JPH09251740A - 磁気ヘッド用サスペンション - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】サスペンション本体にねじりを生じることなく
十分な減衰特性を付与することにより、磁気ヘッドスラ
イダの浮上量変動を低減するとともに位置決め精度を向
上することが可能な磁気ヘッド用サスペンションを提供
し、大容量で信頼性の高い磁気ディスクを実現するこ
と。 【解決手段】ベース部、バネ部、ロードアーム部及びジ
ンバル部からなるサスペンション本体と、磁気ヘッドを
有する上記ジンバル部に搭載されたスライダと、上記サ
スペンション本体上に形成された配線パターン及び減衰
部材からなる磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上
記減衰部材が配線パターンと同一の層構造を持ち、ま
た、電気的に独立であり、サスペンション本体の長手方
向中心線に関して概略対称である減衰部材を設けること
により達成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に関し、特に、磁気ディスク媒体に情報を読み書きする
ための磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを搭載したスライ
ダを保持するためのサスペンション本体と、磁気ヘッド
に対する配線体からなる磁気ヘッド用サスペンションに
関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッド用サスペンションにおいて、
磁気ヘッドに対する配線をサスペンション本体であるば
ね体上に形成した回路配線パターンにより行うことは公
知である。例えば、特開平５−３６０４８号公報に開示
の例では、サスペンション本体であるジンバルが、記録
媒体と相対する面の背面に絶縁性皮膜を介して回路配線
パターンを備え、磁気ヘッド素子に対する接続端子構造
をフィンガーリード状に構成し、このフィンガーリード
状接続端子を磁気ヘッドの所定の電極に接続できるよう
に構成されている。この際、回路配線パターンはジンバ
ルの先端部からバネ部の手前まで直線的にパターン化さ
れ、バネ部においてほぼ直角にサスペンション本体の長
手方向中心線に関して非対称構成で接着されている。

【０００３】また、特開平１−１６２２１２号公報に開
示の例では、複数の導体を埋没した柔軟なプラスチック
フィルムが接着材でサスペンションのほぼ全表面に接着
されており、バネ部においてサスペンション本体長手方
向中心線に関して非対称構成で接着されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、磁気ディスク装
置において小型化、高記録密度化が進み、これに伴い磁
気ヘッドスライダの安定・低浮上および高精度な位置決
めが要求されている。このため、磁気ヘッド用サスペン
ションには磁気ヘッドスライダの浮上量変動が少なく、
なおかつオフトラック方向への振動が十分に小さくなる
ような減衰特性を簡易に付与する手段が必要となってい
る。

【０００５】上記の特開平１−１６２２１２号の例で
は、可撓性フィルムの厚さや接着材の厚さを規定するこ
とにより減衰付与に関して考慮されてはいるが、サスペ
ンション本体上にフィルムを貼ったのみの構造では、フ
ィルムに発生するひずみが小さいため、十分な減衰効果
が期待できない。また、この例では可撓性フィルムがサ
スペンションの長手方向に関して非対称であるため、ね
じれ振動モードが生じやすく浮上量変動や位置ずれを起
こしやすくなってしまう。その結果として、浮上量が大
きくなることによって磁気ディスク装置のリード・ライ
ト特性に悪影響を及ぼしたり、浮上量が低くなることに
よって磁気ヘッドスライダや磁気ディスクの耐久性が悪
化するという問題を生じる。また、位置ずれを起こしや
すいことから、記録密度の増加が困難であり、なおか
つ、アクセス時間の低下につながる。

【０００６】また、特開平５−３６０４８号の例でも特
開平１−１６２２１２号と同様に可撓性フィルムがサス
ペンションの長手方向に関して非対称であるため、ねじ
れ振動モードが生じやすく浮上量変動や位置ずれを起こ
しやすくなるという問題がある。

【０００７】したがって、本発明の目的は、サスペンシ
ョン本体にねじりを生じることなく十分な減衰特性を付
与することにより、磁気ヘッドスライダの浮上量変動を
低減するとともに位置決め精度を向上することが可能な
磁気ヘッドサスペンションを提供し、大容量で信頼性の
高い磁気ディスク装置を実現することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した本発明の課題
は、ベース部、バネ部、ロードアーム部及びジンバル部
からなるサスペンション本体と、磁気ヘッドを有する上
記ジンバル部に搭載されたスライダと、上記サスペンシ
ョン本体上に形成された配線パターンからなる磁気ヘッ
ド用サスペンションにおいて、上記配線パターンとは同
一の層構造を持ちかつ電気的に独立であり、サスペンシ
ョン本体の長手方向中心線に関して概略対称である減衰
部を設けることにより達成される。

