JPH05313702A - 制御装置 - Google Patents
制御装置Info
- Publication number
- JPH05313702A JPH05313702A JP11886092A JP11886092A JPH05313702A JP H05313702 A JPH05313702 A JP H05313702A JP 11886092 A JP11886092 A JP 11886092A JP 11886092 A JP11886092 A JP 11886092A JP H05313702 A JPH05313702 A JP H05313702A
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- Japan
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- controller
- control
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- Feedback Control In General (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】制御量１，２の目標値までの整定時間を短縮す
ることを可能とする。 【構成】制御量１目標値及び制御対象部１４からフィー
ドバックされる制御量１実績値を入力する第１制御器制
御演算部１１と、制御量２目標値及び第１制御器制御演
算部１１からの上下限処理前操作量１設定値（＝制御量
２フィードバック値）を入力として制御動作を行なう第
２制御器制御演算部１２と、第１制御器制御演算部１１
の処理結果に対して上下限処理を行ない上下限処理後操
作量１設定値を制御対象部１４に出力する第１制御器上
下限処理部１３により、制御対象部１４を制御する。
ることを可能とする。 【構成】制御量１目標値及び制御対象部１４からフィー
ドバックされる制御量１実績値を入力する第１制御器制
御演算部１１と、制御量２目標値及び第１制御器制御演
算部１１からの上下限処理前操作量１設定値（＝制御量
２フィードバック値）を入力として制御動作を行なう第
２制御器制御演算部１２と、第１制御器制御演算部１１
の処理結果に対して上下限処理を行ない上下限処理後操
作量１設定値を制御対象部１４に出力する第１制御器上
下限処理部１３により、制御対象部１４を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、操作量の設定に上下限
処理が行なわれる制御器からの情報を入力して制御動作
を行なう、例えば真空蒸着装置の蒸着膜厚制御やロボッ
トの位置制御に好適な制御装置に関する。
処理が行なわれる制御器からの情報を入力して制御動作
を行なう、例えば真空蒸着装置の蒸着膜厚制御やロボッ
トの位置制御に好適な制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】操作量の設定に上下限処理を行なう制御
器からの情報を入力して制御動作を行なう制御装置は、
図３に示すような構成となっている。図３に示すよう
に、制御装置は、第１制御器制御演算部１、第２制御器
制御演算部２、及び第１制御器上下限処理部３によって
構成され、制御対象部４の制御を行なう。
器からの情報を入力して制御動作を行なう制御装置は、
図３に示すような構成となっている。図３に示すよう
に、制御装置は、第１制御器制御演算部１、第２制御器
制御演算部２、及び第１制御器上下限処理部３によって
構成され、制御対象部４の制御を行なう。
【０００３】第１制御器制御演算部１は、制御対象部４
からの制御量１実績値をフィードバックして、制御量１
目標値となるように比例・積分動作を行ない、操作量１
上下限処理前設定値を算出し、第１制御器上下限処理部
３に出力する。第１制御器上下限処理部３は、操作量１
上下限処理前設定値に対して上下限処理を行ない、操作
量１上下限処理後設定値を制御対象部４に出力する。
からの制御量１実績値をフィードバックして、制御量１
目標値となるように比例・積分動作を行ない、操作量１
上下限処理前設定値を算出し、第１制御器上下限処理部
３に出力する。第１制御器上下限処理部３は、操作量１
上下限処理前設定値に対して上下限処理を行ない、操作
量１上下限処理後設定値を制御対象部４に出力する。
【０００４】第２制御器２は、制御対象部４から得られ
る操作量１実績値を制御量２のフィードバック値として
入力して比例・積分操作を行ない、操作量２設定値を求
め、これを制御対象部４に出力する。これにより、制御
量１，２ともに目標値となるように制御が行なわれる。
る操作量１実績値を制御量２のフィードバック値として
入力して比例・積分操作を行ない、操作量２設定値を求
め、これを制御対象部４に出力する。これにより、制御
量１，２ともに目標値となるように制御が行なわれる。
【０００５】このような構成による制御装置を適用でき
る具体例としては、真空蒸着装置の蒸着膜厚制御があ
る。真空蒸着装置は、シート状の被蒸着材を送出ロール
により搬送すると共に、アルミニウム等の蒸着材を格納
するルツボを加熱装置で加熱することにより、被蒸着材
に蒸着材を蒸着させる。このような構成の真空蒸着装置
において、蒸着膜厚を一定に保つために、蒸着膜厚が蒸
着材の温度に比例し、被蒸着材の速度に反比例すること
を利用する。この場合、制御量１、操作量１（＝制御量
２）、操作量２がそれぞれ、蒸着膜の厚さ、被蒸着材を
搬送するライン速度、加熱装置への投入電力に対応す
る。
る具体例としては、真空蒸着装置の蒸着膜厚制御があ
る。真空蒸着装置は、シート状の被蒸着材を送出ロール
により搬送すると共に、アルミニウム等の蒸着材を格納
するルツボを加熱装置で加熱することにより、被蒸着材
に蒸着材を蒸着させる。このような構成の真空蒸着装置
において、蒸着膜厚を一定に保つために、蒸着膜厚が蒸
着材の温度に比例し、被蒸着材の速度に反比例すること
を利用する。この場合、制御量１、操作量１（＝制御量
２）、操作量２がそれぞれ、蒸着膜の厚さ、被蒸着材を
搬送するライン速度、加熱装置への投入電力に対応す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の制御装置では、操作量１設定値が操作量
上下限となってしまうとき、第２制御器２への入力偏差
の絶対値が小さくなるために、制御量１，２とも目標値
までの整定時間が長くかかってしまう。本発明は前記の
ような点に鑑みてなされたもので、制御量１，２の目標
値までの整定時間を短縮することが可能な制御装置を提
供することを目的とする。
たような従来の制御装置では、操作量１設定値が操作量
上下限となってしまうとき、第２制御器２への入力偏差
の絶対値が小さくなるために、制御量１，２とも目標値
までの整定時間が長くかかってしまう。本発明は前記の
ような点に鑑みてなされたもので、制御量１，２の目標
値までの整定時間を短縮することが可能な制御装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、操作量の設定
に上下限処理を行なう第１制御器と、前記第１制御器の
上下限処理前の操作量設定値を入力して制御演算を行な
う第２制御器とを具備して構成する。
に上下限処理を行なう第１制御器と、前記第１制御器の
上下限処理前の操作量設定値を入力して制御演算を行な
う第２制御器とを具備して構成する。
【０００８】
【作用】このような構成によれば、制御量２フィードバ
ック値の目標値からの偏差を大きくとることが可能とな
るので、これにより、制御量１，２の目標値への整定時
間が短縮される。
ック値の目標値からの偏差を大きくとることが可能とな
るので、これにより、制御量１，２の目標値への整定時
間が短縮される。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図１は同実施例に係わる制御装置の構成を示す
ブロック図である。図１に示すように、本発明による制
御装置は、第１制御器制御演算部１１、第２制御器制御
演算部１２、及び第１制御器上下限処理部１３によって
構成され、制御対象部１４の制御を行なう。
明する。図１は同実施例に係わる制御装置の構成を示す
ブロック図である。図１に示すように、本発明による制
御装置は、第１制御器制御演算部１１、第２制御器制御
演算部１２、及び第１制御器上下限処理部１３によって
構成され、制御対象部１４の制御を行なう。
【００１０】第１制御器制御演算部１１は、積分制御動
作を含んだ制御演算を行なうもので、制御量１目標値、
及び制御対象部１４からフィードバックされる制御量１
実績値を入力する。第１制御器制御演算部１１は、フィ
ードバックされた制御量１実績値が、制御量１目標値と
なるように比例・積分動作を行ない、上下限処理前操作
量１設定値を求める。
作を含んだ制御演算を行なうもので、制御量１目標値、
及び制御対象部１４からフィードバックされる制御量１
実績値を入力する。第１制御器制御演算部１１は、フィ
ードバックされた制御量１実績値が、制御量１目標値と
なるように比例・積分動作を行ない、上下限処理前操作
量１設定値を求める。
【００１１】第２制御器制御演算部１２は、制御量２目
標値、及び第１制御器制御演算部１１からの上下限処理
前操作量１設定値（＝制御量２フィードバック値）を入
力として制御動作を行なう。第２制御器制御演算部１２
は、第１制御器制御演算部１１の上下限処理前操作量１
設定値を制御量２のフィードバック値として入力して、
これに比例・積分操作を行ない、制御対象部１４に操作
量２設定値を出力する。
標値、及び第１制御器制御演算部１１からの上下限処理
前操作量１設定値（＝制御量２フィードバック値）を入
力として制御動作を行なう。第２制御器制御演算部１２
は、第１制御器制御演算部１１の上下限処理前操作量１
設定値を制御量２のフィードバック値として入力して、
これに比例・積分操作を行ない、制御対象部１４に操作
量２設定値を出力する。
【００１２】第１制御器上下限処理部１３は、第１制御
器制御演算部１１の処理結果に対して、上下限処理を行
ない、上下限処理後操作量１設定値を制御対象部１４に
出力する。
器制御演算部１１の処理結果に対して、上下限処理を行
ない、上下限処理後操作量１設定値を制御対象部１４に
出力する。
【００１３】制御対象部１４は、第１制御器上下限処理
部１３から出力される上下限処理後操作量１設定値、及
び第２制御器制御演算部１２からの操作量２設定値に応
じて動作すると共に、第１制御器制御演算部１１に対し
て制御量１実績値を出力する。
部１３から出力される上下限処理後操作量１設定値、及
び第２制御器制御演算部１２からの操作量２設定値に応
じて動作すると共に、第１制御器制御演算部１１に対し
て制御量１実績値を出力する。
【００１４】このような構成により制御量１，２の制御
性能が向上する。図３には、従来の制御性能との比較を
示している。図３（ａ）は制御量１の変化、図３（ｂ）
は制御量２の変化、図３（ｃ）は操作量２設定値の変化
を示している。各値とも、従来に比較して、目標値とな
るまでの整定時間が短縮されている。
性能が向上する。図３には、従来の制御性能との比較を
示している。図３（ａ）は制御量１の変化、図３（ｂ）
は制御量２の変化、図３（ｃ）は操作量２設定値の変化
を示している。各値とも、従来に比較して、目標値とな
るまでの整定時間が短縮されている。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、第２制御
器では上下限処理前の操作量１設定値をもとに制御演算
を行なうので、制御量１，２の目標値までの整定時間を
短縮することが可能となるものである。
器では上下限処理前の操作量１設定値をもとに制御演算
を行なうので、制御量１，２の目標値までの整定時間を
短縮することが可能となるものである。
【図１】本発明の一実施例に係わる制御装置の構成を示
すブロック図。
すブロック図。
【図２】同実施例における制御量１，２、及び操作量２
設定値の変化を説明するための図。
設定値の変化を説明するための図。
【図３】従来の制御装置の構成を示すブロック図。
１１…第１制御器制御演算部、１２…第２制御器制御演
算部、１３…第１制御器上下限処理部、１４…制御対象
部。
算部、１３…第１制御器上下限処理部、１４…制御対象
部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 板井 計介 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 操作量の設定に上下限処理を行なう第１
制御器と、 前記第１制御器の上下限処理前の操作量設定値を入力し
て制御演算を行なう第２制御器と、 を具備したことを特徴とする制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11886092A JPH05313702A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11886092A JPH05313702A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05313702A true JPH05313702A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14746929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11886092A Withdrawn JPH05313702A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05313702A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07219646A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Ohkura Electric Co Ltd | 拡散炉の内部温度制御装置 |
| US6959219B2 (en) * | 2002-05-17 | 2005-10-25 | Yamatake Corporation | Control apparatus having a limit cycle auto-tuning function |
| US8688285B2 (en) | 2010-08-27 | 2014-04-01 | Azbil Corporation | Total energy limiting and controlling device, and total electric power limiting and controlling device and method |
| US9797762B2 (en) | 2012-09-12 | 2017-10-24 | Azbil Corporation | Controlling device |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP11886092A patent/JPH05313702A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07219646A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Ohkura Electric Co Ltd | 拡散炉の内部温度制御装置 |
| US6959219B2 (en) * | 2002-05-17 | 2005-10-25 | Yamatake Corporation | Control apparatus having a limit cycle auto-tuning function |
| US8688285B2 (en) | 2010-08-27 | 2014-04-01 | Azbil Corporation | Total energy limiting and controlling device, and total electric power limiting and controlling device and method |
| US9797762B2 (en) | 2012-09-12 | 2017-10-24 | Azbil Corporation | Controlling device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |