KR101384546B1 - 기판 이송 시스템 - Google Patents

기판 이송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101384546B1
KR101384546B1 KR1020130018395A KR20130018395A KR101384546B1 KR 101384546 B1 KR101384546 B1 KR 101384546B1 KR 1020130018395 A KR1020130018395 A KR 1020130018395A KR 20130018395 A KR20130018395 A KR 20130018395A KR 101384546 B1 KR101384546 B1 KR 101384546B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
transfer
transfer device
close contact
transparent member
Prior art date
Application number
KR1020130018395A
Other languages
English (en)
Inventor
유동현
Original Assignee
위드로봇 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 위드로봇 주식회사 filed Critical 위드로봇 주식회사
Priority to KR1020130018395A priority Critical patent/KR101384546B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101384546B1 publication Critical patent/KR101384546B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

기판 이송 시스템이 개시된다. 상기 기판 이송 시스템은, 기판 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제1이송장치, 상기 제1이송장치와 소정의 거리만큼 이격되어 배치되며 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제2이송장치, 상기 기판의 윗면의 적어도 일부와 밀착되도록 형성되어 상기 기판을 상기 제1이송장치에서 상기 제2이송장치 방향으로 이송시키는 상부 이송장치, 및 서로 이격된 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치 사이의 상기 기판의 이송경로 상에 상기 기판을 지지할 수 있도록 배치되는 투명부재를 포함한다.

Description

기판 이송 시스템{Substrate transfer system}
본 발명은 기판 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소정의 기판(예컨대, 반도체 웨이퍼)을 이송하는 경우, 상기 기판의 이송중 상기 기판의 아랫면의 외관(예컨대, 크기, 모양 등)을 보다 용이하게 측정할 수 있도록 하는 시스템에 관한 것이다.
종래에 소정의 기판(예컨대, 반도체 웨이퍼)을 이송하면서 상기 기판의 외관을 측정하기 위한 다양한 기술들이 있으며, 이를 위한 기판 이송장치(예컨대, 컨베이어 벨트)가 공지되어 있다. 종래의 기판 이송장치는 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착 즉, 상기 기판이 상기 기판 이송장치에 올려진 채 상기 기판 이송장치에 의해 이송되고 있다.
이때, 상기 기판의 면적, 모서리의 길이, 및/또는 결함 여부 등을 알기 위하여 소정의 외관 측정 시스템을 통해 상기 기판의 외관을 측정할 수 있다. 본 명세서에서 상기 기판의 외관을 측정한다고 함은, 상기 기판의 면적, 모서리의 길이 등 상기 기판의 검사에 필요한 다양한 외관 성분 및/또는 상기 기판 표면의 결함을 측정하는 것을 포함하는 것을 의미할 수 있다. 이러한 경우 상기 외관 측정 시스템은 적어도 하나의 라인 스캔 카메라와 같은 영상획득 장치 또는 소정의 거리 측정 장치를 통해 상기 기판의 외관 및/또는 결함 여부를 측정할 수 있다. 이처럼 소정의 기판에 대한 외관 및/또는 결함을 측정하기 위한 기술들은 널리 공지되어 있으므로 본 명세서에서 상세한 설명은 생략하도록 하며, 이하 본 명세서에서 외관 측정 시스템은 상기 기판의 외관 및/또는 결함 여부를 측정할 수 있는 시스템을 포함하는 의미로 사용될 수 있다.
이와 같은 외관 측정 시스템에 대한 기술적 사상이 본 출원인이 이전에 출원한 한국특허(출원번호 10-2011-0103919, "외관 측정 시스템 및 그 방법", 이하 '이전출원')에 개시된 바 있으며, 본 명세서에서는 이전출원의 기술적 사상을 레퍼런스로 포함할 수 있다.
이전출원은 소정의 기판(예컨대, 반도체 웨이퍼)의 외관을 측정하기 위한 발명으로, 소정의 기판 이송장치(예컨대, 컨베이어 벨트)에 의해 이송되는 웨이퍼를 복수의 라인 스캔 카메라를 이용하여 스캔 및 보정하여 정밀한 외관측정이 가능하도록 하는 기술적 사상이 개시되고 있다.
그러나, 상기 이전출원의 경우 상기 기판의 아랫면을 측정하기에는 어려움이 존재하였다. 상기 이전출원에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송장치(예컨대, 컨베이어 벨트)는 전술한 바와 같이 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착 즉, 상기 기판이 상기 기판 이송장치에 올려진 채 상기 기판 이송장치에 의해 이송되기 때문인데, 이처럼 상기 기판 이송장치상에 기판이 있는 경우, 상기 기판 이송장치가 상기 기판의 아랫면을 가리게 되어 상기 기판의 아랫면을 측정하지 못하였다. 따라서, 종래에는 이송중인 기판의 아랫면을 측정하기 위해 복수의 기판 이송장치를 구비하여, 하나의 기판 이송장치와 다른 기판 이송장치 사이를 상기 기판이 이동할 때 상기 기판의 아랫면을 측정하였다.
도 1은 종래의 기판 이송 시스템에서 기판의 아랫면을 측정하기 위한 방법을 나타낸다.
도 1을 참조하면, 이송중인 기판(140)의 아랫면을 측정하기 위한 종래의 기판 이송 시스템(1)은 제1이송장치(110) 및 제2이송장치(120)를 포함하여 구성되고 있는데, 이때 상기 제1이송장치(110)와 상기 제2이송장치(120)가 상기 기판(140)의 이송방향으로 서로 이격되도록 배치하여, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간을 통해 소정의 외관 측정 수단(200)을 이용하여 상기 기판(140)의 아랫면을 측정하고 있다. 이때, 상기 외관 측정 수단(200)은 예컨대 카메라와 같은 소정의 영상획득 장치일 수 있으며, 또는 상기 기판(140)의 표면 결함을 측정하는 경우에는 소정의 거리 측정 장치로 구현될 수도 있다.
이하 본 명세서에서는 설명의 편의를 위해 상기 외관 측정 수단(200)이 카메라로 구현되는 경우를 일 예로 설명하지만 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 라인 스캔 카메라 및/또는 거리측정 장치 등 상기 기판(140)의 외관을 측정할 수 있는 어떠한 장치 및/또는 시스템으로도 구현될 수 있음은 본 발명의 기술분야의 평균적 전문가는 용이하게 추론할 수 있을 것이다.
이처럼 상기 기판(140)의 아랫면을 측정하기 위한 기판 이송 시스템에서는 두 개의 기판 이송장치(예컨대, 제1이송장치(110) 및 제2이송장치(120))를 상기 기판(140)이 건너가는 형태로 상기 기판(140)을 이송하게 되는데, 이때 상기 기판(140)은 필연적으로 진동이 발생하게 되어 진동으로 인한 왜곡된 정보로 인해 정확한 정보를 획득하기 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 종래에는 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)의 이격된 거리를 가능한 좁게 하여 상기 기판(140)의 진동을 최소화하였는데, 이처럼 이송장치들 간의 이격된 거리가 좁아지는 경우 상기 이송장치들 사이 공간으로 상기 기판(140)의 아랫면을 측정하기 위해 필요한 다양한 장비(예컨대, 조명장치 등)를 배치하는데 어려움이 존재하게 되는 문제점이 있다. 또한, 이처럼 이송장치들 간의 이격된 거리를 가능한 좁힌다고 하더라도, 이송장치들 간의 미세한 이송속도 차이 등의 문제로 인해 상기 기판(140)의 진동이 여전히 발생할 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 간의 이격된 거리가 넓은 경우에도 상기 기판(140)의 이송중 발생할 수 있는 진동을 가능한 줄여 보다 용이하면서도 정확하게 상기 기판(140)의 아랫면에 대한 외관 정보를 획득할 수 있는 시스템이 절실히 요구된다.
전술한 문제점을 해결하기 위해 본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 이송중인 기판의 아랫면을 측정하기 위한 기판 이송 시스템에서 상기 기판의 윗면에 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 상부 이송장치를 구비하여, 상기 기판의 아랫면을 측정할 수 있는 충분한 공간을 확보하면서도 이송 중인 상기 기판의 진동을 방지 수 있는 기판 이송 시스템을 제공하는 것이다.
또한, 상기 기판의 아랫면과 밀착하여 상기 기판을 이송하는 두 개의 이송장치의 이격된 사이에 상기 두 개의 이송장치와 높이가 실질적으로 동일하며 상기 기판을 지지할 수 있는 소정의 투명부재를 구비하여, 상기 두 개의 이송장치의 이격된 거리가 긴 경우에도 상기 기판의 진동을 가능한 줄이면서 상기 기판의 아랫면을 용이하게 측정할 수 있는 기판 이송 시스템을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 시스템은, 기판 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제1이송장치, 상기 제1이송장치와 소정의 거리만큼 이격되어 배치되며 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제2이송장치, 상기 기판의 윗면의 적어도 일부와 밀착되도록 형성되어 상기 기판을 상기 제1이송장치에서 상기 제2이송장치 방향으로 이송시키는 상부 이송장치, 및 서로 이격된 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치 사이의 상기 기판의 이송경로 상에 상기 기판을 지지할 수 있도록 배치되는 투명부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 투명부재는, 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치에서 상기 기판이 이송되는 면의 높이와 상기 기판이 지지되는 상기 투명부재의 일 면의 높이가 실질적으로 동일하도록 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 상부 이송장치는, 롤러로 구현되어 상기 롤러의 회전에 의해 상기 기판이 이송되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 롤러는 상기 기판의 적어도 일부가 상기 투명부재 상에 위치하는 경우 상기 기판의 윗면의 적어도 일부와 밀착되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 상부 이송장치는, 상기 기판을 흡착할 수 있는 흡착식 벨트로 구현되어 상기 흡착식 벨트에 의해 상기 기판의 윗면의 적어도 일부가 흡착되어 상기 기판이 이송되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 흡착식 벨트는, 상기 제1이송장치의 이송방향의 일 단에 상기 기판의 적어도 일부가 도달하는 경우 상기 기판의 윗면의 적어도 일부를 흡착하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송 시스템은, 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치의 이격된 거리가 상기 기판의 이송방향의 길이보다 긴 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 상부 이송장치는, 상기 기판이 이송되는 이송속도에 대한 속도정보를 외관 측정 수단으로 전송하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 이송 시스템은, 기판 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제1이송장치, 상기 제1이송장치와 소정의 거리만큼 이격되어 배치되며 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제2이송장치, 및 서로 이격된 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치 사이의 상기 기판의 이송경로 상에 상기 기판을 지지할 수 있고, 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치에서 상기 기판이 이송되는 면의 높이와 상기 기판이 지지되는 일 면의 높이가 실질적으로 동일하도록 배치되는 투명부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 시스템에 의하면, 이송중인 기판의 윗면에 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 상부 이송장치를 구비함으로써 이송장치들 간의 이격된 거리를 넓힐 수 있어 상기 기판의 아랫면을 측정하기 위한 공간을 용이하게 확보할 수 있으며, 서로 이격된 이송장치들 사이를 통과하면서 발생할 수 있는 진동을 방지하여 보다 정밀하게 상기 기판을 측정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 기판의 아랫면에 밀착되어 상기 기판을 이송하는 두 개의 이격된 이송장치 사이에 상기 두 개의 이송장치와 동일한 높이로 상기 기판을 지지할 수 있도록 배치되는 소정의 투명부재를 구비함으로써 상기 기판의 아랫면을 측정할 수 있는 공간을 용이하게 확보할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 종래의 기판 이송 시스템에서 기판의 아랫면을 측정하기 위한 방법을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 시스템의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 상부 이송장치가 소프트 롤러로 구현되는 경우의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 상부 이송장치가 흡착식 벨트로 구현되는 경우의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 시스템에서 이송장치 간의 거리와 기판의 길이를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
또한, 본 명세서에 있어서는 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소로 데이터를 '전송'하는 경우에는 상기 구성요소는 상기 다른 구성요소로 직접 상기 데이터를 전송할 수도 있고, 적어도 하나의 또 다른 구성요소를 통하여 상기 데이터를 상기 다른 구성요소로 전송할 수도 있는 것을 의미한다.
