JPH05298619A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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Publication number
JPH05298619A
JPH05298619A JP10092192A JP10092192A JPH05298619A JP H05298619 A JPH05298619 A JP H05298619A JP 10092192 A JP10092192 A JP 10092192A JP 10092192 A JP10092192 A JP 10092192A JP H05298619 A JPH05298619 A JP H05298619A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
recording medium
tip
magnetic head
magnetic pole
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP10092192A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuyuki Sagara
泰之 相良
Ryosuke Furuishi
亮介 古石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH05298619A publication Critical patent/JPH05298619A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は小型な磁気ディスク装置等に用いる
集積型の薄膜磁気ヘッドに関し、主体とする絶縁性屈曲
体の支持部を支持アームに取付けてその素子部を記録媒
体面に配設した際に、該素子部の媒体滑動面の記録媒体
面に対する僅かな平行ずれや角度ずれがあっても記録再
生特性の低下、特に再生出力の低下を防止することを目
的とする。 【構成】 素子部22と支持部13を一体に構成した細長形
状の絶縁性屈曲体21における素子部22内に電磁変換用の
主磁極14を先端が記録媒体と対向する媒体滑動面に露出
するように埋設すると共に、該主磁極14に沿うように前
記絶縁性屈曲体21の素子部22から支持部13に跨がって薄
膜コイル15及び信号導体線17を埋設してなる薄膜磁気ヘ
ッドにおいて、前記素子部22の媒体滑動面を、突端に前
記主磁極先端14a が露出する三角錐形状部23等の角錐形
状に設けた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は小型な磁気ディスク装置
等に用いられる集積型の記録・再生用の薄膜磁気ヘッド
に関するものである。
【0002】近年、コンピュータシステムにおける情報
処理量の増大により磁気ディスク装置の大容量化及び小
型化が進められ、高密度記録化が要求されている。その
高密度記録化に伴って記録媒体に対する磁気ヘッドの浮
上間隙は益々微小化されることから、磁気ヘッドと記録
媒体間の接触確率が増大してヘッドクラッシュなどの重
大な障害の発生確率が増加する傾向にある。
【0003】そのような障害発生を防止する方法とし
て、薄膜磁気ヘッドと支持部材とを組み合わせた薄膜磁
気ヘッド組立体自身の小型化とそれに伴う低荷重化が有
効となる。
【0004】その小型化と低荷重化とを同時に達成し得
る薄膜磁気ヘッド組立体として、媒体滑動面を有する素
子部と該素子部を支持する支持部とを一体に構成した細
長形状の絶縁性屈曲体中に、電磁変換素子と信号導体線
等を薄膜形成技術により積層状に埋設した集積一体型の
小型な垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドが提案され
ている。
【0005】そのような小型で低荷重化した薄膜磁気ヘ
ッドをヘッド位置決め機構の支持アームに取り付ける場
合に、該薄膜磁気ヘッドが小型化されるに従ってその素
子部を記録媒体面に対して精度良く平行出し及び角度設
定を行うことが難しく、その平行出し及び角度設定にず
れが生じて記録再生時における記録再生特性の低下、特
に再生出力が低下する傾向にある。
【0006】このため、そのような素子部の記録媒体面
に対する平行度及び角度設定に僅かなずれが生じても記
録再生特性、特に再生出力が低下することのないヘッド
構成が必要とされている。
【0007】
【従来の技術】前記した従来の集積一体型の小型な薄膜
磁気ヘッドは、図4(a) の概略斜視図及び図4(b) の要
部側断面図に示すように記録媒体面に対して滑動する媒
体滑動面12a を有する Al2O3膜等からなる素子部12と支
持部13とが一体に構成された細長形状の絶縁性屈曲体11
を主体とし、その絶縁性屈曲体11の素子部12内に電磁変
換用のL字形状の主磁極14をその先端が前記素子部12の
媒体滑動面に垂直に露出するように埋設されている。
【0008】また、該主磁極14に沿うように前記絶縁性
屈曲体11の素子部12から支持部13に跨がってヘリックス
形の薄膜コイル15と、該主磁極14の先端近傍より平行に
沿って延在し、かつ該主磁極14の後端に磁気的に接続す
る磁束リターンヨーク16と、前記ヘリックス形の薄膜コ
イル15から導出する信号導体線17とが積層状に埋設され
ている。
【0009】更に、前記磁気ヘッドの主体とする絶縁性
屈曲体11の後端部は、図示しないヘッド位置決め機構の
支持部材、例えば支持アーム19に接着剤等により接着固
定され、前記信号導体線17の端子パッド18には外部引出
しケーブル20が接続されている。
【0010】そしてこのような構成の薄膜磁気ヘッド
は、高透磁率な軟磁性裏打ち層上に垂直記録層を積層し
た二層膜構造の垂直磁気記録媒体と組み合わせ、該垂直
磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層を前記薄膜磁気ヘッドの
主磁極14と磁束リターンヨーク16との間の磁路に利用し
て記録・再生時の磁束の閉磁路の一部とすることで、前
記垂直磁気記録媒体の垂直記録層に対して高密度な垂直
磁気記録・再生を可能にしている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
集積型の小型な薄膜磁気ヘッドは小型、軽量化に対して
は極めて有利であるが、その小型、軽量化が進むに伴っ
て主体とする絶縁性屈曲体11の支持部13を図示しないヘ
ッド位置決め機構の支持アーム19に取り付ける際の位置
決めと、素子部12の記録媒体面に対する平行出し及び角
度設定などが困難になり、これら取り付け精度が低下す
る問題があった。
【0012】例えば、前記絶縁性屈曲体11の支持部13を
図示しないヘッド位置決め機構の支持アーム19に取り付
けた際に、該絶縁性屈曲体11における素子部12の媒体滑
動面の記録媒体面に対する平行度が悪かったり、また左
右方向に僅かに角度ずれがあると、該絶縁性屈曲体11の
素子部12を記録媒体面に摺動させて記録・再生を行うと
前記素子部12の媒体滑動面に露出する主磁極14先端と記
録媒体面との間に間隙が生じて記録再生特性の低下、特
に再生出力が低下するという問題があった。
【0013】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、主
体とする絶縁性屈曲体の支持部を支持アームに取付けて
その素子部を記録媒体面に配設した際に、該素子部の媒
体滑動面の記録媒体面に対する僅かな平行ずれや左右方
向への角度ずれがあっても、記録再生特性の低下、特に
再生出力の低下を防止するようにした新規な薄膜磁気ヘ
ッドを提供することを目的とするものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、素子部と支持部とを一体に構成した細長
形状の絶縁性屈曲体を有し、該屈曲体の素子部内に電磁
変換用の磁極を先端が記録媒体と対向する媒体滑動面に
露出するように埋設すると共に、該磁極に沿うように前
記絶縁性屈曲体の素子部から支持部に跨がって薄膜コイ
ル及び信号導体線を埋設してなる薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記素子部の媒体滑動面を、突端に前記磁極先端が
露出する角錐形状に設けた構成とする。
【0015】
【作用】本発明では、主体とする前記絶縁性屈曲体の素
子部の媒体滑動面を、突端に前記磁極先端が露出する三
角錐等の角錐形状とすることにより、該絶縁性屈曲体の
支持部を支持アームに取付けてその素子部を記録媒体面
に配設する際に、該素子部の記録媒体面に対する僅かな
平行ずれや左右方向への角度ずれが生じても、該記録媒
体面には素子部の媒体滑動面に露出する磁極先端のみが
接触するので記録媒体面との間に間隙が生じることがな
くなり、その結果、記録再生特性の低下、特に再生出力
の低下を防止することができる。
【0016】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図1は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施
例を示す要部側断面図であり、図2は本発明の薄膜磁気
ヘッドの記録媒体対向面側を上向きにした素子部を示す
部分拡大斜視図である。
【0017】図1において、21は Al2O3膜からなる素子
部22と支持部13とを一体に構成した細長形状の絶縁性屈
曲体であり、該絶縁性屈曲体21の素子部22の記録媒体と
対向する媒体滑動面は、その媒体滑動面を図2に上向き
にして部分的に示すように例えば三角錐形状に形成し、
その素子部22内には従来例と同様な電磁変換用のL字形
状の主磁極14がその先端14a を記録媒体面と対向する前
記三角錐形状部22a の突端に垂直に露出するように埋設
され、その主磁極14に沿うように前記絶縁性屈曲体21の
素子部22から支持部13に跨がってヘリックス形の薄膜コ
イル15と、該主磁極14の後端に磁気的に接続する磁束リ
ターンヨーク16と、前記ヘリックス形の薄膜コイル15か
ら導出する信号導体線17とが積層状に埋設されている。
【0018】また、前記絶縁性屈曲体21の後端部(支持
部13の後端部) は、図示しないヘッド位置決め機構の支
持部材、例えば支持アーム19に接着剤等により接着固定
されると共に、前記薄膜コイル15から導出する信号導体
線17の端子パッド18には外部引出しケーブル20が接続さ
れる。
【0019】このように薄膜磁気ヘッドを構成する前記
絶縁性屈曲体21の素子部22における媒体滑動面を三角錐
形状にし、その三角錐形状部22a の中心の突端に内蔵す
る主磁極14の先端を露出した構造とすることにより、該
絶縁性屈曲体21の支持部13の後端部を図示しないヘッド
位置決め機構の支持アーム19に取り付けてその素子部22
を記録媒体面に配設した際に、該素子部22が記録媒体面
に対して僅かに平行ずれや左右方向への角度ずれが生じ
ても、該記録媒体面には素子部22の三角錐形状部22a の
突端に露出する主磁極先端14a のみが接触するので記録
媒体面との間に間隙が生じることがなく、その間隙の発
生に起因する記録再生特性の低下、特に再生出力の低下
を防止することが可能となる。
【0020】前記素子部22の媒体滑動面を三角錐形状に
形成するには、まず前記絶縁性屈曲体21の媒体滑動面を
除く外周面にレジスト膜を塗着すると共に、該媒体滑動
面の所定領域に三角形状のレジストパターンを形成し、
そのレジストパターンをマスクにして媒体滑動面をエッ
チング処理することにより、このエッチング処理時に生
じるサイドエッチングによって Al2O3からなる該媒体滑
動面を図2に示すように主磁極先端を中心にして20〜30
度のテーパ角 (テーパ面) を有する三角錐形状部22a に
形成することができる。
【0021】なお、以上の実施例では前記絶縁性屈曲体
21の素子部22における媒体滑動面を、突端に主磁極先端
14a が露出する三角錐形状部22a とした場合の例につい
て説明したが、本発明はそのような三角錐形状部22a に
限定されるものではなく、例えば図3の記録媒体対向面
側を上向きにした素子部を部分拡大斜視図で示すよう
に、該素子部32の媒体滑動面を、突端に主磁極先端14a
が露出する四角錐の形状に形成した四角錐形状部32a と
するか、或いは五角錐形状等の多角錐形状とした場合に
も同様な効果が得られる。
【0022】また、変形例として円錐形状としても同様
な効果が得られる。更に、上記した構成の薄膜磁気ヘッ
ドを記録媒体面に配置して再生を行った際に再生出力が
僅かに低下するようであれば、外周部、或いは内周部に
研磨領域を有する記録媒体と組合わせ、前記素子部22の
例えば三角錐形状部22a の突端に露出する主磁極先端14
a を前記記録媒体面の研磨領域にシークさせて再生出力
をモニターしながら摺動することにより所望の再生出力
が得られるように回復させることができる。
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る薄膜磁気ヘッドによれば、主体とする絶縁性屈曲
体の素子部の媒体滑動面を、主磁極先端14a が突端に露
出する四角錐形状にすることにより、該絶縁性屈曲体の
支持部を支持アームに取付けてその素子部を記録媒体面
に配置した際に、該素子部の媒体滑動面の記録媒体面に
対して僅かに平行ずれ、或いは左右方向への角度ずれが
生じても、該記録媒体面には素子部の三角錐形状部22a
の突端に露出する主磁極先端14a のみの接触であるた
め、記録媒体面との間に間隙が生じることがなく、記録
再生特性の低下、特に再生出力の低下を防止することが
可能となる。
【0024】また、当該薄膜磁気ヘッドの小型化による
支持アームへの取付けも容易となる利点を有する等、実
用上優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す要
部側断面図である。
【図2】 本発明の薄膜磁気ヘッドの第1実施例の記録
媒体対向面側を上向きにした素子部を示す部分拡大斜視
図である。
【図3】 本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施例の記録
媒体対向面側を上向きにした素子部を示す部分拡大斜視
図である。
【図4】 従来の集積型の薄膜磁気ヘッドを説明するた
めの概略斜視図と要部側断面図である。
【符号の説明】
13 支持部 14 主磁極 14a 主磁極先端 15 薄膜コイル 16 磁束リターンヨーク 17 信号導体線 18 端子パッド 19 支持アーム 20 外部引出しケーブル 21 絶縁性屈曲体 22,32 素子部 22a 三角錐形状部 32a 四角錐形状部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 素子部(22)と支持部(13)とを一体に構成
    した細長形状の絶縁性屈曲体(21)を有し、該屈曲体(21)
    の素子部(22)内に電磁変換用の磁極(14)を先端が記録媒
    体と対向する媒体滑動面に露出するように埋設すると共
    に、該磁極(14)に沿うように絶縁性屈曲体(21)の素子部
    (22)から支持部(13)に跨がって薄膜コイル(15)及び信号
    導体線(17)を埋設してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記素子部(22)の媒体滑動面を、突端に前記磁極先端(1
    4a) が露出する角錐形状(22a) に設けてなることを特徴
    とする薄膜磁気ヘッド。
JP10092192A 1992-04-21 1992-04-21 薄膜磁気ヘッド Withdrawn JPH05298619A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR980004377A (ko) * 1996-06-21 1998-03-30 김광호 면방향 박막 헤드의 헤드코일 연결장치

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR980004377A (ko) * 1996-06-21 1998-03-30 김광호 면방향 박막 헤드의 헤드코일 연결장치

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990706