JPH05325879A - 電子増倍管 - Google Patents
電子増倍管Info
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- JPH05325879A JPH05325879A JP4127702A JP12770292A JPH05325879A JP H05325879 A JPH05325879 A JP H05325879A JP 4127702 A JP4127702 A JP 4127702A JP 12770292 A JP12770292 A JP 12770292A JP H05325879 A JPH05325879 A JP H05325879A
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- pedestal
- electron multiplier
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/28—Vessels, e.g. wall of the tube; Windows; Screens; Suppressing undesired discharges or currents
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、十分な強度を持ち、取扱い
が容易な電子増倍管であって、測定に不用なエネルギ線
の侵入を防止することのできるものを提供することであ
る。 【構成】 本発明による電子増倍管は、その基本構成部
材であるダイノードＤＹ、収集電極Ａ及び電圧分割回路
の抵抗Ｒを支持している支持部材１０ａ，１０ｂを、十
分な剛性を有する剛性の台座１３に固定すると共に、こ
れらを収納すべく、エネルギ線取入れ用の開口２６を有
するケース１６を前記台座１３に取り付けたことを特徴
としている。このケース１６の存在により、ダイノード
ＤＹ等は外部からの影響から保護される。
が容易な電子増倍管であって、測定に不用なエネルギ線
の侵入を防止することのできるものを提供することであ
る。 【構成】 本発明による電子増倍管は、その基本構成部
材であるダイノードＤＹ、収集電極Ａ及び電圧分割回路
の抵抗Ｒを支持している支持部材１０ａ，１０ｂを、十
分な剛性を有する剛性の台座１３に固定すると共に、こ
れらを収納すべく、エネルギ線取入れ用の開口２６を有
するケース１６を前記台座１３に取り付けたことを特徴
としている。このケース１６の存在により、ダイノード
ＤＹ等は外部からの影響から保護される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子、イオン、荷電粒
子、真空紫外線、軟Ｘ線等のエネルギ線を検出若しくは
測定するための電子増倍管に関するものである。
子、真空紫外線、軟Ｘ線等のエネルギ線を検出若しくは
測定するための電子増倍管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子増倍管は、図６に概略的に示すよう
に、電子等のエネルギ線を電子倍増部のダイノードＤＹ
に衝突させ、そこで二次電子を増倍しつつ放出させ、そ
の二次電子を最終的に収集電極（陽極）Ａで捕らえて検
出するというものである。
に、電子等のエネルギ線を電子倍増部のダイノードＤＹ
に衝突させ、そこで二次電子を増倍しつつ放出させ、そ
の二次電子を最終的に収集電極（陽極）Ａで捕らえて検
出するというものである。
【０００３】電子増倍部の構成には種々の形式がある
が、通常、四半円筒形のダイノードをエネルギ線の入射
方向に沿って概ね交互に配列して構成される。図５に示
す配列はその代表的なものであり、一般にボックス型と
呼ばれる配列である。
が、通常、四半円筒形のダイノードをエネルギ線の入射
方向に沿って概ね交互に配列して構成される。図５に示
す配列はその代表的なものであり、一般にボックス型と
呼ばれる配列である。
【０００４】また、隣合うダイノードＤＹ間にはそれぞ
れ抵抗が接続され、第１段のダイノードＤＹ１と最終段
のダイノードＤＹ１６との間に印加された電圧を等分し
ている。
れ抵抗が接続され、第１段のダイノードＤＹ１と最終段
のダイノードＤＹ１６との間に印加された電圧を等分し
ている。
【０００５】電子増倍管の基本的構成は上記の通りであ
るが、実際の組立構造は図７及び図８に示すものが一般
的である。
るが、実際の組立構造は図７及び図８に示すものが一般
的である。
【０００６】図７及び図８の電子増倍管においては、各
ダイノードＤＹは支持枠１によって囲まれ支持されてい
る。支持枠１は導電材料から形成され、支持しているダ
イノードＤＹと電気的に接続されている。また、この電
子増倍管は、薄鋼板から成るホルダ２に固定された２本
の平行な支持棒３を有しており、これらの支持棒３をダ
イノードＤＹの支持枠１の穴４に挿入することで、ダイ
ノードＤＹが支持棒３により保持されるようになってい
る。隣合う支持枠１の間隔は、支持棒３に嵌挿されたス
ペーサ５により一定に保たれている。
ダイノードＤＹは支持枠１によって囲まれ支持されてい
る。支持枠１は導電材料から形成され、支持しているダ
イノードＤＹと電気的に接続されている。また、この電
子増倍管は、薄鋼板から成るホルダ２に固定された２本
の平行な支持棒３を有しており、これらの支持棒３をダ
イノードＤＹの支持枠１の穴４に挿入することで、ダイ
ノードＤＹが支持棒３により保持されるようになってい
る。隣合う支持枠１の間隔は、支持棒３に嵌挿されたス
ペーサ５により一定に保たれている。
【０００７】更に、この従来の電子増倍管では、抵抗Ｒ
はダイノード列の一方の側に１列に配置され、隣合う上
下の支持枠１の適所に抵抗の各リード線Ｌが溶接されて
いる。