반대로 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소로 데이터를 '직접 전송'하는 경우에는 상기 구성요소에서 다른 구성요소를 통하지 않고 상기 다른 구성요소로 상기 데이터가 전송되는 것을 의미한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 시스템의 개략적인 구성을 나타낸다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 시스템(100)은 소정의 기판(140)의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판(140)을 이송할 수 있는 제1이송장치(110), 상기 제1이송장치(110)와 소정의 거리(L)만큼 이격되어 배치되며 상기 기판(140)의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판(140)을 이송할 수 있는 제2이송장치(120), 및 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부와 밀착되도록 형성되어 상기 기판(140)을 상기 제1이송장치(110)에서 상기 제2이송장치(120) 방향으로 이송시키는 상부 이송장치(130)를 포함할 수 있다.
상기 기판(140)은 예컨대 반도체 웨이퍼, 태양전지용 웨이퍼 등을 의미할 수 있으며, 어떤 종류의 기판이라도 본 발명의 기술적 사상이 용이하게 적용될 수 있음을 본 발명의 기술분야의 평균적 전문가는 용이하게 추론할 수 있을 것이다.
또한, 이하 본 명세서에서는 설명의 편의를 위해 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)가 컨베이어 벨트로 구현되는 경우를 위주로 설명하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 기판(140)의 아랫면과 밀착하여 상기 기판(140)을 이송방향으로 이송할 수 있는 다양한 형태의 이송장치를 포함할 수 있다.
이때, 상기 상부 이송장치(130)가 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부와 밀착되는 지점은 구현 예에 따라 다양할 수 있다.
예컨대, 상기 제1이송장치(110)에 의해 이송중인 상기 기판(140)의 적어도 일부가 상기 제1이송장치(110)의 이송방향의 일 단 즉, 상기 제2이송장치(120) 방향의 일 단에 도달하여 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 간의 이격된 공간에 진입하는 시점에 상기 상부 이송장치(130)가 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판(140)을 이송할 수 있다. 또는, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 간의 이격된 공간에 상기 기판(140)이 일정 부분 이상 진입하는 경우에 상기 상부 이송장치(130)가 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부와 밀착될 수도 있다.
구현 예에 따라서, 상기 기판(140)이 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 간의 이격된 공간에 진입하기 전 상기 제1이송장치(110) 상의 소정의 지점에 위치할 때 상기 상부 이송장치(130)에 의해 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부가 밀착될 수도 있다.
결국, 이와 같이 상기 상부 이송장치(130)는 상기 제1이송장치(110)로부터 이송되는 상기 기판(140)을 상기 제1이송장치(110) 상의 소정의 위치에서부터 상기 제1이송장치와 소정의 거리(L)만큼 이격된 상기 제2이송장치(120)를 향하여 이송할 수 있다.
이때, 전술한 바와 같이 소정의 카메라(200)는 상기 제1이송장치(110)와 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간 즉, 상기 상부 이송장치(130)가 상기 기판(140)을 이송하는 구간에서 상기 기판(140)의 아랫면을 스캔할 수 있다. 물론, 구현 예에 따라 상기 카메라(200)는 상기 기판(140) 표면의 결함 등을 검출할 수 있도록 소정의 거리 측정 장치로 구현될 수도 있음은 전술한 바와 같다.
한편, 상기 상부 이송장치(130)는 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 상기 상부 이송장치(130)의 실시 예를 도 3 및 도 4를 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 상부 이송장치가 롤러로 구현되는 경우의 개략적인 구성을 나타내며, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 상부 이송장치가 흡착식 벨트로 구현되는 경우의 개략적인 구성을 나타낸다.
우선 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 상부 이송장치(130)는 롤러(131)로 구현될 수 있다. 상기 롤러(131)는 소정의 모터에 의해 구동될 수 있으며, 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부와 밀착될 수 있도록 배치되어 상기 롤러(131)의 회전에 의해 상기 기판(140)을 이송할 수 있다. 이를 위해, 상기 롤러(131)는 상기 기판(140)의 파손을 방지하면서도 상기 기판(140)과 미끄러지지 않고 상기 기판(140)을 이송할 수 있도록 소정의 탄성 및 마찰력을 가지도록 구현되는 것이 바람직할 수 있다.
이처럼 상기 상부 이송장치(130)가 상기 롤러(131)로 구현되는 경우, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이송방향 상의 이격된 공간에 소정의 투명부재(160)가 구비될 수 있다. 상기 투명부재는 예컨대 유리판으로 구현될 수 있지만 이에 한정되지 않으며, 투명 아크릴판 등 상기 기판(140)을 지지할 수 있으면서 상기 기판(140)의 아랫면이 명확하게 보일 수 있는 다양한 투명부재로 구현될 수도 있다.
결국, 상기 상부 이송장치(130)가 상기 롤러(131)로 구현되는 경우에 상기 투명부재(160)는 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간에서 상기 기판(140)의 일부분이 중력에 의해 지면방향으로 기울어지지 않도록 상기 기판(140)을 지지하면서 상기 기판(140)의 아랫면을 용이하게 측정하도록 하는 기능을 수행할 수 있다.
특히, 상기 투명부재(160)는 상기 기판(140)의 진동을 가능한 방지할 수 있도록 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)와 그 높이가 실질적으로 동일하도록 배치되는 것이 바람직할 수 있다.
한편, 도 4a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 상부 이송장치(130)는 흡착식 벨트(132)로 구현될 수 있다. 상기 흡착식 벨트(132)는 종래의 컨베이어 벨트와 유사한 원리로 소정의 모터에 의해 구동되며 상기 기판(140)을 이송할 수 있다. 다만, 종래의 컨베이어 벨트가 상기 기판(140)의 아랫면과 밀착되어 상기 기판(140)을 이송하는데 비해, 상기 흡착식 벨트(132)는 상기 기판(140)의 윗면과 밀착 즉, 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부를 흡착한 상태로 상기 기판(140)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다.
도 4b는 이처럼 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부를 흡착하기 위한 벨트 가이드를 나타내는데, 도면에 도시된 바와 같이 벨트가 올려지는 가이드에 복수의 구멍(133)을 형성하고, 형성된 구멍(133)을 통해 상기 가이드와 연결된 소정의 에어펌프(미도시)로 공기를 빨아들임으로써 상기 기판(140)을 흡착할 수 있도록 할 수 있다. 결과적으로, 상기 기판(140)은 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부가 상기 흡착식 벨트(132)에 붙어서 이송될 수 있다. 물론 이외에도 상기 기판(140)의 윗면의 적어도 일부를 흡착하여 상기 기판(140)을 이송할 수 있는 어떠한 형태의 벨트로도 구현될 수 있음은 본 발명의 기술분야의 평균적 전문가들은 용이하게 추론할 수 있을 것이다.
이처럼 상기 상부 이송장치(130)가 상기 흡착식 벨트(132)로 구현되는 경우에는 전술한 바와 같이 상기 기판(140)을 지지하기 위한 상기 투명부재(160)가 구비되지 않을 수 있다.
한편, 본 발명의 기술적 사상에 따른 기판 이송 시스템(100)과 같이 소정의 상부 이송장치(130)가 구비되는 경우에는 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)와 겹치지 않으면서 상기 상부 이송장치(130)에 의해서만 상기 기판(140)이 이송되는 구간이 있는 것이 상기 기판(140)의 아랫면을 보다 정확하게 측정하는데 유리할 수 있다.
도 1에 도시된 종래의 기판 이송 시스템(1)에서 상기 제1이송장치(110)로부터 상기 제2이송장치(120)로 넘어가는 기판(140)의 아랫면을 측정할 때 왜곡이 발생하기 쉬운 이유는 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)의 높이에 차이 때문일 수도 있지만, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 각각의 이송속도(즉, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120)를 구동시키는 모터의 구동속도)의 차이가 원인이 될 수 있다.
즉, 이송방향과 평행한 방향의 기판(140)의 길이를 측정하는데 이송속도가 큰 영향을 미칠 수 있는데, 상기 기판(140)이 상기 제1이송장치(110)에서 상기 제2이송장치(120)로 넘어가는 일정 시간 동안은 상기 기판(140)의 아랫면 일부가 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 모두와 밀착될 수 있으며, 이러한 경우 상기 기판(140)의 이동속도가 정속이 아닌 변동이 있을 수 있어 상기 기판(140)의 외관 측정 정밀도에 큰 영향을 줄 수 있다.
