と、この座標入力装置１１
により決定した導通点の座標値にもとづいて導通点の修
復を行なうレーザリペア１３とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子における
導通点の検査と修復を行なうための導通点検査方法と修
復方法及び導通点検査修復装置に関し、特に、サーモグ
ラフィによる検査とレーザリペアを用いて修復を行なう
ようにしたものに関する。
導通点の検査と修復を行なうための導通点検査方法と修
復方法及び導通点検査修復装置に関し、特に、サーモグ
ラフィによる検査とレーザリペアを用いて修復を行なう
ようにしたものに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子（液晶表示パネル）の生産
においては、歩留りの向上が大きな課題となっている。
特にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）方式の液晶表示パネル
では、基板が高価なこともあり、導通点などの不良部位
の検出とこの不良部位の修復を確実に行なえるようにす
ることが望まれている。従来、液晶表示パネルの導通点
の検出は、コンタクトプローブを用いて行なわれてお
り、コンタクトプローブを電極配列方向に走査しながら
検査を行なうか、表示部の全ての電極にコンタクトプロ
ーブを同時に接触させて検査を行なっていた。
においては、歩留りの向上が大きな課題となっている。
特にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）方式の液晶表示パネル
では、基板が高価なこともあり、導通点などの不良部位
の検出とこの不良部位の修復を確実に行なえるようにす
ることが望まれている。従来、液晶表示パネルの導通点
の検出は、コンタクトプローブを用いて行なわれてお
り、コンタクトプローブを電極配列方向に走査しながら
検査を行なうか、表示部の全ての電極にコンタクトプロ
ーブを同時に接触させて検査を行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、全ての電極に
コンタクトプローブを同時に接触させて行なう検査方式
では、高密度化された基板であると数百から１０００本
以上のプローブを配置する必要があり、これらのプロー
ブを同時に電極に接触させるには、装置に高い位置決め
精度が要求されるようになる。また、プローブから引き
出される配線の処理も大変であり、装置が大掛かりなも
のとなるとともに、高価格化するという問題点がある。
さらに、コンタクトプローブを用いた検査方式では、プ
ローブの先端が基板に接触するときに、導電面破壊をま
ねく恐れもある。
コンタクトプローブを同時に接触させて行なう検査方式
では、高密度化された基板であると数百から１０００本
以上のプローブを配置する必要があり、これらのプロー
ブを同時に電極に接触させるには、装置に高い位置決め
精度が要求されるようになる。また、プローブから引き
出される配線の処理も大変であり、装置が大掛かりなも
のとなるとともに、高価格化するという問題点がある。
さらに、コンタクトプローブを用いた検査方式では、プ
ローブの先端が基板に接触するときに、導電面破壊をま
ねく恐れもある。
【０００４】一方、不良箇所の導電点部分を修復する方
法としては、レーザを導電点に照射して不良部位を解消
させるレーザリペアによる修復方法が知られている。こ
の方法による場合、修復しようとする不良箇所の座標値
の入力は、前述したコンタクトプローブを用いる検査装
置から座標値を読み取って、この座標データをキー入力
することで行なわれている。しかし、このような方法で
は、修復点の座標値を決定したり、座標データの入力に
際して時間を要するため、効率のよい修復作業を行なえ
ないという問題点がある。
法としては、レーザを導電点に照射して不良部位を解消
させるレーザリペアによる修復方法が知られている。こ
の方法による場合、修復しようとする不良箇所の座標値
の入力は、前述したコンタクトプローブを用いる検査装
置から座標値を読み取って、この座標データをキー入力
することで行なわれている。しかし、このような方法で
は、修復点の座標値を決定したり、座標データの入力に
際して時間を要するため、効率のよい修復作業を行なえ
ないという問題点がある。
【０００５】本発明は、このような従来の技術が有する
課題を解決するために提案されたものであり、コンタク
トプローブを用いる場合のような高い位置決め精度が不
要であり、簡便に導通点の検出を行なえるとともに、不
良部位の修復を効率よく行なうことができる液晶表示素
子の導通点検査方法と修復方法及び検査修復装置の提供
を目的とする。
課題を解決するために提案されたものであり、コンタク
トプローブを用いる場合のような高い位置決め精度が不
要であり、簡便に導通点の検出を行なえるとともに、不
良部位の修復を効率よく行なうことができる液晶表示素
子の導通点検査方法と修復方法及び検査修復装置の提供
