JPH05330809A - 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム粉末およびその製造方法Info
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- JPH05330809A JPH05330809A JP4162091A JP16209192A JPH05330809A JP H05330809 A JPH05330809 A JP H05330809A JP 4162091 A JP4162091 A JP 4162091A JP 16209192 A JP16209192 A JP 16209192A JP H05330809 A JPH05330809 A JP H05330809A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
［目的］ 低酸素、低炭素、易焼結性の窒化アルミニウ
ム粉末ならびにその製造方法の提供。 ［構成］ 窒化アルミニウムの粉末は１次粒子の平均粒
径が０．２〜２．０μｍ、２次粒子の平均粒径が３〜２
０μｍ、酸素含有量０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量
０．１ｗｔ％以下、残部が窒化アルミニウム粉末のもの
からなり、また、その製造法はα−Ａｌ2Ｏ3と炭素源と
の混合物から還元窒化法により窒素を含む非酸化性雰囲
気下１５００〜１７５０℃の高温で加熱反応させる。
ム粉末ならびにその製造方法の提供。 ［構成］ 窒化アルミニウムの粉末は１次粒子の平均粒
径が０．２〜２．０μｍ、２次粒子の平均粒径が３〜２
０μｍ、酸素含有量０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量
０．１ｗｔ％以下、残部が窒化アルミニウム粉末のもの
からなり、また、その製造法はα−Ａｌ2Ｏ3と炭素源と
の混合物から還元窒化法により窒素を含む非酸化性雰囲
気下１５００〜１７５０℃の高温で加熱反応させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は低酸素、低炭素、易焼結
性の窒化アルミニウム粉末およびその製造方法に係るも
のである。
性の窒化アルミニウム粉末およびその製造方法に係るも
のである。
【０００２】
【従来の技術】窒化アルミニウム（以下Ａ１Ｎと記す）
は、その優れた機械的特性、化学的耐用性の故に耐熱材
料として用いられるだけでなく、その高熱伝導性、高電
気絶縁性、低誘電率の故に半導体関係の放熱材料として
も期待されている。ＡｌＮは一部薄膜の形態で利用され
る場合もあるが、多くの場合焼結体で用いられている。
ＡｌＮ焼結体が放熱用材料として用いられる場合は、特
に熱伝導率が重要な特性となるが、高熱伝導性焼結体を
得るためには、低酸素、低炭素でかつ易焼結性を付与す
るために微細な原料ＡｌＮ粉を使用しなければならな
い。
は、その優れた機械的特性、化学的耐用性の故に耐熱材
料として用いられるだけでなく、その高熱伝導性、高電
気絶縁性、低誘電率の故に半導体関係の放熱材料として
も期待されている。ＡｌＮは一部薄膜の形態で利用され
る場合もあるが、多くの場合焼結体で用いられている。
ＡｌＮ焼結体が放熱用材料として用いられる場合は、特
に熱伝導率が重要な特性となるが、高熱伝導性焼結体を
得るためには、低酸素、低炭素でかつ易焼結性を付与す
るために微細な原料ＡｌＮ粉を使用しなければならな
い。
【０００３】ＡｌＮ粉末は、従来、金属アルミニウムの
直接窒化法またはアルミナの還元窒化法で製造されてい
る。前者の方法では窒化率を上げるため原料である金属
アルミニウムを粉砕する段階、および生成したＡｌＮを
焼結用原料として最適な数μｍ以下の粒度に粉砕する段
階の両工程で、混入する不純物を避けることが困難なた
め、あるいは未反応の金属アルミニウムが必然的に残存
するため、通常０．５〜数重量％の陽イオン不純物を含
有するものが得られていた。また、該粉末は粉砕の際に
表面の酸化を受けるため酸素を１重量％以上含有するの
が一般的であった。
直接窒化法またはアルミナの還元窒化法で製造されてい
る。前者の方法では窒化率を上げるため原料である金属
アルミニウムを粉砕する段階、および生成したＡｌＮを
焼結用原料として最適な数μｍ以下の粒度に粉砕する段
階の両工程で、混入する不純物を避けることが困難なた
め、あるいは未反応の金属アルミニウムが必然的に残存
するため、通常０．５〜数重量％の陽イオン不純物を含
有するものが得られていた。また、該粉末は粉砕の際に
表面の酸化を受けるため酸素を１重量％以上含有するの
が一般的であった。
【０００４】一方、後者の方法では、不純物としての金
属イオン含有量が少なく微細かつ粒度の揃った窒化アル
ミニウムを合成できるが、還元剤として過剰に添加した
炭素を還元窒化後、酸化雰囲気下で酸化除去するいわゆ
る脱炭工程を必要とする。その際窒化アルミニウムも酸
化されるので酸素量も増加する。この酸素増加量は、粒
径が小さくなるにつれ（比表面積が増加するにつれ）増
加するため低酸素であることと微細であることは矛盾す
る要求であった。そのため酸素量を低減すべく種々の工
夫がなされている。例えば脱炭工程において雰囲気をコ
ントロ−ルし酸素量を制御する方法も提案されている
（例えば特開昭６０−１８０９０６号公報）。この方法
によれば酸素量は、０．８ｗｔ％まで低下するものの、
炭素量が増大し０．１ｗｔ％以上となり焼結性を損なう
問題が生じる。また、脱炭工程を経た後、高真空で加熱
すると酸素を低減できるが、生産効率が低く工業的では
ない。
属イオン含有量が少なく微細かつ粒度の揃った窒化アル
ミニウムを合成できるが、還元剤として過剰に添加した
炭素を還元窒化後、酸化雰囲気下で酸化除去するいわゆ
る脱炭工程を必要とする。その際窒化アルミニウムも酸
化されるので酸素量も増加する。この酸素増加量は、粒
径が小さくなるにつれ（比表面積が増加するにつれ）増
加するため低酸素であることと微細であることは矛盾す
る要求であった。そのため酸素量を低減すべく種々の工
夫がなされている。例えば脱炭工程において雰囲気をコ
ントロ−ルし酸素量を制御する方法も提案されている
（例えば特開昭６０−１８０９０６号公報）。この方法
によれば酸素量は、０．８ｗｔ％まで低下するものの、
炭素量が増大し０．１ｗｔ％以上となり焼結性を損なう
問題が生じる。また、脱炭工程を経た後、高真空で加熱
すると酸素を低減できるが、生産効率が低く工業的では
ない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題を解
決することを目的とし、具体的には、低酸素、低炭素、
低陽イオンでかつ微細なＡｌＮ粉末は従来から全く知ら
れていないこと、また、このようなＡｌＮ粉末を工業的
に製造する方法はまだ確立されていないことから、高熱
伝導性ＡｌＮ焼結体を得るためのＡｌＮ粉末とその製造
方法を提案することを目的とするものである。
決することを目的とし、具体的には、低酸素、低炭素、
低陽イオンでかつ微細なＡｌＮ粉末は従来から全く知ら
れていないこと、また、このようなＡｌＮ粉末を工業的
に製造する方法はまだ確立されていないことから、高熱
伝導性ＡｌＮ焼結体を得るためのＡｌＮ粉末とその製造
方法を提案することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の第１
発明は１次粒子の平均粒径が０．２〜２．０μｍ、該１
次粒子が凝結した凝結２次粒子の平均粒径が３〜２０μ
ｍ、酸素含有量が０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量が
０．１ｗｔ％以下であることを特徴とし、また、第２発
明は３〜２０μｍのα−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3
前駆体と炭素源を混合した後、この混合粉末を窒素を含
む非酸化雰囲気中で１５００〜１７５０℃の温度で加熱
反応させることを特徴とする。
発明は１次粒子の平均粒径が０．２〜２．０μｍ、該１
次粒子が凝結した凝結２次粒子の平均粒径が３〜２０μ
ｍ、酸素含有量が０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量が
０．１ｗｔ％以下であることを特徴とし、また、第２発
明は３〜２０μｍのα−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3
前駆体と炭素源を混合した後、この混合粉末を窒素を含
む非酸化雰囲気中で１５００〜１７５０℃の温度で加熱
反応させることを特徴とする。
【０００７】以下、本発明の手段たる構成ならびにその
作用について第１発明から順に説明する。
作用について第１発明から順に説明する。
【０００８】本発明者らは低酸素、低炭素、低陽イオン
でかつ微細なＡｌＮ粉末を得る方法について研究開発を
行なった結果、本発明は成立したものである。
でかつ微細なＡｌＮ粉末を得る方法について研究開発を
行なった結果、本発明は成立したものである。
【０００９】更に進んで研究を行なった結果、各成分の
範囲ならびに更に好ましい成分の範囲は次の通りである
ことがわかった。
範囲ならびに更に好ましい成分の範囲は次の通りである
ことがわかった。
【００１０】本発明のＡｌＮ粉末は、１次粒子の平均粒
径が０．２〜２．０μｍ、好ましくは０．５〜１．０μ
ｍの範囲にあり、該１次粒子が凝結した凝結２次粒子の
平均粒径が３〜２０μｍ好ましくは５〜１２μｍの範囲
にあり、かつ酸素含有量が０．２〜１．０ｗｔ％好まし
くは０．５〜０．８ｗｔ％で炭素含有量が０．１ｗｔ％
以下であることを特徴とする。
径が０．２〜２．０μｍ、好ましくは０．５〜１．０μ
ｍの範囲にあり、該１次粒子が凝結した凝結２次粒子の
平均粒径が３〜２０μｍ好ましくは５〜１２μｍの範囲
にあり、かつ酸素含有量が０．２〜１．０ｗｔ％好まし
くは０．５〜０．８ｗｔ％で炭素含有量が０．１ｗｔ％
以下であることを特徴とする。
【００１１】次に、本発明において用いられる用語につ
いて図面に基づいて説明する。
いて図面に基づいて説明する。
【００１２】図１は本発明の一つの実施例に用いられる
α−Ａｌ2Ｏ3粒子の拡大説明図であり、図２は図１のα
−Ａｌ2Ｏ3粒子を還元窒化法により窒化した時のクラス
タ−の拡大説明図であり、図３は図２のクラスタ−の混
練による解砕状態を示す説明図である。
α−Ａｌ2Ｏ3粒子の拡大説明図であり、図２は図１のα
−Ａｌ2Ｏ3粒子を還元窒化法により窒化した時のクラス
タ−の拡大説明図であり、図３は図２のクラスタ−の混
練による解砕状態を示す説明図である。
【００１３】本発明で述べる凝結２次粒子とは、図１な
らびに図２に示すα−Ａｌ2Ｏ3の１次粒子１が凝結して
出来たクラスタ−３（以下凝結２次粒子をクラスタ−と
呼ぶ）のことであり、また、図２に示す１次粒子の平均
粒径とは、走査型電子顕微鏡を用い５０００倍で撮影し
た写真をもとに測定した１次粒子径の平均値であり、ま
た、クラスタ−の平均粒径とは、（株）堀場製作所のＣ
ＡＰＡ７００型遠心沈降式粒度分布測定器を用い水を分
散媒としｐＨを２．０〜４．０に調整した溶液を５分間
超音波分散させて測定した粒径分布の体積平均値を示す
ものである。
らびに図２に示すα−Ａｌ2Ｏ3の１次粒子１が凝結して
出来たクラスタ−３（以下凝結２次粒子をクラスタ−と
呼ぶ）のことであり、また、図２に示す１次粒子の平均
粒径とは、走査型電子顕微鏡を用い５０００倍で撮影し
た写真をもとに測定した１次粒子径の平均値であり、ま
た、クラスタ−の平均粒径とは、（株）堀場製作所のＣ
ＡＰＡ７００型遠心沈降式粒度分布測定器を用い水を分
散媒としｐＨを２．０〜４．０に調整した溶液を５分間
超音波分散させて測定した粒径分布の体積平均値を示す
ものである。
【００１４】次に、本発明の第２発明について説明す
る。
る。
【００１５】本発明において使用される原料例えばα−
Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の平均粒径は３〜
２０μｍであり、原料の平均粒径が３μｍより小さいと
合成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径も３μｍよ
り小さくなり、逆に平均粒径が２０μｍより大きいと合
成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径も２０μｍよ
り大きくなる。
Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の平均粒径は３〜
２０μｍであり、原料の平均粒径が３μｍより小さいと
合成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径も３μｍよ
り小さくなり、逆に平均粒径が２０μｍより大きいと合
成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径も２０μｍよ
り大きくなる。
【００１６】合成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒
径が３μｍより小さいと、比表面積が大きくなり脱炭工
程で酸素含有量を１．０ｗｔ％以下かつ炭素含有量を
０．１ｗｔ％以下に制御することは困難となる。逆に合
成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径が２０μｍよ
り大きいと、成形前の混練においてクラスタ−が解砕さ
れ難くなり、その結果、緻密な焼結体が得られなくな
る。α−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の純度
は、特に限定するものではないが、陽イオン不純物は、
０．１ｗｔ％以下であることが好ましい。また、カ−ボ
ン粉末としては、カ−ボンブラック、黒鉛化カ−ボンブ
ラック、黒鉛粉末等が使用されるが、これらの中カ−ボ
ンブラックが好ましい。これらの原料を湿式あるいは乾
式において十分混合し必要により乾燥、脱水の各工程を
経て、窒素を含む非酸化性雰囲気下にて１５００〜１７
５０℃の温度で焼成する。焼成温度が１５００℃より低
いと反応速度が小さく焼成後にもα−Ａｌ2Ｏ3が残留す
る。また、逆に１７５０℃より高いと１次粒子が２μｍ
より大きくなり焼結性が損なわれる。α−Ａｌ2Ｏ3ある
いはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体とカ−ボン粉末の混合を充分に
行なわないと窒化反応速度が小さくなり焼成後にもα−
Ａｌ2Ｏ3が残留するため特に留意しなければならない。
詳細な還元窒化反応の機構は不明であるが、本発明にお
いては１次粒子径は窒化温度で制御され、クラスタ−径
は原料の粒径で制御される。
径が３μｍより小さいと、比表面積が大きくなり脱炭工
程で酸素含有量を１．０ｗｔ％以下かつ炭素含有量を
０．１ｗｔ％以下に制御することは困難となる。逆に合
成されたＡｌＮ粉末のクラスタ−平均粒径が２０μｍよ
り大きいと、成形前の混練においてクラスタ−が解砕さ
れ難くなり、その結果、緻密な焼結体が得られなくな
る。α−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の純度
は、特に限定するものではないが、陽イオン不純物は、
０．１ｗｔ％以下であることが好ましい。また、カ−ボ
ン粉末としては、カ−ボンブラック、黒鉛化カ−ボンブ
ラック、黒鉛粉末等が使用されるが、これらの中カ−ボ
ンブラックが好ましい。これらの原料を湿式あるいは乾
式において十分混合し必要により乾燥、脱水の各工程を
経て、窒素を含む非酸化性雰囲気下にて１５００〜１７
５０℃の温度で焼成する。焼成温度が１５００℃より低
いと反応速度が小さく焼成後にもα−Ａｌ2Ｏ3が残留す
る。また、逆に１７５０℃より高いと１次粒子が２μｍ
より大きくなり焼結性が損なわれる。α−Ａｌ2Ｏ3ある
いはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体とカ−ボン粉末の混合を充分に
行なわないと窒化反応速度が小さくなり焼成後にもα−
Ａｌ2Ｏ3が残留するため特に留意しなければならない。
詳細な還元窒化反応の機構は不明であるが、本発明にお
いては１次粒子径は窒化温度で制御され、クラスタ−径
は原料の粒径で制御される。
【００１７】従来は、平均粒径の大きなα−Ａｌ2Ｏ3あ
るいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体を原料とすれば、還元反応後
に未反応のα−Ａｌ2Ｏ3が残留するものと考えられてき
た。また、たとえ完全に窒化しても平均粒径の大きなα
−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体を原料とすれ
ば、合成されたＡｌＮ粉末の平均粒径も大きくなり焼結
性も低下するものと考えられてきた。しかし、原料の混
練を充分に行ない適切な還元窒化条件を選べばα−Ａｌ
2Ｏ3は残留せず、合成されたＡｌＮ粉末は、用いたα−
Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の微構造に関係な
く１次粒子とそれらが凝結したクラスタ−からなること
が分かった。また、さらにこのクラスタ−は図３に示す
ように通常の混練で解砕されることが分かった。
るいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体を原料とすれば、還元反応後
に未反応のα−Ａｌ2Ｏ3が残留するものと考えられてき
た。また、たとえ完全に窒化しても平均粒径の大きなα
−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体を原料とすれ
ば、合成されたＡｌＮ粉末の平均粒径も大きくなり焼結
性も低下するものと考えられてきた。しかし、原料の混
練を充分に行ない適切な還元窒化条件を選べばα−Ａｌ
2Ｏ3は残留せず、合成されたＡｌＮ粉末は、用いたα−
Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ2Ｏ3前駆体の微構造に関係な
く１次粒子とそれらが凝結したクラスタ−からなること
が分かった。また、さらにこのクラスタ−は図３に示す
ように通常の混練で解砕されることが分かった。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明
する。
する。
【００１９】実施例１〜３、比較例４〜６ 表１に示す方法でＡｌＮ粉末製造用の混合物を作製し、
この混合物を窒素雰囲気中１７００℃、１０時間焼成し
た後、大気雰囲気中６５０℃、５時間で脱炭しＡｌＮ粉
末を得た。いずれの例においても、α−Ａｌ2Ｏ3に換算
した場合のα−Ａｌ2Ｏ3：カ−ボンブラックの重量比が
１：０．５になるよう配合し、ナイロンボ−ル、ナイロ
ンポットを用い水を分散媒として混合した。カ−ボンブ
ラックには平均粒子径０．１μｍのカ−ボンブラックを
用いた。なお、表１に示す実施例〜は本発明の製造
条件に適合する実施例であり、比較例、、は実施
例と対比する比較例である。
この混合物を窒素雰囲気中１７００℃、１０時間焼成し
た後、大気雰囲気中６５０℃、５時間で脱炭しＡｌＮ粉
末を得た。いずれの例においても、α−Ａｌ2Ｏ3に換算
した場合のα−Ａｌ2Ｏ3：カ−ボンブラックの重量比が
１：０．５になるよう配合し、ナイロンボ−ル、ナイロ
ンポットを用い水を分散媒として混合した。カ−ボンブ
ラックには平均粒子径０．１μｍのカ−ボンブラックを
用いた。なお、表１に示す実施例〜は本発明の製造
条件に適合する実施例であり、比較例、、は実施
例と対比する比較例である。
【００２０】表１に示す方法で作製された試料を還元窒
化して得られたＡｌＮ粉末の特性を表２に示した。Ａｌ
Ｎ粉末の酸素量は、実施例、、と比較例の場合
０．８ｗｔ％以下であるが、比較例、の場合１．０
ｗｔ％以上となり、実施例、、に比較して大きい
ことが分かる。また、１次粒子の平均粒径はいずれの場
合も０．５〜０．８μｍの範囲に入っているにもかかわ
らず、クラスタ−の平均粒径は、実施例、、の場
合４〜２０μｍ、比較例、の場合３μｍ以下、比較
例の場合は３５μｍであった。得られた粉末を用いて
焼結体を作製し、密度と熱伝導率を測定して粉末を評価
した。焼結助剤としてＹ2Ｏ3を３ｗｔ％添加したＡｌＮ
とＹ2Ｏ3の混合粉のペレットをプレス成形で作製し窒素
雰囲気下、１９００℃×３時間の条件で焼成した。実施
例、、と比較例、の密度では９９．８％以下
であり、十分に緻密化していることが分かったが、比較
例の密度は９７％で緻密化が不十分であった。一方、
熱伝導率は、実施例、、の場合１９０Ｗ／ｍＫ以
上であったが、比較例、、では１６０Ｗ／ｍＫ以
下であった。
化して得られたＡｌＮ粉末の特性を表２に示した。Ａｌ
Ｎ粉末の酸素量は、実施例、、と比較例の場合
０．８ｗｔ％以下であるが、比較例、の場合１．０
ｗｔ％以上となり、実施例、、に比較して大きい
ことが分かる。また、１次粒子の平均粒径はいずれの場
合も０．５〜０．８μｍの範囲に入っているにもかかわ
らず、クラスタ−の平均粒径は、実施例、、の場
合４〜２０μｍ、比較例、の場合３μｍ以下、比較
例の場合は３５μｍであった。得られた粉末を用いて
焼結体を作製し、密度と熱伝導率を測定して粉末を評価
した。焼結助剤としてＹ2Ｏ3を３ｗｔ％添加したＡｌＮ
とＹ2Ｏ3の混合粉のペレットをプレス成形で作製し窒素
雰囲気下、１９００℃×３時間の条件で焼成した。実施
例、、と比較例、の密度では９９．８％以下
であり、十分に緻密化していることが分かったが、比較
例の密度は９７％で緻密化が不十分であった。一方、
熱伝導率は、実施例、、の場合１９０Ｗ／ｍＫ以
上であったが、比較例、、では１６０Ｗ／ｍＫ以
下であった。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明は１
次粒子の平均粒径が０．２〜２．０μｍ、該１次粒子が
凝結した凝結２次粒子の平均粒径が３〜２０μｍ、酸素
含有量が０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量が０．１ｗ
ｔ％以下、残部が実質的に窒化アルミニウムであること
を特徴とし、また、平均粒径が３〜２０μｍのα−Ａｌ
2Ｏ3前駆体と炭素源を混合した後、該混合粉末を窒素を
含む非酸化性雰囲気中、１５００〜１７５０℃の温度で
加熱反応させることを特徴とする。
次粒子の平均粒径が０．２〜２．０μｍ、該１次粒子が
凝結した凝結２次粒子の平均粒径が３〜２０μｍ、酸素
含有量が０．２〜１．０ｗｔ％、炭素含有量が０．１ｗ
ｔ％以下、残部が実質的に窒化アルミニウムであること
を特徴とし、また、平均粒径が３〜２０μｍのα−Ａｌ
2Ｏ3前駆体と炭素源を混合した後、該混合粉末を窒素を
含む非酸化性雰囲気中、１５００〜１７５０℃の温度で
加熱反応させることを特徴とする。
【００２４】本発明のＡｌＮ粉末を成形し焼結すると、
低酸素、低炭素、易焼結性の高熱伝導性焼結体が容易に
得られる。
低酸素、低炭素、易焼結性の高熱伝導性焼結体が容易に
得られる。
【００２５】また、本発明のＡｌＮ粉末を製造するには
平均粒径３〜２０μｍのα−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ
2Ｏ3前駆体と炭素源とを混合した後、この混合粉末を窒
素を含む非酸化性雰囲気下、１５００〜１７５０℃で加
熱反応させると所望のＡｌＮ粉末が得られる。
平均粒径３〜２０μｍのα−Ａｌ2Ｏ3あるいはα−Ａｌ
2Ｏ3前駆体と炭素源とを混合した後、この混合粉末を窒
素を含む非酸化性雰囲気下、１５００〜１７５０℃で加
熱反応させると所望のＡｌＮ粉末が得られる。
【図１】本発明の一つの実施例に用いられるα−Ａｌ2
Ｏ3粒子の拡大説明図である。
Ｏ3粒子の拡大説明図である。
【図２】図１のα−Ａｌ2Ｏ3粒子を還元窒化法により窒
化した時のクラスタ−の拡大説明図である。
化した時のクラスタ−の拡大説明図である。
【図３】図２のクラスタ−の混練による解砕状態を示す
説明図である。
説明図である。
１ α−Ａｌ2Ｏ3 ２ ＡｌＮ ３ ＡｌＮクラスタ−（凝結２次粒子） ４ 解砕されたＡｌＮ
Claims (2)
- 【請求項１】 １次粒子の平均粒径が０．２〜２．０μ
ｍ、該１次粒子が凝結した凝結２次粒子の平均粒径が３
〜２０μｍ、酸素含有量が０．２〜１．０ｗｔ％、炭素
含有量が０．１ｗｔ％以下、残部が実質的に窒化アルミ
ニウムであることを特徴とする窒化アルミニウム粉末。 - 【請求項２】 平均粒径が３〜２０μｍのα−Ａｌ2Ｏ3
前駆体と炭素源を混合した後、該混合粉末を窒素を含む
非酸化性雰囲気中、１５００〜１７５０℃の温度で加熱
反応させることを特徴とする窒化アルミニウムの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4162091A JPH05330809A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4162091A JPH05330809A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330809A true JPH05330809A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15747909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4162091A Pending JPH05330809A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05330809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007284315A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化アルミニウム粉末および樹脂組成物 |
| JP2021134132A (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-13 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粒子 |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP4162091A patent/JPH05330809A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007284315A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 窒化アルミニウム粉末および樹脂組成物 |
| JP4664229B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-04-06 | 電気化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム粉末および樹脂組成物 |
| JP2021134132A (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-13 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粒子 |
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