JPH05315433A - ウェハホルダ - Google Patents
ウェハホルダInfo
- Publication number
- JPH05315433A JPH05315433A JP12153092A JP12153092A JPH05315433A JP H05315433 A JPH05315433 A JP H05315433A JP 12153092 A JP12153092 A JP 12153092A JP 12153092 A JP12153092 A JP 12153092A JP H05315433 A JPH05315433 A JP H05315433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- piezoelectric element
- vibration
- pawl
- claws
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】爪２，３へウェハを正しく移載することが出来
る。 【構成】互いに離間して配置される台座４及び５に固定
されウェハ１を載せる爪２及び３と、これら爪２及び３
に取付けられる振動子である圧電素子７及び８と、いず
れかの圧電素子７に電気を供給する交流電源９と、他の
爪３の圧電素子８の振動を検知する電圧計１０と、台座
４及び台座５との間に接触することなく配置されるとと
もに前記検知電圧を有無によって上昇してウェハ１を支
持するウェハキャッチャ６を備えている。ウェハ１がウ
ェハホルダに正しく移載されると、交流電源９から交流
電圧が印加されている圧電素子７の振動が爪２及びウェ
ハ１を介して爪３の圧電素子８に振動が伝わり、この振
動が圧電素子８と接続される電圧計１０に電気信号とし
て計測される。ウェハ１が載置されないとき及びウェハ
１が正しく載置されないときは、振動は伝わることなく
電気信号は得られない。
る。 【構成】互いに離間して配置される台座４及び５に固定
されウェハ１を載せる爪２及び３と、これら爪２及び３
に取付けられる振動子である圧電素子７及び８と、いず
れかの圧電素子７に電気を供給する交流電源９と、他の
爪３の圧電素子８の振動を検知する電圧計１０と、台座
４及び台座５との間に接触することなく配置されるとと
もに前記検知電圧を有無によって上昇してウェハ１を支
持するウェハキャッチャ６を備えている。ウェハ１がウ
ェハホルダに正しく移載されると、交流電源９から交流
電圧が印加されている圧電素子７の振動が爪２及びウェ
ハ１を介して爪３の圧電素子８に振動が伝わり、この振
動が圧電素子８と接続される電圧計１０に電気信号とし
て計測される。ウェハ１が載置されないとき及びウェハ
１が正しく載置されないときは、振動は伝わることなく
電気信号は得られない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造装置
における半導体基板であるウェハを保持するウェハホル
ダに関する。
における半導体基板であるウェハを保持するウェハホル
ダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のウェハホルダの一例を示す
断面図である。従来のウェハホルダは、図２に示すよう
に、ウェハ１を載せる爪２及び爪３と、これら爪２及び
爪３を固定する台座４と、ウェハ１の有無を検知する透
過型の光ファイバセンサの投光器１１及び受光器１２を
有している。
断面図である。従来のウェハホルダは、図２に示すよう
に、ウェハ１を載せる爪２及び爪３と、これら爪２及び
爪３を固定する台座４と、ウェハ１の有無を検知する透
過型の光ファイバセンサの投光器１１及び受光器１２を
有している。
【０００３】次に、動作について説明する。ウェハ１が
無いときは、光ファイバセンサの投光器１１から発せら
れる光は受光器１２に入射する。また、ウェハ１がウェ
ハホルダへ運ばれて爪２及び爪３の上に載ると、光ファ
イバセンサの投光器１１から発せられる光はウェハ１に
てカットされるので受光器１２に入射しない。このよう
な投光器１１からの光が受光器１２へ入射するか否かで
ウェハ１の有無を認識していた。
無いときは、光ファイバセンサの投光器１１から発せら
れる光は受光器１２に入射する。また、ウェハ１がウェ
ハホルダへ運ばれて爪２及び爪３の上に載ると、光ファ
イバセンサの投光器１１から発せられる光はウェハ１に
てカットされるので受光器１２に入射しない。このよう
な投光器１１からの光が受光器１２へ入射するか否かで
ウェハ１の有無を認識していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のウェハホル
ダでは、光ファイバセンサにてウェハの有無のみを認識
しているものの、爪へウェハが正しく移載されたかどう
かを認識することは困難であった。このため、爪の一方
にしかウェハが載っていないにも拘らず、センサが積載
を検知し、ウェハを他に移載するためのウェハフォーク
が移動し、ウェハにフォークが当り、ウェハを割った
り、傷つけるような問題があった。
ダでは、光ファイバセンサにてウェハの有無のみを認識
しているものの、爪へウェハが正しく移載されたかどう
かを認識することは困難であった。このため、爪の一方
にしかウェハが載っていないにも拘らず、センサが積載
