JPH05298620A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH05298620A JPH05298620A JP9965592A JP9965592A JPH05298620A JP H05298620 A JPH05298620 A JP H05298620A JP 9965592 A JP9965592 A JP 9965592A JP 9965592 A JP9965592 A JP 9965592A JP H05298620 A JPH05298620 A JP H05298620A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は小型の磁気記録再生装置に用いられ
る小型、軽量な薄膜磁気ヘッドに関し、小型、軽量な磁
気ヘッドと、該磁気ヘッドを支持し、かつ低荷重で記録
媒体に押圧する柔軟な支持ばねとを一体に構成して記録
媒体に対する低浮上化、または接触摺動化によるヘッド
クラッシュを低減することを目的とする。 【構成】 記録媒体面に対して垂直な面を有する素子部
12と素子部12を支持する柔軟な可撓性支持部14とがＬ字
形状に一体に形状した基体11を有し、該基体11の素子部
12の垂直な面に先端が基体媒体対向面に露出する磁束リ
ターンヨーク15及びそれと磁気的に接続された主磁極16
と、薄膜コイル17とを有する記録再生用の薄膜電磁変換
素子19を設け、前記可撓性支持部14上に該薄膜電磁変換
素子19より導出する信号導体線20と主磁極接地用の接地
導体線21、並びにそれらの接続パッド22を設けた構成と
する。
る小型、軽量な薄膜磁気ヘッドに関し、小型、軽量な磁
気ヘッドと、該磁気ヘッドを支持し、かつ低荷重で記録
媒体に押圧する柔軟な支持ばねとを一体に構成して記録
媒体に対する低浮上化、または接触摺動化によるヘッド
クラッシュを低減することを目的とする。 【構成】 記録媒体面に対して垂直な面を有する素子部
12と素子部12を支持する柔軟な可撓性支持部14とがＬ字
形状に一体に形状した基体11を有し、該基体11の素子部
12の垂直な面に先端が基体媒体対向面に露出する磁束リ
ターンヨーク15及びそれと磁気的に接続された主磁極16
と、薄膜コイル17とを有する記録再生用の薄膜電磁変換
素子19を設け、前記可撓性支持部14上に該薄膜電磁変換
素子19より導出する信号導体線20と主磁極接地用の接地
導体線21、並びにそれらの接続パッド22を設けた構成と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はコンピュータシステムの
外部記憶装置として用いられる磁気ディスク装置やフロ
ッピィディスク装置などの小型な磁気記録再生装置に適
用される薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
外部記憶装置として用いられる磁気ディスク装置やフロ
ッピィディスク装置などの小型な磁気記録再生装置に適
用される薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
【０００２】近年、磁気ディスク装置やフロッピィディ
スク装置などの磁気記録再生装置の小型化と大容量化、
高密度記録化に伴って記録媒体に対する磁気ヘッドの浮
上間隙は益々微小化されることから、ヘッド・媒体間の
接触確率が増大し、ヘッドクラッシュなどの重大な障害
の発生が増加する傾向にある。
スク装置などの磁気記録再生装置の小型化と大容量化、
高密度記録化に伴って記録媒体に対する磁気ヘッドの浮
上間隙は益々微小化されることから、ヘッド・媒体間の
接触確率が増大し、ヘッドクラッシュなどの重大な障害
の発生が増加する傾向にある。
【０００３】このような障害を防止する方法として媒体
表面の平滑化と、接触時の衝突エネルギーを低減するた
めに薄膜磁気ヘッドと支持部材とを組み合わせた磁気ヘ
ッド組立体自身の小型化と軽量化が有効となる。従っ
て、そのような小型化と軽量化とを同時に実現し得る一
体型の磁気ヘッド組立体が必要とされる。
表面の平滑化と、接触時の衝突エネルギーを低減するた
めに薄膜磁気ヘッドと支持部材とを組み合わせた磁気ヘ
ッド組立体自身の小型化と軽量化が有効となる。従っ
て、そのような小型化と軽量化とを同時に実現し得る一
体型の磁気ヘッド組立体が必要とされる。
【０００４】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置では図６に示す
ように磁気記録媒体５と対向する浮上発生面を有する２
本の浮上レールを備えたスライダにおける少なくとも１
本の浮上レールの気流流出端面に記録・再生用の電磁変
換素子を設けた磁気ヘッド１が、図示しないヘッド位置
決め機構に支持された支持アーム３に支持ばね２を介し
て保持され、該支持ばね２上に磁気ヘッド１の電磁変換
素子より図示しない記録・再生制御回路へ導出する信号
導体線４が沿わせて配設されている。
ように磁気記録媒体５と対向する浮上発生面を有する２
本の浮上レールを備えたスライダにおける少なくとも１
本の浮上レールの気流流出端面に記録・再生用の電磁変
換素子を設けた磁気ヘッド１が、図示しないヘッド位置
決め機構に支持された支持アーム３に支持ばね２を介し
て保持され、該支持ばね２上に磁気ヘッド１の電磁変換
素子より図示しない記録・再生制御回路へ導出する信号
導体線４が沿わせて配設されている。
【０００５】そして前記磁気ヘッド１を高速回転させた
磁気記録媒体５上に浮上させることにより、該磁気ヘッ
ド１を構成するスライダでの空気膜の大きな剛性によっ
て該磁気記録媒体５上での磁気ヘッド１が高い浮上安定
性と微小な浮上量（サブミクロン）を維持することを可
能にしている。
磁気記録媒体５上に浮上させることにより、該磁気ヘッ
ド１を構成するスライダでの空気膜の大きな剛性によっ
て該磁気記録媒体５上での磁気ヘッド１が高い浮上安定
性と微小な浮上量（サブミクロン）を維持することを可
能にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記した従来
の磁気ヘッド１の磁気記録媒体５上への浮上量を更に微
小化すると、ヘッド・媒体間の接触確率が増大し、ヘッ
ドクラッシュなどの重大な障害が発生し易くなる。
の磁気ヘッド１の磁気記録媒体５上への浮上量を更に微
小化すると、ヘッド・媒体間の接触確率が増大し、ヘッ
ドクラッシュなどの重大な障害が発生し易くなる。
【０００７】このため、記録媒体面を平滑化して衝突確
率を低下させたり、衝突エネルギーを低減させるために
磁気ヘッド１とこれを支持する支持ばね２等とを組み合
わせた磁気ヘッド組立体自身の小型・軽量化が不可欠と
なっている。
率を低下させたり、衝突エネルギーを低減させるために
磁気ヘッド１とこれを支持する支持ばね２等とを組み合
わせた磁気ヘッド組立体自身の小型・軽量化が不可欠と
なっている。
【０００８】しかし、従来の磁気ヘッド組立体は記録・
再生に直接必要な電磁変換素子以外の、電磁変換素子を
支持して安定に低浮上させるためのスライダやそのスラ
イダを支持する支持部材等の比較的大きな付帯的部材を
必要としているため、前記磁気ヘッド組立体の構成を単
純にそのまま比例的に縮小して小型化するには構成上の
精度や強度などに限界があり、新たな構成の小型・軽量
な磁気ヘッド組立体が要求されている。
再生に直接必要な電磁変換素子以外の、電磁変換素子を
支持して安定に低浮上させるためのスライダやそのスラ
イダを支持する支持部材等の比較的大きな付帯的部材を
必要としているため、前記磁気ヘッド組立体の構成を単
純にそのまま比例的に縮小して小型化するには構成上の
精度や強度などに限界があり、新たな構成の小型・軽量
な磁気ヘッド組立体が要求されている。
【０００９】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、小
型・軽量な磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを支持し低荷重
で記録媒体に押し付ける柔軟な支持ばねとを一体に構成
して記録媒体に対する低浮上化、或いは接触摺動化によ
るヘッドクラッシュを低減した新規な薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とするものである。
型・軽量な磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを支持し低荷重
で記録媒体に押し付ける柔軟な支持ばねとを一体に構成
して記録媒体に対する低浮上化、或いは接触摺動化によ
るヘッドクラッシュを低減した新規な薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、記録媒体面に対して垂直な面を有する素
子部と該素子部を支持する柔軟な可撓性支持部とがＬ字
形状に一体に形成された基体を有し、該基体における素
子部の垂直な面に先端が記録媒体対向面に垂直に露出す
る磁束リターンヨーク及び該磁束リターンヨークと磁気
的に接続された磁極と、薄膜コイルとを有する記録・再
生用の薄膜電磁変換素子を設け、前記可撓性支持部上に
該薄膜電磁変換素子より導出する信号導体線及び磁極接
地用の接地導体線、並びにそれらの接続パッドを設けた
構成とする。
達成するため、記録媒体面に対して垂直な面を有する素
子部と該素子部を支持する柔軟な可撓性支持部とがＬ字
形状に一体に形成された基体を有し、該基体における素
子部の垂直な面に先端が記録媒体対向面に垂直に露出す
る磁束リターンヨーク及び該磁束リターンヨークと磁気
的に接続された磁極と、薄膜コイルとを有する記録・再
生用の薄膜電磁変換素子を設け、前記可撓性支持部上に
該薄膜電磁変換素子より導出する信号導体線及び磁極接
地用の接地導体線、並びにそれらの接続パッドを設けた
構成とする。
【００１１】また、前記素子部の垂直な面の両側にそれ
ぞれ先端が突出するように記録媒体対向面に垂直に露出
する磁束リターンヨーク及び該磁束リターンヨークと磁
気的に接続された磁極と、薄膜コイルとを有する一対の
記録・再生用の薄膜電磁変換素子を設けた構成とする。
ぞれ先端が突出するように記録媒体対向面に垂直に露出
する磁束リターンヨーク及び該磁束リターンヨークと磁
気的に接続された磁極と、薄膜コイルとを有する一対の
記録・再生用の薄膜電磁変換素子を設けた構成とする。
【００１２】
【作用】本発明では、記録媒体面に対して垂直な面に記
録・再生用の薄膜電磁変換素子を設けた素子部と、該素
子部を支持し、かつ該薄膜電磁変換素子より導出する信
号導体線と磁極接地用の接地導体線及びそれらの接続端
子とを設けた細長くて柔軟な可撓性支持部とを薄膜形成
プロセスと基体を用いて一体に構成することによって、
磁気ヘッドとこれを支持する支持部材との組立体の構成
を極限にまで単純化でき、小型・軽量化を容易に実現す
ることができる。
録・再生用の薄膜電磁変換素子を設けた素子部と、該素
子部を支持し、かつ該薄膜電磁変換素子より導出する信
号導体線と磁極接地用の接地導体線及びそれらの接続端
子とを設けた細長くて柔軟な可撓性支持部とを薄膜形成
プロセスと基体を用いて一体に構成することによって、
磁気ヘッドとこれを支持する支持部材との組立体の構成
を極限にまで単純化でき、小型・軽量化を容易に実現す
ることができる。
【００１３】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図１(a),(b) 及び(c) は本発明に係る薄
膜磁気ヘッドの一実施例を示す図であり、図(a) は上側
から見た概略平面図、図(b) は要部側断面図, 図(c) は
図(a)の概略左側面図である。
細に説明する。図１(a),(b) 及び(c) は本発明に係る薄
膜磁気ヘッドの一実施例を示す図であり、図(a) は上側
から見た概略平面図、図(b) は要部側断面図, 図(c) は
図(a)の概略左側面図である。
【００１４】これらの図において、11は記録媒体対向面
13を下面に備えた素子部12と該素子部12を柔軟に支持す
る可撓性支持部14とがＬ字形状に一体に形成されたSi,A
l2O3等からなる基体である。
13を下面に備えた素子部12と該素子部12を柔軟に支持す
る可撓性支持部14とがＬ字形状に一体に形成されたSi,A
l2O3等からなる基体である。
【００１５】前記素子部12の記録媒体対向面13に垂直な
前面には、先端が記録媒体対向面13に垂直に露出する N
i-Fe合金等からなる磁束リターンヨーク15と、該磁束リ
ターンヨーク15と磁気的に接続され、かつヘリックス形
の薄膜コイル17が Al2O3膜等の非磁性絶縁膜18を介して
捲回される主磁極16とが積層状に形成された記録・再生
用の薄膜電磁変換素子19が配設されている。
前面には、先端が記録媒体対向面13に垂直に露出する N
i-Fe合金等からなる磁束リターンヨーク15と、該磁束リ
ターンヨーク15と磁気的に接続され、かつヘリックス形
の薄膜コイル17が Al2O3膜等の非磁性絶縁膜18を介して
捲回される主磁極16とが積層状に形成された記録・再生
用の薄膜電磁変換素子19が配設されている。
【００１６】また、その素子部12の記録媒体対向面13
は、主磁極先端が頂点となるように該主磁極先端に向か
って狭めた形状としている。更に、該素子部12の上面に
は薄膜コイル17からの導出端子17a, 17bと主磁極16から
の接地導出端子16a と、前記可撓性支持部14上には該導
出端子17a, 17b及び接地導出端子16a とそれぞれ接続す
る信号導体線20及び接地導体線21と、該信号導体線20及
び接地導体線21に連なる接続パッド22とがAl2O3 膜など
の非磁性絶縁膜23により絶縁保護された状態に配設され
ている。
