JPH05338794A - 製品搬送用ハンド - Google Patents
製品搬送用ハンドInfo
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- JPH05338794A JPH05338794A JP15213492A JP15213492A JPH05338794A JP H05338794 A JPH05338794 A JP H05338794A JP 15213492 A JP15213492 A JP 15213492A JP 15213492 A JP15213492 A JP 15213492A JP H05338794 A JPH05338794 A JP H05338794A
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- Japan
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- silicon wafer
- hand
- quartz glass
- chuck
- holding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シリコンウェハ端部のウェハ搬送用ハンドの
チャックとの接触摺動に伴うダメージを防止する。 【構成】 少なくとも製品との当接部分が硬度７より軟
らかい材料で構成された。具体的には、ボロンまたはリ
ンがドープされた石英ガラスで構成したり、テフロン膜
がコーティングされた石英ガラスで構成される。
チャックとの接触摺動に伴うダメージを防止する。 【構成】 少なくとも製品との当接部分が硬度７より軟
らかい材料で構成された。具体的には、ボロンまたはリ
ンがドープされた石英ガラスで構成したり、テフロン膜
がコーティングされた石英ガラスで構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、シリコンウェハを保
持搬送するときに用いるシリコンウェハ搬送用ハンドに
関するものである。
持搬送するときに用いるシリコンウェハ搬送用ハンドに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は、従来のシリコンウェハの保持搬
送に供されている石英ガラスで構成されたシリコンウェ
ハ搬送用ハンドの斜視図である。図において、１はシリ
コンウェハ３を保持するための保持溝２が設けられた石
英ガラス製チャックで、これを支える石英ガラス製チャ
ック支持ハンド４に接続されている。なお、図２に保持
溝２の部分を拡大して断面図で示している。チャック支
持ハンド４はハンド支持アーム６を介して、チャック支
持ハンド４を開閉するための開閉アクチュエータ７（ハ
ンド支持アーム６を回転させることでチャック支持ハン
ド４を開閉する）に接続されている。開閉アクチュエー
タ７はシリコンウェハ搬送用ハンド全体を上下移動させ
る上下移動アクチュエータ８に接続されている。さらに
上下移動アクチュエータ８は左右移動アクチュエータ
（図示せず）に接続されている。
送に供されている石英ガラスで構成されたシリコンウェ
ハ搬送用ハンドの斜視図である。図において、１はシリ
コンウェハ３を保持するための保持溝２が設けられた石
英ガラス製チャックで、これを支える石英ガラス製チャ
ック支持ハンド４に接続されている。なお、図２に保持
溝２の部分を拡大して断面図で示している。チャック支
持ハンド４はハンド支持アーム６を介して、チャック支
持ハンド４を開閉するための開閉アクチュエータ７（ハ
ンド支持アーム６を回転させることでチャック支持ハン
ド４を開閉する）に接続されている。開閉アクチュエー
タ７はシリコンウェハ搬送用ハンド全体を上下移動させ
る上下移動アクチュエータ８に接続されている。さらに
上下移動アクチュエータ８は左右移動アクチュエータ
（図示せず）に接続されている。
【０００３】次に動作について説明する。シリコンウェ
ハ３は、図４の斜視図に示すようにシリコンウェハ保持
用ホルダー１０に保持されて置かれている。以下この様
なシリコンウェハ保持用ホルダー１０に保持されて置か
れているシリコンウェハ３を石英ガラス製で構成された
シリコンウェハ搬送用ハンドで保持し別のシリコンウェ
ハ保持用ホルダーまで移動させる動作について説明す
る。
ハ３は、図４の斜視図に示すようにシリコンウェハ保持
用ホルダー１０に保持されて置かれている。以下この様
なシリコンウェハ保持用ホルダー１０に保持されて置か
れているシリコンウェハ３を石英ガラス製で構成された
シリコンウェハ搬送用ハンドで保持し別のシリコンウェ
ハ保持用ホルダーまで移動させる動作について説明す
る。
【０００４】左右移動アクチュエータを用いてシリコン
ウェハ保持用ホルダー１０の上方に石英ガラス製チャッ
ク１を移動させる。つぎに開閉アクチュエータ７によっ
て石英ガラス製チャック支持ハンド４を開く。そして上
下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャック１
をシリコンウェハ３をつかめる位置（保持溝２にシリコ
ンウェハ３が収まる位置）まで下降移動させた後に、開
閉アクチュエータ７によって石英ガラス製チャック支持
ハンド４を閉じることでシリコンウェハ３をつかむ。そ
してそのまま上下移動アクチュエータ８により石英ガラ
ス製チャック１を上昇移動させ、シリコンウェハ３を保
持用ホルダー１０からとり外す。この状態で、石英ガラ
ス製チャック１を左右移動アクチュエータを用い別の保
持用ホルダーの上方となる位置まで移動させる。そし
て、上下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャ
ック１をシリコンウェハ３を置く位置（保持用ホルダー
の保持溝にシリコンウェハ３が収まる位置）まで下降移
動させた後に、開閉アクチュエータ７によって石英ガラ
ス製チャック支持ハンド４を開くことでシリコンウェハ
３を別の保持用ホルダーまで移動し保持させる。そし
て、上下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャ
ック１を上昇移動させ、シリコンウェハ３を別の保持用
ホルダーに保持させ一連の動作を完了する。
ウェハ保持用ホルダー１０の上方に石英ガラス製チャッ
ク１を移動させる。つぎに開閉アクチュエータ７によっ
て石英ガラス製チャック支持ハンド４を開く。そして上
下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャック１
をシリコンウェハ３をつかめる位置（保持溝２にシリコ
ンウェハ３が収まる位置）まで下降移動させた後に、開
閉アクチュエータ７によって石英ガラス製チャック支持
ハンド４を閉じることでシリコンウェハ３をつかむ。そ
してそのまま上下移動アクチュエータ８により石英ガラ
ス製チャック１を上昇移動させ、シリコンウェハ３を保
持用ホルダー１０からとり外す。この状態で、石英ガラ
ス製チャック１を左右移動アクチュエータを用い別の保
持用ホルダーの上方となる位置まで移動させる。そし
て、上下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャ
ック１をシリコンウェハ３を置く位置（保持用ホルダー
の保持溝にシリコンウェハ３が収まる位置）まで下降移
動させた後に、開閉アクチュエータ７によって石英ガラ
ス製チャック支持ハンド４を開くことでシリコンウェハ
３を別の保持用ホルダーまで移動し保持させる。そし
て、上下移動アクチュエータ８により石英ガラス製チャ
ック１を上昇移動させ、シリコンウェハ３を別の保持用
ホルダーに保持させ一連の動作を完了する。
【０００５】このような搬送用ハンドのチャック１は、
薄いシリコンウェハ３を浅い保持溝２で（保持溝が深い
とシリコンウェハ３上の有効な製品製造面積が減少す
る）確実に保持する必要があるため、高精度の機械加工
を要する。また、チャック材料としては、製品に対して
悪影響を与える元素を含むもの等は用いることはできな
い。このような制約に対して、強い機械的強度、および
ある程度の機械的加工性を有し、かつ、製品に悪影響を
与える元素を含まない材質としてはそう多くない。この
ような材質としては、不純物を含まない石英ガラスを用
いるのが一般的である。なぜなら、通常のガラスは製品
に悪影響を与える不純物が多く、金属はそのものが製品
に悪影響を与える不純物となり、テフロン等は機械的強
度が弱いためである。
薄いシリコンウェハ３を浅い保持溝２で（保持溝が深い
とシリコンウェハ３上の有効な製品製造面積が減少す
る）確実に保持する必要があるため、高精度の機械加工
を要する。また、チャック材料としては、製品に対して
悪影響を与える元素を含むもの等は用いることはできな
い。このような制約に対して、強い機械的強度、および
ある程度の機械的加工性を有し、かつ、製品に悪影響を
与える元素を含まない材質としてはそう多くない。この
ような材質としては、不純物を含まない石英ガラスを用
いるのが一般的である。なぜなら、通常のガラスは製品
に悪影響を与える不純物が多く、金属はそのものが製品
に悪影響を与える不純物となり、テフロン等は機械的強
度が弱いためである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のシリコンウェハ
搬送用ハンドは、モース硬度７の石英ガラスで構成され
た前記のような石英ガラス製チャック１をもつ構造物で
あるため、保持溝２の中に挿入されるモース硬度７のシ