【０００９】これにより、特開平１−１６２２１２号に
おける可撓性フィルムに相当する絶縁皮膜が、振動時に
は配線パターンと同一材料である拘束部によって変形を
拘束され大きなひずみを生じることによって、十分な減
衰特性を得ることができる。また、この拘束部は信号を
伝達する配線パターンとは電気的に独立に構成すること
が可能であり、要求される減衰特性を付与するために任
意の形状に設定しても、磁気ヘッドの電気的特性に影響
を及ぼすことがない。さらに、サスペンション本体の長
手方向中心線に関して概略対称とすることにより、特開
平１−１６２２１２号及び特開平５−３６０４８号で問
題となるような、サスペンションのねじれ振動モードの
要因となることもない。

【００１０】また、配線部と同一の層構造にすることに
より、フォトレジスト法またはスクリーン印刷法などに
よって配線部と同時に形成することが可能となり、従来
より高精度で減衰部材を配置することが可能となる。こ
れにより、従来から問題となっている減衰効果のばらつ
きを抑え、安定した性能を確保できるようになる。

【００１１】したがって、本発明によれば、サスペンシ
ョン本体にねじりを生じることなく十分な減衰特性を付
与することができるので、磁気ヘッドスライダの浮上量
変動を低減するとともに位置決め精度を向上することが
可能な磁気ヘッドサスペンションを提供し、大容量で信
頼性の高い磁気ディスク装置を実現することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を用い
て詳細に説明する。

【００１３】図１は本発明を適用した磁気ヘッド用サス
ペンションの平面図であり、図２はその断面図である。

【００１４】図１において、１はステンレス鋼などのバ
ネ材で成形されたサスペンション本体であり、ベース部
１ａ，荷重を発生させるためのバネ部１ｂ、荷重を伝え
るためのロードビーム部１ｃ，および磁気ヘッドを搭載
したスライダ２を固定するためのジンバル部１ｄの４つ
の部分より構成されている。３は、ベース部１ａの装置
側接続用端子４から、バネ部１ｂ、ロードビーム部１ｃ
を経て、ジンバル部１ｄの磁気ヘッドスライダ２にかけ
て形成された有効配線部であり、５は有効配線部３との
バランスをとるためのダミー配線部である。６はサスペ
ンション本体に必要な減衰効果を与える減衰部である。
図２に示すように、有効配線部３とダミー配線部５、減
衰用部６はそれぞれ絶縁皮膜３ａ、５ａ、６ａ、導体３
ｂ、５ｂ、６ｂ、保護膜３ｃ、５ｃ、６ｃから構成され
ている。図１、２では磁気誘導型ヘッドを想定している
ため、有効配線部５は２本の導体が含まれている。ダミ
ー配線部３は機械的特性が有効配線部５と同様になるよ
うに、有効配線部５と同様の断面構造になっている。

【００１５】図１、２に示すように減衰部６において、
絶縁皮膜７が従来と比較して大きな領域で導体８におお
われている。そのため、サスペンション本体１が振動等
で変形した場合に、減衰部６の絶縁皮膜６ａが導体６ｂ
によって変形を拘束されるため、より大きなひずみが発
生し十分な減衰効果を得られる。また、減衰部６をサス
ペンション本体１の長手方向中心線に関して対称に成形
することにより、サスペンション本体１がねじれ振動等
を起こすことも少ない。さらに、減衰部６は有効配線部
３とは電気的に独立であるため、磁気ヘッドスライダの
電気的特性に悪影響を及ぼすことなく設計することがで
きる。

【００１６】有効配線部３とダミー配線部５、減衰用部
６の形成プロセスについて説明する。本実施例における
サスペンション本体１にはステンレス鋼（ＳＵＳ３０
４）を用い、その上に絶縁皮膜３ａ、５ａ、６ａとして
ポリイミド樹脂を５μｍの厚さで形成し、その上に導体
３ｂ、５ｂ、６ｂ、として銅をを形成する。さらに、保
護膜３ｃ、５ｃ、６ｃとしてポリイミド樹脂を２μｍ厚
さで形成している。これにより、有効配線部３とダミー
配線部５、減衰用部６は同一のプロセスで形成できるた
め、減衰付与のためのコストが上昇することもなく、簡
易に減衰特性を付与することができる。

【００１７】図３及び図４は本発明によって得られる減
衰効果を示している。図３は本発明の減衰部材を有しな
い磁気ヘッド用サスペンションの振動特性を測定したも
のである。図に示したように５ｋＨｚ〜１０ｋＨｚのピ
ークが多数あり、振動特性上、かなり問題となる。それ
に対して、図４は本発明の振動特性を示している。本発
明によって５ｋＨｚ、６ｋＨｚ、９ｋＨｚのピークが減
衰し、振動特性が大きく改善されている。

【００１８】図５は本発明を適用した第２実施例の平面
図ある。減衰部６を３ヵ所配置している。本実施例では
減衰部材６をバネ部１ｂにおいても配置している。従来
は減衰部材をバネ部に配置するために接着を行うため、
バネ荷重を変動させるという欠点があった。しかし、本
発明のように配線部と同一の層構造にすることによっ
て、バネ荷重を変動させることなく、減衰部材６をバネ
部１ｂに配置することができる。

【００１９】図６は本発明を適用した第３実施例の平面
図である。また、図７は第３実施例のベース部１ａ、バ
ネ部１ｂ、ロードビーム部１ｃの断面構造を示してい
る。図２に示した断面構造とほぼ同じ構造を示している
が、本実施例のように減衰部絶縁皮膜６ａと有効配線部
絶縁皮膜３ａ、ダミー配線部絶縁皮膜５ａと共有しても
よい。同様に減衰部保護膜６ｃも有効配線部保護膜３
ｃ、ダミー配線部保護膜５ｃと共用している。

【００２０】図８は本発明を適用した第４実施例の平面
図である。

【００２１】図８では有効配線部３をサスペンション本
体の中心線上に配置し、それぞれ独立の減衰部６を、同
中心線に関して対称に４ヶ所配置している。通常、ねじ
り振動モードではサスペンション本体１の上記中心線か
らみて外側にひずみが集中する傾向にある。そのため、
図８の構成にすることによりサスペンション本体１のひ
ずみが集中する箇所に減衰部６を配置することができる
ので、より大きな減衰効果を期待することができる。

【００２２】

【発明の効果】サスペンション本体にねじりを生じるこ
となく十分な減衰特性を付与することができるので、磁
気ヘッドスライダの浮上量変動を低減するとともに位置
決め精度を向上することが可能な磁気ヘッドサスペンシ
ョンを提供し、大容量で信頼性の高い磁気ディスク装置
を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図である。

【図２】第１の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
断面図である。

【図３】本発明の減衰部材を有しない磁気ヘッド用サス
ペンションの振動特性である。

【図４】本発明の磁気ヘッド用サスペンションの振動特
性である。

【図５】第２の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図である。

【図６】第３の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図である。

【図７】第３の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
断面図である。

【図８】第４の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図である。

【符号の説明】

１…サスペンション本体、１ａ…ベース部、 １ｂ…バ
ネ部、１ｃ…ロードビーム部、 １ｄ…ジンバル部、２
…磁気ヘッドスライダ、３…有効配線部、 ３ａ
…有効配線部絶縁皮膜、３ｂ…有効配線部導体、 ３ｃ
…有効配線部保護膜、４…装置側接続用端子、５…ダミ
ー配線部、 ５ａ…ダミー配線部絶縁皮膜、５ｂ…
ダミー配線部導体、５ｃ…ダミー配線部保護膜、６…減
衰部、６ａ…減衰部絶縁皮膜、 ６ｂ…減衰部導体、
６ｃ…減衰部保護膜。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 時末 裕充 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベース部、バネ部、ロードアーム部及びジ
   ンバル部からなるサスペンション本体と、磁気ヘッドを
   有する上記ジンバル部に搭載されたスライダと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターン及び減衰
   部材からなる磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上
   記減衰部材が上記配線パターンと同一の層構造を有する
   ことを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
2. 【請求項２】サスペンション本体の長手方向中心線に関
   して概略対称になるよう減衰部材を配置したことを特徴
   とする請求項１記載の磁気ヘッド用サスペンション。
3. 【請求項３】減衰部材を構成する導体部が配線パターン
   とは電気的に独立であることを特徴とする請求項１記載
   の磁気ヘッド用サスペンション。
4. 【請求項４】それぞれ独立の減衰部材を、サスペンショ
   ン本体長手方向中心線に関して、対称に２ヶ所以上配置
   したことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド用サス
   ペンション。
5. 【請求項５】配線パターンを構成する各層と同じ厚さの
   層から成る減衰部材を有することを特徴とする請求項１
   に記載の磁気ヘッド用サスペンション。