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の液晶表示素子の導通点検査復方法は、通電
状態とした液晶表示素子面の温度分布をサーモグラフィ
を用いて熱画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所
の導通点を検出し、必要に応じ、このサーモグラフィか
ら得られる熱画像にもとづいて、座標入力装置により導
通点の座標値を決定して導通点を検査する方法としてあ
る。
め、本発明の液晶表示素子の導通点検査復方法は、通電
状態とした液晶表示素子面の温度分布をサーモグラフィ
を用いて熱画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所
の導通点を検出し、必要に応じ、このサーモグラフィか
ら得られる熱画像にもとづいて、座標入力装置により導
通点の座標値を決定して導通点を検査する方法としてあ
る。
【０００７】また、本発明の液晶表示素子の導通点修復
方法は、上記方法によって座標値を決定した導通点に対
して、レーザリペアを用いて修復を行なう方法としてあ
る。
方法は、上記方法によって座標値を決定した導通点に対
して、レーザリペアを用いて修復を行なう方法としてあ
る。
【０００８】さらに、本発明の液晶表示素子の検査修復
装置は、通電状態とした液晶表示素子面の温度分布を熱
画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所の導通点を
検出するサーモグラフィと、このサーモグラフィから得
られる熱画像にもとづいて導通点の座標値を決定する座
標入力装置と、この座標入力装置により決定した導通点
の座標値にもとづいて導通点の修復を行なうレーザリペ
アとを備えた構成としてある。
装置は、通電状態とした液晶表示素子面の温度分布を熱
画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所の導通点を
検出するサーモグラフィと、このサーモグラフィから得
られる熱画像にもとづいて導通点の座標値を決定する座
標入力装置と、この座標入力装置により決定した導通点
の座標値にもとづいて導通点の修復を行なうレーザリペ
アとを備えた構成としてある。
【０００９】
【実施例】以下、本発明による液晶表示素子の導通点検
査方法と修復方法及び導通点検査修復装置の具体的な実
施例を図面にもとづき詳細に説明する。本発明による液
晶表示素子の導通点検査方法では、まず通電状態とした
液晶表示素子（液晶表示パネル）の熱分布画像をサーモ
グラフィに取り込む。このサーモグラフィは、赤外線検
出器と熱画像を処理する画像処理装置から構成されてい
る。液晶表示パネルの表示部に導通点があれば、ジュー
ル熱によって温度上昇点が現れるので、この温度上昇点
をサーモグラフィで捉えることにより、導通点の不良部
位を検出できる。続いて、サーモグラフィで捉えた液晶
表示パネルの熱分布画像のデータから不良箇所の導通点
の座標値を決定する。その後、この導通点の座標値のデ
ータをレーザリペアに入力し、レーザリペアから不良箇
所にレーザを照射して導通点の修復を行なう。
査方法と修復方法及び導通点検査修復装置の具体的な実
施例を図面にもとづき詳細に説明する。本発明による液
晶表示素子の導通点検査方法では、まず通電状態とした
液晶表示素子（液晶表示パネル）の熱分布画像をサーモ
グラフィに取り込む。このサーモグラフィは、赤外線検
出器と熱画像を処理する画像処理装置から構成されてい
る。液晶表示パネルの表示部に導通点があれば、ジュー
ル熱によって温度上昇点が現れるので、この温度上昇点
をサーモグラフィで捉えることにより、導通点の不良部
位を検出できる。続いて、サーモグラフィで捉えた液晶
表示パネルの熱分布画像のデータから不良箇所の導通点
の座標値を決定する。その後、この導通点の座標値のデ
ータをレーザリペアに入力し、レーザリペアから不良箇
所にレーザを照射して導通点の修復を行なう。
【００１０】次に、導通点検査修復装置の構成を図１及
び図２にもとづいて説明する。これらの図で、液晶表示
パネル１は組立て後に電源２から通電が行なわれる。通
電状態とされた液晶表示パネル１は、このパネル１の上
方に配された赤外線検出器３によってパネル面上の温度
分布が検出される。赤外線検出器３には、熱形検出器，
光導電形検出器または量子形検出器などを用いることが
できる。ここで、熱形検出器は赤外線の照射によって検
出器の温度が上昇し、この温度上昇による効果（抵抗、
静電容量、起電力、体積、自発分極などの変化）を電気
信号に変換して取り出すものである。また、光導電形検
出器は半導体を使用し、赤外線の照射によって生じた自
由電子や正孔による導電帯の変化から赤外線の照射量を
検出するものであり、量子形検出器はＰＮ接合部に赤外
線の光量子が照射されたときに発生する起電力から赤外
線の照射量を検出するものである。実際の測定では、赤
外線検出器３に取り付けた広角レンズや外部ミラーなど
を通して、液晶表示パネル面１ａから放射される赤外線
を取り込み、検出信号を画像処理装置４に送出する。
び図２にもとづいて説明する。これらの図で、液晶表示
パネル１は組立て後に電源２から通電が行なわれる。通
電状態とされた液晶表示パネル１は、このパネル１の上
方に配された赤外線検出器３によってパネル面上の温度
分布が検出される。赤外線検出器３には、熱形検出器，
光導電形検出器または量子形検出器などを用いることが
できる。ここで、熱形検出器は赤外線の照射によって検
出器の温度が上昇し、この温度上昇による効果（抵抗、
静電容量、起電力、体積、自発分極などの変化）を電気
信号に変換して取り出すものである。また、光導電形検
出器は半導体を使用し、赤外線の照射によって生じた自
由電子や正孔による導電帯の変化から赤外線の照射量を
検出するものであり、量子形検出器はＰＮ接合部に赤外
線の光量子が照射されたときに発生する起電力から赤外
線の照射量を検出するものである。実際の測定では、赤
外線検出器３に取り付けた広角レンズや外部ミラーなど
を通して、液晶表示パネル面１ａから放射される赤外線
を取り込み、検出信号を画像処理装置４に送出する。
【００１１】画像処理装置４は、赤外線検出器１から送
られてくる信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
部５と、環境温度補正，放射率補正，リニアライズ処理
などを行なうコントロール部６と、Ａ／Ｄ変換部５の出
力信号とコントロール部６からの制御信号を受けて熱画
像を作り出す熱画像処理部７と、この熱画像処理部７か
ら出力される８ビットまたは１６ビットの熱画像データ
を記憶する画像メモリ部８と、この画像メモリ部８から
読み出された画像データを温度分布により色分けした熱
画像の映像信号に変換する表示信号処理部９と、この表
示信号処理部９からの表示信号をモニタ画面上に映し出
すＣＲＴなどの表示部１０で構成されている。ここで、
赤外線検出器３と画像処理装置４はサーモグラフィＴＧ
を構成している。
られてくる信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
部５と、環境温度補正，放射率補正，リニアライズ処理
などを行なうコントロール部６と、Ａ／Ｄ変換部５の出
力信号とコントロール部６からの制御信号を受けて熱画
像を作り出す熱画像処理部７と、この熱画像処理部７か
ら出力される８ビットまたは１６ビットの熱画像データ
を記憶する画像メモリ部８と、この画像メモリ部８から
読み出された画像データを温度分布により色分けした熱
画像の映像信号に変換する表示信号処理部９と、この表
示信号処理部９からの表示信号をモニタ画面上に映し出
すＣＲＴなどの表示部１０で構成されている。ここで、
赤外線検出器３と画像処理装置４はサーモグラフィＴＧ
を構成している。
【００１２】また、例えば、表示部１０をなすＣＲＴの
画面上には、タッチパネルなどから構成される座標入力
装置１１が取り付けられている。ＣＲＴの画面上に映し
出される熱画像には、温度の高い導通点部分が例えば赤
点として表示されるので、この導通点部分をタッチパネ
ル上からタッチペン１２によって指定することにより、
導通点の座標値を求めることがてきる。このタッチパネ
ルとしては、メインブレン式，光学式，静電容量式，音
響式，圧力検出式などの方式のものを用いることができ
る。一般にメインブレン式には、透明導電性フィルム上
の透明電極を短冊状にエッチングしたものを二枚組み合
わせたマトリックス形や表面抵抗の均一性を利用したア
ナログ形がある。なお、タッチパネルとしてはこの他、
透明タブレットや透明デジタイザと呼ばれるものを用い
てもよい。
画面上には、タッチパネルなどから構成される座標入力
装置１１が取り付けられている。ＣＲＴの画面上に映し
出される熱画像には、温度の高い導通点部分が例えば赤
点として表示されるので、この導通点部分をタッチパネ
ル上からタッチペン１２によって指定することにより、
導通点の座標値を求めることがてきる。このタッチパネ
ルとしては、メインブレン式，光学式，静電容量式，音
響式，圧力検出式などの方式のものを用いることができ
る。一般にメインブレン式には、透明導電性フィルム上
の透明電極を短冊状にエッチングしたものを二枚組み合
わせたマトリックス形や表面抵抗の均一性を利用したア
ナログ形がある。なお、タッチパネルとしてはこの他、
透明タブレットや透明デジタイザと呼ばれるものを用い
てもよい。
【００１３】座標入力装置１１から出力される導通点の
座標データは、レーザリペアやレーザトリマと称される
導通点修復装置１３に送られる。１３Ａはこの修復装置
のコントロール部である。このレーザリペアに用いられ
るレーザは、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ，ＣＯ2 レーザ，エキ
シマレーザなどである。これらのレーザのうち、パルス
励起やＬＤ励起、連続励起のＹＡＧレーザ（波長１．０
６４μｍ）及びその第二高調波（波長０．５３２μｍ）
のものを好適に用いることができる。レーザリペアは、
上記レーザ源を赤外線顕微鏡に組み込んだものであり、