を検知し、ウェハを他に移載するためのウェハフォーク
が移動し、ウェハにフォークが当り、ウェハを割った
り、傷つけるような問題があった。
【０００５】本発明の目的は、このような問題を解決す
るためになされたもので、ウェハを正しく載置出来るウ
ェハホルダを提供することにある。
るためになされたもので、ウェハを正しく載置出来るウ
ェハホルダを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１のウェハホ
ルダは、互いに接触することなく配置される複数の台座
と、これら台座に取付けられるとともにウェハを載せる
複数の爪と、これら複数の爪に接続される振動子と、こ
れら振動子のいずれかに接続される振動供給源と、他の
爪に接続される振動検知器とを備えている。また第２の
ウェハホルダは、第１のウェハホルダに加えて前記台座
間に接触することなく配置されるとともに前記振動検知
器の振動の検知の有無によって上昇動作して前記ウェハ
を支持するウェハキャッチャを備えている。
ルダは、互いに接触することなく配置される複数の台座
と、これら台座に取付けられるとともにウェハを載せる
複数の爪と、これら複数の爪に接続される振動子と、こ
れら振動子のいずれかに接続される振動供給源と、他の
爪に接続される振動検知器とを備えている。また第２の
ウェハホルダは、第１のウェハホルダに加えて前記台座
間に接触することなく配置されるとともに前記振動検知
器の振動の検知の有無によって上昇動作して前記ウェハ
を支持するウェハキャッチャを備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示すウェハホル
ダの断面図である。このウェハホルダは、図１に示すよ
うに、互いに離間して配置される台座４及び５と、これ
ら台座４及び５に固定されウェハ１を載せる爪２及び３
と、これら爪２及び３に取付けられる振動子である圧電
素子７及び８と、いずれかの圧電素子７に電気を供給す
る交流電源９と、他の圧電素子８の印加電圧を測定する
電圧計１０と、爪２及び３の間に接触せずに配置される
とともに圧電素子８の検知電圧を有無により上昇したウ
ェハを支持する独立ウェハキャッチャ６を備えている。
ダの断面図である。このウェハホルダは、図１に示すよ
うに、互いに離間して配置される台座４及び５と、これ
ら台座４及び５に固定されウェハ１を載せる爪２及び３
と、これら爪２及び３に取付けられる振動子である圧電
素子７及び８と、いずれかの圧電素子７に電気を供給す
る交流電源９と、他の圧電素子８の印加電圧を測定する
電圧計１０と、爪２及び３の間に接触せずに配置される
とともに圧電素子８の検知電圧を有無により上昇したウ
ェハを支持する独立ウェハキャッチャ６を備えている。
【０００９】次に、このウェハホルダの動作を説明す
る。まず、ウェハ１がウェハホルダの爪２と爪３に正し
く移載される場合は、交流電源９から交流電圧が印加さ
れている圧電素子７の振動が爪２を介してウェハ１へ伝
わる。そしてウェハ１の振動は相対する爪３の圧電素子
８に伝わり、この振動が圧電素子８と電気接続される電
圧計１０に電気信号として計測される。この電気信号が
正しく移載されたことを確認する検知信号である。次
に、ウェハ１の移載が失敗した場合、すなわち、例えば
爪２または爪３のどちらか一方にしかウェハが載らない
場合は、前述のように電気信号は得られず、この検知信
号のないことを確認し、ウェハキャッチャ６が上昇し、
ウェハ１を支持する。台座４及び５並びにウェハキャッ
チャ６を互いに接触しないように離間して配置し圧電素
子７が発している振動は他方の圧電素子８には伝わらな
いようにしたことである。勿論、電圧計１０には電気信
号としての電圧は計測されない。また、ウェハ１がウェ
ハホルダに無い場合も、圧電素子７の振動は他方の圧電
素子８へ伝わらない。
る。まず、ウェハ１がウェハホルダの爪２と爪３に正し
く移載される場合は、交流電源９から交流電圧が印加さ
れている圧電素子７の振動が爪２を介してウェハ１へ伝
わる。そしてウェハ１の振動は相対する爪３の圧電素子
８に伝わり、この振動が圧電素子８と電気接続される電
圧計１０に電気信号として計測される。この電気信号が
正しく移載されたことを確認する検知信号である。次
に、ウェハ１の移載が失敗した場合、すなわち、例えば
爪２または爪３のどちらか一方にしかウェハが載らない
場合は、前述のように電気信号は得られず、この検知信
号のないことを確認し、ウェハキャッチャ６が上昇し、
ウェハ１を支持する。台座４及び５並びにウェハキャッ
チャ６を互いに接触しないように離間して配置し圧電素
子７が発している振動は他方の圧電素子８には伝わらな
いようにしたことである。勿論、電圧計１０には電気信
号としての電圧は計測されない。また、ウェハ１がウェ
ハホルダに無い場合も、圧電素子７の振動は他方の圧電
素子８へ伝わらない。
【００１０】このように圧電素子７からの振動が他方の
圧電素子８へ伝わるか否かを検知し、ウェハ１の移載状
態、つまり爪２と爪３にウェハ１が正しく載っているか
否か及びウェハ１の有無を認識し、ウェハの正しい移載
ができる。
圧電素子８へ伝わるか否かを検知し、ウェハ１の移載状
態、つまり爪２と爪３にウェハ１が正しく載っているか
否か及びウェハ１の有無を認識し、ウェハの正しい移載
ができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、互いに離
間してウェハを支持する爪を複数個配置し、これらの爪
のそれぞれに振動子を取付け、一つの爪の振動子の振動
がウェハを介して他の爪に伝わるか否かでウェハが正し
く載っているか否かを検知することが出来るので、ウェ
ハを正しく載置できるという効果がある。
間してウェハを支持する爪を複数個配置し、これらの爪
のそれぞれに振動子を取付け、一つの爪の振動子の振動
がウェハを介して他の爪に伝わるか否かでウェハが正し
く載っているか否かを検知することが出来るので、ウェ
ハを正しく載置できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すウェハホルダの断面図
である。
である。
【図２】従来の一例を示すウェハホルダの断面図であ
る。
る。
１ ウェハ ２，３ 爪 ４，５ 台座 ６ ウェハキャッチャ ７，８ 圧電素子 ９ 交流電源 １０ 電圧計 １１ 投光器 １２ 受光器
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに接触することなく配置される複数
の台座と、これら台座に取付けられるとともにウェハを
載せる複数の爪と、これら複数の爪に接続される振動子
と、これら振動子のいずれかに接続される振動供給源
と、他の爪に接続される振動検知器とを備えることを特
徴とするウェハホルダ。 - 【請求項２】 前記台座間に接触することなく配置され
るとともに前記振動検知器の振動の検知の有無によって
上昇動作して前記ウェハを支持するウェハキャッチャを
備えることを特徴とするウェハホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12153092A JPH05315433A (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | ウェハホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12153092A JPH05315433A (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | ウェハホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05315433A true JPH05315433A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14813520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12153092A Withdrawn JPH05315433A (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | ウェハホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05315433A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1023645A4 (en) * | 1997-10-10 | 2004-12-22 | Applied Komatsu Technology Inc | METHODS AND SYSTEMS FOR PROCESSING AUTOMATED SUBSTRATES |
| WO2008110746A3 (en) * | 2007-03-14 | 2008-10-30 | Metryx Ltd | Measuring apparatus |
| JP2010188500A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Ihi Corp | ワークの取付け状態確認方法 |
-
1992
- 1992-05-14 JP JP12153092A patent/JPH05315433A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1023645A4 (en) * | 1997-10-10 | 2004-12-22 | Applied Komatsu Technology Inc | METHODS AND SYSTEMS FOR PROCESSING AUTOMATED SUBSTRATES |
| JP2009152575A (ja) * | 1997-10-10 | 2009-07-09 | Akt Kk | 自動基板処理システム及び方法 |
| WO2008110746A3 (en) * | 2007-03-14 | 2008-10-30 | Metryx Ltd | Measuring apparatus |
| US8200353B2 (en) | 2007-03-14 | 2012-06-12 | Metryx Limited | Measuring apparatus |
| JP2010188500A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Ihi Corp | ワークの取付け状態確認方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |