JPH05334899A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH05334899A
JPH05334899A JP4163678A JP16367892A JPH05334899A JP H05334899 A JPH05334899 A JP H05334899A JP 4163678 A JP4163678 A JP 4163678A JP 16367892 A JP16367892 A JP 16367892A JP H05334899 A JPH05334899 A JP H05334899A
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JP
Japan
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test
memory
memory block
signal
semiconductor integrated
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JP4163678A
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English (en)
Inventor
Motomi Suguro
元美 勝呂
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は内蔵するメモリブロックの試験を効
率よく行うことを目的とする。 【構成】 半導体集積回路装置は複数のメモリブロック
4〜7を含んでおり、複数のメモリブロック4〜7の機
能を試験するために、テスト信号発生回路31が複数の
メモリブロック4〜7の内の1つのメモリブロックから
テストパターンに基づきタイミング信号を出力する。1
つのメモリブロック内に保持したテストパターンが他の
メモリブロックのテストに使用できるので、テストパタ
ーンの減少が図られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複数のメモリブロックを
含んだ半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路技術の発展は、め
ざましく半導体集積回路の大規模化、複合化は加速度的
に進んでいる。また、これに伴い、半導体集積回路の機
能試験を効率良く、かつ不良を高い割合で検出すること
が製品のコスト及び信頼性を決める1つの要因となって
いる。
【0003】ところが、半導体集積回路の大規模化、複
合化の進展に伴い、不良解析の難易度も高くなってい
る。
【0004】この機能試験を効率よく、かつ不良を高い
割合で検出、不良解析を安易に行う方法として、回路分
割法が用いられることが多い。この回路分割法は、大規
模回路に搭載されたRAM(ランダムアクセスメモリ)
やROM(リードオンリーメモリ)、あるいは、あるま
とまった機能を有する回路の集合をそれぞれ機能ブロッ
クとして分割し、回路全体の機能の検証とは別に、各機
能ブロック毎の機能の検証を行うものである。回路分割
法の具体的な例を図5,図6を用いて説明する。
【0005】図5において、メモリブロック4,メモリ
ブロック5,メモリブロック6,メモリブロック7には
通常に動作させる時の入力信号16,17,18,19
と、メモリブロック4〜7をテストする時のメモリブロ
ックテスト用入力信号36,37,38,39とが、セ
レクタ回路12,13,14,15により選択されメモ
リ回路8,メモリ回路9,メモリ回路10,メモリ回路
11に入力される。
【0006】また、メモリ回路8,メモリ回路9,メモ
リ回路10,メモリ回路11の出力信号20,21,2
2,23は通常に動作させる時に接続される内部バス3
とは別に、テストするときに使用するために、メモリブ
ロックテスト用出力信号26,27,28,29として
出力される。
【0007】本従来例の回路構成では、通常に使用する
時の入力端子,出力端子とは別に、メモリブロック4,
5,6,7をテストする時に入力端子,出力端子が設け
られている。
【0008】メモリブロックをテストするときには、外
部より直接、テスト用入力信号36〜39を入力し、メ
モリブロック4〜7の出力信号20〜23を外部にて判
定し、メモリブロック4〜7が正常動作しているか否か
判断する。
【0009】図6は、図5は別の従来例を示している。
図5に示された従来例ではメモリブロック4〜7毎にテ
スト用の入力端子,出力端子を設けているのに対し、図
6の従来例ではメモリブロックテスト用入力端子及びメ
モリブロックテスト用出力端子を、各メモリブロック4
〜7で共用している。したがって、メモリブロックテス
ト用入力信号24は入力選択回路40により、各メモリ
ブロック4,5,6,7に振り分けられる。入力選択回
路40はテストするメモリブロック4〜7のみにメモリ
ブロックテスト用入力信号24を出力する。
【0010】一方、メモリブロックテスト時の各メモリ
ブロック4〜7の出力信号20,21,22,23は出
力選択回路41に入力される。出力選択回路41はテス
トするメモリブロックの出力を選択してメモリブロック
テスト用出力信号32として外部に出力する。
【0011】図6の従来例は図5の従来例に比べ、メモ
リブロックテスト用入力端子、出力端子数を少なくでき
る。
【0012】図5および図6に示す従来の構成の半導体
集積回路装置のテスト方法を説明する。まず、通常の入
力信号1及び出力信号2の端子を使用し、半導体集積回
路装置全体のテストを行う。その際のテストは、一般的
には半導体集積回路装置全体の機能がテストできる内容
のテストで、個々のメモリブロックの詳細な機能がテス
トできるものにはなっていない。個々のメモリブロック
間の接続、外部とのインタフェース等のテストが主に行
われる。
【0013】半導体集積回路装置全体の機能テスト後、
個々のメモリブロック4〜7の詳細なテストを行う。個
々のメモリブロック4〜7の詳細なテストは、外部より
直接各メモリブロック4〜7に信号を入力し、それによ
る各メモリブロックの出力信号を外部にて判定して行
う。その場合のテスト用の信号の羅列をテストパターン
と一般的には呼んでいる。図7にメモリブロック4〜7
が複数個ある場合のテストパターンの構成を示す。全体
のテストパターン数は各々のメモリブロック用のテスト
パターン数の和になる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の半導
体集積回路装置においては、内蔵されるメモリブロック
4〜7のテストに使用するテストパターン数は、内蔵さ
れるメモリブロック各々のテストパターン数の総和であ
る。一般的にメモリブロック4〜7のテストは、各メモ
リセルの「1」,「0」状態の保持テスト、ビット間干
渉、バイト間干渉等の種々のテストが必要とされる。さ
らに、その記憶容量分のテストを行う必要がある。現
在、1000バイト容量のメモリブロックのテストを行
うためには約20000パターンのテストパターンが必
要とされている。現在、半導体集積回路装置は高集積
度、高速化の方向に進んでおり、内蔵されるメモリブロ
ック4〜7の数は今後、飛躍的に増加して行くと考えら
れ、メモリブロック4〜7のテストに必要なテストパタ
ーン数の増加も避けられない。テストパターン数の増加
により、それをテストする試験装置(以下、LSIテス
タと呼ぶ)の性能向上が必要となり、その性能に満たな
いテスタにてはテストできないという事態になり、テス
トできる場所が限定される。さらには、テストパターン
数の増加はそのままテスタ時間の増加につながり、本集
積回路装置の生産性(スループット)低下という問題が
生じる。
【0015】本発明の目的は、前記欠点を解決し、半導
体集積回路装置のテストにおけるテストパターン数の上
限に起因するテスタの制約がなく、また、生産性のよい
半導体集積回路装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、記憶容
量、記憶データ長の異なる複数のメモリ回路と、テスト
用の入力信号と通常使用時の入力信号とのいずれか一方
を前記メモリ回路に供給する信号選択回路とを含む複数
のメモリブロックを備えた半導体集積回路において、上
記複数のメモリブロックの内の1つのメモリブロックに
他の複数のメモリブロックをテストするためのテストパ
ターンを記憶し、該メモリブロックより他の複数のメモ
リブロックにテスト用の信号を出力するためのタイミン
グ信号を出力するテスト信号発生回路を設けたことであ
る。
【0017】
【発明の作用】まず、複数のメモリブロックの内の1つ
がテストされ、該メモリブロックのメモリ回路に他のメ
モリブロックのテスト用テストパターンを記憶させる。
次に、テスト信号発生回路が上記1つのメモリブロック
にタイミング信号を供給してテストパターンを読み出
し、他のメモリブロックをテストする。
【0018】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0019】図1は本発明の第1実施例の構成を示すブ
ロック図である。
【0020】図1において、本半導体集積回路装置を通
常に使用する時、入力信号1は内部信号バス3を通っ
て、メモリブロック4,メモリブロック5,メモリブロ
ック6,メモリブロック7に入力される。各メモリブロ
ック4〜7は本来の本メモリブロックに期待される機能
を果たすメモリ回路8,メモリ回路9,メモリ回路1
0,メモリ回路11と、メモリ回路8〜11に通常の入
力信号16,17,18,19を入力するか、メモリブ
ロック個々のテスト時の入力信号20を入力するか選択
するセレクタ回路12,13,14,15にて構成され
ている。
【0021】また、本実施例の半導体集積回路装置に含
まれる複数のメモリブロック4〜7の機能を試験するた
めに、複数のメモリブロック4〜7の内の1つのメモリ
ブロックには、他のメモリブロックをテストするための
テストパターンが記憶され、そのテストパターンを複数
のメモリブロックに入力するためのタイミング信号を出
力するテスト信号発生回路31を含んでいる。
【0022】メモリブロック4,メモリブロック5,メ
モリブロック6,メモリブロック7は入力されたテスト
用入力信号20により動作し、その結果をメモリブロッ
クテスト用出力信号26,27,28,29に出力す
る。メモリブロックテスト用出力信号26,27,2
8,29は半導体集積回路装置の外部テスタにて測定し
個々のメモリブロック4〜7の良否判定を行う。
【0023】次に本実施例の動作も含めて本実施例の特
徴を図4を参照して説明する。
【0024】図4は本半導体集積回路装置に内蔵される
複数のメモリブロックのテストの手順をフローチャート
に表したものである。まず、複数のメモリブロック4〜
7の内の1つであるテスト信号発生回路を内蔵している
メモリ回路8のテストを行う。メモリ回路8のテストは
本半導体集積回路装置の外部より入力されるメモリセル
ブロックテスト用入力信号24にて動作させ、メモリ回
路8からの出力信号であるメモリブロックテスト用出力
信号27を外部テスタにて測定し、メモリ回路8の良否
判定を行う。
【0025】次に、メモリ回路8の良が確認された後、
メモリ回路9,メモリ回路10,メモリ回路11のテス
トに移る。メモリ回路9,メモリ回路10,メモリ回路
11のテストに使用するテストパターンは、既にメモリ
回路8のテストを行った時にテストパターンとして記憶
されているので、そのテストパターンを使用する。すな
わち、メモリ回路8は、テスト信号発生回路31より出
力されるタイミング信号/アドレス信号により制御さ
れ、テストパターンが出力される。メモリ回路9,メモ
リ回路10,メモリ回路11はそのテストパターンを入
力して動作し、その結果をメモリブロックテスト用出力
信号26、メモリブロックテスト用出力信号28、メモ
リブロックテスト用出力信号29として外部に出力す
る。それらの信号は外部テスタにて測定され個々のメモ
リ回路の良否判定が行われる。
【0026】図2は本発明の第2実施例に係る半導体集
積回路装置の構成を示すブロック図である。第2実施例
の第1実施例との相異は、メモリブロックテスト用出力
信号27、メモリブロックテスト用出力信号26、メモ
リブロックテスト用出力信号28、メモリブロックテス
ト用出力信号29をセレクタ回路33に入力し、いずれ
か1系統のみのメモリブロックテスト用出力信号を外部
にメモリブロックテスト用出力信号32として出力する
ようにしたところにある。本実施例によれば第1実施例
に比べ必要な信号端子数が大幅に減少できる。
【0027】図3は本発明の第3実施例の半導体集積回
路装置の構成を示すブロック図である。第3実施例と第
1,第2実施例との相異は、個々のメモリブロック4〜
7からのテスト時の出力信号とメモリブロック4から出
力される出力信号20を比較照合し、比較結果を比較結
果信号35として出力する信号比較回路34を追加した
ことにある。
【0028】第1,第2実施例では個々のメモリブロッ
クのテスト時の出力信号を本半導体集積回路装置の外部
のLSIテスタにて判定するが、本実施例では本半導体
集積回路装置内部にてその判定機能を持つ。本実施例は
第1,第2実施例に比べ必要な信号の数およびテストパ
ターン数は、従来の半導体集積回路装置のテストパター
ン数と比較して、約1/(内蔵するメモリブロック数)
になるものと推定できる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体集積
回路装置においては、内蔵する各メモリブロックのテス
トのためのテストパターン数の上限に起因するLSIテ
スタの制約がなくなり、かつ、生産性のよい半導体集積
回路装置を実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る半導体集積回路装置
の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の第2実施例に係る半導体集積回路装置
の構成を示すブロック図である。
【図3】本発明の第3実施例に係る半導体集積回路装置
の構成を示すブロック図である。
【図4】第1実施例のテストの手順を示すフローチャー
トである。
【図5】従来の半導体集積回路装置の構成を示すブロッ
ク図である。
【図6】従来の半導体集積回路装置の構成を示すブロッ
ク図である。
【図7】メモリブロックが複数個ある場合のテストパタ
ーンの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 入力信号 2 出力信号 3 内部信号バス 4 メモリブロックA 5 メモリブロックB 6 メモリブロックC 7 メモリブロックC 8 メモリ回路A 9 メモリ回路B 10 メモリ回路C 11 メモリ回路D 12〜15 セレクタ回路 16〜19 入力信号 20〜23 出力信号 24 メモリブロックテスト用入力信号 25 メモリブロックテスト制御信号 26 メモリブロックBテスト用出力信号 27 メモリブロックAテスト用出力信号 28 メモリブロックCテスト用出力信号 29 メモリブロックDテスト用出力信号 30 メモリブロックテスト用入力信号 31 テスト信号発生回路 32 メモリブロックテスト用出力信号 33 セレクタ回路 34 信号比較回路 35 比較結果信号 36 メモリブロックBテスト用入力信号 37 メモリブロックAテスト用入力信号 38 メモリブロックCテスト用入力信号 39 メモリブロックDテスト用入力信号 40 入力選択回路 41 出力選択回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記憶容量、記憶データ長の異なる複数の
    メモリ回路と、テスト用の入力信号と通常使用時の入力
    信号とのいずれか一方を前記メモリ回路に供給する信号
    選択回路とを含む複数のメモリブロックを備えた半導体
    集積回路において、上記複数のメモリブロックの内の1
    つのメモリブロックに他の複数のメモリブロックをテス
    トするためのテストパターンを記憶し、該メモリブロッ
    クより他の複数のメモリブロックにテスト用の信号を出
    力するためのタイミング信号を出力するテスト信号発生
    回路を設けたことを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路装置にお
    いて、複数のメモリブロックから出力される出力信号の
    内の1つを選択して該半導体集積回路装置の外部に出力
    する信号選択回路を有することを特徴とする半導体集積
    回路装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の半導体集積回路
    装置において、複数のメモリブロックの内の1つのテス
    ト信号発生回路を有するメモリブロックから出力される
    出力信号とその他のメモリブロックから出力される出力
    信号とを比較照合し、比較結果を出力する信号比較回路
    を有することを特徴とする半導体集積回路装置。
JP4163678A 1992-05-29 1992-05-29 半導体集積回路装置 Pending JPH05334899A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007193882A (ja) * 2006-01-18 2007-08-02 Fujitsu Ltd メモリ試験方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007193882A (ja) * 2006-01-18 2007-08-02 Fujitsu Ltd メモリ試験方法

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