リコンウェハ３の端部は必ず保持溝２の側面と接触す
る。そのため、モース硬度７のシリコンウェハ３はモー
ス硬度７の保持溝２の側面と接触摺動しダメージを被る
ため図５に示すような接触摺動位置５（シリコンウェハ
３の端部）に傷（マイクロクラック、結晶のスリップ
等）が発生するという問題があった。
搬送用ハンドは、モース硬度７の石英ガラスで構成され
た前記のような石英ガラス製チャック１をもつ構造物で
あるため、保持溝２の中に挿入されるモース硬度７のシ
リコンウェハ３の端部は必ず保持溝２の側面と接触す
る。そのため、モース硬度７のシリコンウェハ３はモー
ス硬度７の保持溝２の側面と接触摺動しダメージを被る
ため図５に示すような接触摺動位置５（シリコンウェハ
３の端部）に傷（マイクロクラック、結晶のスリップ
等）が発生するという問題があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、シリコンウェハ端部のウェハ搬
送用ハンドのチャックとの接触摺動に伴うダメージを防
止することを目的とする。
ためになされたもので、シリコンウェハ端部のウェハ搬
送用ハンドのチャックとの接触摺動に伴うダメージを防
止することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るシリコン
ウェハ搬送用ハンドは、少なくともシリコンウェハとの
当接部分がシリコンウェハの硬度より軟らかい材料で構
成されたものである。
ウェハ搬送用ハンドは、少なくともシリコンウェハとの
当接部分がシリコンウェハの硬度より軟らかい材料で構
成されたものである。
【０００９】
【作用】本発明によるシリコンウェハ搬送用ハンドの少
なくともシリコンウェハとの当接部分の構成材料をシリ
コンウェハより軟らかい硬度の材料で構成したため、シ
リコンウェハ端面と保持溝の側面との接触摺動に伴うダ
メージはほとんど保持溝の側面にかかるようになり、結
果的にシリコンウェハ端面へのダメージがほとんどなく
なり、シリコンウェハ端部に傷が発生するという問題が
なくなる。
なくともシリコンウェハとの当接部分の構成材料をシリ
コンウェハより軟らかい硬度の材料で構成したため、シ
リコンウェハ端面と保持溝の側面との接触摺動に伴うダ
メージはほとんど保持溝の側面にかかるようになり、結
果的にシリコンウェハ端面へのダメージがほとんどなく
なり、シリコンウェハ端部に傷が発生するという問題が
なくなる。
【００１０】
実施例１．図１、図２に示すシリコンウェハ搬送用ハン
ドと同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１をモース
硬度６のボロンドープドガラスで作成することで実施例
１の搬送用ハンドを作成した。
ドと同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１をモース
硬度６のボロンドープドガラスで作成することで実施例
１の搬送用ハンドを作成した。
【００１１】実施例２．図１、図２に示す搬送用ハンド
と同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モース
硬度５のボロンドープドガラスで作成することで実施例
２の搬送用ハンドを作成した。
と同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モース
硬度５のボロンドープドガラスで作成することで実施例
２の搬送用ハンドを作成した。
【００１２】実施例３．図１、図２に示す製品搬送用ハ
ンドと同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モ
ース硬度２のテフロン樹脂で作成することで実施例３の
製品搬送用ハンドを作成した。この場合、テフロン樹脂
は軟かいので加工が困難で機械的強度が弱いという不都
合はある。
ンドと同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モ
ース硬度２のテフロン樹脂で作成することで実施例３の
製品搬送用ハンドを作成した。この場合、テフロン樹脂
は軟かいので加工が困難で機械的強度が弱いという不都
合はある。
【００１３】実施例４．図３は本発明の他の実施例に係
るチャックの断面図で、モース硬度７の従来の石英ガラ
ス製チャックの表面をシリコンウェハより軟らかいモー
ス硬度６のボロンドープドガラスのコーティング膜９で
覆うことで実施例４の搬送用ハンドを作成した。
るチャックの断面図で、モース硬度７の従来の石英ガラ
ス製チャックの表面をシリコンウェハより軟らかいモー
ス硬度６のボロンドープドガラスのコーティング膜９で
覆うことで実施例４の搬送用ハンドを作成した。
【００１４】実施例５．図３に示す構成の搬送用ハンド
本体のチャック１において、表面をモース硬度２のテフ
ロン樹脂のコーティング膜９で覆うことで実施例５の搬
送用ハンドを作成した。このように機械的強度が弱くて
加工等の不都合のため単独では用いにくいテフロン樹脂
でも、硬い材質にコーティングすることで少なくともシ
リコンウェハとの当接部分はシリコンウェハより軟らか
い材料とすることができる。
本体のチャック１において、表面をモース硬度２のテフ
ロン樹脂のコーティング膜９で覆うことで実施例５の搬
送用ハンドを作成した。このように機械的強度が弱くて
加工等の不都合のため単独では用いにくいテフロン樹脂
でも、硬い材質にコーティングすることで少なくともシ
リコンウェハとの当接部分はシリコンウェハより軟らか
い材料とすることができる。
【００１５】比較例１．図１、図２に示す搬送用ハンド
と同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モース
硬度７の石英ガラス製で作成することで比較例１の搬送
用ハンドを作成した。
と同じ形状の搬送用ハンド本体のチャック１を、モース
硬度７の石英ガラス製で作成することで比較例１の搬送
用ハンドを作成した。
【００１６】比較例２．図３に示す搬送用ハンドと同じ
構成の搬送用ハンド本体のチャック１において、表面を
モース硬度９のシリコンカーバイドのコーティング膜４
で覆うことで比較例２の搬送用ハンドを作成した。
構成の搬送用ハンド本体のチャック１において、表面を
モース硬度９のシリコンカーバイドのコーティング膜４
で覆うことで比較例２の搬送用ハンドを作成した。
【００１７】上記実施例１〜実施例５および比較例１〜
比較例２のシリコンウェハ搬送用ハンドを用いて、信越
シリコン社製６インチシリコンウェハを同じ状態で１０
回脱着させ（なお１０回の脱着試験後、ウェハ表面のダ
ストを取り除くために一度ＲＣＡ洗浄をほどこした。Ｒ
ＣＡ洗浄については、例えばDabid Puotinen,RCA Revie
w,p.187,June1970等に詳細に記載されている。）、その
脱着試験前後でのシリコンウェハ端面の表面状態（図５
に示すような接触摺動位置５に相当する部分）の変化を
ノマルスキー型微分干渉顕微鏡で観察することで評価し
た結果を表１に示す。なお、用いた信越シリコン社製６
インチシリコンウェハ（評価に用いた６インチシリコン
ウェハ全てにおいて）は、そのオリフラの右側面の端面
に若干のマイクロクラックを有する（恐らくメーカサイ
ドでのシリコンウェハ保持時に発生したものと思われ
る）ものの、他の部分においては、全くマイクロクラッ
ク等の傷は観察されなかった。そのため、今回の実施例
１〜実施例５および比較例１〜比較例２の評価に用いた
シリコンウェハ３の端面評価位置（図５に示すような接
触摺動位置５に相当する部分）は、オリフラの右側面の
端面位置を除いた位置でおこなった。
比較例２のシリコンウェハ搬送用ハンドを用いて、信越
シリコン社製６インチシリコンウェハを同じ状態で１０
回脱着させ（なお１０回の脱着試験後、ウェハ表面のダ
ストを取り除くために一度ＲＣＡ洗浄をほどこした。Ｒ
ＣＡ洗浄については、例えばDabid Puotinen,RCA Revie
w,p.187,June1970等に詳細に記載されている。）、その
脱着試験前後でのシリコンウェハ端面の表面状態（図５
に示すような接触摺動位置５に相当する部分）の変化を
ノマルスキー型微分干渉顕微鏡で観察することで評価し
た結果を表１に示す。なお、用いた信越シリコン社製６
インチシリコンウェハ（評価に用いた６インチシリコン
ウェハ全てにおいて）は、そのオリフラの右側面の端面
に若干のマイクロクラックを有する（恐らくメーカサイ
ドでのシリコンウェハ保持時に発生したものと思われ
る）ものの、他の部分においては、全くマイクロクラッ
ク等の傷は観察されなかった。そのため、今回の実施例
１〜実施例５および比較例１〜比較例２の評価に用いた
シリコンウェハ３の端面評価位置（図５に示すような接
触摺動位置５に相当する部分）は、オリフラの右側面の
端面位置を除いた位置でおこなった。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１から、本発明のモース硬度６以下の実
施例１〜実施例５のシリコンウェハ搬送用ハンドを用い
た場合、いずれも１０回の脱着ではシリコンウェハ表面
にマイクロクラック等の傷の発生が無いことがわかる。
一方、モース硬度７以上の比較例１および比較例２のシ
リコンウェハ搬送用ハンドを用いた場合、いずれも１０
回の脱着でマイクロクラック等の傷の発生があることが
わかる。
施例１〜実施例５のシリコンウェハ搬送用ハンドを用い
た場合、いずれも１０回の脱着ではシリコンウェハ表面
にマイクロクラック等の傷の発生が無いことがわかる。
一方、モース硬度７以上の比較例１および比較例２のシ
リコンウェハ搬送用ハンドを用いた場合、いずれも１０
回の脱着でマイクロクラック等の傷の発生があることが
わかる。
【００２０】なお、製品に悪影響を与えない元素として
は、ボロン、リン、シリコン、酸素、アルゴン、水素、
チッ素等があるが、これらのうち石英ガラスに添加して
硬度を下げるのに有効なものはボロンやリンである。一
方、洗浄用の薬液等としてフッ酸を被る可能性がある場
合、ガラスはフッ酸に溶けるため使用できない。そこで
テフロン樹脂の使用が考えられるが、テフロン樹脂は機
械的強度が弱いためシリコンウェハ搬送用ハンドとして
直接用いることは難しい。しかしながら実施例５で示し
たように石英ガラス製のウェハ搬送用ハンドの表面にテ
フロン樹脂をコーティングすることにより、高精度な機
械的加工が可能でしかもシリコンウェハを傷つけるのを
防止できるのでより良い。
は、ボロン、リン、シリコン、酸素、アルゴン、水素、
チッ素等があるが、これらのうち石英ガラスに添加して
硬度を下げるのに有効なものはボロンやリンである。一
方、洗浄用の薬液等としてフッ酸を被る可能性がある場
合、ガラスはフッ酸に溶けるため使用できない。そこで
テフロン樹脂の使用が考えられるが、テフロン樹脂は機
械的強度が弱いためシリコンウェハ搬送用ハンドとして
直接用いることは難しい。しかしながら実施例５で示し
たように石英ガラス製のウェハ搬送用ハンドの表面にテ
フロン樹脂をコーティングすることにより、高精度な機
械的加工が可能でしかもシリコンウェハを傷つけるのを
防止できるのでより良い。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、少な
くともシリコンウェハとの当接部分がシリコンウェハの
硬度より軟らかい材料で構成されているので、シリコン
ウェハ端部のウェハ保持用受台の保持溝との接触摺動に
伴うダメージが防止できる。
くともシリコンウェハとの当接部分がシリコンウェハの
硬度より軟らかい材料で構成されているので、シリコン
ウェハ端部のウェハ保持用受台の保持溝との接触摺動に
伴うダメージが防止できる。
【図１】従来およびこの発明によるシリコンウェハ搬送
用ハンドを示す斜視図である。
用ハンドを示す斜視図である。
【図２】図１のシリコンウェハ搬送用ハンドのシリコン
ウェハとの当接部を拡大して示す断面図である。
ウェハとの当接部を拡大して示す断面図である。
【図３】この発明の他の実施例の要部を示す断面図であ
る。
る。
【図４】製品保持用受け台にシリコンウェハを保持した
ときの斜視図である。
ときの斜視図である。
【図５】シリコンウェハが製品搬送用ハンドに保持され
るときの接触摺動により発生するシリコンウェハ端面部
分の傷の発生部を示す正面図である。
るときの接触摺動により発生するシリコンウェハ端面部
分の傷の発生部を示す正面図である。
【符号の説明】 １ シリコンウェハ保持用チャック ２ 溝 ３ シリコンウェハ ９ コーティング層
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 製品搬送用ハンド
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウェハや磁気ディス
ク用の基板等を保持搬送するときに用いる製品搬送用ハ
ンドに関するものである。
ク用の基板等を保持搬送するときに用いる製品搬送用ハ
ンドに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】このような搬送用ハンドのチャック１は、
薄いシリコンウェハ３を浅い保持溝２で（保持溝が深い
とシリコンウェハ３上の有効な製品製造面積が減少す
る）確実に保持する必要があるため、高精度の機械加工
を要する。また、チャック材料としては、製品に対して
悪影響を与える元素を含むもの等は用いることはできな
い。このような制約に対して、強い機械的強度、および
ある程度の機械的加工性を有し、かつ、製品に悪影響を
与える元素を含まない材質としてはそう多くない。この
ような材質としては、不純物を含まない石英ガラスを用
いるのが一般的である。なぜなら、通常のガラスは製品
に悪影響を与える不純物が多く、金属はそのものが製品
に悪影響を与える不純物となる。一方、テフロン等は機
械的強度が弱いため、高精度の機械加工は不可能であ
る。
薄いシリコンウェハ３を浅い保持溝２で（保持溝が深い
とシリコンウェハ３上の有効な製品製造面積が減少す
る）確実に保持する必要があるため、高精度の機械加工
を要する。また、チャック材料としては、製品に対して
悪影響を与える元素を含むもの等は用いることはできな
い。このような制約に対して、強い機械的強度、および
ある程度の機械的加工性を有し、かつ、製品に悪影響を
与える元素を含まない材質としてはそう多くない。この
ような材質としては、不純物を含まない石英ガラスを用
いるのが一般的である。なぜなら、通常のガラスは製品
に悪影響を与える不純物が多く、金属はそのものが製品
に悪影響を与える不純物となる。一方、テフロン等は機
械的強度が弱いため、高精度の機械加工は不可能であ
る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る製品搬送
用ハンドは、少なくとも製品との当接部分が硬度７より
軟らかい材料で構成されたものである。例えば、ボロン
またはリンがドープされた石英ガラスで構成されたもの
である。さらに、テフロン膜がコーティングされた石英
ガラスで構成されたものである。
用ハンドは、少なくとも製品との当接部分が硬度７より
軟らかい材料で構成されたものである。例えば、ボロン
またはリンがドープされた石英ガラスで構成されたもの
である。さらに、テフロン膜がコーティングされた石英
ガラスで構成されたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【作用】本発明による製品搬送用ハンドの少なくとも製
品との当接部分の構成材料をシリコンウェハより軟らか
い硬度７の材料で構成したため、例えばシリコンウェハ
を搬送する場合、シリコンウェハ端面と保持溝の側面と
の接触摺動に伴うダメージはほとんど保持溝の側面にか
かるようになり、結果的にシリコンウェハ端面へのダメ
ージがほとんどなくなり、シリコンウェハ端部に傷が発
生するという問題がなくなる。具体的には、ボロンまた
はリンがドープされた石英ガラスで構成したり、テフロ
ン膜がコーティングされた石英ガラスで構成すると良
い。
品との当接部分の構成材料をシリコンウェハより軟らか
い硬度７の材料で構成したため、例えばシリコンウェハ
を搬送する場合、シリコンウェハ端面と保持溝の側面と
の接触摺動に伴うダメージはほとんど保持溝の側面にか
かるようになり、結果的にシリコンウェハ端面へのダメ
ージがほとんどなくなり、シリコンウェハ端部に傷が発
生するという問題がなくなる。具体的には、ボロンまた
はリンがドープされた石英ガラスで構成したり、テフロ
ン膜がコーティングされた石英ガラスで構成すると良
い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】なお、製品に悪影響を与えない元素として
は、ボロン、リン、シリコン、酸素、アルゴン、水素、
チッ素等があるが、これらのうち石英ガラスに添加して
硬度を下げるのに有効なものはボロンやリンである。一
方、洗浄用の薬液等としてフッ酸を被る可能性がある場
合、ガラスはフッ酸に溶けるため使用できない。そこで
テフロン樹脂の使用が考えられるが、テフロン樹脂は機
械的強度が弱いためシリコンウェハ搬送用ハンドとして
直接用いることは難しい。しかしながら実施例５で示し
たように石英ガラス製のウェハ搬送用ハンドの表面にテ
フロン樹脂をコーティングすることにより、高精度な機
械的加工が可能でしかもシリコンウェハを傷つけるのを
防止できるのでより良い。なお、上記実施例ではいずれ
も搬送される製品がシリコンウェハである場合について
説明したが、これに限るものではなく、例えば磁気ディ
スク用アルミ基板、サファイア基板、ジルコニア基板等
の基板やウェハに適用できるのは言うまでもない。
は、ボロン、リン、シリコン、酸素、アルゴン、水素、
チッ素等があるが、これらのうち石英ガラスに添加して
硬度を下げるのに有効なものはボロンやリンである。一
方、洗浄用の薬液等としてフッ酸を被る可能性がある場
合、ガラスはフッ酸に溶けるため使用できない。そこで
テフロン樹脂の使用が考えられるが、テフロン樹脂は機
械的強度が弱いためシリコンウェハ搬送用ハンドとして
直接用いることは難しい。しかしながら実施例５で示し
たように石英ガラス製のウェハ搬送用ハンドの表面にテ
フロン樹脂をコーティングすることにより、高精度な機
械的加工が可能でしかもシリコンウェハを傷つけるのを
防止できるのでより良い。なお、上記実施例ではいずれ
も搬送される製品がシリコンウェハである場合について
説明したが、これに限るものではなく、例えば磁気ディ
スク用アルミ基板、サファイア基板、ジルコニア基板等
の基板やウェハに適用できるのは言うまでもない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、少な
くとも製品との当接部分が硬度７より軟らかい材料で構
成されているので、例えば製品がシリコンウェハである
場合、シリコンウェハ端部のウェハ保持用受台の保持溝
との接触摺動に伴うダメージが防止できる。具体的に
は、ボロンまたはリンがドープされた石英ガラスで構成
したり、テフロン膜がコーティングされた石英ガラスで
構成できる。
くとも製品との当接部分が硬度７より軟らかい材料で構
成されているので、例えば製品がシリコンウェハである
場合、シリコンウェハ端部のウェハ保持用受台の保持溝
との接触摺動に伴うダメージが防止できる。具体的に
は、ボロンまたはリンがドープされた石英ガラスで構成
したり、テフロン膜がコーティングされた石英ガラスで
構成できる。
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくともシリコンウェハとの当接部分
がシリコンウェハの硬度より軟らかい材料で構成された
シリコンウェハ搬送用ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213492A JP3002604B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 製品搬送用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213492A JP3002604B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 製品搬送用ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338794A true JPH05338794A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3002604B2 JP3002604B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=15533795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15213492A Expired - Fee Related JP3002604B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 製品搬送用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3002604B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10017010A1 (de) * | 2000-04-05 | 2001-10-18 | Steag Micro Tech Gmbh | Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens |
| JP2007511899A (ja) * | 2003-10-07 | 2007-05-10 | アイビス・テクノロジー・コーポレイション | 熱硬化性樹脂ウエハー保持ピン |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101850986B1 (ko) | 2016-02-03 | 2018-04-23 | 한국철도기술연구원 | 풀림 방지 너트 |
| KR101915633B1 (ko) | 2018-01-19 | 2018-11-06 | 한국철도기술연구원 | 풀림 방지 너트용 체결공구 |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP15213492A patent/JP3002604B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10017010A1 (de) * | 2000-04-05 | 2001-10-18 | Steag Micro Tech Gmbh | Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens |
| DE10017010C2 (de) * | 2000-04-05 | 2002-02-07 | Steag Micro Tech Gmbh | Verfahren zum Be- und Entladen eines Behandlungsbeckens |
| JP2007511899A (ja) * | 2003-10-07 | 2007-05-10 | アイビス・テクノロジー・コーポレイション | 熱硬化性樹脂ウエハー保持ピン |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3002604B2 (ja) | 2000-01-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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