JP3319785B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- magnetic head
- terminals
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は複数の端子を持つ端子構
造の薄膜磁気ヘッド及び磁気記録装置に係り、特に小型
のヘッドスライダー上への端子の実装に適正な端子構造
を有する薄膜磁気ヘッドに関する。
造の薄膜磁気ヘッド及び磁気記録装置に係り、特に小型
のヘッドスライダー上への端子の実装に適正な端子構造
を有する薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドの概略構造を薄膜
磁気ヘッド後端面を示す図３（ａ）及び該図３（ａ）の
Ａ−Ａ断面図である図３（ｂ）を用いて説明する。本磁
気ヘッドは、基板１上に、下地膜２、下部磁性体３、ギ
ャップ材４、１層または複数層の導体コイル５と層間絶
縁層６、上部磁性体７を順次形成し、同時に引き出し線
８も形成し、この上に下部端子底面１６を持つ下部端子
９、および保護膜１０を施し、下部端子９上に上部端子
１１を設けて薄膜磁気ヘッド素子を形成した磁気ヘッド
スライダー１３を形成する。この薄膜磁気ヘッド素子
は、前記上部端子１１に外部回路との導通を行なう接続
用リード線１２を接続してデータの記録再生を行なう。
尚、図中Ｈはスライダー高さ、Ｗはスライダー幅であ
る。
磁気ヘッド後端面を示す図３（ａ）及び該図３（ａ）の
Ａ−Ａ断面図である図３（ｂ）を用いて説明する。本磁
気ヘッドは、基板１上に、下地膜２、下部磁性体３、ギ
ャップ材４、１層または複数層の導体コイル５と層間絶
縁層６、上部磁性体７を順次形成し、同時に引き出し線
８も形成し、この上に下部端子底面１６を持つ下部端子
９、および保護膜１０を施し、下部端子９上に上部端子
１１を設けて薄膜磁気ヘッド素子を形成した磁気ヘッド
スライダー１３を形成する。この薄膜磁気ヘッド素子
は、前記上部端子１１に外部回路との導通を行なう接続
用リード線１２を接続してデータの記録再生を行なう。
尚、図中Ｈはスライダー高さ、Ｗはスライダー幅であ
る。
【０００３】この薄膜磁気ヘッドの外部回路との接続構
造は、図４（ａ），（ｂ）に示す如く、前記接続用リー
ド線１２と上部端子１１との安定した密着力を保証する
ために、該上部端子１１の保護膜１０上に直接形成され
た部分１１ａにリード線１２を結線し、下部端子９上に
形成された部分１１ｂを下部端子９と接続している。
造は、図４（ａ），（ｂ）に示す如く、前記接続用リー
ド線１２と上部端子１１との安定した密着力を保証する
ために、該上部端子１１の保護膜１０上に直接形成され
た部分１１ａにリード線１２を結線し、下部端子９上に
形成された部分１１ｂを下部端子９と接続している。
【０００４】前述の薄膜磁気ヘッドの下部端子の配置
は、薄膜磁気ヘッド後端面の複数の下部端子９をヘッド
スライダー１３の高さＨあるいは幅Ｗ方向と平行になる
ように並べて配置されるのが理想であるが、厳密にいえ
ば製造ばらつき諸々の原因によって下部端子９の位置関
係もヘッドスライダー１３の高さＨ方向あるいは幅Ｗ方
向に対して幾何学的に平行とは言い難い。これを図５を
参照して説明する。まず、下部端子９の位置は図３
（ｂ），図４（Ｂ）の断面図に示される下部端子底面１
４の中心の位置とし、ここで図５に示すように高さ方向
に数１００μｍの間隔を置いてヘッドスライダー１３の
水平面に対して垂直になる様に下部端子９を形成する場
合を考えると、フォトリソグラフィによる下部端子底面
１４形成時の位置ずれを１０数μｍとし、機械加工によ
るヘッドスライダー１３の直角度をヘッドスライダー１
３の高さＨが１ｍｍ程度なのに対して１０数μｍとした
場合、下部端子底面１４の中心位置間を結ぶ直線とヘッ
ドスライダー１３の高さＨ方向との成す角は７度程度に
なる。
は、薄膜磁気ヘッド後端面の複数の下部端子９をヘッド
スライダー１３の高さＨあるいは幅Ｗ方向と平行になる
ように並べて配置されるのが理想であるが、厳密にいえ
ば製造ばらつき諸々の原因によって下部端子９の位置関
係もヘッドスライダー１３の高さＨ方向あるいは幅Ｗ方
向に対して幾何学的に平行とは言い難い。これを図５を
参照して説明する。まず、下部端子９の位置は図３
（ｂ），図４（Ｂ）の断面図に示される下部端子底面１