はダイノード列の一方の側に１列に配置され、隣合う上
下の支持枠１の適所に抵抗の各リード線Ｌが溶接されて
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したような電子増
倍管は、イオン等のエネルギ線を測定する場合、エネル
ギ線源が置かれた真空容器内に配置される。しかしなが
ら、真空容器に取り付ける場合、ホルダが薄鋼板から作
られているため、取付強度が不十分となるという問題点
があった。また、ダイノード等は露出しているため、取
扱いに注意しなければならない。
倍管は、イオン等のエネルギ線を測定する場合、エネル
ギ線源が置かれた真空容器内に配置される。しかしなが
ら、真空容器に取り付ける場合、ホルダが薄鋼板から作
られているため、取付強度が不十分となるという問題点
があった。また、ダイノード等は露出しているため、取
扱いに注意しなければならない。
【０００９】また、電子増倍管を取り付けた後に、真空
容器内から空気を抜く必要があるが、ダイノード等は真
空容器内で露出しているため、空気抜きの際の空気の流
れを受けることになる。この空気中には塵埃が含まれて
いることがあるので、ダイノードの表面にその塵埃が付
着し、測定誤差の原因となる恐れがある。この問題は、
測定後に真空容器を解放する際に外部から空気が真空容
器内に流入する場合にも生ずる。また、真空動作時にお
いても、真空オイルや試料溶媒がバックディフュージョ
ンによりダイノード表面に付着し、ゲイン劣化を起こ
す。
容器内から空気を抜く必要があるが、ダイノード等は真
空容器内で露出しているため、空気抜きの際の空気の流
れを受けることになる。この空気中には塵埃が含まれて
いることがあるので、ダイノードの表面にその塵埃が付
着し、測定誤差の原因となる恐れがある。この問題は、
測定後に真空容器を解放する際に外部から空気が真空容
器内に流入する場合にも生ずる。また、真空動作時にお
いても、真空オイルや試料溶媒がバックディフュージョ
ンによりダイノード表面に付着し、ゲイン劣化を起こ
す。
【００１０】更に、測定対象ではないエネルギ線、例え
ば、乱反射して電子増倍管の側方から入射するエネルギ
線が、露出しているダイノードに侵入する場合もある。
また、ある種のイオン分析にはプラズマが使用される
が、このプラズマからの紫外光がダイノードに侵入する
こともある。このようなエネルギ線はノイズの原因とな
る。
ば、乱反射して電子増倍管の側方から入射するエネルギ
線が、露出しているダイノードに侵入する場合もある。
また、ある種のイオン分析にはプラズマが使用される
が、このプラズマからの紫外光がダイノードに侵入する
こともある。このようなエネルギ線はノイズの原因とな
る。
【００１１】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、十分な強度を持ち、取扱いが容易な電子増倍
管であって、測定に不用なエネルギ線の侵入を防止する
ことのできるものを提供することを目的とする。
のであり、十分な強度を持ち、取扱いが容易な電子増倍
管であって、測定に不用なエネルギ線の侵入を防止する
ことのできるものを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による電子増倍管は、剛性の台
座と、この台座に固定された支持部材と、エネルギ線が
入射された場合に二次電子を漸次増倍しつつ放出するよ
う多段に配列され、前記支持部材により支持されたダイ
ノードと、最終段のダイノードから放出された電子を受
ける収集電極と、前記ダイノード間に接続された抵抗
と、前記支持部材、前記ダイノード、前記収集電極及び
前記抵抗を収納すると共に、前記台座に取り付けられる
ケースであって、第１段のダイノードのエネルギ線取入
れ面に対向する位置にエネルギ線取入れ用開口が設けら
れているケースとを備えていることを特徴とする。
に、請求項１に係る発明による電子増倍管は、剛性の台
座と、この台座に固定された支持部材と、エネルギ線が
入射された場合に二次電子を漸次増倍しつつ放出するよ
う多段に配列され、前記支持部材により支持されたダイ
ノードと、最終段のダイノードから放出された電子を受
ける収集電極と、前記ダイノード間に接続された抵抗
と、前記支持部材、前記ダイノード、前記収集電極及び
前記抵抗を収納すると共に、前記台座に取り付けられる
ケースであって、第１段のダイノードのエネルギ線取入
れ面に対向する位置にエネルギ線取入れ用開口が設けら
れているケースとを備えていることを特徴とする。
【００１３】ケースは磁性体金属から形成されているこ
とが好ましい。
とが好ましい。
【００１４】また、ケースに少なくとも２つの位置決め
用の穴を形成し、このケースが台座の所定の取付位置に
配置された場合に前記穴に挿入される突起を、支持部材
に形成することが好適である。
用の穴を形成し、このケースが台座の所定の取付位置に
配置された場合に前記穴に挿入される突起を、支持部材
に形成することが好適である。
【００１５】更に、請求項４に記載の発明によれば、ケ
ースにおけるエネルギ線取入れ用開口を囲む部分と第１
段のダイノードとの間に、エネルギ線取入れ用開口と整
列される開口を有するインシュレータを介設したことを
特徴としている。
ースにおけるエネルギ線取入れ用開口を囲む部分と第１
段のダイノードとの間に、エネルギ線取入れ用開口と整
列される開口を有するインシュレータを介設したことを
特徴としている。
【００１６】また、請求項５に記載したように、ケース
は、エネルギ線取入れ用開口からエネルギ線の入射方向
とは反対側の方向に所定の距離離れた位置に配置された
バッフルを有するのが好ましい。
は、エネルギ線取入れ用開口からエネルギ線の入射方向
とは反対側の方向に所定の距離離れた位置に配置された
バッフルを有するのが好ましい。
【００１７】
【作用】請求項１に記載の発明によれば、ダイノード、
収集電極及び抵抗、並びにこれらを支持する支持部材が
ケース内に収容されるため、周囲の空気の流れや真空オ
イルのバックディフュージョン又はエネルギ線等の外部
からの影響を殆ど受けない。
収集電極及び抵抗、並びにこれらを支持する支持部材が
ケース内に収容されるため、周囲の空気の流れや真空オ
イルのバックディフュージョン又はエネルギ線等の外部
からの影響を殆ど受けない。
【００１８】また、ダイノード等がケースに収容されて
いることに加え、支持部材が剛性のある台座に固定され
るため、電子増倍管の取扱いが容易となる。
いることに加え、支持部材が剛性のある台座に固定され
るため、電子増倍管の取扱いが容易となる。
【００１９】ケースが磁性体金属から形成された場合に
は、当該ケースが電磁気的なシールドとなり、入射され
るエネルギ線が磁場や電界の影響を受けない。
は、当該ケースが電磁気的なシールドとなり、入射され
るエネルギ線が磁場や電界の影響を受けない。
【００２０】更に、ケースを台座に取り付けた場合に、
互いに嵌合する穴と突起をそれぞれケースと支持部材に
形成することで、ケースの位置決めが容易となる。
互いに嵌合する穴と突起をそれぞれケースと支持部材に
形成することで、ケースの位置決めが容易となる。
【００２１】ケースにはエネルギ線取入れ用の開口が形
成されているため、この開口の回りの隙間から空気等が
出入りする可能性があるが、請求項４に記載のインシュ
レータを配置することで、開口周囲の隙間を塞ぎ、ケー
スの内外が実質的に仕切られる。
成されているため、この開口の回りの隙間から空気等が
出入りする可能性があるが、請求項４に記載のインシュ
レータを配置することで、開口周囲の隙間を塞ぎ、ケー
スの内外が実質的に仕切られる。
【００２２】また、請求項５に係る発明のように、ケー
スにバッフルを設けることで、例えば側方からの不用な
エネルギ線を吸収ないしは反射し、開口からケース内に
侵入するのを防止することができる。
スにバッフルを設けることで、例えば側方からの不用な
エネルギ線を吸収ないしは反射し、開口からケース内に
侵入するのを防止することができる。
【００２３】
【実施例】以下、図１〜図３に沿って本発明の好適な実
施例について詳細に説明する。なお、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付し、説明において、「上下左
右」については図面の「上下左右」によることとする。
施例について詳細に説明する。なお、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付し、説明において、「上下左
右」については図面の「上下左右」によることとする。
【００２４】図１〜図３に示すように、本発明による電
子増倍管は、先に説明した従来構成と同様に、エネルギ
線を捕らえ増倍された二次電子を放出する複数段（この
実施例では１６段）のダイノードＤＹと、最終段のダイ
ノードＤＹ１６から放出された電子を捕らえるための収
集電極（陽極）Ａとを備えている。また、各ダイノード
ＤＹは隣接の下段のダイノードＤＹに向けて二次電子を
放出するために、隣合うダイノードＤＹ間には電位差が
与えられる。そのために、電子増倍管においては、図５
に示すような電圧分割回路が用いられ、ダイノードＤＹ
間ごとに抵抗Ｒが接続され、最終段のダイノードＤＹ１
６とアースとの間にも抵抗Ｒが接続されている。
子増倍管は、先に説明した従来構成と同様に、エネルギ
線を捕らえ増倍された二次電子を放出する複数段（この
実施例では１６段）のダイノードＤＹと、最終段のダイ
ノードＤＹ１６から放出された電子を捕らえるための収
集電極（陽極）Ａとを備えている。また、各ダイノード
ＤＹは隣接の下段のダイノードＤＹに向けて二次電子を
放出するために、隣合うダイノードＤＹ間には電位差が
与えられる。そのために、電子増倍管においては、図５
に示すような電圧分割回路が用いられ、ダイノードＤＹ
間ごとに抵抗Ｒが接続され、最終段のダイノードＤＹ１
６とアースとの間にも抵抗Ｒが接続されている。
【００２５】この実施例によれば、これらの抵抗Ｒ、ダ
イノードＤＹ及び収集電極Ａは、２枚の平行に配置され
たセラミックから成る支持板（支持部材）１０ａ，１０
ｂの間に取り付けられている。この支持板１０ａ，１０
ｂは略矩形形状であり、その長手方向の一方の端部（図
面では下端部）の間にはブロック１１がボルト及びナッ
ト１２により固定されている。このブロック１１は略正
方形の台座１３の中央部にねじ止めされ、これにより支
持板１０ａ，１０ｂは互いに平行を保った状態で台座１
３に固定される。
イノードＤＹ及び収集電極Ａは、２枚の平行に配置され
たセラミックから成る支持板（支持部材）１０ａ，１０
ｂの間に取り付けられている。この支持板１０ａ，１０
ｂは略矩形形状であり、その長手方向の一方の端部（図
面では下端部）の間にはブロック１１がボルト及びナッ
ト１２により固定されている。このブロック１１は略正
方形の台座１３の中央部にねじ止めされ、これにより支
持板１０ａ，１０ｂは互いに平行を保った状態で台座１
３に固定される。
【００２６】台座１３は、ステンレス鋼板から形成され
た比較的に厚いものであり、十分な剛性を有し、通常の
取扱いでは変形しない。また、台座１３の各コーナー部
には３つの穴１４，１５が形成されており、そのうち最
もコーナーに近い穴１４は電子増倍管を真空容器等（図
示しない）に取り付けるためのものであり、その他の穴
１５は、後述のケース１６を台座１３に取り付けるため
のものである。
た比較的に厚いものであり、十分な剛性を有し、通常の
取扱いでは変形しない。また、台座１３の各コーナー部
には３つの穴１４，１５が形成されており、そのうち最
もコーナーに近い穴１４は電子増倍管を真空容器等（図
示しない）に取り付けるためのものであり、その他の穴
１５は、後述のケース１６を台座１３に取り付けるため
のものである。
【００２７】ダイノードＤＹは、図３に明示するよう
に、支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿って概ね交互
に配列され、第１段から第３段までの比較的大きなダイ
ノードＤＹ１〜ＤＹ３はいわゆるボックス型配列とさ
れ、残りの小さなダイノードＤＹ４〜ＤＹ１６はいわゆ
るラインフォーカス型若しくはリニアフォーカス型配列
とされている。このような配列においては、エネルギ線
が支持板１０ａ，１０ｂの長手方向軸線Ｃに沿って入射
し、第１段のダイノードＤＹ１の凹面に衝突すると、二
次電子放出を起こして電子を倍増させ、その二次電子は
第２段のダイノードＤＹ２の凹面に導かれる。このよう
にして、二次電子は次段のダイノードＤＹに順次導か
れ、最終的には、台座１３に最も近い最終段のダイノー
ドＤＹ１６に達する。
に、支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿って概ね交互
に配列され、第１段から第３段までの比較的大きなダイ
ノードＤＹ１〜ＤＹ３はいわゆるボックス型配列とさ
れ、残りの小さなダイノードＤＹ４〜ＤＹ１６はいわゆ
るラインフォーカス型若しくはリニアフォーカス型配列
とされている。このような配列においては、エネルギ線
が支持板１０ａ，１０ｂの長手方向軸線Ｃに沿って入射
し、第１段のダイノードＤＹ１の凹面に衝突すると、二
次電子放出を起こして電子を倍増させ、その二次電子は
第２段のダイノードＤＹ２の凹面に導かれる。このよう
にして、二次電子は次段のダイノードＤＹに順次導か
れ、最終的には、台座１３に最も近い最終段のダイノー
ドＤＹ１６に達する。
【００２８】収集電極Ａは、最終段のダイノードＤＹ１
６から放出される電子を受ける位置に配置されている。
６から放出される電子を受ける位置に配置されている。
【００２９】支持板１０ａ，１０ｂの長手方向に沿う各
縁部には、一定の間隔で複数本の切込み１７が形成され
ており、電圧分割回路における抵抗Ｒは、この切込み１
７により支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられてい
る。即ち、抵抗Ｒを同一高さにある１対の切込み１７間
に配置し、リード線Ｌを対応の切込み１７に挿入するこ
とで、所定位置に配置される。更に、リード線Ｌを支持
板１０ａ，１０ｂの中心側に折り曲げ、その先端を所定
のダイノードＤＹの突起片の先端に溶接することで、抵
抗Ｒは固定される。この実施例では、一方の側には９本
の抵抗Ｒが配置され、他方の側には７本の抵抗Ｒが配置
されている。
縁部には、一定の間隔で複数本の切込み１７が形成され
ており、電圧分割回路における抵抗Ｒは、この切込み１
７により支持板１０ａ，１０ｂ間に取り付けられてい
る。即ち、抵抗Ｒを同一高さにある１対の切込み１７間
に配置し、リード線Ｌを対応の切込み１７に挿入するこ
とで、所定位置に配置される。更に、リード線Ｌを支持
板１０ａ，１０ｂの中心側に折り曲げ、その先端を所定
のダイノードＤＹの突起片の先端に溶接することで、抵
抗Ｒは固定される。この実施例では、一方の側には９本
の抵抗Ｒが配置され、他方の側には７本の抵抗Ｒが配置
されている。
【００３０】第１段のダイノードＤＹ１、収集電極Ａ及
び最終段のダイノードＤＹ１６は、台座１３に取り付け
られたハーメチック端子１８にセラミックパイプ付き導
線１９により接続されている。
び最終段のダイノードＤＹ１６は、台座１３に取り付け
られたハーメチック端子１８にセラミックパイプ付き導
線１９により接続されている。
【００３１】支持板１０ａ，１０ｂの上端部の間には金
属板２０が取り付けられている。この金属板２０には、
第１段のダイノードＤＹ１のエネルギ線取入れ面に対向
する位置に開口２１が設けられている。この金属板２０
は、第１段のダイノードＤＹ１と接続されて同電位とさ
れるため、シールド機能を有すると共に、電子増倍管の
組立体の補強材としても機能する。
属板２０が取り付けられている。この金属板２０には、
第１段のダイノードＤＹ１のエネルギ線取入れ面に対向
する位置に開口２１が設けられている。この金属板２０
は、第１段のダイノードＤＹ１と接続されて同電位とさ
れるため、シールド機能を有すると共に、電子増倍管の
組立体の補強材としても機能する。
【００３２】更に、本発明による電子増倍管は、ダイノ
ードＤＹ等を収容し保護するためのケース１６を備えて
いる。このケース１６は倒置カップ状であり、台座１３
に取り付けられた支持板１０ａ，１０ｂ及びハーメチッ
ク端子１８を取り囲む円筒形部分１６ａと、円筒形部分
１６ａの下端に一体的に形成された外向きフランジ１６
ｂと、円筒形部分１６ａの上端を閉じる上面部分１６ｃ
とから構成されている。また、磁場の影響を受けないよ
うに、このケース１６はパーマロイ等の磁性体金属から
形成されるのが好適である。
ードＤＹ等を収容し保護するためのケース１６を備えて
いる。このケース１６は倒置カップ状であり、台座１３
に取り付けられた支持板１０ａ，１０ｂ及びハーメチッ
ク端子１８を取り囲む円筒形部分１６ａと、円筒形部分
１６ａの下端に一体的に形成された外向きフランジ１６
ｂと、円筒形部分１６ａの上端を閉じる上面部分１６ｃ
とから構成されている。また、磁場の影響を受けないよ
うに、このケース１６はパーマロイ等の磁性体金属から
形成されるのが好適である。
【００３３】フランジ１６ｂの外形は台座１３と同形の
略正方形であり、その各コーナー部には３つの穴２２，
２３が形成されている。ケース１６を台座１３の所定の
取付位置に配置した場合、フランジ１６ｂと台座１３の
各コーナー部は一致して穴２２，２３もそれぞれ台座１
３の穴１４，１５と整列する。従って、整列された内側
の穴１５，２３にビス２４を通してナット２５で締め付
けることで、ケース１６を台座１３に固定することがで
きる。
略正方形であり、その各コーナー部には３つの穴２２，
２３が形成されている。ケース１６を台座１３の所定の
取付位置に配置した場合、フランジ１６ｂと台座１３の
各コーナー部は一致して穴２２，２３もそれぞれ台座１
３の穴１４，１５と整列する。従って、整列された内側
の穴１５，２３にビス２４を通してナット２５で締め付
けることで、ケース１６を台座１３に固定することがで
きる。
【００３４】また、ケース１６の上面部分１６ｃには開
口２６が形成されている。この開口２６はエネルギ線取
入れ用であり、ケース１６を所定位置に配置したときに
は、金属板２０の開口２１及び第１段のダイノードＤＹ
１のエネルギ線取入れ面と整列する。
口２６が形成されている。この開口２６はエネルギ線取
入れ用であり、ケース１６を所定位置に配置したときに
は、金属板２０の開口２１及び第１段のダイノードＤＹ
１のエネルギ線取入れ面と整列する。
【００３５】この実施例では、ケース１６の上面部分１
６ｃには、エネルギ線取入れ用開口２６の他に４つの穴
２７が形成されている。これらの穴２７は、ケース１６
を台座１３に対して所定位置に配置した場合に、支持板
１０ａ，１０ｂの上端に形成した上向きの突起２８が挿
入されるようになっており、この穴２７と突起２８の組
合わせにより、ケース１６の位置決め、開口２１，２６
の位置合せが極めて容易となる。
６ｃには、エネルギ線取入れ用開口２６の他に４つの穴
２７が形成されている。これらの穴２７は、ケース１６
を台座１３に対して所定位置に配置した場合に、支持板
１０ａ，１０ｂの上端に形成した上向きの突起２８が挿
入されるようになっており、この穴２７と突起２８の組
合わせにより、ケース１６の位置決め、開口２１，２６
の位置合せが極めて容易となる。
【００３６】このような構成の電子増倍管においては、
台座１３及びケース１６のフランジ１６ｂの穴１４，２
２を用いて、真空フランジ等の取付箇所にボルト止めさ
れる。台座１３が十分な剛性を有しているため、電子増
倍管を所定位置にしっかりと固定することができ、ま
た、ダイノードＤＹ等はケース１６内に収容されている
ため、他の部材との干渉にあまり注意せずに作業を進め
ることができる。
台座１３及びケース１６のフランジ１６ｂの穴１４，２
２を用いて、真空フランジ等の取付箇所にボルト止めさ
れる。台座１３が十分な剛性を有しているため、電子増
倍管を所定位置にしっかりと固定することができ、ま
た、ダイノードＤＹ等はケース１６内に収容されている
ため、他の部材との干渉にあまり注意せずに作業を進め
ることができる。
【００３７】電子増倍管が真空容器内に取り付けられた
場合、測定に先立ち真空容器内の空気抜きが行われる
が、ダイノードＤＹ等はケース１６内に収容されている
ので、空気の流れにさらされず、塵埃がダイノードＤＹ
に付着する恐れも大幅に低減される。勿論、大気中に放
置しておいても、ダイノードＤＹの汚染は、ケース１６
がないものに比して著しく少ない。また、真空動作中に
真空オイルや試料溶媒等のバックディフュージョンによ
る電子増倍管のゲイン劣化も大幅に低減される。
場合、測定に先立ち真空容器内の空気抜きが行われる
が、ダイノードＤＹ等はケース１６内に収容されている
ので、空気の流れにさらされず、塵埃がダイノードＤＹ
に付着する恐れも大幅に低減される。勿論、大気中に放
置しておいても、ダイノードＤＹの汚染は、ケース１６
がないものに比して著しく少ない。また、真空動作中に
真空オイルや試料溶媒等のバックディフュージョンによ
る電子増倍管のゲイン劣化も大幅に低減される。
【００３８】また、このケース１６の存在により、乱反
射して側方から入射する可能性のあるエネルギ線やイオ
ン分析の際のバックグラウンド紫外光がシールドされ、
ダイノードＤＹへの侵入が防止される。
射して側方から入射する可能性のあるエネルギ線やイオ
ン分析の際のバックグラウンド紫外光がシールドされ、
ダイノードＤＹへの侵入が防止される。
【００３９】更に、ケース１６がパーマロイ等の磁性体
金属から形成したので、このケース１６が電磁気的なシ
ールドとなり、入射したエネルギ線の磁場や電界による
影響が防止され、電子が曲がって所期の経路から外れる
ことも少なくなる。
金属から形成したので、このケース１６が電磁気的なシ
ールドとなり、入射したエネルギ線の磁場や電界による
影響が防止され、電子が曲がって所期の経路から外れる
ことも少なくなる。
【００４０】尚、図１及び図３において、符号３０はセ
ラミック板から形成されたインシュレータであり、金属
板２０とケース１６の上面部分１６ｃとの間に配置され
ている。ケース１６の上面部分１６ｃと金属板２０との
間には隙間が形成されるため、開口２６から入った塵埃
や不用なエネルギ線がこの隙間からケース１６の内部に
侵入する可能性が僅かながらもあるが、このインシュレ
ータ３０を設置することで、塵埃等の侵入をほぼ完全に
防止することができる。
ラミック板から形成されたインシュレータであり、金属
板２０とケース１６の上面部分１６ｃとの間に配置され
ている。ケース１６の上面部分１６ｃと金属板２０との
間には隙間が形成されるため、開口２６から入った塵埃
や不用なエネルギ線がこの隙間からケース１６の内部に
侵入する可能性が僅かながらもあるが、このインシュレ
ータ３０を設置することで、塵埃等の侵入をほぼ完全に
防止することができる。
【００４１】インシュレータ３０の形態としては種々考
えられるが、図示するように、ケース１６の内径とほぼ
同じ外径を有する円形とするのが、隙間閉塞のためには
好ましい。このような円形形状とした場合、位置決め用
