JPH05339723A - インラインスパッタ装置 - Google Patents
インラインスパッタ装置Info
- Publication number
- JPH05339723A JPH05339723A JP15017192A JP15017192A JPH05339723A JP H05339723 A JPH05339723 A JP H05339723A JP 15017192 A JP15017192 A JP 15017192A JP 15017192 A JP15017192 A JP 15017192A JP H05339723 A JPH05339723 A JP H05339723A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- chamber
- pallet
- sputtering apparatus
- line sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被成膜基板を搭載したパレットの回転回数を計
測する手段と、その計測値をキャリヤー毎に累積する手
段とを有することにより、生産性の優れたインラインス
パッタ装置を提供する。 【構成】被成膜基板をロードするロードチャンバー１４
と被成膜基板をスパッタで成膜するスパッタチャンバー
ａ１５と被成膜基板をアンロードするアンロードチャン
バー１８とを少なくとも有するチャンバー群と、被成膜
基板を搭載しているパレットを有しチャンバー群のそれ
ぞれのチャンバーの間を移動するキャリヤーａ１７と、
キャリヤーａ１７に搭載されキャリヤーａ１７のパレッ
トを回転させながら移動させるパレット回転駆動装置１
６とを備え、スパッタチャンバーａ１５のキャリヤー識
別機構１２で各キャリヤーを識別してパレット回転回数
計測機構１１で被成膜基板を搭載したパレットの回転回
数を計測し、その計測値を制御盤２０でキャリヤー毎に
累積する。
測する手段と、その計測値をキャリヤー毎に累積する手
段とを有することにより、生産性の優れたインラインス
パッタ装置を提供する。 【構成】被成膜基板をロードするロードチャンバー１４
と被成膜基板をスパッタで成膜するスパッタチャンバー
ａ１５と被成膜基板をアンロードするアンロードチャン
バー１８とを少なくとも有するチャンバー群と、被成膜
基板を搭載しているパレットを有しチャンバー群のそれ
ぞれのチャンバーの間を移動するキャリヤーａ１７と、
キャリヤーａ１７に搭載されキャリヤーａ１７のパレッ
トを回転させながら移動させるパレット回転駆動装置１
６とを備え、スパッタチャンバーａ１５のキャリヤー識
別機構１２で各キャリヤーを識別してパレット回転回数
計測機構１１で被成膜基板を搭載したパレットの回転回
数を計測し、その計測値を制御盤２０でキャリヤー毎に
累積する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被成膜基板にスパッタ
で成膜するインラインスパッタ装置に関し、特に被成膜
基板を回転させながら成膜するインラインスパッタ装置
に関する。
で成膜するインラインスパッタ装置に関し、特に被成膜
基板を回転させながら成膜するインラインスパッタ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインラインスパッタ装置について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【０００３】図２は従来例のインラインスパッタ装置の
構成図である。
構成図である。
【０００４】図２において、従来例のインラインスパッ
タ装置は、プラットホーム１３と、ロードチャンバー１
４と、パレット回転駆動装置１６とキャリヤーｂ２７と
を有するスパッタチャンバーｂ２５と、アンロートチャ
ンバー１８と、プラットホーム１９と、制御盤２０とで
構成されている。
タ装置は、プラットホーム１３と、ロードチャンバー１
４と、パレット回転駆動装置１６とキャリヤーｂ２７と
を有するスパッタチャンバーｂ２５と、アンロートチャ
ンバー１８と、プラットホーム１９と、制御盤２０とで
構成されている。
【０００５】次に、従来例のインラインスパッタ装置の
動作について図面を参照して説明する。
動作について図面を参照して説明する。
【０００６】図２に示すように、キャリヤー２７をプラ
ットホーム１３よりロードチャンバー１４に搬送し、こ
こで真空粗引きを行う。ここで、キャリヤー２７は、回
転可能なパレット部と回転しない基本部とからなり、パ
レット部には被成膜基板が搭載される。
ットホーム１３よりロードチャンバー１４に搬送し、こ
こで真空粗引きを行う。ここで、キャリヤー２７は、回
転可能なパレット部と回転しない基本部とからなり、パ
レット部には被成膜基板が搭載される。
【０００７】その後、キャリヤー２７をスパッタチャン
バーｂ２５に搬送し、キャリヤー２７の一部であるパレ
ットをパレット回転駆動装置１６によって回転させなが
ら成膜を行う。成膜終了後は、アンロートチャンバー１
８に搬送し、大気圧に戻した後、プラットホーム１９に
搬送し、成膜済基板を取り出すという作業を行う。
バーｂ２５に搬送し、キャリヤー２７の一部であるパレ
ットをパレット回転駆動装置１６によって回転させなが
ら成膜を行う。成膜終了後は、アンロートチャンバー１
８に搬送し、大気圧に戻した後、プラットホーム１９に
搬送し、成膜済基板を取り出すという作業を行う。
【０００８】これらの操作は、制御盤２０で行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のインラ
インスパッタ装置では、パレットの回転回数を計測する
手段を備えておらず、また、その計測値をキャリヤー毎
に累積する手段を有していない。
インスパッタ装置では、パレットの回転回数を計測する
手段を備えておらず、また、その計測値をキャリヤー毎
に累積する手段を有していない。
【００１０】そのため、キャリヤーの一部であるパレッ
トの累積回転回数を計測できず、その結果として、パレ
ットの回転部位にあるベアリングの回転回数の使用限界
迄の残存値が分からなくなり、適切なベアリング交換が
できないという欠点がある。
トの累積回転回数を計測できず、その結果として、パレ
ットの回転部位にあるベアリングの回転回数の使用限界
迄の残存値が分からなくなり、適切なベアリング交換が
できないという欠点がある。
【００１１】また、ベアリングが回転回数使用限界に達
した場合には、ベアリングが回転不良となり、その該当
するキャリヤーに搭載されているロットの成膜がロット
アウトとなり、生産性の低下をもたらすという欠点があ
る。
した場合には、ベアリングが回転不良となり、その該当
するキャリヤーに搭載されているロットの成膜がロット
アウトとなり、生産性の低下をもたらすという欠点があ
る。
【００１２】本発明の目的は、被成膜基板を搭載したパ
レットの回転回数を計測する手段と、その計測値をキャ
リヤー毎に累積する手段とを有することにより、上記の
欠点を解消し、各キャリヤー毎の累積回転回数を把握
し、キャリヤーに用いられているベアリングの寿命であ
る回転回数使用限界を把握し、キャリヤーベアリングの
交換時期の最適化を図り、また、キャリヤーのベアリン
グの寿命による成膜ロットアウトを効果的に削減して生
産性の向上を図るインラインスパッタ装置を提供するこ
とにある。
レットの回転回数を計測する手段と、その計測値をキャ
リヤー毎に累積する手段とを有することにより、上記の
欠点を解消し、各キャリヤー毎の累積回転回数を把握
し、キャリヤーに用いられているベアリングの寿命であ
る回転回数使用限界を把握し、キャリヤーベアリングの
交換時期の最適化を図り、また、キャリヤーのベアリン
グの寿命による成膜ロットアウトを効果的に削減して生
産性の向上を図るインラインスパッタ装置を提供するこ
とにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本第一の発明のインライ
ンスパッタ装置は、ロードチャンバーとスパッタチャン
バーとアンロードチャンバーとを少なくとも備え、それ
ぞれのチャンバーの間をキャリヤーが移動し、スパッタ
チャンバーでキャリヤーの一部をなす被成膜基板を搭載
しているパレットを駆動装置によって回転させながら成
膜するインラインスパッタ装置において、パレットの回
転回数を計測する計測手段と、その計測値をキャリヤー
毎に累積する累積手段とを備えている。
ンスパッタ装置は、ロードチャンバーとスパッタチャン
バーとアンロードチャンバーとを少なくとも備え、それ
ぞれのチャンバーの間をキャリヤーが移動し、スパッタ
チャンバーでキャリヤーの一部をなす被成膜基板を搭載
しているパレットを駆動装置によって回転させながら成
膜するインラインスパッタ装置において、パレットの回
転回数を計測する計測手段と、その計測値をキャリヤー
毎に累積する累積手段とを備えている。
【００１４】本第二の発明のインラインスパッタ装置
は、上記第一の発明のインラインスパッタ装置の計測手
段が、光源を発する光を回転するパレットの一部がきる
ことにより回転回数を計測している。
は、上記第一の発明のインラインスパッタ装置の計測手
段が、光源を発する光を回転するパレットの一部がきる
ことにより回転回数を計測している。
【００１５】本第三の発明のインラインスパッタ装置
は、上記第二の発明のインラインスパッタ装置の光源を
取外し可能な透明板でカバーしている。
は、上記第二の発明のインラインスパッタ装置の光源を
取外し可能な透明板でカバーしている。
【００１６】本第四の発明のインラインスパッタ装置
は、上記第一の発明のインラインスパッタ装置の計測手
段が、パレットに取り付けた永久磁石の発する磁界を磁
気抵抗素子を用いて測定することにより回転回数を計測
している。
は、上記第一の発明のインラインスパッタ装置の計測手
段が、パレットに取り付けた永久磁石の発する磁界を磁
気抵抗素子を用いて測定することにより回転回数を計測
している。
【００１７】本第五の発明のインラインスパッタ装置
は、上記第一から第四の発明の内のいずれか１項に記載
のインラインスパッタ装置のキャリヤーが、そのキャリ
ヤーを識別する識別機構を有している。
は、上記第一から第四の発明の内のいずれか１項に記載
のインラインスパッタ装置のキャリヤーが、そのキャリ
ヤーを識別する識別機構を有している。
【００１８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１９】図１は本発明の一実施例のインラインスパ
ッタ装置の概略構成図である。
ッタ装置の概略構成図である。
【００２０】図１において、本実施例のインラインスパ
ッタ装置は、プラットホーム１３と、ロードチャンバー
１４と、パレット回転回数計測機構１１とキャリヤー識
別機構１２とパレット回転駆動装置１６とキャリヤーａ
１７とを有するスパッタチャンバーａ１５と、アンロー
ドチャンバー１８と、プラットホーム１９と、制御盤２
０とで構成されている。
ッタ装置は、プラットホーム１３と、ロードチャンバー
１４と、パレット回転回数計測機構１１とキャリヤー識
別機構１２とパレット回転駆動装置１６とキャリヤーａ
１７とを有するスパッタチャンバーａ１５と、アンロー
ドチャンバー１８と、プラットホーム１９と、制御盤２
０とで構成されている。
【００２１】次に、従来例のインラインスパッタ装置の
動作について図面を参照して説明する。
動作について図面を参照して説明する。
【００２２】図１に示すように、本実施例のインライン
スパッタ装置では、スパッタチャンバーａ１５におい
て、キャリヤーａ１７をキャリヤー識別機構１２によっ
て識別し、それと同時にパレット回転駆動装置１６によ
って回転しているキャリヤーａ１７の一部であるパレッ
トの回転回数をパレット回転回数計測機構１１によって
計測する。
スパッタ装置では、スパッタチャンバーａ１５におい
て、キャリヤーａ１７をキャリヤー識別機構１２によっ
て識別し、それと同時にパレット回転駆動装置１６によ
って回転しているキャリヤーａ１７の一部であるパレッ
トの回転回数をパレット回転回数計測機構１１によって
計測する。
【００２３】そして、キャリヤーの識別した結果とパレ
ット回転回数の計測結果をあわせて、制御盤２０でキャ
リヤー毎に累積し、表示する。
ット回転回数の計測結果をあわせて、制御盤２０でキャ
リヤー毎に累積し、表示する。
【００２４】これにより、各キャリヤー毎の累積回転回
数を把握し、この結果により、キャリヤーａ１７に用い
られているベアリングの寿命である回転回数使用限界迄
の残存回転回数を把握する。
数を把握し、この結果により、キャリヤーａ１７に用い
られているベアリングの寿命である回転回数使用限界迄
の残存回転回数を把握する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインライ
ンスパッタ装置は、スパッタチャンバーにおいて、キャ
リヤーをキャリヤー識別機構によって識別し、それと同
時にキャリヤーの一部であるパレットの回転回数をパレ
ット回転回数計測機構によって計測し、キャリヤーの識
別した結果とパレット回転回数の計測結果をあわせて、
制御盤でキャリヤー毎に累積し、表示することにより、
各キャリヤー毎の累積回転回数を容易に把握でき、その
結果として、キャリヤーに用いられているベアリングの
寿命である回転回数使用限界迄、どの位の回転回数が残
されているかが正確に把握でき、キャリヤーベアリング
の交換時期の最適化ができるという効果がある。
ンスパッタ装置は、スパッタチャンバーにおいて、キャ
リヤーをキャリヤー識別機構によって識別し、それと同
時にキャリヤーの一部であるパレットの回転回数をパレ
ット回転回数計測機構によって計測し、キャリヤーの識
別した結果とパレット回転回数の計測結果をあわせて、
制御盤でキャリヤー毎に累積し、表示することにより、
各キャリヤー毎の累積回転回数を容易に把握でき、その
結果として、キャリヤーに用いられているベアリングの
寿命である回転回数使用限界迄、どの位の回転回数が残
されているかが正確に把握でき、キャリヤーベアリング
の交換時期の最適化ができるという効果がある。
【００２６】また、キャリヤーのベアリングの寿命によ
る成膜ロットアウトも効果的に削減できるため、生産性
を向上することができるという効果がある。
る成膜ロットアウトも効果的に削減できるため、生産性
を向上することができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のインラインスパッタ装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】従来例のインラインスパッタ装置の概略構成図
である。
である。
１１ パレット回転回数計測機構 １２ キャリヤー識別機構 １３，１９ プラットホーム １４ ロードチャンバー １５ スパッタチャンバーａ １６ パレット回転駆動装置 １７ キャリヤーａ １８ アンロードチャンバー ２０ 制御盤 ２５ スパッタチャバーｂ ２７ キャリヤーｂ
Claims (5)
- 【請求項１】 ロードチャンバーとスパッタチャンバー
とアンロードチャンバーとを少なくとも備え、それぞれ
のチャンバーの間をキャリヤーが移動し、前記スパッタ
チャンバーで前記キャリヤーの一部をなす被成膜基板を
搭載しているパレットを駆動装置によって回転させなが
ら成膜するインラインスパッタ装置において、前記パレ
ットの回転回数を計測する計測手段と、その計測値を前
記キャリヤー毎に累積する累積手段とを備えることを特
徴とするインラインスパッタ装置。 - 【請求項２】 前記計測手段が、光源を発する光を回転
するパレットの一部がきることにより前記回転回数を計
測することを特徴とする請求項１に記載のインラインス
パッタ装置。 - 【請求項３】 前記光源を取外し可能な透明板でカバー
することを特徴とする請求項２に記載のインラインスパ
ッタ装置。 - 【請求項４】 前記計測手段が、前記パレットに取り付
けた永久磁石の発する磁界を磁気抵抗素子を用いて測定
することにより前記回転回数を計測することを特徴とす
る請求項１に記載のインラインスパッタ装置。 - 【請求項５】 前記キャリヤーが、そのキャリヤーを識
別する識別機構を有することを特徴とする請求項１から
請求項４の内のいずれか１項に記載のインラインスパッ
タ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150171A JP3001333B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | インラインスパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150171A JP3001333B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | インラインスパッタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339723A true JPH05339723A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3001333B2 JP3001333B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=15491058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4150171A Expired - Lifetime JP3001333B2 (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | インラインスパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3001333B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000018980A1 (en) * | 1998-10-01 | 2000-04-06 | Applied Science And Technology, Inc. | An in-line sputter deposition system |
| JP2001315037A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Mori Seiki Co Ltd | 自動工具交換装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100765997B1 (ko) * | 2001-08-21 | 2007-10-11 | 삼성코닝 주식회사 | 인라인 스퍼터링 시스템 |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP4150171A patent/JP3001333B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000018980A1 (en) * | 1998-10-01 | 2000-04-06 | Applied Science And Technology, Inc. | An in-line sputter deposition system |
| JP2001315037A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Mori Seiki Co Ltd | 自動工具交換装置 |
| JP4531197B2 (ja) * | 2000-05-08 | 2010-08-25 | 株式会社森精機製作所 | 自動工具交換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3001333B2 (ja) | 2000-01-24 |
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