４の中心の位置とし、ここで図５に示すように高さ方向
に数１００μｍの間隔を置いてヘッドスライダー１３の
水平面に対して垂直になる様に下部端子９を形成する場
合を考えると、フォトリソグラフィによる下部端子底面
１４形成時の位置ずれを１０数μｍとし、機械加工によ
るヘッドスライダー１３の直角度をヘッドスライダー１
３の高さＨが１ｍｍ程度なのに対して１０数μｍとした
場合、下部端子底面１４の中心位置間を結ぶ直線とヘッ
ドスライダー１３の高さＨ方向との成す角は７度程度に
なる。
【０００５】尚、従来技術技術による薄膜磁気ヘッド
は、例えば特開昭５８−１７９９２２号公報，特開平１
−７３５１８号公報，特開平２−２３９４１３号公報に
記載されている。
は、例えば特開昭５８−１７９９２２号公報，特開平１
−７３５１８号公報，特開平２−２３９４１３号公報に
記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は近年に
磁気ディスク装置が小型化・高速アクセス化の傾向にあ
り、これにともないヘッドスライダーの小型軽量化が要
求されており、一方で薄膜磁気ヘッドが外部回路と複数
の端子により接続されるが、外部回路からのリード線と
の導通を確保するためには上部端子および下部端子があ
る程度の大きさを必要とし、従来の端子の形状と配置で
はますます小型化の進むヘッドスライダー上への端子の
実装に関して次のような問題が生じる可能性があった。
磁気ディスク装置が小型化・高速アクセス化の傾向にあ
り、これにともないヘッドスライダーの小型軽量化が要
求されており、一方で薄膜磁気ヘッドが外部回路と複数
の端子により接続されるが、外部回路からのリード線と
の導通を確保するためには上部端子および下部端子があ
る程度の大きさを必要とし、従来の端子の形状と配置で
はますます小型化の進むヘッドスライダー上への端子の
実装に関して次のような問題が生じる可能性があった。
【０００７】まず上記従来技術では図４（ａ）に見られ
るように、複数個の下部端子９はヘッドスライダー１３
の高さＨあるいは幅Ｗ方向に平行となるように意図され
て配置されていたが、しかし製品の信頼性を確保するた
めに下部端子９の大きさや下部端子９間の間隔や下部端
子９とヘッドスライダー１３端面との間隔などそれぞれ
について必要な大きさがあり、従来のような配置のまま
でヘッドスライダー１３の小型化が進むと下部端子９を
複数個実装することが困難となってくる。また上部端子
１１についていえば、従来のリード接続領域１１ａと下
部端子接続領域１１ｂとが特に区別されていない形状で
は、上部端子１１の長さと幅がリード線１２接続あるい
は下部端子９接続に必要な長さや幅の大きい方によって
決まってしまい、小形化するヘッドスライダー１３に該
上部端子１１を複数個配置する際に困難となってくる問
題があった。
るように、複数個の下部端子９はヘッドスライダー１３
の高さＨあるいは幅Ｗ方向に平行となるように意図され
て配置されていたが、しかし製品の信頼性を確保するた
めに下部端子９の大きさや下部端子９間の間隔や下部端
子９とヘッドスライダー１３端面との間隔などそれぞれ
について必要な大きさがあり、従来のような配置のまま
でヘッドスライダー１３の小型化が進むと下部端子９を
複数個実装することが困難となってくる。また上部端子
１１についていえば、従来のリード接続領域１１ａと下
部端子接続領域１１ｂとが特に区別されていない形状で
は、上部端子１１の長さと幅がリード線１２接続あるい
は下部端子９接続に必要な長さや幅の大きい方によって
決まってしまい、小形化するヘッドスライダー１３に該
上部端子１１を複数個配置する際に困難となってくる問
題があった。
【０００８】本発明の目的はヘッドスライダーの小型化
に伴う端子実装上の問題を軽減可能にする適正な端子構
造を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
に伴う端子実装上の問題を軽減可能にする適正な端子構
造を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、磁気ヘッドスライダーの端面に薄膜磁気ヘ
ッド素子及び該素子に下部端子を介して接続された複数
の上部端子を備える薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部
端子は、それぞれの占有を異にする外部回路と接続する
ためのリード接続領域と，該下部端子と接続を行うため
の下部端子接続領域とを持ち、且つ前記リード接続領域
と前記下部端子接続領域の形状及び寸法が異なることに
よって生じる凹部と凸部とを有しており、前記上部端子
が、隣合う上部端子の互いのリード接続領域と下部端子
接続領域とが正対し且つ互いの凹部と凸部とがはまり合
うように配置されると共に、前記下部端子が、磁気ヘッ
ドスライダー端面の高さ方向において重複しない位置に
配置されていることを特徴とする。
に本発明は、磁気ヘッドスライダーの端面に薄膜磁気ヘ
ッド素子及び該素子に下部端子を介して接続された複数
の上部端子を備える薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部
端子は、それぞれの占有を異にする外部回路と接続する
ためのリード接続領域と，該下部端子と接続を行うため
の下部端子接続領域とを持ち、且つ前記リード接続領域
と前記下部端子接続領域の形状及び寸法が異なることに
よって生じる凹部と凸部とを有しており、前記上部端子
が、隣合う上部端子の互いのリード接続領域と下部端子
接続領域とが正対し且つ互いの凹部と凸部とがはまり合
うように配置されると共に、前記下部端子が、磁気ヘッ
ドスライダー端面の高さ方向において重複しない位置に
配置されていることを特徴とする。
【００１０】
【００１１】
【作用】上記薄膜磁気ヘッドは、まず前記端子を磁気ヘ
ッドスライダー後端面の高さ方向において重複しない位
置に配置したことにより、複数の端子をヘッドスライダ
ーの高さ方向および幅方向に詰めて配置することができ
る。また互に重複しない方向に下部端子から伸す様に配
置したことにより、それぞれの領域が接続に必要な面積
を確保したまま、さらに隣合う上部端子のそれぞれの領
域が正対してできる該上部端子の凹部と凸部がはまり合
う部分だけ該上部端子を詰めて配置することができる。
ッドスライダー後端面の高さ方向において重複しない位
置に配置したことにより、複数の端子をヘッドスライダ
ーの高さ方向および幅方向に詰めて配置することができ
る。また互に重複しない方向に下部端子から伸す様に配
置したことにより、それぞれの領域が接続に必要な面積
を確保したまま、さらに隣合う上部端子のそれぞれの領
域が正対してできる該上部端子の凹部と凸部がはまり合
う部分だけ該上部端子を詰めて配置することができる。
【００１２】
【実施例】以下に本発明の実施例を図１および図２によ
り説明する。図１は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実
施例を示す磁気ヘッドスライダー後端面の正面図であ
る。図１において、本薄膜磁気ヘッドはまず従来例の図
５（ｂ）に示されるように下地膜２を有する基板１上
に、薄膜磁気ヘッドの素子となる下部磁性体３、ギャッ
プ材４、絶縁膜６、導体コイル５、上部磁性体７を順次
形成し、この導体コイル５および上部磁性体７の形成工
程で引き出し線８を形成する。さらに該引き出し線８上
にめっき用下地膜を形成後にエレクトロフォーミングに
より下部端子底面１４を持つ下部端子９を形成する。こ
の該下部端子９は電気抵抗の小さい金、銀、銅及びそれ
らの合金膜が厚さ３０〜６０μｍに形成する。ついで保
護膜１０を積層して機械加工で下部端子９が露出して来
るまで該保護膜１０を平滑に削り取る。この時の下部端
子９の露出面積は上部端子１１との電気伝導が確保され
ればよく好ましくは直径８０〜１００μｍ程度としたい
が、その露出部の位置および露出面積は下部端子９をエ
レクトロフォーミングする場合のフォトレジスト膜パタ
ーンを形成するフォトマスクで調整できる。また複数の
下部端子９の間隔およびヘッドスライダー１３の端部と
下部端子９の間隔も保護膜１０の密着力確保いい替える
と保護膜１０の剥がれ防止のために８０〜１００μｍ程
度にしたい。そこで該下部端子９上に上部端子１１を形
成後に、所定の寸法を持つヘッドスライダー１３として
基板１を切断・加工する、例えば該ヘッドスライダー１
３の小型化によってヘッドスライダー１３の高さＨが５
００μｍ程度になり、同時にヘッドスライダー１３の幅
Ｗにも同様の制限があるとすると、下部端子９を形成す
る際に従来例の図３のように下部端子９をヘッドスライ
ダー１３の高さＨ方向あるいは幅Ｗ方向と平行に２つ並
べて形成することが困難なため、本発明により厳密には
複数の下部端子底面１４の中心位置を結ぶ直線がヘッド
スライダー１３の高さＨ方向に平行な直線と幅Ｗ方向に
平行な直線の両方に対して１０度以上の傾きになるよう
に斜めに並べて配置する。本実施例では図１のように２
個の下部端子９をヘッドスライダー１３の高さＨ方向あ
るいは幅Ｗ方向と平行な直線に対して例えば４５度の角
度をなすように配置して形成すると、この２個の下部端
子９をヘッドスライダー１３の高さＨおよび幅Ｗ方向に
２０〜３０μｍ程度ずつ詰めて配置することができる。
なお本実施例では上部端子１１に関しては下部端子９を
覆うように形成して接続し、この上部端子１１上に外部
回路との接続用リード線が接続できる。この様に本実施
例による薄膜磁気ヘッドは、２つの断面円形の下部端子
９をヘッドスライダー高さ方向に重複しないようにずら
して配置し、且つ円形状の上部端子１１を該下部端子９
上に配置することによって、複数の下部端子をヘッドス
ライダーの高さ方向および幅方向に詰めて配置すること
ができる。
り説明する。図１は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実
施例を示す磁気ヘッドスライダー後端面の正面図であ
る。図１において、本薄膜磁気ヘッドはまず従来例の図
５（ｂ）に示されるように下地膜２を有する基板１上
に、薄膜磁気ヘッドの素子となる下部磁性体３、ギャッ
プ材４、絶縁膜６、導体コイル５、上部磁性体７を順次
形成し、この導体コイル５および上部磁性体７の形成工
程で引き出し線８を形成する。さらに該引き出し線８上
にめっき用下地膜を形成後にエレクトロフォーミングに
より下部端子底面１４を持つ下部端子９を形成する。こ
の該下部端子９は電気抵抗の小さい金、銀、銅及びそれ
らの合金膜が厚さ３０〜６０μｍに形成する。ついで保
護膜１０を積層して機械加工で下部端子９が露出して来
るまで該保護膜１０を平滑に削り取る。この時の下部端
子９の露出面積は上部端子１１との電気伝導が確保され
ればよく好ましくは直径８０〜１００μｍ程度としたい
が、その露出部の位置および露出面積は下部端子９をエ
レクトロフォーミングする場合のフォトレジスト膜パタ
ーンを形成するフォトマスクで調整できる。また複数の
下部端子９の間隔およびヘッドスライダー１３の端部と
下部端子９の間隔も保護膜１０の密着力確保いい替える
と保護膜１０の剥がれ防止のために８０〜１００μｍ程
度にしたい。そこで該下部端子９上に上部端子１１を形
成後に、所定の寸法を持つヘッドスライダー１３として
基板１を切断・加工する、例えば該ヘッドスライダー１
３の小型化によってヘッドスライダー１３の高さＨが５
００μｍ程度になり、同時にヘッドスライダー１３の幅
Ｗにも同様の制限があるとすると、下部端子９を形成す
る際に従来例の図３のように下部端子９をヘッドスライ
ダー１３の高さＨ方向あるいは幅Ｗ方向と平行に２つ並
べて形成することが困難なため、本発明により厳密には
複数の下部端子底面１４の中心位置を結ぶ直線がヘッド
スライダー１３の高さＨ方向に平行な直線と幅Ｗ方向に
平行な直線の両方に対して１０度以上の傾きになるよう
に斜めに並べて配置する。本実施例では図１のように２
個の下部端子９をヘッドスライダー１３の高さＨ方向あ
るいは幅Ｗ方向と平行な直線に対して例えば４５度の角
度をなすように配置して形成すると、この２個の下部端
子９をヘッドスライダー１３の高さＨおよび幅Ｗ方向に
２０〜３０μｍ程度ずつ詰めて配置することができる。
なお本実施例では上部端子１１に関しては下部端子９を
覆うように形成して接続し、この上部端子１１上に外部
回路との接続用リード線が接続できる。この様に本実施
例による薄膜磁気ヘッドは、２つの断面円形の下部端子
９をヘッドスライダー高さ方向に重複しないようにずら
して配置し、且つ円形状の上部端子１１を該下部端子９
上に配置することによって、複数の下部端子をヘッドス
ライダーの高さ方向および幅方向に詰めて配置すること
ができる。
【００１３】また互に重複しない方向に下部端子から伸
す様に配置したことにより、それぞれの領域が接続に必
要な面積を確保したまま、さらに隣合う上部端子のそれ
ぞれの領域が正対してできる該上部端子の凹部と凸部が
はまり合う部分だけ該上部端子を詰めて配置することが
できる。次に図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明によ
る薄膜磁気ヘッドのそれぞれ他の実施例を示す正面図で
ある。図２（ａ），（ｂ）において、本実施例は上部端
子１１に関しては上記下部端子９と同様にして形成する
か、またはスパッタリングや蒸着で堆積しフォトエッチ
ング法でパターニングして形成できるが、上記下部端子
９と同様にエレクトロフォーミング法で形成する場合に
はめっき用下地膜が必要である。該上部端子１１は金、
銅、はんだ合金で膜厚０．１〜１０μｍであり、そのリ
ード線接続のために設けられる領域であるリード接続領
域１１ａの寸法は８０×１５０μｍ程度あればよく、ま
た下部端子９との接続のために設けられる領域１１ｂの
寸法は下部端子９の露出部の寸法で決まり１００×１０
０μｍ程度あればよい。そこで上部端子１１をパターニ
ングする際に、従来例では図３（ａ），図４（ａ）のよ
うに上部端子１１の接続領域とその形状に関してリード
接続領域と下部端子接続が特に区別されていないのに対
して、本実施例では図２（ａ），（ｂ）に示すようにそ
れぞれの役割に必要な形状・寸法を持つリード接続領域
１１ａと下部端子接続領域１１ｂに区別される上部端子
１１を形成し、さらに該上部端子１１が少なくとも１つ
の別の上部端子１１と隣合っていて、該隣合う上部端子
１１の互いのリード接続領域１１ａと下部端子接続領域
１１ｂが正対し、それぞれの領域の形状・寸法が異なる
ことによってできる上部端子１１の凹部と凸部が隣合う
上部端子１１間ではまり合うように配置する。換言すれ
ば、下部端子９を磁気ヘッドスライダー後端面の高さＨ
方向において重複しない位置に配置し、且つ前記上部端
子１１ａ，ｂを互に重複しない方向に下部端子９から伸
す様に配置する。このようにして図２（ａ），（ｂ）の
実施例によれば、隣合う上部端子１１の凹部と凸部がは
まり合う３０〜５０μｍ程度がヘッドスライダー１３の
それぞれ幅Ｗ方向，高さＨ方向で省スペースとなり、な
お上部端子１１のリード接続領域１１ａがそれぞれ高さ
Ｈ方向，幅Ｗ方向に長形をしていて、それぞれの方向に
リード線を接続するのに好都合な端子構造となる。即
ち、外部との接続面積を確保しつつ高密度に端子を配置
することができる。
す様に配置したことにより、それぞれの領域が接続に必
要な面積を確保したまま、さらに隣合う上部端子のそれ
ぞれの領域が正対してできる該上部端子の凹部と凸部が
はまり合う部分だけ該上部端子を詰めて配置することが
できる。次に図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明によ
る薄膜磁気ヘッドのそれぞれ他の実施例を示す正面図で
ある。図２（ａ），（ｂ）において、本実施例は上部端
子１１に関しては上記下部端子９と同様にして形成する
か、またはスパッタリングや蒸着で堆積しフォトエッチ
ング法でパターニングして形成できるが、上記下部端子
９と同様にエレクトロフォーミング法で形成する場合に
はめっき用下地膜が必要である。該上部端子１１は金、
銅、はんだ合金で膜厚０．１〜１０μｍであり、そのリ
ード線接続のために設けられる領域であるリード接続領
域１１ａの寸法は８０×１５０μｍ程度あればよく、ま
た下部端子９との接続のために設けられる領域１１ｂの
寸法は下部端子９の露出部の寸法で決まり１００×１０
０μｍ程度あればよい。そこで上部端子１１をパターニ
ングする際に、従来例では図３（ａ），図４（ａ）のよ
うに上部端子１１の接続領域とその形状に関してリード
接続領域と下部端子接続が特に区別されていないのに対
して、本実施例では図２（ａ），（ｂ）に示すようにそ
れぞれの役割に必要な形状・寸法を持つリード接続領域
１１ａと下部端子接続領域１１ｂに区別される上部端子
１１を形成し、さらに該上部端子１１が少なくとも１つ
の別の上部端子１１と隣合っていて、該隣合う上部端子
１１の互いのリード接続領域１１ａと下部端子接続領域
１１ｂが正対し、それぞれの領域の形状・寸法が異なる
ことによってできる上部端子１１の凹部と凸部が隣合う
上部端子１１間ではまり合うように配置する。換言すれ
ば、下部端子９を磁気ヘッドスライダー後端面の高さＨ
方向において重複しない位置に配置し、且つ前記上部端
子１１ａ，ｂを互に重複しない方向に下部端子９から伸
す様に配置する。このようにして図２（ａ），（ｂ）の
実施例によれば、隣合う上部端子１１の凹部と凸部がは
まり合う３０〜５０μｍ程度がヘッドスライダー１３の
それぞれ幅Ｗ方向，高さＨ方向で省スペースとなり、な
お上部端子１１のリード接続領域１１ａがそれぞれ高さ
Ｈ方向，幅Ｗ方向に長形をしていて、それぞれの方向に
リード線を接続するのに好都合な端子構造となる。即
ち、外部との接続面積を確保しつつ高密度に端子を配置
することができる。
【００１４】次に図２（ｃ）に示す薄膜磁気ヘッドは、
磁気媒体への記録と再生をそれぞれ独立した磁気回路で
行なう録再分離ヘッドの一例であって、上記のように記
録および再生を独立した磁気回路で行うため外部回路た
とえば記録電流駆動回路や再生電圧増幅回路と接続用リ
ード線１２１と接続する少なくとも４つの上部端子１１
が１つの録再分離ヘッド素子部１５に対して必要であ
る。このような録再分離ヘッドに対しても図２（ｃ）に
見られるように、先に図２（ａ），（ｂ）において説明
したような上部端子１１に関する端子構造をとることに
よって、該ヘッドスライダー１３の小型化に対応するこ
とができる。この様に本実施例による薄膜磁気ヘッド
は、隣合う上部端子のそれぞれの領域が正対してできる
該上部端子の凹部と凸部がはまり合う部分だけ該上部端
子を詰めて配置することができる。なお本実施例によれ
ば、上記図１，図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した実
施例の薄膜磁気ヘッドのうちの少なくとも１つの薄膜磁
気ヘッドを搭載した磁気記録装置が実施でき、磁気記録
装置の小型化・高速アクセス化にも対応することができ
る。
磁気媒体への記録と再生をそれぞれ独立した磁気回路で
行なう録再分離ヘッドの一例であって、上記のように記
録および再生を独立した磁気回路で行うため外部回路た
とえば記録電流駆動回路や再生電圧増幅回路と接続用リ
ード線１２１と接続する少なくとも４つの上部端子１１
が１つの録再分離ヘッド素子部１５に対して必要であ
る。このような録再分離ヘッドに対しても図２（ｃ）に
見られるように、先に図２（ａ），（ｂ）において説明
したような上部端子１１に関する端子構造をとることに
よって、該ヘッドスライダー１３の小型化に対応するこ
とができる。この様に本実施例による薄膜磁気ヘッド
は、隣合う上部端子のそれぞれの領域が正対してできる
該上部端子の凹部と凸部がはまり合う部分だけ該上部端
子を詰めて配置することができる。なお本実施例によれ
ば、上記図１，図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した実
施例の薄膜磁気ヘッドのうちの少なくとも１つの薄膜磁
気ヘッドを搭載した磁気記録装置が実施でき、磁気記録
装置の小型化・高速アクセス化にも対応することができ
る。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば薄
膜磁気ヘッドの複数の端子を詰めて配置できるので、ヘ
ッドスライダーの小型化に伴う端子実装上の問題が軽減
された薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
膜磁気ヘッドの複数の端子を詰めて配置できるので、ヘ
ッドスライダーの小型化に伴う端子実装上の問題が軽減
された薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
【図１】本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
図。
図。
【図２】本発明のそれぞれ他の実施例による薄膜磁気ヘ
ッドを示す図。
ッドを示す図。
【図３】従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す図。
【図４】従来による薄膜磁気ヘッドの他の例を示す図。
【図５】従来の端子配置を示す図。
１…基板、２…下地膜、３…下部磁性体、４…ギャップ
材、５…導体コイル、６…層間絶縁膜、７…上部磁性
体、８…引き出し線、９…下部端子、１０…保護膜、１
１…上部端子、１２…リード線、１３…ヘッドスライダ
ー、１４…下部端子底面、１５…録再分離ヘッド素子
部、Ｈ…スライダー高さ、Ｗ…スライダー幅
材、５…導体コイル、６…層間絶縁膜、７…上部磁性
体、８…引き出し線、９…下部端子、１０…保護膜、１
１…上部端子、１２…リード線、１３…ヘッドスライダ
ー、１４…下部端子底面、１５…録再分離ヘッド素子
部、Ｈ…スライダー高さ、Ｗ…スライダー幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 益田 賢三 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 小田原工場内 (72)発明者 瀬藤 時幸 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 小田原工場内 (72)発明者 森尻 誠 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 小田原工場内 (56)参考文献 特開 平４−134611（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−21919（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−182143（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−90010（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−177408（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/31 G11B 5/60
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気ヘッドスライダーの端面に薄膜磁気
ヘッド素子及び該素子に下部端子を介して接続された複
数の上部端子を備える薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記上部端子は、それぞれの占有を異にする外部回路と
接続するためのリード接続領域と，該下部端子と接続を
行うための下部端子接続領域とを持ち、且つ前記リード
接続領域と前記下部端子接続領域の形状及び寸法が異な
ることによって生じる凹部と凸部とを有しており、 前記上部端子が、隣合う上部端子の互いのリード接続領
域と下部端子接続領域とが正対し且つ互いの凹部と凸部
とがはまり合うように配置されると共に、前記下部端子
が、磁気ヘッドスライダー端面の高さ方向において重複
しない位置に配置されていることを特徴とする薄膜磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24662892A JP3319785B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24662892A JP3319785B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06103527A JPH06103527A (ja) | 1994-04-15 |
| JP3319785B2 true JP3319785B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=17151233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24662892A Expired - Fee Related JP3319785B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3319785B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2740599B2 (ja) * | 1992-09-21 | 1998-04-15 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
-
1992
- 1992-09-16 JP JP24662892A patent/JP3319785B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06103527A (ja) | 1994-04-15 |
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