は、主磁極先端が頂点となるように該主磁極先端に向か
って狭めた形状としている。更に、該素子部12の上面に
は薄膜コイル17からの導出端子17a, 17bと主磁極16から
の接地導出端子16a と、前記可撓性支持部14上には該導
出端子17a, 17b及び接地導出端子16a とそれぞれ接続す
る信号導体線20及び接地導体線21と、該信号導体線20及
び接地導体線21に連なる接続パッド22とがAl2O3 膜など
の非磁性絶縁膜23により絶縁保護された状態に配設され
ている。
【００１７】そしてこのように構成された薄膜磁気ヘッ
ドを図示しないヘッド位置決め機構に支持された支持ア
ーム24に取り付ける場合には、該薄膜磁気ヘッドの可撓
性支持部14上の支持アーム24への取付け部分に設けた前
記信号導体線20及び接地導体線21に連なる各接続パッド
22を、該支持アーム24の対応する先端部に設けた外部引
出し線26の各導体パッド25に半田等による熱圧着により
接合することにより、各接続パッド22と対応する導体パ
ッド25との電気的な接続と前記薄膜磁気ヘッドの可撓性
支持部14の支持アーム24への取付け固定が同時に、かつ
容易に実現することができる。
ドを図示しないヘッド位置決め機構に支持された支持ア
ーム24に取り付ける場合には、該薄膜磁気ヘッドの可撓
性支持部14上の支持アーム24への取付け部分に設けた前
記信号導体線20及び接地導体線21に連なる各接続パッド
22を、該支持アーム24の対応する先端部に設けた外部引
出し線26の各導体パッド25に半田等による熱圧着により
接合することにより、各接続パッド22と対応する導体パ
ッド25との電気的な接続と前記薄膜磁気ヘッドの可撓性
支持部14の支持アーム24への取付け固定が同時に、かつ
容易に実現することができる。
【００１８】なお、前記可撓性支持部14と支持アーム24
との固定後、その接合固定部の周囲に接着材等を塗布す
ることにより、該接合固定部の腐食防止と接合強度を補
強することができる。
との固定後、その接合固定部の周囲に接着材等を塗布す
ることにより、該接合固定部の腐食防止と接合強度を補
強することができる。
【００１９】このように構成された薄膜磁気ヘッドで
は、例えば素子部12の形状が縦幅 0.5mm×横幅 0.5mm×
厚さ 0.1mm程度で重量も 0.1mg程度とすることが容易と
なるので従来の一般的な薄膜磁気ヘッド組立体の素子部
（縦幅 4.0mm×横幅 3.2mm×厚さ 0.8mm程度の形状で重
量が40mg) と比べて極めて小型化され、記録媒体と対向
する面積が１／50程度となり、その重量も１／100 以下
に軽減することが可能となる。
は、例えば素子部12の形状が縦幅 0.5mm×横幅 0.5mm×
厚さ 0.1mm程度で重量も 0.1mg程度とすることが容易と
なるので従来の一般的な薄膜磁気ヘッド組立体の素子部
（縦幅 4.0mm×横幅 3.2mm×厚さ 0.8mm程度の形状で重
量が40mg) と比べて極めて小型化され、記録媒体と対向
する面積が１／50程度となり、その重量も１／100 以下
に軽減することが可能となる。
【００２０】従って、磁気記録媒体面に対して低荷重で
高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロン）を維持
することができると共に、ヘッドクラッシュも低減する
ことが可能になる。
高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロン）を維持
することができると共に、ヘッドクラッシュも低減する
ことが可能になる。
【００２１】また、前記薄膜磁気ヘッドでは磁束リター
ンヨーク15と磁気的に接続された主磁極16は前記接地導
出端子16a を介し、接地導体線21, 接続パッド22と支持
アーム24の導体パッド25及び外部引出し線26等を経由し
て接地することにより、記録・再生時の前記主磁極16へ
の帯電によるノイズの発生、或いは記録媒体への放電等
による損傷を防止することができる。
ンヨーク15と磁気的に接続された主磁極16は前記接地導
出端子16a を介し、接地導体線21, 接続パッド22と支持
アーム24の導体パッド25及び外部引出し線26等を経由し
て接地することにより、記録・再生時の前記主磁極16へ
の帯電によるノイズの発生、或いは記録媒体への放電等
による損傷を防止することができる。
【００２２】更に、前記薄膜磁気ヘッドをヘッド位置決
め機構の支持アーム24に取り付けて記録媒体間へ実装す
る場合には、図２(a) の要部概略側面図で示すように該
支持アーム24の先端部の表裏面に、各薄膜磁気ヘッド3
1, 32の素子部12の記録媒体対向面13が上下の各記録媒
体33に対向するように可撓性支持部14上の取付け部分を
それぞれ上記した取付け方法で固定する。或いは図２
(b) の要部概略側面図で示すように該支持アーム24の先
端部の表裏面に、各薄膜磁気ヘッド31, 32の素子部12の
記録媒体対向面が一枚の記録媒体33の表裏面と対向する
ようにその各可撓性支持部14の取付け部分をそれぞれ上
記した取付け方法で固定することにより、前記各素子部
12の高さと支持アーム24の位置との関係によって該素子
部12の記録媒体対向面を記録媒体33の面に適度の荷重で
押圧するように容易に実装することができる。
め機構の支持アーム24に取り付けて記録媒体間へ実装す
る場合には、図２(a) の要部概略側面図で示すように該
支持アーム24の先端部の表裏面に、各薄膜磁気ヘッド3
1, 32の素子部12の記録媒体対向面13が上下の各記録媒
体33に対向するように可撓性支持部14上の取付け部分を
それぞれ上記した取付け方法で固定する。或いは図２
(b) の要部概略側面図で示すように該支持アーム24の先
端部の表裏面に、各薄膜磁気ヘッド31, 32の素子部12の
記録媒体対向面が一枚の記録媒体33の表裏面と対向する
ようにその各可撓性支持部14の取付け部分をそれぞれ上
記した取付け方法で固定することにより、前記各素子部
12の高さと支持アーム24の位置との関係によって該素子
部12の記録媒体対向面を記録媒体33の面に適度の荷重で
押圧するように容易に実装することができる。
【００２３】次に、このような構成の薄膜磁気ヘッドを
製造する方法としては、例えば図３(a) に示すように高
抵抗なSi単結晶等からなる分厚いブロック基板41の表面
に、薄膜形成工程とフォトリソグラフイ工程により図１
(b) に示すと同様に Ni-Fe膜からなる磁束リターンヨー
クと、該磁束リターンヨーク上に磁気的に接続され、か
つAl2O3 膜等からなる非磁性絶縁膜を介してヘリックス
形の薄膜コイルが捲回される主磁極とを順に積層形成し
て構成された複数の薄膜電磁変換素子パターン42をマト
リクス状に形成する。
製造する方法としては、例えば図３(a) に示すように高
抵抗なSi単結晶等からなる分厚いブロック基板41の表面
に、薄膜形成工程とフォトリソグラフイ工程により図１
(b) に示すと同様に Ni-Fe膜からなる磁束リターンヨー
クと、該磁束リターンヨーク上に磁気的に接続され、か
つAl2O3 膜等からなる非磁性絶縁膜を介してヘリックス
形の薄膜コイルが捲回される主磁極とを順に積層形成し
て構成された複数の薄膜電磁変換素子パターン42をマト
リクス状に形成する。
【００２４】その後、前記複数の薄膜電磁変換素子パタ
ーン42上の前面にAl2O3 膜等からなる絶縁保護膜を被着
形成し、この複数の薄膜電磁変換素子パターン42がマト
リクス状に形成されたブロック基板41を、スライシング
マシン等により一点鎖線に沿って切断して図３(b) に示
すように一列素子パターン単位毎に分離する。
ーン42上の前面にAl2O3 膜等からなる絶縁保護膜を被着
形成し、この複数の薄膜電磁変換素子パターン42がマト
リクス状に形成されたブロック基板41を、スライシング
マシン等により一点鎖線に沿って切断して図３(b) に示
すように一列素子パターン単位毎に分離する。
【００２５】次に、その各分離基板体43の各切断面を平
面に研磨加工すると共に、各分離基板体43の背面側とな
る面に、前記薄膜コイルからの導出端子及び主磁極から
の接地導出端子と、該導出端子及び接地導出端子とそれ
ぞれ接続する信号導体線及び接地導体線と、該信号導体
線及び接地導体線に連なる接続パッドを薄膜導電膜によ
りパターン形成し、その表面に Al2O3膜などからなる絶
縁保護膜を被覆した薄膜導体パターン44を形成する。
面に研磨加工すると共に、各分離基板体43の背面側とな
る面に、前記薄膜コイルからの導出端子及び主磁極から
の接地導出端子と、該導出端子及び接地導出端子とそれ
ぞれ接続する信号導体線及び接地導体線と、該信号導体
線及び接地導体線に連なる接続パッドを薄膜導電膜によ
りパターン形成し、その表面に Al2O3膜などからなる絶
縁保護膜を被覆した薄膜導体パターン44を形成する。
【００２６】次に、図４(a) に示すように前記各分離基
板体43の背面側と反対側の面の素子部となる領域以外の
可撓性支持部となる部分の厚さを柔軟となる薄い厚さ形
状に形成し、その各分離基板体43を更にスライシングマ
シン等により図中の一点鎖線に沿って各素子パターン単
位に切断分離する。
板体43の背面側と反対側の面の素子部となる領域以外の
可撓性支持部となる部分の厚さを柔軟となる薄い厚さ形
状に形成し、その各分離基板体43を更にスライシングマ
シン等により図中の一点鎖線に沿って各素子パターン単
位に切断分離する。
【００２７】上記各分離基板体43の背面側と反対側の面
の素子部となる領域以外の可撓性支持部となる部分の厚
さを柔軟となる薄い厚さ形状に形成する場合、前記各分
離基板体43自身が既に微細な形状となっており、機械加
工の困難性が予想されるので本発明ではSi単結晶基板の
結晶方位によるエッチング速度の違いを利用する異方性
エッチングを用いることにより実現できる。
の素子部となる領域以外の可撓性支持部となる部分の厚
さを柔軟となる薄い厚さ形状に形成する場合、前記各分
離基板体43自身が既に微細な形状となっており、機械加
工の困難性が予想されるので本発明ではSi単結晶基板の
結晶方位によるエッチング速度の違いを利用する異方性
エッチングを用いることにより実現できる。
【００２８】そして図４(b) に示すようにその分離した
各ヘッド構成体45の切断面とその素子部となる領域の記
録媒体対向面に主磁極の先端を露出させるように研磨仕
上げを行うと共に、該記録媒体対向面を前記露出する主
磁極先端が頂点となって突出するように該主磁極先端に
向かって狭めた形状に切削し、研磨仕上げする、或いは
エッチング等により形成することによって、前記図１
(a),(b) 及び(c) に示す所望の極めて小型で軽量な薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
各ヘッド構成体45の切断面とその素子部となる領域の記
録媒体対向面に主磁極の先端を露出させるように研磨仕
上げを行うと共に、該記録媒体対向面を前記露出する主
磁極先端が頂点となって突出するように該主磁極先端に
向かって狭めた形状に切削し、研磨仕上げする、或いは
エッチング等により形成することによって、前記図１
(a),(b) 及び(c) に示す所望の極めて小型で軽量な薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
【００２９】なお、以上の実施例では素子部の記録媒体
対向面に垂直な前面のセンターに一つの記録・再生用の
薄膜電磁変換素子を配設した場合の例について説明した
が、本発明はそのような例に限定されるものではなく、
例えば図５の要部概略斜視図に示すように素子部52の記
録媒体対向面53に垂直な前面に、それぞれ先端が該記録
媒体対向面53に露出する Ni-Fe合金等からなる磁束リタ
ーンヨーク54と該磁束リターンヨーク54と磁気的に接続
され、かつヘリックス形の薄膜コイル56が Al2O3膜等の
非磁性絶縁膜を介して捲回される主磁極55とが積層状に
形成された二つの記録・再生用の薄膜電磁変換素子が配
設され、その素子部52の記録媒体対向面53は、各薄膜電
磁変換素子の主磁極55の先端がそれぞれ頂点となって突
出するように該主磁極先端に向かって狭めた双胴形状と
することにより、当該薄膜磁気ヘッドが記録媒体上に摺
動時、或いは浮上時に生じるローリング方向への捩じれ
現象に対する復元力を大きくすることができる。
対向面に垂直な前面のセンターに一つの記録・再生用の
薄膜電磁変換素子を配設した場合の例について説明した
が、本発明はそのような例に限定されるものではなく、
例えば図５の要部概略斜視図に示すように素子部52の記
録媒体対向面53に垂直な前面に、それぞれ先端が該記録
媒体対向面53に露出する Ni-Fe合金等からなる磁束リタ
ーンヨーク54と該磁束リターンヨーク54と磁気的に接続
され、かつヘリックス形の薄膜コイル56が Al2O3膜等の
非磁性絶縁膜を介して捲回される主磁極55とが積層状に
形成された二つの記録・再生用の薄膜電磁変換素子が配
設され、その素子部52の記録媒体対向面53は、各薄膜電
磁変換素子の主磁極55の先端がそれぞれ頂点となって突
出するように該主磁極先端に向かって狭めた双胴形状と
することにより、当該薄膜磁気ヘッドが記録媒体上に摺
動時、或いは浮上時に生じるローリング方向への捩じれ
現象に対する復元力を大きくすることができる。
【００３０】なお、57は非磁性絶縁膜、58a, 58b及び58
c は各薄膜コイル56の導出端子であり、59a, 59b及び59
c は該導出端子58a, 58b及び58c にそれぞれ接続された
信号導体線である。
c は各薄膜コイル56の導出端子であり、59a, 59b及び59
c は該導出端子58a, 58b及び58c にそれぞれ接続された
信号導体線である。
【００３１】また、この場合に前記素子部52の記録媒体
対向面53に垂直な前面に必ずしも二つの記録・再生用の
薄膜電磁変換素子を設ける必要はなく、必要に応じて何
れか一方の記録・再生用の薄膜電磁変換素子をダミーの
素子と置き換えた構成とすることもできる。
対向面53に垂直な前面に必ずしも二つの記録・再生用の
薄膜電磁変換素子を設ける必要はなく、必要に応じて何
れか一方の記録・再生用の薄膜電磁変換素子をダミーの
素子と置き換えた構成とすることもできる。
【００３２】更に、以上の実施例では垂直磁気記録用の
単磁極型薄膜磁気ヘッドを対象した場合の例について説
明したが、この例に限定されるものではなく、例えば従
来から広く用いられている水平磁気記録用のリングコア
ー型薄膜磁気ヘッド、磁気抵抗効果型薄膜ヘッドなどを
単独、或いは垂直磁気記録用の単磁極型薄膜磁気ヘッド
と磁気抵抗効果型薄膜ヘッド、水平磁気記録用のリング
コアー型薄膜磁気ヘッドと磁気抵抗効果型薄膜ヘッドな
どを組み合わせて適用することも可能である。
単磁極型薄膜磁気ヘッドを対象した場合の例について説
明したが、この例に限定されるものではなく、例えば従
来から広く用いられている水平磁気記録用のリングコア
ー型薄膜磁気ヘッド、磁気抵抗効果型薄膜ヘッドなどを
単独、或いは垂直磁気記録用の単磁極型薄膜磁気ヘッド
と磁気抵抗効果型薄膜ヘッド、水平磁気記録用のリング
コアー型薄膜磁気ヘッドと磁気抵抗効果型薄膜ヘッドな
どを組み合わせて適用することも可能である。
【００３３】本発明の薄膜磁気ヘッドはその構造上から
接触摺動型として極めて有効であるが、素子部の記録媒
体対向面の形状を僅かに変更することによって微小な浮
上力を発生させることも可能であり、浮上型としての適
用も可能なことはいうまでもない。
接触摺動型として極めて有効であるが、素子部の記録媒
体対向面の形状を僅かに変更することによって微小な浮
上力を発生させることも可能であり、浮上型としての適
用も可能なことはいうまでもない。
【００３４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る薄膜磁気ヘッドによれば、薄膜電磁変換素子を記
録媒体面に対して垂直に設けた素子部と、該素子部を低
荷重で記録媒体面に押し付ける柔軟な可撓性支持部とを
一体に構成した小型, 軽量で低コストなヘッド構成が実
現でき、記録媒体面に対して低荷重で安定した接触摺動
性、或いは高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロ
ン）を維持することができると共に、ヘッドクラッシュ
も低減することが可能となる。
に係る薄膜磁気ヘッドによれば、薄膜電磁変換素子を記
録媒体面に対して垂直に設けた素子部と、該素子部を低
荷重で記録媒体面に押し付ける柔軟な可撓性支持部とを
一体に構成した小型, 軽量で低コストなヘッド構成が実
現でき、記録媒体面に対して低荷重で安定した接触摺動
性、或いは高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロ
ン）を維持することができると共に、ヘッドクラッシュ
も低減することが可能となる。
【００３５】従って、当該薄膜磁気ヘッドの信頼性が高
められ、磁気ディスク装置の小型・軽量化と高密度記録
化及びコストダウンに大きく貢献することができるとい
う優れた効果を奏する。
められ、磁気ディスク装置の小型・軽量化と高密度記録
化及びコストダウンに大きく貢献することができるとい
う優れた効果を奏する。
【図１】 本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す上
側から見た概略平面図とその要部側断面図及び概略左側
面図である。
側から見た概略平面図とその要部側断面図及び概略左側
面図である。
【図２】 本発明の薄膜磁気ヘッドを記録媒体へ実装し
た場合の構成を説明するための要部概略側面図である。
た場合の構成を説明するための要部概略側面図である。
【図３】 本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法の一例を
順に説明するための概略斜視図である。
順に説明するための概略斜視図である。
【図４】 本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法の一例を
順に説明するための概略斜視図である。
順に説明するための概略斜視図である。
【図５】 本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施例を説明
するための要部概略斜視図である。
するための要部概略斜視図である。
【図６】 従来の薄膜磁気ヘッドを説明するための概略
構成斜視図である。
構成斜視図である。
１１ 基体 １２，５２ 素子部 １３，５３ 記録媒体対向面 １４ 可撓性支持部 １５，５４ 磁束リターンヨーク １６，５５ 主磁極 １６ａ 接地導出端子 １７，５６ 薄膜コイル １７ａ，１７ｂ、５８ａ，５８ｂ，５８ｃ 導出端子 １８，２３，５７ 非磁性絶縁膜 １９ 薄膜電磁変換素子 ２０，５９ａ，５９ｂ，５９ｃ 信号導体線 ２１ 接地導体線 ２２ 接続パッド ２４ 支持アーム ２５ 導体パッド ２６ 外部引出し線 ３１，３２ 薄膜磁気ヘッド ３３ 記録媒体 ４１ ブロック基板 ４２ 薄膜電磁変換素子パターン ４３ 分離基板体 ４４ 薄膜導体パターン ４５ ヘッド構成体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若松 弘晃 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 記録媒体面に対して垂直な面を有する素
子部(12)と該素子部(12)を支持する柔軟な可撓性支持部
(14)とがＬ字形状に一体に形成された基体(11)を有し、
該基体(11)における素子部(12)の垂直な面に先端が記録
媒体対向面(13)に垂直に露出する磁束リターンヨーク(1
5)及び該磁束リターンヨーク(15)と磁気的に接続された
磁極(16)と、薄膜コイル(17)とを有する記録・再生用の
薄膜電磁変換素子(19)を設け、前記可撓性支持部(14)上
に該薄膜電磁変換素子(19)より導出する信号導体線(20)
及び磁極接地用の接地導体線(21)、並びにそれらの接続
パッド(22)を設けたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記素子部(52)の垂直な面の両側にそれ
ぞれ先端が突出するように記録媒体対向面(53)に垂直に
露出する磁束リターンヨーク(54)及び該磁束リターンヨ
ーク(54)と磁気的に接続された磁極(55)と、薄膜コイル
(56)とを有する一対の記録・再生用の薄膜電磁変換素子
を設けたことを特徴とする請求項１の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9965592A JPH05298620A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9965592A JPH05298620A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05298620A true JPH05298620A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14253075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9965592A Withdrawn JPH05298620A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05298620A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06103531A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-04-15 | Censtor Corp | 集積磁気リード／ライトヘッド／撓曲体／導体構造体 |
| JPH08263819A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Nec Corp | 磁気ディスク装置 |
-
1992
- 1992-04-20 JP JP9965592A patent/JPH05298620A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06103531A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-04-15 | Censtor Corp | 集積磁気リード／ライトヘッド／撓曲体／導体構造体 |
| JPH08263819A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Nec Corp | 磁気ディスク装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |