JPH05331623A - 高機能材料膜形成方法 - Google Patents
高機能材料膜形成方法Info
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- C23C14/0676—Oxynitrides
Abstract
より調整し、製品の付加価値を高めた被膜を形成するこ
とを目的とする。 【構成】 真空チャンバ1と、該真空チャンバ1内に設
けられた基板3と、該基板3に対して高硬度材料原子を
放射させる蒸発源4と、前記基板3に対して窒素ガス及
び酸素ガス、または窒素イオン及び酸素イオンを照射す
るアシストガン5と、を有し、前記基板3上に、前記高
硬度材料原子、窒素、及び酸素を成分とする高機能材料
膜を形成する方法であって、前記真空チャンバ1内の酸
素供給分圧を10-4Torr以下に設定して、前記基板
3上に高機能材料膜を形成する。
Description
他の刃物に形成される高硬度を有する材料の被膜に関す
るものである。
刃先にアルゴンイオンのイオン注入処理を施しながらチ
タンの真空蒸着処理を施し、刃先表面にチタンの硬質の
混合層を形成する技術が開示されている。
処理、及びイオン注入処理を効果的に行うための蒸着条
件、イオン加速電圧、イオン注入量などの条件が開示さ
れているものの、これらの条件と刃先の色調との関係に
ついては開示されておらず、どの条件が刃物に対して最
も適しているか不明瞭であった。
は刃先に高硬度の被膜処理を行う場合において、被膜形
成条件と色調等との関係については十分な研究が成され
ていなかった。
される技術レベルの高さが商品の付加価値を高める重要
なファクターになっており、特に消費者に対して有効な
ファクターはその製品の外観及び色彩であるから、この
色彩を被膜で制御することができれば好都合となる。
あって、被膜の色調を、該被膜の形成条件により調整
し、製品の付加価値を高めた被膜を形成することであ
る。
バと、該真空チャンバ内に設けられた基板と、該基板に
対して高硬度材料原子を放射させる蒸発源と、前記基板
に対して窒素ガス及び酸素ガス、または窒素イオン及び
酸素イオンを照射するアシストガンと、を有し、前記基
板上に、前記高硬度材料原子、窒素、及び酸素を成分と
する高機能材料膜を形成する方法であって、前記真空チ
ャンバ内の酸素供給分圧を10-4Torr以下に設定し
て、前記基板上に高機能材料膜を形成することを特徴と
する。
制御することにより、所望の色調を有し、且つ色ムラの
無い高機能材料膜を刃物等の基板上に形成することがで
きる。
電気かみそり刃に対する窒化ジルコニウム(ZrN)被
膜の形成方法について図面を用いて詳細に説明する。
形成するための真空蒸着、及びイオン注入装置を示し、
1は10-5〜10-7Torrに排気される真空チャン
バ、2は真空チャンバ1内に配置されて図の矢印方向に
10〜20rpmの速度で回転可能にされた基板ホル
ダ、3はニッケル(Ni)の基板、4は電子ビームによ
って高硬度材料原子としてのジルコニウム(Zr)原子
を蒸発させて基板3に向けて放射する蒸発源、5は基板
3の方向に窒素イオン(N+)及び酸素イオン(O+)を
照射するか、または窒素ガス(N2)及び酸素ガス
(O2)を供給するかのいずれかを行うことができるア
シストガンである。
能材料膜を形成するいくつかの実施例について説明す
る。 [第1実施例]気体雰囲気中で蒸発源4により高硬度材
料原子を基板3に向けて放射することによって被膜を形
成する方法について説明する。この時の気体としては、
アシストガン5から供給されるN2及びO2の混合ガスを
用い、蒸発源4からはZrを蒸発させるものとする。
らN2ガスを0.8×10-4Torr、O2ガスを1.0
×10-4Torrの分圧になるように供給する。
としてZr原子を蒸発させて基板3の表面に放射する。
この時のZr原子の蒸発速度は基板3上での成膜速度に
換算して650Å/minに設定した。これによりZr
原子とN2ガス及びO2ガスが反応し、基板3上にO2が
含まれたZrN被膜が形成される。
の表面に膜厚約0.3μmの、酸素を含むZrNの薄膜
を形成した。この薄膜は透光性の膜であり、硬度はビッ
カース硬度で1400Hvであった。尚、このビッカー
ス硬度はJIS G0202の規格に基づいて測定し
た。
O2ガスの供給分圧を変化させることによって、膜の色
調を変化させることができるがこのことについては後述
する。 [第2実施例]気体のアシストイオンを薄膜を形成する
ための基板3に向けて照射すると同時に、蒸発源4より
高硬度材料原子を基板3に向けて放射することによって
基板3の表面に気体イオンの作用を受けた高硬度材料原
子からなる被膜を形成する方法について説明する。
orrに排気し、アシストガン5にN2ガスを0.8×
10-4Torr、O2ガスを1×10-4Torrになる
ように供給することによって、N+イオン、及びO+イオ
ンを取り出し、これらの各イオンを基板3の表面に照射
する。この時のN+イオン、及びO+イオンの加速電圧は
250eV、イオン電流密度0.2mA/cm2で設定
した。
同時に蒸発源4を駆動し、Zr原子を蒸発させて基板3
の表面に放射する。この時のZrの蒸発速度は基板3上
での成膜速度に換算して650Å/minに設定した。
の表面に膜厚0.3μmの、酸素を含むZrNの薄膜を
形成した。この膜もやはり透光性を有し、ビッカース硬
度は1450Hvであった。
O2ガスの供給分圧を変化させることによって、膜の色
調を変化させることができるがこのことについては後述
する。 [第3実施例]常温で気体となる原子のイオンを薄膜に
形成するための基板3に向けて照射すると同時に蒸発源
4より高硬度材料原子を基板3に向けて放射することに
よって、基板3の表面に前記イオンの作用を受けた高硬
度材料原子からなる第1薄膜層を形成するとともに、前
記気体の雰囲気中で蒸発源4より高硬度材料を第1薄膜
層に向けて放射することによって第1薄膜層の表面に第
2薄膜層を形成する被膜の形成方法について説明する。
尚、この時の被膜の断面図を図2に示す。
orrに排気し、アシストガン5にN2ガスを0.8×
10-4Torr、O2ガスを1×10-4Torrになる
ように供給することによって、N+イオン、及びO+イオ
ンを取り出し、これらの各イオンを基板3の表面に照射
する。この時のN+イオン、及びO+イオンの加速電圧は
700eV、イオン電流密度は0.38mA/cm2に
設定した。
照射と同時に蒸発源4を駆動し、高硬度材料原子として
のZr原子を蒸発させて基板3の表面に放射する。この
時のZrの蒸発速度は基板3上での成膜速度に換算して
650Å/minに設定した。
めて、アシストガン5よりイオン化されていないN2ガ
ス、及びO2ガスを真空チャンバ1内に供給するととも
に、このガス雰囲気中で蒸発源4よりZr原子を基板3
上の第1薄膜層6表面に向かって放射した。この時のZ
rの蒸発速度は第1薄膜層6表面での成膜速度に換算し
て650Å/minに設定した。
い、ZrNの第1薄膜層6表面に、膜厚0.26〜0.
29μmを有するもう一層のZrNの第2薄膜層7を形
成した。
厚0.3μmの酸素を含むZrN被膜を形成した。この
時の被膜のビッカース硬度は約1500Hvであり、透
光性を有する膜であった。
O2ガスの供給分圧を変化させることによって、膜の色
調を変化させることができるがこのことについては後述
する。 [膜の色調調整]図3、及び図4は上記第1〜第3実施
例に記載の形成方法を用いて酸素を含むZrN膜を形成
するに際し、被膜形成時の酸素ガス供給分圧を変えて被
膜を形成した時の透明度の変化、及び色差の変化を夫々
示したものである。尚、被膜形成時の窒素ガス供給分圧
は0.8×10-4Torrに設定した。
された基板3表面において、約10cm離れた2ケ所の
色差をCIELAB(国際照明学会が定めたL*a*b*
色空間をいう)で評価した結果である。CIELABの
色差は、1で色を並べた場合に人間の目で若干差が分か
る程度、5で明らかに色の差が分かる程度、10以上で
異なった色に見える程度である。つまり、この色差の値
により、人間の目で見て被膜に色ムラを感じるか否か判
断することができる。
より測定した透過率により評価した結果である。
は、酸素ガス供給分圧が1×10-4Torrまでは、酸
素ガス供給分圧が大きくなるに従い高くなり、酸素ガス
供給分圧が1×10-4Torr以上では殆ど変化が見ら
れない。
ときには、ZrN被膜の色調は透明度の低い金色を呈
し、又酸素ガス供給分圧が1×10-4Torrのときに
は、透明度の高い干渉色を呈している。
rr以下では、その供給分圧を変化させることによっ
て、透明度を変えて色調を金色から干渉色にわたる種々
の色に変化させることができる。
差は、酸素ガス供給分圧が1×10- 4Torr以下で
は、色差が1前後と小さい値となっているが、1×10
-4Torr以上では、色差が急激に大きくなっている。
rr以下では、その供給分圧を変化させても色差が1前
後であり人間の目で見てほとんど色ムラを感じないが、
酸素ガス供給分圧を1×10-4Torr以上では、その
供給分圧の増加にともない色差が急激に大きくなり人間
の目で見て明らかに色ムラを感じることになる。
8×10-4Torrに設定した場合について説明した
が、その他の値であっても略同様の傾向を有し、特に窒
素ガス供給分圧が0.4×10-4Torr〜1.5×1
0-4Torrの場合には図3及び図4とも同じ値となっ
た。
orr以下では、その酸素ガス供給分圧を変化させるこ
とによって、透明度を変化させて色調が変化させること
ができると共に、被膜上における色差を小さく、つまり
色ムラの無い被膜を形成することが可能となる。
rr以上では、色調に殆ど変化が見られず、且つ色差が
大きくなり色調の調整には好ましくないことが分かる。
て蒸発源4よりZr原子を蒸発させてZrN被膜を形成す
る場合について説明したが、この他に高硬度材料原子と
して蒸発源4よりTi原子を蒸発させてTiN被膜を形成
する場合についても、本発明の適用が可能である。
成時の酸素供給分圧を制御することにより、所望の色調
を有し、且つ色ムラの無い高機能材料膜を刃物等の基板
上に形成することができる。
て、製品の付加価値を高めることが可能となる。
例を示す図である。
る。
度との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】真空チャンバと、 該真空チャンバ内に設けられた基板と、 該基板に対して高硬度材料原子を放射させる蒸発源と、 前記基板に対して窒素ガス及び酸素ガス、または窒素イ
オン及び酸素イオンを照射するアシストガンと、を有
し、 前記基板上に、前記高硬度材料原子、窒素、及び酸素を
成分とする高機能材料膜を形成する方法であって、 前記真空チャンバ内の酸素供給分圧を10-4Torr以
下に設定して、前記基板上に高機能材料膜を形成するこ
とを特徴とする高機能材料膜形成方法。 - 【請求項2】上記高硬度材料原子はジルコニウムまたは
チタンである請求項1記載の高機能材料膜形成方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4142745A JP2840502B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 高機能材料膜形成方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4142745A JP2840502B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 高機能材料膜形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05331623A true JPH05331623A (ja) | 1993-12-14 |
JP2840502B2 JP2840502B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=15322593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4142745A Expired - Lifetime JP2840502B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 高機能材料膜形成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5458928A (ja) |
JP (1) | JP2840502B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081016 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091016 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101016 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111016 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 14 |