の穴３１をケース１６の穴２７と同様に設け、支持板１
０ａ，１０ｂの突起２７を挿入することで、インシュレ
ータ３０のエネルギ線取入れ用の開口３２をケース１６
及び金属板２０の開口２６，２１ならびに第１段のダイ
ノードＤＹ１のエネルギ線取入れ面と整列させるのが良
い。
えられるが、図示するように、ケース１６の内径とほぼ
同じ外径を有する円形とするのが、隙間閉塞のためには
好ましい。このような円形形状とした場合、位置決め用
の穴３１をケース１６の穴２７と同様に設け、支持板１
０ａ，１０ｂの突起２７を挿入することで、インシュレ
ータ３０のエネルギ線取入れ用の開口３２をケース１６
及び金属板２０の開口２６，２１ならびに第１段のダイ
ノードＤＹ１のエネルギ線取入れ面と整列させるのが良
い。
【００４２】図４はケース１６の別の実施例を示す断面
図であり、ケース１６の円筒形部分１６ａの上端部が上
面部分１６ｃを越えて更に上方に延びている点で、先の
実施例のものとは異なっている。この円筒形部分１６ａ
の延長部１６ｄの内周面には、複数枚のリング状のバッ
フル３５が上下方向に一定の間隔で取り付けられてい
る。かかるバッフル３５は、測定対象とはならない側方
からのエネルギ線を吸収し、あるいは反射して、ケース
１６の開口２６からダイノードＤＹに入らないようにす
るためのものである。従って、バッフル３５は光を吸収
しやすい黒色金属等から形成するのが好ましい。このよ
うにバッフル３５を付けることで、特に、質量分析で問
題となるバックグラウンド紫外光を軽減することができ
ので、有効である。
図であり、ケース１６の円筒形部分１６ａの上端部が上
面部分１６ｃを越えて更に上方に延びている点で、先の
実施例のものとは異なっている。この円筒形部分１６ａ
の延長部１６ｄの内周面には、複数枚のリング状のバッ
フル３５が上下方向に一定の間隔で取り付けられてい
る。かかるバッフル３５は、測定対象とはならない側方
からのエネルギ線を吸収し、あるいは反射して、ケース
１６の開口２６からダイノードＤＹに入らないようにす
るためのものである。従って、バッフル３５は光を吸収
しやすい黒色金属等から形成するのが好ましい。このよ
うにバッフル３５を付けることで、特に、質量分析で問
題となるバックグラウンド紫外光を軽減することができ
ので、有効である。
【００４３】上記実施例では、ケース１６内に収容され
るダイノードＤＹ等は２枚の支持板１０ａ，１０ｂで支
持されているが、本発明は、例えば図７に示すような構
造に対しても適用可能である。
るダイノードＤＹ等は２枚の支持板１０ａ，１０ｂで支
持されているが、本発明は、例えば図７に示すような構
造に対しても適用可能である。
【００４４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ケース
を設けたことで、ダイノードや抵抗等の電子増倍管の基
本的構成部材を、測定対象とならない不用なエネルギ線
や塵埃、真空オイル又は試料溶媒のバックディフュージ
ン等から保護することができる。不用なエネルギ線はノ
イズ源となるので、これをシールドすることは、電子増
倍管の性能を向上させることになる。また、塵埃や真空
オイル等がダイノードに付着するのを防止することで、
電子増倍管のゲインの劣化を防止できる。
を設けたことで、ダイノードや抵抗等の電子増倍管の基
本的構成部材を、測定対象とならない不用なエネルギ線
や塵埃、真空オイル又は試料溶媒のバックディフュージ
ン等から保護することができる。不用なエネルギ線はノ
イズ源となるので、これをシールドすることは、電子増
倍管の性能を向上させることになる。また、塵埃や真空
オイル等がダイノードに付着するのを防止することで、
電子増倍管のゲインの劣化を防止できる。
【００４５】更に、ケースを設けたことで、衝撃等の外
力からダイノード等を保護することができ、また、台座
が十分な剛性を有しているので、取扱いが極めて良好と
なる。
力からダイノード等を保護することができ、また、台座
が十分な剛性を有しているので、取扱いが極めて良好と
なる。
【図１】本発明により電子増倍管を示す分解斜視図であ
る。
る。
【図２】図２の電子増倍管の完成状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】本発明の電子増倍管の縦断面図である。
【図４】図１の電子増倍管に用いられるケースの変形例
を示す図３と同様な断面図である。
を示す図３と同様な断面図である。
【図５】電子増倍管に用いられる電子分割回路の回路図
である。
である。
【図６】電子増倍管の原理を示す概略説明図である。
【図７】従来一般の電子増倍管を構成を示す側面図。
【図８】図７の電子増倍管の組立中の状態を示す斜視図
である。
である。
１０ａ，１０ｂ…支持板（支持部材）、１３…台座、１
６…ケース、２６…エネルギ線取入れ用開口、２７…位
置決め用の穴、２８…突起、３０…インシュレータ、３
５…バッフル、ＤＹ１〜ＤＹ１６…ダイノード、Ａ…収
集電極、Ｒ…抵抗。
６…ケース、２６…エネルギ線取入れ用開口、２７…位
置決め用の穴、２８…突起、３０…インシュレータ、３
５…バッフル、ＤＹ１〜ＤＹ１６…ダイノード、Ａ…収
集電極、Ｒ…抵抗。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 晴久 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内 (72)発明者 森田 哲家 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松ホ トニクス株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 剛性の台座と、 この台座に固定された支持部材と、 エネルギ線が入射された場合に二次電子を漸次増倍しつ
つ放出するよう多段に配列され、前記支持部材により支
持されたダイノードと、 最終段の前記ダイノードから放出された電子を受ける収
集電極と、 前記ダイノード間に接続された抵抗と、 前記支持部材、前記ダイノード、前記収集電極及び前記
抵抗を収納すると共に、前記台座に取り付けられるケー
スであって、第１段の前記ダイノードのエネルギ線取入
れ面に対向する位置にエネルギ線取入れ用開口が設けら
れているケースと、を備える電子増倍管。 - 【請求項２】 前記ケースが磁性体金属から形成されて
いることを特徴とする請求項１記載の電子増倍管。 - 【請求項３】 前記ケースには少なくとも２つの位置決
め用の穴が形成されており、このケースが前記台座の所
定の取付位置に配置された場合に前記穴に挿入される突
起を、前記支持部材が有していることを特徴とする請求
項１又は２記載の電子増倍管。 - 【請求項４】 前記ケースにおける前記エネルギ線取入
れ用開口を囲む部分と前記第１段のダイノードとの間
に、前記エネルギ線取入れ用開口と整列される開口を有
するインシュレータを介設したことを特徴とする請求項
１〜３のいずれか１項に記載の電子増倍管。 - 【請求項５】 前記ケースが、前記エネルギ線取入れ用
開口からエネルギ線の入射方向とは反対側の方向に所定
の距離離れた位置に配置されたバッフルを有しているこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電
子増倍管。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4127702A JP2662341B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 電子増倍管 |
| EP93303890A EP0571201B1 (en) | 1992-05-20 | 1993-05-19 | Electron multiplying device |
| DE69304250T DE69304250T2 (de) | 1992-05-20 | 1993-05-19 | Elektronenvervielfachervorrichtung |
| US08/063,418 US5446275A (en) | 1992-05-20 | 1993-05-19 | Electron multiplying device having multiple dynode stages encased by a housing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4127702A JP2662341B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 電子増倍管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05325879A true JPH05325879A (ja) | 1993-12-10 |
| JP2662341B2 JP2662341B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=14966596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4127702A Expired - Fee Related JP2662341B2 (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 電子増倍管 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5446275A (ja) |
| EP (1) | EP0571201B1 (ja) |
| JP (1) | JP2662341B2 (ja) |
| DE (1) | DE69304250T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001351565A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Hamamatsu Photonics Kk | 質量分析装置 |
| JP2021518975A (ja) * | 2018-03-23 | 2021-08-05 | アダプタス ソリューションズ プロプライエタリー リミテッド | 性能及び耐用年数が改善された粒子検出器 |
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|---|---|---|---|---|
| JPH07245078A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電子増倍管 |
| JP3455588B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2003-10-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 冷却装置付き光電検出器及びその製造方法 |
| JP3054032B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2000-06-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管 |
| JP3618013B2 (ja) * | 1995-07-20 | 2005-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
| JPH1083788A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Hamamatsu Photonics Kk | 磁気シールドケース |
| US5866901A (en) * | 1996-12-05 | 1999-02-02 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus for and method of ion detection using electron multiplier over a range of high pressures |
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| JP4250353B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2009-04-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP2006144783A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 高速回転ロータを有する真空ポンプのフランジと結合可能な破損防止装置 |
| JP5175388B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-04-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析用イオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法 |
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Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
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| US3229143A (en) | 1961-10-06 | 1966-01-11 | Nuclide Corp | Electron multiplier device |
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| US4431943A (en) * | 1980-12-16 | 1984-02-14 | Rca Corporation | Electron discharge device having a high speed cage |
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| JPS6264042A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Shimadzu Corp | 荷電粒子等の検出器 |
| JPH046741A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Hitachi Ltd | 質量分析計のイオン検出器 |
| JPH04160728A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-04 | Murata Mfg Co Ltd | ２次電子増倍管の製造方法 |
| JPH04233151A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-21 | Murata Mfg Co Ltd | イオン検出装置 |
-
1992
- 1992-05-20 JP JP4127702A patent/JP2662341B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-05-19 DE DE69304250T patent/DE69304250T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-05-19 US US08/063,418 patent/US5446275A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-05-19 EP EP93303890A patent/EP0571201B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS447267Y1 (ja) * | 1966-04-27 | 1969-03-18 |
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| JP2021518975A (ja) * | 2018-03-23 | 2021-08-05 | アダプタス ソリューションズ プロプライエタリー リミテッド | 性能及び耐用年数が改善された粒子検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5446275A (en) | 1995-08-29 |
| DE69304250T2 (de) | 1997-01-30 |
| JP2662341B2 (ja) | 1997-10-08 |
| EP0571201B1 (en) | 1996-08-28 |
| EP0571201A1 (en) | 1993-11-24 |
| DE69304250D1 (de) | 1996-10-02 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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