따라서, 본 발명의 기술적 사상에 의하면 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격되는 거리를 상기 기판(140)의 이송방향의 길이보다 길도록 하여 상기 기판(140)의 아랫면을 측정할 때 다른 이송장치와 겹치지 않고 상기 상부 이송장치(130)에 의해서만 상기 기판(140)이 이송되는 구간을 구비할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 시스템에서 이송장치 간의 거리와 기판의 길이를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 상기 상부 이송장치(130)가 상기 흡착식 벨트(132)로 구현되고, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 거리(L)가 상기 기판(140)의 이송방향의 길이(l)보다 길게 형성되어, 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이에서 상기 흡착식 벨트(132)에 의해서만 상기 기판(140)이 이송되고 있음을 알 수 있다.
이때, 상기 카메라(200)는 상기 흡착식 벨트(132)에 의해서만 이송되는 상기 기판(140)의 아랫면을 스캔할 수 있으며, 상기 흡착식 벨트(132)는 상기 기판(140)이 이송되는 이송속도에 대한 속도정보를 상기 카메라(200)로 전송할 수 있다. 여기서 전송되는 상기 속도정보는 상기 흡착식 벨트(132)를 구동하는 모터의 인코더 신호일 수 있으며, 전송된 상기 인코더 신호가 상기 카메라(200)의 프레임 그래버(frame grabber)에 입력됨으로써 상기 모터의 인코더 신호에 동기하여 상기 카메라(200)가 영상을 획득하여 보다 정확한 기판(140)의 외관을 측정하도록 할 수 있다.
도 5에는 상기 상부 이송장치(130)가 흡착식 벨트(132)로 구현되는 경우를 예로 들었으나, 상기 상부 이송장치(130)가 전술한 바와 같은 롤러(131)로 구현되는 경우에도 본 발명의 기술적 사상이 그대로 적용될 수 있다.
상기 상부 이송장치(130)가 상기 롤러(131)로 구현되는 경우에도 상기 롤러(131)를 구동하는 모터의 인코더 신호가 상기 카메라(200)로 전송될 수 있음은 물론이다. 다만, 이처럼 상기 상부 이송장치(130)가 상기 롤러(131)로 구현되면, 전술한 바와 같이 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간에 상기 투명부재(160)가 구비될 수 있다. 상기 투명부재(160)는 그 길이가 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 거리(L)와 거의 근접한 길이로 구현될 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았지만 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 이송 시스템(100)은 상기 상부 이송장치(130)를 포함하지 않을 수도 있다.
이러한 경우 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간에는 전술한 바와 같이 상기 투명부재(160)가 배치될 수 있다. 이때 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 거리(L)는 상기 기판(140)의 이송방향의 길이보다 짧도록 구현되는 것이 바람직할 수 있다.
결국, 본 발명의 기술적 사상에 따른 기판 이송 시스템(100)에 의하면, 기판(140)의 아랫면을 측정하기 위한 종래의 기판 이송 시스템(1)에 비해 상기 제1이송장치(110) 및 상기 제2이송장치(120) 사이의 이격된 공간을 상대적으로 넓게 확보할 수 있어 상기 카메라(200) 및 상기 기판(140)의 아랫면의 외관을 측정하기 위한 소정의 장비들을 용이하게 배치할 수 있는 효과를 가질 수 있으며, 또한 상기 기판(140)이 상기 제1이송장치(110)에서 상기 제2이송장치(120)로 이송되어 넘어가는 경우에 발생하는 진동을 방지하여 보다 정밀한 외관을 측정할 수 있도록 하는 효과를 가질 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 기판 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제1이송장치;
    상기 제1이송장치와 소정의 거리만큼 이격되어 배치되며 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제2이송장치;
    상기 기판의 윗면의 적어도 일부와 밀착되도록 형성되어 상기 기판을 상기 제1이송장치에서 상기 제2이송장치 방향으로 이송시키는 상부 이송장치; 및
    서로 이격된 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치 사이의 상기 기판의 이송경로 상에 상기 기판을 지지할 수 있도록 배치되는 투명부재를 포함하는 기판 이송 시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 투명부재는,
    상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치에서 상기 기판이 이송되는 면의 높이와 상기 기판이 지지되는 상기 투명부재의 윗면의 높이가 실질적으로 동일하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송장치는,
    롤러로 구현되어 상기 롤러의 회전에 의해 상기 기판이 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 롤러는,
    상기 기판의 적어도 일부가 상기 투명부재 상에 위치하는 경우 상기 기판의 윗면의 적어도 일부와 밀착되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송장치는,
    상기 기판을 흡착할 수 있는 흡착식 벨트로 구현되어 상기 흡착식 벨트에 의해 상기 기판의 윗면의 적어도 일부가 흡착되어 상기 기판이 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 흡착식 벨트는,
    상기 제1이송장치의 이송방향의 일 단에 상기 기판의 적어도 일부가 도달하는 경우 상기 기판의 윗면의 적어도 일부를 흡착하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송 시스템은,
    상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치의 이격된 거리가 상기 기판의 이송방향의 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 상기 상부 이송장치는,
    상기 기판이 이송되는 이송속도에 대한 속도정보를 외관 측정 수단으로 전송하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  10. 기판 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제1이송장치;
    상기 제1이송장치와 소정의 거리만큼 이격되어 배치되며 상기 기판의 아랫면의 적어도 일부와 밀착되어 상기 기판을 이송할 수 있는 제2이송장치; 및
    서로 이격된 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치 사이의 상기 기판의 이송경로 상에 상기 기판을 지지할 수 있고, 상기 제1이송장치 및 상기 제2이송장치에서 상기 기판이 이송되는 면의 높이와 상기 기판이 지지되는 일 면의 높이가 실질적으로 동일하도록 배치되는 투명부재를 포함하는 기판 이송 시스템.

KR1020130018395A 2013-02-21 2013-02-21 기판 이송 시스템 KR101384546B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130018395A KR101384546B1 (ko) 2013-02-21 2013-02-21 기판 이송 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130018395A KR101384546B1 (ko) 2013-02-21 2013-02-21 기판 이송 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101384546B1 true KR101384546B1 (ko) 2014-04-21

Family

ID=50657467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130018395A KR101384546B1 (ko) 2013-02-21 2013-02-21 기판 이송 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101384546B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3623651B2 (ja) * 1998-03-30 2005-02-23 トヤマキカイ株式会社 搬送装置
KR100976391B1 (ko) * 2009-10-06 2010-08-18 유승진 기판 이송장치
KR20110060054A (ko) * 2009-11-30 2011-06-08 한미반도체 주식회사 웨이퍼 검사장비의 웨이퍼 이송장치
KR20120040312A (ko) * 2010-10-19 2012-04-27 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3623651B2 (ja) * 1998-03-30 2005-02-23 トヤマキカイ株式会社 搬送装置
KR100976391B1 (ko) * 2009-10-06 2010-08-18 유승진 기판 이송장치
KR20110060054A (ko) * 2009-11-30 2011-06-08 한미반도체 주식회사 웨이퍼 검사장비의 웨이퍼 이송장치
KR20120040312A (ko) * 2010-10-19 2012-04-27 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100504422C (zh) 太阳能电池的测试系统
JP6908570B2 (ja) 検査システム及び欠陥分析方法
KR101454823B1 (ko) 외관 검사 장치
TWI393878B (zh) 面板檢測裝置及檢測面板的方法
CN106711077B (zh) 一种真空吸附传输装置及太阳能电池片缺陷检测仪
CN212049309U (zh) 传送带输送检测装置
KR20190011979A (ko) 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
JP2015086019A (ja) 教示システム
KR101384546B1 (ko) 기판 이송 시스템
CN111322945A (zh) 极片检测装置
JP3176803U (ja) 検査用照明装置
KR100975645B1 (ko) 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법
JP2011119636A (ja) ウェハ搬送検査機台及びウェハ搬送検査方法
WO2018139244A1 (ja) アライメント装置
CN102439707A (zh) 基片的系统及处理
KR101111272B1 (ko) 향상된 정확도를 갖는 전자기기 케이스의 외관 검사장치
TW200928396A (en) Testing device to test plates for electronic circuits and relative method
CN105334227A (zh) 带光源的芯片检测系统
KR101613738B1 (ko) 전송-모드 측정을 위한 오프-축 시트-처리 장치 및 방법
KR20160066741A (ko) 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법
KR101358108B1 (ko) 미끄러지는 대상물에 대한 비전 검사 장치
ATE315964T1 (de) Fordervorrichtung und prüfvorrichtung
JP3873713B2 (ja) 金属検出方法および装置
JP2694216B2 (ja) ウエハ処理方法およびウエハ処理装置
KR101318212B1 (ko) 글라스 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170406

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180321

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee