JPH05301620A - チューブ搬送装置 - Google Patents
チューブ搬送装置Info
- Publication number
- JPH05301620A JPH05301620A JP9511192A JP9511192A JPH05301620A JP H05301620 A JPH05301620 A JP H05301620A JP 9511192 A JP9511192 A JP 9511192A JP 9511192 A JP9511192 A JP 9511192A JP H05301620 A JPH05301620 A JP H05301620A
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- JP
- Japan
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- tube
- warp
- constant speed
- detecting
- section
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】マガジンチューブを定速搬送中に捺印等の加工
を施す装置に於いて、反ったチューブがチューブ反りに
よりチューブ搬送時の負荷変動により一定の搬送速度を
保てなくなる不具合が生じないよう予めチューブの反り
を検出し反ったチューブが加工部にまで流れることを防
ぐ。 【構成】チューブ供給部２よりチューブを切り出し、反
り検出部４まで搬送し、反り検出部４でカメラ，センサ
等によってチューブの中心部の反りを検出し、定速搬送
部５に反ったチューブが流れることを防ぐ。反りの無い
チューブは定速搬送部５で加工を施され、チューブ排出
部６よりチューブ収納部７に排出される。チューブ反り
検出の方法として、左右反り検出用カメラと、上下反り
検出用カメラを有し、これから取り込んだ画像を画像処
理部１０で検査し、検査結果を装置制御部１１に送信
し、装置制御部は反りが検出された場合には自動的に反
ったチューブを排出するか、または、装置を停止し作業
者に知らせる。
を施す装置に於いて、反ったチューブがチューブ反りに
よりチューブ搬送時の負荷変動により一定の搬送速度を
保てなくなる不具合が生じないよう予めチューブの反り
を検出し反ったチューブが加工部にまで流れることを防
ぐ。 【構成】チューブ供給部２よりチューブを切り出し、反
り検出部４まで搬送し、反り検出部４でカメラ，センサ
等によってチューブの中心部の反りを検出し、定速搬送
部５に反ったチューブが流れることを防ぐ。反りの無い
チューブは定速搬送部５で加工を施され、チューブ排出
部６よりチューブ収納部７に排出される。チューブ反り
検出の方法として、左右反り検出用カメラと、上下反り
検出用カメラを有し、これから取り込んだ画像を画像処
理部１０で検査し、検査結果を装置制御部１１に送信
し、装置制御部は反りが検出された場合には自動的に反
ったチューブを排出するか、または、装置を停止し作業
者に知らせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチューブ搬送装置に関
し、特に、マガジンチューブ反り検出機能を備えたチュ
ーブ搬送装置に関する。
し、特に、マガジンチューブ反り検出機能を備えたチュ
ーブ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術を図７を用いて説明する。従
来のチューブ搬送装置は、供給するチューブをセットす
るチューブ供給部２と、該供給部よりチューブを切り出
す切り出し部と、切り出されたチューブを定速送り部に
挿入する為のチューブ導入部３と、チューブを一定速度
で送る定速搬送部５と、定速搬送されたチューブをチュ
ーブ収納部まで排出するチューブ排出部６と、チューブ
を収納するチューブ収納部７とを備える。
来のチューブ搬送装置は、供給するチューブをセットす
るチューブ供給部２と、該供給部よりチューブを切り出
す切り出し部と、切り出されたチューブを定速送り部に
挿入する為のチューブ導入部３と、チューブを一定速度
で送る定速搬送部５と、定速搬送されたチューブをチュ
ーブ収納部まで排出するチューブ排出部６と、チューブ
を収納するチューブ収納部７とを備える。
【０００３】次に、動作について説明する。まず、加工
すべき半導体装置の入ったマガジンチューブ１をチュー
ブ供給部２にセットし装置を稼働させると、チューブ供
給部よりチューブ導入部３へチューブを１本切り出し、
チューブ導入部で加工前の前処理を行って定速搬送部５
に送り出し、定速搬送中に半導体装置に対して捺印等の
目的の加工を施す。加工の施されたチューブはチューブ
排出部６に排出され、後処理をここで行い、チューブ収
納部７に収納される。
すべき半導体装置の入ったマガジンチューブ１をチュー
ブ供給部２にセットし装置を稼働させると、チューブ供
給部よりチューブ導入部３へチューブを１本切り出し、
チューブ導入部で加工前の前処理を行って定速搬送部５
に送り出し、定速搬送中に半導体装置に対して捺印等の
目的の加工を施す。加工の施されたチューブはチューブ
排出部６に排出され、後処理をここで行い、チューブ収
納部７に収納される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のチューブ搬
送装置では、反りのあるチューブが定速搬送部に導入さ
れてしまうため、チューブの反りによってチューブ搬送
時の負荷が変動するためチューブの速度が一定に保つこ
とが出来なくなる。更に、チューブの反り等によりチュ
ーブ内の半導体装置の位置が作業位置で一定でなくなる
ため正確な加工が困難になる問題点があった。
送装置では、反りのあるチューブが定速搬送部に導入さ
れてしまうため、チューブの反りによってチューブ搬送
時の負荷が変動するためチューブの速度が一定に保つこ
とが出来なくなる。更に、チューブの反り等によりチュ
ーブ内の半導体装置の位置が作業位置で一定でなくなる
ため正確な加工が困難になる問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のチューブ搬送装
置は、供給するチューブをセットするチューブ供給部
と、該供給部よりチューブを切り出す切り出し部と、切
り出されたチューブを反り検出を行うためのステージに
導入しチューブの上下，左右の反りを検出するチューブ
反り検出部と、更に定速送り部に挿入する為のチューブ
導入部と、チューブを一定速度で送る定速搬送部と、定
速搬送されたチューブを収納部まで導入するチューブ排
出部と、加工部のチューブを収納するチューブ収納部と
を備えている。
置は、供給するチューブをセットするチューブ供給部
と、該供給部よりチューブを切り出す切り出し部と、切
り出されたチューブを反り検出を行うためのステージに
導入しチューブの上下，左右の反りを検出するチューブ
反り検出部と、更に定速送り部に挿入する為のチューブ
導入部と、チューブを一定速度で送る定速搬送部と、定
速搬送されたチューブを収納部まで導入するチューブ排
出部と、加工部のチューブを収納するチューブ収納部と
を備えている。
【０００６】好ましくは、上記チューブ反り検出部が反
り検出部４にチューブ上方からチューブ横方向の反りを
検出するカメラと、チューブ横方向からチューブ上下方
向の反りを検出するカメラと、カメラで取り込んだ画像
を検査するための画像処理部と、チューブ反りの判定結
果を元に装置を制御する装置制御部とを備えている。
り検出部４にチューブ上方からチューブ横方向の反りを
検出するカメラと、チューブ横方向からチューブ上下方
向の反りを検出するカメラと、カメラで取り込んだ画像
を検査するための画像処理部と、チューブ反りの判定結
果を元に装置を制御する装置制御部とを備えている。
【０００７】好ましくは、上記チューブ検出部が、反り
検出部にチューブ横方向の反りを検出する反り検出端子
と、チューブ上下方向の反りを検出する検出端子と、該
検出端子の変位を検出する近接センサと、該近接センサ
の信号より反りを検出し、チューブ反りの判定を行い、
該判定結果を元に装置を制御する装置制御部とを備えて
いる。
検出部にチューブ横方向の反りを検出する反り検出端子
と、チューブ上下方向の反りを検出する検出端子と、該
検出端子の変位を検出する近接センサと、該近接センサ
の信号より反りを検出し、チューブ反りの判定を行い、
該判定結果を元に装置を制御する装置制御部とを備えて
いる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の全体図、図２は本発明のチューブ反
り検出部の詳細図、図３は実施例１の詳細図、図４は実
施例１の説明図である。
る。図１は本発明の全体図、図２は本発明のチューブ反
り検出部の詳細図、図３は実施例１の詳細図、図４は実
施例１の説明図である。
【０００９】まず、加工すべき半導体装置の入ったマガ
ジンチューブ１をチューブ供給部にセットし装置を稼働
させると、チューブ供給部２よりチューブ導入部３へチ
ューブを１本切り出し、チューブ導入部３でチューブを
反り検出部４まで導入し、チューブクランプ８でチュー
ブ両端を固定する。反り検出部４は左右方向，上下方向
両方の反りを検出するため、左右反り検出部（ａ）と上
下反り検出部４（ｂ）の２つの検出部から構成される。
まず、左右反り検出部４（ａ）ではチューブを左右方向
に左右方向チューブクランプ８（ａ）で固定し、この固
定されたチューブのほぼ中心上方より左右反り検出用カ
メラ９（ａ）によって予め決められた視野１２の画像を
取り込む。取り込まれた画像は画像処理部１０で以下の
手順で処理され反りを検出する。図４の例では反射光に
よりチューブからの反射光による白画像１４（ｂ）とチ
ューブからの反射の無い黒画像１４（ａ）の画像が取り
込まれる。次に、取り込んだ画像を１３（ａ）、１３
（ｂ）の検査エリアで画像の検査を行う。チューブに反
りがなければ１３（ａ）は全て黒画像、１３（ｂ）は全
て白画像となる。図４の例では、チューブが反っている
ため本来全て白画像であるはずの１３（ｂ）の検査エリ
アに黒画像が入り込んでいるためチューブが反っている
ことを検出できる。次に、左右方向の反り検査を行った
チューブは、上下方向反り検出部４（ｂ）に導入され、
上下方向に上下方向チューブクランプ８（ｂ）で固定さ
れ、横方向からの上下反り検出用カメラ９（ｂ）で画像
を取り込み画像処理部１０によって左右方向反り検出部
と同様の検査を行うことによって上下方向の反りを検出
できる。ここでチューブの反りが検出されると画像処理
部１０より装置制御部１１に情報を伝え、装置制御部１
１が自動的に排出させるか、または、装置を停止し作業
者に知らせて作業者が反ったチューブを取り外すかする
ことによって反りのあるチューブを定速搬送部に送り込
むことを防ぐ。反りの検出されなかったチューブは、加
工前の前処理を行って定速搬送部５に送り出し、定速搬
送中に半導体装置に対して捺印等の目的の加工を施す。
加工の施されたチューブはチューブ排出部６に排出さ
れ、後処理をここで行い、チューブ収納部７に収納され
る。
ジンチューブ１をチューブ供給部にセットし装置を稼働
させると、チューブ供給部２よりチューブ導入部３へチ
ューブを１本切り出し、チューブ導入部３でチューブを
反り検出部４まで導入し、チューブクランプ８でチュー
ブ両端を固定する。反り検出部４は左右方向，上下方向
両方の反りを検出するため、左右反り検出部（ａ）と上
下反り検出部４（ｂ）の２つの検出部から構成される。
まず、左右反り検出部４（ａ）ではチューブを左右方向
に左右方向チューブクランプ８（ａ）で固定し、この固
定されたチューブのほぼ中心上方より左右反り検出用カ
メラ９（ａ）によって予め決められた視野１２の画像を
取り込む。取り込まれた画像は画像処理部１０で以下の
手順で処理され反りを検出する。図４の例では反射光に
よりチューブからの反射光による白画像１４（ｂ）とチ
ューブからの反射の無い黒画像１４（ａ）の画像が取り
込まれる。次に、取り込んだ画像を１３（ａ）、１３
（ｂ）の検査エリアで画像の検査を行う。チューブに反
りがなければ１３（ａ）は全て黒画像、１３（ｂ）は全
て白画像となる。図４の例では、チューブが反っている
ため本来全て白画像であるはずの１３（ｂ）の検査エリ
アに黒画像が入り込んでいるためチューブが反っている
ことを検出できる。次に、左右方向の反り検査を行った
チューブは、上下方向反り検出部４（ｂ）に導入され、
上下方向に上下方向チューブクランプ８（ｂ）で固定さ
れ、横方向からの上下反り検出用カメラ９（ｂ）で画像
を取り込み画像処理部１０によって左右方向反り検出部
と同様の検査を行うことによって上下方向の反りを検出
できる。ここでチューブの反りが検出されると画像処理
部１０より装置制御部１１に情報を伝え、装置制御部１
１が自動的に排出させるか、または、装置を停止し作業
者に知らせて作業者が反ったチューブを取り外すかする
ことによって反りのあるチューブを定速搬送部に送り込
むことを防ぐ。反りの検出されなかったチューブは、加
工前の前処理を行って定速搬送部５に送り出し、定速搬
送中に半導体装置に対して捺印等の目的の加工を施す。
加工の施されたチューブはチューブ排出部６に排出さ
れ、後処理をここで行い、チューブ収納部７に収納され
る。
【００１０】次に実施例２について図面を参照して説明
する。図５は実施例２の反り検出部の詳細図、図６は実
施例２の説明図である。
する。図５は実施例２の反り検出部の詳細図、図６は実
施例２の説明図である。
【００１１】実施例１と同様に反り検出部４に導入され
たチューブをチューブクランプ８により固定し反り検出
を行う。実施例２では、反り検出端子１２を左右反り検
出部では横方向から、上下反り検出部では下方からチュ
ーブに接触させ、予め反りの許容限界点にセットした近
接センサ１６によって反りを検出する。反り検出の原理
として図６の左右反り検出部の例では、チューブクラン
プ８で固定されたチューブ１が反っているため反り検出
端子１５が右に移動し、近接センサ１６（ｂ）をオンさ
せる、このセンサの信号を装置制御部１１が取り込むこ
とによって反りがあることを検出できる。上下方向の検
出も同様の構造のセンサで行い、反りが検出されると装
置制御部１１が自動的に排出するか、または、装置を停
止し作業者に知らせ取り除かせる。
たチューブをチューブクランプ８により固定し反り検出
を行う。実施例２では、反り検出端子１２を左右反り検
出部では横方向から、上下反り検出部では下方からチュ
ーブに接触させ、予め反りの許容限界点にセットした近
接センサ１６によって反りを検出する。反り検出の原理
として図６の左右反り検出部の例では、チューブクラン
プ８で固定されたチューブ１が反っているため反り検出
端子１５が右に移動し、近接センサ１６（ｂ）をオンさ
せる、このセンサの信号を装置制御部１１が取り込むこ
とによって反りがあることを検出できる。上下方向の検
出も同様の構造のセンサで行い、反りが検出されると装
置制御部１１が自動的に排出するか、または、装置を停
止し作業者に知らせ取り除かせる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、反ったチ
ューブを定速搬送部に送り込むことを防ぐことにより、
加工時の不良発生を未然に防ぐ効果があり、製品の歩留
まりを向上させる効果がある。
ューブを定速搬送部に送り込むことを防ぐことにより、
加工時の不良発生を未然に防ぐ効果があり、製品の歩留
まりを向上させる効果がある。
【図１】本発明の全体図である。
【図２】本発明の詳細図である。
【図３】実施例１の詳細図である。
【図４】実施例１の説明図である。
【図５】実施例２の詳細図である。
【図６】実施例２の説明図である。
【図７】従来技術の全体図である。
１ マガジンチューブ ２ チューブ供給部 ３ チューブ導入部 ４ 反り検出部 ４（ａ） 左右反り検出部 ４（ｂ） 上下反り検出部 ５ 定速搬送部 ６ チューブ排出部 ７ チューブ収納部 ８ チューブクランプ ８（ａ） 左右方向チューブクランプ ８（ｂ） 上下方向チューブクランプ ９（ａ） 左右反り検出用カメラ ９（ｂ） 上下反り検出用カメラ １０ 画像処理装置 １１ 装置制御部 １２ カメラ視野 １３ 画像検査エリア １４（ａ） 黒画像部（チューブの無い部分） １４（ｂ） 白画像部（チューブのある部分） １５ 反り検出端子 １６ 反り検出用近接センサ
Claims (3)
- 【請求項１】 供給するチューブをセットする供給部
と、該供給部よりチューブを切り出す切り出し部と、切
り出されたチューブを反り検出を行うためのステージに
導入しチューブの上下，左右の反りを検出するチューブ
反り検出部と、更に定速送り部の挿入する為のチューブ
導入部と、チューブを一定速度で送る定速搬送部と、定
速搬送されたチューブを収納部まで導入するチューブ排
出部と、加工後のチューブを収納する収納部とを備える
チューブ搬送装置。 - 【請求項２】 反り検出部に、チューブ上方からチュー
ブ横方向の反りを検出するカメラと、チューブ横方向か
らチューブ上下方向の反りを検出するカメラと、カメラ
で取り込んだ画像を検査するための画像処理部と、チュ
ーブ反りの判定結果を元に装置を制御する装置制御部と
を備える請求項１記載のチューブ搬送装置。 - 【請求項３】 反り検出部に、チューブ横方向の反りを
検出する反り検出端子と、チューブ上下方向の反りを検
出する検出端子と、該検出端子の変位を検出する近接セ
ンサと、該近接センサの信号より反りを検出し、チュー
ブ反りの判定を行い、該判定結果を元に装置を制御する
装置制御部とを備える請求項１記載のチューブ搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511192A JPH05301620A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | チューブ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511192A JPH05301620A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | チューブ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05301620A true JPH05301620A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=14128746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9511192A Withdrawn JPH05301620A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | チューブ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05301620A (ja) |
-
1992
- 1992-04-15 JP JP9511192A patent/JPH05301620A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |