JP2518409B2 - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム粉末の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体用絶縁放熱基板材料等として好適に
使用し得る窒化アルミニウム粉末の製造方法に関する。
使用し得る窒化アルミニウム粉末の製造方法に関する。
従来の技術及び発明が解決しようとする課題 窒化アルミニウム（AlN）は理論的には酸化ベリリウ
ム（BeO）に匹敵する300W/m・Ｋの高熱伝導率を有し、
また絶縁性、誘電性などの電気的性質にも優れているこ
とから、現在大電力化や高集積化が進む半導体用絶縁放
熱基板に用いる材料として非常に注目されている。
ム（BeO）に匹敵する300W/m・Ｋの高熱伝導率を有し、
また絶縁性、誘電性などの電気的性質にも優れているこ
とから、現在大電力化や高集積化が進む半導体用絶縁放
熱基板に用いる材料として非常に注目されている。
かかる窒化アルミニウムの特性を生かした焼結基板を
得るには、原料の窒化アルミニウム粉末が（１）焼結性
の良好な粉末であること、（２）成形密度が高く、焼結
時の収縮が小さいこと、（３）高純度であることなどの
要求を満たしていることが必要であるが、従来上記３つ
の焼結特性を満足する窒化アルミニウムの製造方法は見
い出されていない。
得るには、原料の窒化アルミニウム粉末が（１）焼結性
の良好な粉末であること、（２）成形密度が高く、焼結
時の収縮が小さいこと、（３）高純度であることなどの
要求を満たしていることが必要であるが、従来上記３つ
の焼結特性を満足する窒化アルミニウムの製造方法は見
い出されていない。
即ち、従来より知られている窒化アルミニウム粉末の
合成法としては次の２つの方法が代表的なものである。
合成法としては次の２つの方法が代表的なものである。
金属アルミニウムを窒素中で窒化する方法（例えば
特開昭61−158805号公報）。
特開昭61−158805号公報）。
酸化アルミニウムや水酸化アルミニウムとカーボン
との粉末混合物を窒素中で還元窒化する方法（例えば特
開昭59−5008号公報）。
との粉末混合物を窒素中で還元窒化する方法（例えば特
開昭59−5008号公報）。
しかし、の方法は高純度の窒化アルミニウムが得ら
れ難い上、未反応の金属アルミニウムが残存したり、微
粉末を得るために粉砕工程を要し、この粉砕工程からの
不純物の混入が避けられないことなどのため、高純度と
いう要求を満たすことができないものである。
れ難い上、未反応の金属アルミニウムが残存したり、微
粉末を得るために粉砕工程を要し、この粉砕工程からの
不純物の混入が避けられないことなどのため、高純度と
いう要求を満たすことができないものである。
一方、の方法は高純度の窒化アルミニウムを得る方
法として適しているものであるが、反応性の良好な微細
な（例えば平均粒子径が２μｍ以下の）アルミナ又は水
酸化アルミニウムを用いるため、得られる窒化アルミニ
ウム粉末のかさ密度が小さくなる。このため、充填性が
悪く、成形密度が低くなり、焼結時の収縮・変形が大き
くなるという問題がある。殊に、成形時の変化が重要な
ドクターブレード成形等においては問題が大きい。
法として適しているものであるが、反応性の良好な微細
な（例えば平均粒子径が２μｍ以下の）アルミナ又は水
酸化アルミニウムを用いるため、得られる窒化アルミニ
ウム粉末のかさ密度が小さくなる。このため、充填性が
悪く、成形密度が低くなり、焼結時の収縮・変形が大き
くなるという問題がある。殊に、成形時の変化が重要な
ドクターブレード成形等においては問題が大きい。
更に、一般に窒化アルミニウムの熱伝導率は不純物酸
素が減少すると増大することが知られており（電子通信
学会1986,10,29号,CPM86−59）、それ故、窒化アルミニ
ウムの優れた熱伝導性を損なわないため酸素含有量は0.
6％程度以下であることが望まれるが、の方法は得ら
れる窒化アルミニウム粉末の酸素含有量が通常１〜２％
であることも問題である。
素が減少すると増大することが知られており（電子通信
学会1986,10,29号,CPM86−59）、それ故、窒化アルミニ
ウムの優れた熱伝導性を損なわないため酸素含有量は0.
6％程度以下であることが望まれるが、の方法は得ら
れる窒化アルミニウム粉末の酸素含有量が通常１〜２％
であることも問題である。
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、高純度、
高かさ密度、低酸素、良焼結性などの特性を満足し、熱
伝導度の高い高品質な半導体用絶縁放熱基板材料として
好適に使用される窒化アルミニウム粉末の製造方法を提
供することを目的とする。
高かさ密度、低酸素、良焼結性などの特性を満足し、熱
伝導度の高い高品質な半導体用絶縁放熱基板材料として
好適に使用される窒化アルミニウム粉末の製造方法を提
供することを目的とする。
課題を解決するための手段及び作用 本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ね
た結果、平均粒子径が２〜20μｍ、比表面積が１〜3.5m
2/g、重装かさ密度が0.8g/cm3以上、純度が99.8％（重
量％、以下同じ）以上の酸化アルミニウム粉末及び／又
は水酸化アルミニウム粉末と平均粒子径が１μｍ以下の
カーボン粉末との混合物を還元窒化方法により製造した
場合、平均粒子径が１〜10μｍ、酸素含有量が0.6％以
下、アルミニウムを除く金属不純物の含有量が0.1％以
下、比表面積が１〜3.5m2/g及び重装かさ密度が0.8g/cm
3以上である窒化アルミニウム粉末が得られることを見
い出した。
た結果、平均粒子径が２〜20μｍ、比表面積が１〜3.5m
2/g、重装かさ密度が0.8g/cm3以上、純度が99.8％（重
量％、以下同じ）以上の酸化アルミニウム粉末及び／又
は水酸化アルミニウム粉末と平均粒子径が１μｍ以下の
カーボン粉末との混合物を還元窒化方法により製造した
場合、平均粒子径が１〜10μｍ、酸素含有量が0.6％以
下、アルミニウムを除く金属不純物の含有量が0.1％以
下、比表面積が１〜3.5m2/g及び重装かさ密度が0.8g/cm
3以上である窒化アルミニウム粉末が得られることを見
い出した。
即ち、従来、酸化アルミニウム粉末や水酸化アルミニ
ウム粉末とカーボン粉末との混合物を還元窒化する方法
においては、反応性を良好にしかつ焼結性を良好にする
ため、上述したように通常平均粒子径がサブミクロン程
度の酸化アルミニウムや水酸化アルミニウムを使用しな
ければならないとされてきたのであるが、原料にかかる
微粉を用いると、得られる窒化アルミニウム粉末も微細
になり、かさ密度が小さくなるため、成形体密度（グリ
ーン密度）が小さくなり、焼結時の収縮が大きくなって
変形が大となり、その上窒化アルミニウム粉末の酸素含
有量が１〜２％程度となってしまうものである。
ウム粉末とカーボン粉末との混合物を還元窒化する方法
においては、反応性を良好にしかつ焼結性を良好にする
ため、上述したように通常平均粒子径がサブミクロン程
度の酸化アルミニウムや水酸化アルミニウムを使用しな
ければならないとされてきたのであるが、原料にかかる
微粉を用いると、得られる窒化アルミニウム粉末も微細
になり、かさ密度が小さくなるため、成形体密度（グリ
ーン密度）が小さくなり、焼結時の収縮が大きくなって
変形が大となり、その上窒化アルミニウム粉末の酸素含
有量が１〜２％程度となってしまうものである。
これに対し、本発明者は、従来の常識に反して酸化ア
ルミニウム粉末や水酸化アルミニウム粉末の平均粒子径
を比較的大きい２〜20μｍの範囲、またカーボン粉末の
平均粒子径を１μｍ以下として還元窒化した場合、意外
にも粒子径が大きくても酸化アルミニウムが残存せず、
得られる窒化アルミニウムは酸素含有が0.6％以下とい
う極めて低酸素であり、従来の方法により得られた粉末
の酸素含有量が１〜２％であるのに比較して酸素含有量
が約50％もしくはそれ以下となり、高熱伝導用の窒化ア
ルミニウム原料として極めて有利であることを見い出し
た。更に、この窒化アルミニウム粉末は充填性が良好
で、従来の窒化アルミニウム粉末が軽装かさ密度0.2〜
0.3g/cm3、重装かさ密度0.4〜0.6g/cm3であるのに対
し、軽装かさ密度0.4〜0.6g/cm3、重装かさ密度0.8g/cm
3以上であるため、高密度の成形体が得られ、従って焼
結時の収縮・変形を少なくして焼結体の精度を高めるこ
とができること、特に成形時の変形が問題となるドクタ
ーブレード成形時においてはグリーン密度（成形密度）
の高いことが重要であるが、この点でも有利であること
を見い出した。また、得られる窒化アルミニウム粉末は
１〜10μｍと比較的大きい粒子径にもかかわらず、サブ
ミクロン粒径にならないと常圧焼結できないという定説
に反して、少量の添加助剤で容易に理論密度近くまで常
圧焼結すること、更に原料の純度を調節することにより
高純度な窒化アルミニウムが得られることを見い出し
た。従って、上述した製造方法で得られた窒化アルミニ
ウムは高純度、高かさ密度、低酸素、良焼結性などの特
性を満足した画期的なものであり、かかる窒化アルミニ
ウムを用いて得られた焼結体は、焼結時の変形が少なく
高精度であり、また酸素含有量が少ないため極めて熱伝
導性が良好な高純度で高品質なものであり、このため半
導体用絶縁放熱基板として好適であることを知見し、本
発明をなすに至ったものである。
ルミニウム粉末や水酸化アルミニウム粉末の平均粒子径
を比較的大きい２〜20μｍの範囲、またカーボン粉末の
平均粒子径を１μｍ以下として還元窒化した場合、意外
にも粒子径が大きくても酸化アルミニウムが残存せず、
得られる窒化アルミニウムは酸素含有が0.6％以下とい
う極めて低酸素であり、従来の方法により得られた粉末
の酸素含有量が１〜２％であるのに比較して酸素含有量
が約50％もしくはそれ以下となり、高熱伝導用の窒化ア
ルミニウム原料として極めて有利であることを見い出し
た。更に、この窒化アルミニウム粉末は充填性が良好
で、従来の窒化アルミニウム粉末が軽装かさ密度0.2〜
0.3g/cm3、重装かさ密度0.4〜0.6g/cm3であるのに対
し、軽装かさ密度0.4〜0.6g/cm3、重装かさ密度0.8g/cm
3以上であるため、高密度の成形体が得られ、従って焼
結時の収縮・変形を少なくして焼結体の精度を高めるこ
とができること、特に成形時の変形が問題となるドクタ
ーブレード成形時においてはグリーン密度（成形密度）
の高いことが重要であるが、この点でも有利であること
を見い出した。また、得られる窒化アルミニウム粉末は
１〜10μｍと比較的大きい粒子径にもかかわらず、サブ
ミクロン粒径にならないと常圧焼結できないという定説
に反して、少量の添加助剤で容易に理論密度近くまで常
圧焼結すること、更に原料の純度を調節することにより
高純度な窒化アルミニウムが得られることを見い出し
た。従って、上述した製造方法で得られた窒化アルミニ
ウムは高純度、高かさ密度、低酸素、良焼結性などの特
性を満足した画期的なものであり、かかる窒化アルミニ
ウムを用いて得られた焼結体は、焼結時の変形が少なく
高精度であり、また酸素含有量が少ないため極めて熱伝
導性が良好な高純度で高品質なものであり、このため半
導体用絶縁放熱基板として好適であることを知見し、本
発明をなすに至ったものである。
なお、本明細書において、「重装かさ密度」とは、粉
体を規定の容器に入れ、1.8cmの高さから180回落下さ
せ、落下の衝撃で固めた後、測定した充てん密度のこと
をいう（粉体工学会編「粉体物性図説」による）。
体を規定の容器に入れ、1.8cmの高さから180回落下さ
せ、落下の衝撃で固めた後、測定した充てん密度のこと
をいう（粉体工学会編「粉体物性図説」による）。
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明の窒化アルミニウムは、上述したように平均粒
子径が１〜10μｍ、好ましくは２〜５μｍ、酸素含有量
が0.6％以下、好ましくは0.2〜0.5％、アルミニウムを
除く金属不純物の含有量が0.1％以下、好ましくは0.05
％以下、比表面積が１〜3.5m2/g、好ましくは1.3〜2.5m
2/g、重装かさ密度が0.8g/cm3以上、好ましくは1.0g/cm
3以上のものである。
子径が１〜10μｍ、好ましくは２〜５μｍ、酸素含有量
が0.6％以下、好ましくは0.2〜0.5％、アルミニウムを
除く金属不純物の含有量が0.1％以下、好ましくは0.05
％以下、比表面積が１〜3.5m2/g、好ましくは1.3〜2.5m
2/g、重装かさ密度が0.8g/cm3以上、好ましくは1.0g/cm
3以上のものである。
かかる窒化アルミニウムを得る場合、酸化アルミニウ
ム粉末又は水酸化アルミニウム粉末とカーボン粉末を原
料として還元窒化方法により製造するものである。
ム粉末又は水酸化アルミニウム粉末とカーボン粉末を原
料として還元窒化方法により製造するものである。
ここで、酸化アルミニウム粉末又は水酸化アルミニウ
ム粉末としては、純度99.8％以上、好ましくは99.9％以
上、平均粒子径２〜20μｍ、好ましくは５〜10μｍ、比
表面積１〜3.5m2/g、好ましくは1.3〜2.5m2/g、重装か
さ密度0.8g/cm3以上、好ましくは1g/cm3以上のものを使
用する。使用する酸化アルミニウム又は水酸化アルミニ
ウムの純度が99.8％に達しないと、これらに含まれる不
純物がそのまま窒化アルミニウム粉末中の不純物として
残存するため、高純度の窒化アルミニウム粉末を得るこ
とができない。また、平均粒子径２μｍ未満、比表面積
が3.5m2/gを超えた場合、或いは重装かさ密度が0.8g/cm
3未満のものを使用した場合は、酸素含有量を0.6％以下
とすることができないと共に、重装かさ密度が低くなっ
てしまう。一方、平均粒子径が20μｍを超え、比表面積
が1m2/gに達しないと、カーボンとの混合不良を招き、
未反応の酸化アルミニウムが増加して酸素含有量を0.6
％以下とすることができない。
ム粉末としては、純度99.8％以上、好ましくは99.9％以
上、平均粒子径２〜20μｍ、好ましくは５〜10μｍ、比
表面積１〜3.5m2/g、好ましくは1.3〜2.5m2/g、重装か
さ密度0.8g/cm3以上、好ましくは1g/cm3以上のものを使
用する。使用する酸化アルミニウム又は水酸化アルミニ
ウムの純度が99.8％に達しないと、これらに含まれる不
純物がそのまま窒化アルミニウム粉末中の不純物として
残存するため、高純度の窒化アルミニウム粉末を得るこ
とができない。また、平均粒子径２μｍ未満、比表面積
が3.5m2/gを超えた場合、或いは重装かさ密度が0.8g/cm
3未満のものを使用した場合は、酸素含有量を0.6％以下
とすることができないと共に、重装かさ密度が低くなっ
てしまう。一方、平均粒子径が20μｍを超え、比表面積
が1m2/gに達しないと、カーボンとの混合不良を招き、
未反応の酸化アルミニウムが増加して酸素含有量を0.6
％以下とすることができない。
また、カーボンとしては、平均粒子径が１μｍ以下の
ものを使用するもので、平均粒子径が１μｍを超えると
反応性が悪くなり、未反応の酸化アルミニウムが増加し
て酸素含有量を0.6％以下とすることができない。ま
た、カーボン中の灰分は0.1％以下、特に0.05％以下と
することが好ましく、灰分が0.1％を超えると高純度の
窒化アルミニウムを得ることができない場合がある。上
記条件を満足するカーボンであればいずれのカーボンで
あってもよく、具体的にはアセチレンブラック，サーマ
ルブラック，ファーネスブラック，ランプブラック，チ
ャンネルブラック等のカーボンブラックが好適に用いら
れる。
ものを使用するもので、平均粒子径が１μｍを超えると
反応性が悪くなり、未反応の酸化アルミニウムが増加し
て酸素含有量を0.6％以下とすることができない。ま
た、カーボン中の灰分は0.1％以下、特に0.05％以下と
することが好ましく、灰分が0.1％を超えると高純度の
窒化アルミニウムを得ることができない場合がある。上
記条件を満足するカーボンであればいずれのカーボンで
あってもよく、具体的にはアセチレンブラック，サーマ
ルブラック，ファーネスブラック，ランプブラック，チ
ャンネルブラック等のカーボンブラックが好適に用いら
れる。
上記酸化アルミニウム又は水酸化アルミニウムとカー
ボンとの比率は特に制限されないが、通常酸化アルミニ
ウム又は水酸化アルミニウム100重量部に対し、カーボ
ンを25〜40重量部とすることが好ましい。