座標入力装置１１からの座標データにもとづいて導通点
箇所に赤外線顕微鏡で照準を合わせたレーザ発生装置１
４からレーザＲを照射することで、導通点の修復を行な
う。
座標データは、レーザリペアやレーザトリマと称される
導通点修復装置１３に送られる。１３Ａはこの修復装置
のコントロール部である。このレーザリペアに用いられ
るレーザは、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ，ＣＯ2 レーザ，エキ
シマレーザなどである。これらのレーザのうち、パルス
励起やＬＤ励起、連続励起のＹＡＧレーザ（波長１．０
６４μｍ）及びその第二高調波（波長０．５３２μｍ）
のものを好適に用いることができる。レーザリペアは、
上記レーザ源を赤外線顕微鏡に組み込んだものであり、
座標入力装置１１からの座標データにもとづいて導通点
箇所に赤外線顕微鏡で照準を合わせたレーザ発生装置１
４からレーザＲを照射することで、導通点の修復を行な
う。
【００１４】次に、実際の導通点の検出例と修復例を図
３を参照して説明する。まず、透明基板（例えば、住友
ベークライトＦＳＴ）に１．０ｍｍピッチで透明電極パ
ターンを形成した電極付き基板に、特開平１−９９０２
５号に示されるような方法で液晶製膜，積層，配向処理
を行ない、１００×４００ｍｍドットの液晶表示パネル
１を製作した。なお、基板Ａには配向用の共通電極Ｂが
形成されている。この配向電極間に通電すると、導電点
にジュール熱による温度上昇が現れる。この液晶表示パ
ネル面の温度上昇をサーモグラフィで熱画像として取り
込み、この熱画像をＣＲＴの画面上に表示させた。続い
て、ＣＲＴの前面部に取り付けた座標入力装置の透明タ
ブレットにより、導通点の座標値を求めた。実際の測定
では、二点の導通点Ｐ１，Ｐ２を検出できた。これら導
通点Ｐ１，Ｐ２の座標は、それぞれ（Ｘ1 ，Ｙ1 ）＝
（１００，３１），（Ｘ2 ，Ｙ2 ）＝（１４９，７４）
であった。
３を参照して説明する。まず、透明基板（例えば、住友
ベークライトＦＳＴ）に１．０ｍｍピッチで透明電極パ
ターンを形成した電極付き基板に、特開平１−９９０２
５号に示されるような方法で液晶製膜，積層，配向処理
を行ない、１００×４００ｍｍドットの液晶表示パネル
１を製作した。なお、基板Ａには配向用の共通電極Ｂが
形成されている。この配向電極間に通電すると、導電点
にジュール熱による温度上昇が現れる。この液晶表示パ
ネル面の温度上昇をサーモグラフィで熱画像として取り
込み、この熱画像をＣＲＴの画面上に表示させた。続い
て、ＣＲＴの前面部に取り付けた座標入力装置の透明タ
ブレットにより、導通点の座標値を求めた。実際の測定
では、二点の導通点Ｐ１，Ｐ２を検出できた。これら導
通点Ｐ１，Ｐ２の座標は、それぞれ（Ｘ1 ，Ｙ1 ）＝
（１００，３１），（Ｘ2 ，Ｙ2 ）＝（１４９，７４）
であった。
【００１５】これら導通点の座標値のデータを、例えば
ＲＳ２３２Ｃの信号ラインを介してレーザリペアに送出
し、導通点Ｐ１，Ｐ２の修復を行なった。この修復処理
のあと、再度共通電極を介して通電したところ、修復操
作前に見られた部分的な昇温部（導電点の不良箇所）は
検出できなかった。
ＲＳ２３２Ｃの信号ラインを介してレーザリペアに送出
し、導通点Ｐ１，Ｐ２の修復を行なった。この修復処理
のあと、再度共通電極を介して通電したところ、修復操
作前に見られた部分的な昇温部（導電点の不良箇所）は
検出できなかった。
【００１６】上述のように本発明は、サーモグラフィを
用いて液晶表示素子の導通点を検出しているので、従来
のようなコンタクトプローブを用いた検出に比べて、装
置に位置決め精度が要求されないとともに、多数の配線
を引き回す必要もなく、格段に効率よく液晶表示素子の
検査を行なえる。また、非接触式の検査であるから、コ
ンタクトプローブを用いる場合のように基板上の導電膜
を破壊してしまうこともまったくない。さらに、検出し
た導電点は、サーモグラフィの熱画像上に配した座標入
力装置によって簡単に座標を決定することができ、得ら
れた座標データを導通点修復装置であるレーザリペアに
入力することにより、導通点の修復を簡単に行なうこと
ができる。なお、本発明は上述した実施例に限定され
ず、要旨の範囲で種々の変更実施が可能である。
用いて液晶表示素子の導通点を検出しているので、従来
のようなコンタクトプローブを用いた検出に比べて、装
置に位置決め精度が要求されないとともに、多数の配線
を引き回す必要もなく、格段に効率よく液晶表示素子の
検査を行なえる。また、非接触式の検査であるから、コ
ンタクトプローブを用いる場合のように基板上の導電膜
を破壊してしまうこともまったくない。さらに、検出し
た導電点は、サーモグラフィの熱画像上に配した座標入
力装置によって簡単に座標を決定することができ、得ら
れた座標データを導通点修復装置であるレーザリペアに
入力することにより、導通点の修復を簡単に行なうこと
ができる。なお、本発明は上述した実施例に限定され
ず、要旨の範囲で種々の変更実施が可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、液
晶表示素子の表示ドットの欠陥箇所である導通点の検査
と修復の省力化が図れるという効果がある。
晶表示素子の表示ドットの欠陥箇所である導通点の検査
と修復の省力化が図れるという効果がある。
【図１】本発明による導通点検査修復装置の一実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】この導通点検査修復装置のブロック図である。
【図３】上記導通点検査修復装置で検出された導通点の
例を示す図である。
例を示す図である。
１ 液晶表示パネル ２ 電源 ３ 赤外線検出器 ４ 画像処理装置 ５ Ａ／Ｄ変換部 ６ コントロール部 ７ 熱画像処理部 ８ 画像メモリ部 ９ 表示信号処理部 １０ 表示部 １１ 座標入力装置 １２ タッチペン １３ 導通点修復装置（レーザリペア） ＳＧ サーモグラフィ Ｐ１，Ｐ２ 導通点
Claims (4)
- 【請求項１】 通電状態とした液晶表示素子面の温度分
布をサーモグラフィを用いて熱画像として捉え、この熱
画像から昇温箇所の導通点を検出することを特徴とする
液晶表示素子の導通点検査方法。 - 【請求項２】 上記サーモグラフィから得られる熱画像
にもとづいて、座標入力装置により導通点の座標値を決
定することを特徴とする請求１記載の液晶表示素子の導
通点検査方法。 - 【請求項３】 座標値の決定された導通点に対し、レー
ザリペアを用いて修復を行なうことを特徴とする液晶表
示素子の導通点修復方法。 - 【請求項４】 通電状態とした液晶表示素子面の温度分
布を熱画像として捉えて、この熱画像から昇温箇所の導
通点を検出するサーモグラフィと、 このサーモグラフィから得られる熱画像にもとづいて導
通点の座標値を決定する座標入力装置と、 この座標入力装置により決定した導通点の座標値にもと
づいて導通点の修復を行なうレーザリペアとを有するこ
とを特徴とする液晶表示素子の導通点検査修復装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17377592A JPH05340905A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 液晶表示素子の導通点検査方法と導通点修復方法及び導通点検査修復装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17377592A JPH05340905A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 液晶表示素子の導通点検査方法と導通点修復方法及び導通点検査修復装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340905A true JPH05340905A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15966920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17377592A Pending JPH05340905A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 液晶表示素子の導通点検査方法と導通点修復方法及び導通点検査修復装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340905A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003050220A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Nec San-Ei Instruments Ltd | 光ビーム照射装置及びその照射方法 |
| JP2006502545A (ja) * | 2002-10-09 | 2006-01-19 | サン−ゴバン グラス フランス | 電気化学素子内に含まれる点欠陥を除去する方法 |
| US7141517B2 (en) | 2003-07-04 | 2006-11-28 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd. | Method of repairing and apparatus for repairing multi-color organic light-emitting display device |
| CN100368974C (zh) * | 2006-01-24 | 2008-02-13 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 自动消除触摸屏触点坐标温差漂移的方法及装置 |
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