ボンとの比率は特に制限されないが、通常酸化アルミニ
ウム又は水酸化アルミニウム100重量部に対し、カーボ
ンを25〜40重量部とすることが好ましい。
上記原料を用いて還元窒化する方法は通常の方法を採
用して行うことができ、例えば酸化アルミニウム又は水
酸化アルミニウムとカーボンとをナイロン製ポット等の
ボールミルなどで乾式混合した後、通常の窒化装置を用
い、窒素ガス及び／又はアンモニアガス雰囲気下、温度
1400〜1700℃、特に1550〜1650℃で３〜10時間焼成して
製造することができる。なお、得られる窒化アルミニウ
ムは一般的に未反応のカーボンを含有するので、600〜7
50℃の温度で空気中において１〜５時間程度焼成してカ
ーボンを除去することが好ましい。
用して行うことができ、例えば酸化アルミニウム又は水
酸化アルミニウムとカーボンとをナイロン製ポット等の
ボールミルなどで乾式混合した後、通常の窒化装置を用
い、窒素ガス及び／又はアンモニアガス雰囲気下、温度
1400〜1700℃、特に1550〜1650℃で３〜10時間焼成して
製造することができる。なお、得られる窒化アルミニウ
ムは一般的に未反応のカーボンを含有するので、600〜7
50℃の温度で空気中において１〜５時間程度焼成してカ
ーボンを除去することが好ましい。
発明の効果 上述したように、本発明は従来より比較的粒径の大き
い酸化アルミニウムや水酸化アルミニウムと微粉カーボ
ンとを原料として還元窒化することにより、高純度、高
かさ密度、低酸素かつ良好な焼結性を有する窒化アルミ
ニウム粉末を得ることができ、かかる窒化アルミニウム
粉末を用いた焼結体は、成形体密度が高く、焼結時の収
縮・変形が少ないため精度が高く、酸素含有量が極めて
低いため熱伝導性が良好である上、高純度であり、従っ
て本発明の窒化アルミニウム粉末は半導体用絶縁放熱基
板等の焼結材料として好適に使用できるものである。
い酸化アルミニウムや水酸化アルミニウムと微粉カーボ
ンとを原料として還元窒化することにより、高純度、高
かさ密度、低酸素かつ良好な焼結性を有する窒化アルミ
ニウム粉末を得ることができ、かかる窒化アルミニウム
粉末を用いた焼結体は、成形体密度が高く、焼結時の収
縮・変形が少ないため精度が高く、酸素含有量が極めて
低いため熱伝導性が良好である上、高純度であり、従っ
て本発明の窒化アルミニウム粉末は半導体用絶縁放熱基
板等の焼結材料として好適に使用できるものである。
以下、実施例と比較例を示し本発明を具体的に説明す
るが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。
なお、以下の例において％は重量％を示す。
るが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。
なお、以下の例において％は重量％を示す。
〔実施例１〕 純度99.9％，平均粒子径2.2μm,比表面積3.5m2/g,重
装かさ密度1.3g/cm3のAl2O3粉末100gと灰分0.08％，平
均粒子径0.20μｍのカーボンブラック50gとをナイロン
製ポットのボールミルを用いて乾式混合した。
装かさ密度1.3g/cm3のAl2O3粉末100gと灰分0.08％，平
均粒子径0.20μｍのカーボンブラック50gとをナイロン
製ポットのボールミルを用いて乾式混合した。
次に、混合物を黒鉛製の平皿に移し、窒素ガス雰囲気
に保ったプッシャー式トンネル炉を用いて1680℃の温度
で３時間加熱焼成を行った後、空気中700℃で５時間加
熱して未反応のカーボンを酸化除去した。
に保ったプッシャー式トンネル炉を用いて1680℃の温度
で３時間加熱焼成を行った後、空気中700℃で５時間加
熱して未反応のカーボンを酸化除去した。
得られた窒化アルミニウム粉末のＸ線回折パターンは
AlNのみのピークを示し、また、平均粒子径は2.23μ
ｍ、比表面積は3.1m2/g、酸素含有量は0.49％、アルミ
ニウムを除く金属不純物含有量は0.047％、重装かさ密
度は1.0g/cm3であった。
AlNのみのピークを示し、また、平均粒子径は2.23μ
ｍ、比表面積は3.1m2/g、酸素含有量は0.49％、アルミ
ニウムを除く金属不純物含有量は0.047％、重装かさ密
度は1.0g/cm3であった。
〔実施例２〜５、比較例１〜４〕 第１表に示す性状のアルミナ又は水酸化アルミニウム
及びカーボンブラックを用い、実施例１と同様な方法で
窒化アルミニウムを得、同様に酸素含有量、金属不純物
含有量、平均粒子径、比表面積、重装かさ密度を測定し
た。結果を第１表に併記する。
及びカーボンブラックを用い、実施例１と同様な方法で
窒化アルミニウムを得、同様に酸素含有量、金属不純物
含有量、平均粒子径、比表面積、重装かさ密度を測定し
た。結果を第１表に併記する。
第１表の結果より、本発明の原料粉末を用いて得た窒
化アルミニウム粉末は、高いかさ密度と低い酸素含有量
を有するものである。これに対し、サブミクロンの水酸
化アルミニウムやアルミナを用いた場合（比較例１〜
３）は、かさ密度が本発明品の半分以下となり、また、
20μｍを超える粒径のアルミナを用いた場合（比較例
４）は、酸素含有量が非常に高くなることが認められ
る。
化アルミニウム粉末は、高いかさ密度と低い酸素含有量
を有するものである。これに対し、サブミクロンの水酸
化アルミニウムやアルミナを用いた場合（比較例１〜
３）は、かさ密度が本発明品の半分以下となり、また、
20μｍを超える粒径のアルミナを用いた場合（比較例
４）は、酸素含有量が非常に高くなることが認められ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】平均粒子径が２〜20μｍ、比表面積が１〜
3.5m2/g、重装かさ密度が0.8g/cm3以上、純度が99.8重
量％以上の酸化アルミニウム粉末及び／又は水酸化アル
ミニウム粉末と平均粒子径が１μｍ以下のカーボン粉末
との混合物を還元窒化することを特徴とする平均粒子径
が１〜10μｍ、酸素含有量が0.6重量％以下、アルミニ
ウムを除く金属不純物の含有量が0.1重量％以下、比表
面積が１〜3.5m2/g及び重装かさ密度が0.8g/cm3以上で
ある窒化アルミニウム粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173228A JP2518409B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173228A JP2518409B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0337106A JPH0337106A (ja) | 1991-02-18 |
| JP2518409B2 true JP2518409B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=15956522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1173228A Expired - Lifetime JP2518409B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2518409B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7129892B2 (ja) * | 2018-11-29 | 2022-09-02 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6060910A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-08 | Tokuyama Soda Co Ltd | 窒化アルミニウムの製造方法 |
| JPS6355108A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-09 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP1173228A patent/JP2518409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0337106A (ja) | 1991-02-18 |
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