JPH05296903A - 水晶振動子セル - Google Patents

水晶振動子セル

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JPH05296903A
JPH05296903A JP9625292A JP9625292A JPH05296903A JP H05296903 A JPH05296903 A JP H05296903A JP 9625292 A JP9625292 A JP 9625292A JP 9625292 A JP9625292 A JP 9625292A JP H05296903 A JPH05296903 A JP H05296903A
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cell
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Hiroshi Muramatsu
宏 村松
Toshihiko Sakuhara
寿彦 作原
Akira Yotsuji
明 四ツ路
Kuniaki Sakado
邦明 坂戸
Sadao Teshiba
貞夫 手柴
Masao Karube
征夫 軽部
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 水晶振動子を使用する物理化学計測装置にお
いて、高圧下での処理が必要な容器内あるいは高圧下で
の物理化学的な計測を行うことを可能にする水晶振動子
セルを提供する。 【構成】 水晶振動子1の水晶板の周辺部をシールし、
水晶振動子の片側の面だけが、測定液に接するように、
もう一方の電極側に空間6を持たせるカバーを構成し、
このカバーの一部に圧力調整膜5を設けたものである。
さらに、上記空間6に液体を充填して使用することもで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、発酵工業、高分子化
学工業、環境計測などの物理化学計測分野における粘
性、密度、吸着量あるいはそれらの変化の計測に用いら
れる水晶振動子セルに関する。
【0002】
【従来の技術】物理化学的な指標のうち、特に従来の粘
度測定の手法としては、主として、回転式粘度計が用い
られてきた。回転式粘度計は、試料液中で、円筒あるい
は円錐状の金属棒を回転させて、剪断応力を求めること
によって粘度を求めるものである。また、本発明者らに
よって、水晶振動子を用いる粘度測定法も開示されてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の回転式粘度計を
用いた場合には、容器内の試料に回転体を浸漬しなくて
はならないため、高圧処理が必要な容器内あるいは高圧
下で測定を行う場合には、回転体と応力測定部分との間
をシールすることが難しく測定には適さなかった。
【0004】一方、近年新たに開発された水晶振動子を
使用する方法では、センサーと測定回路の間は電気信号
線によって接続されるため、高圧処理が必要な容器内あ
るいは高圧下で測定を行う場合でも、センサーと測定回
路の間をシールすることは容易である。ただし、水晶振
動子の2つの電極間を絶縁して使用する場合に、水晶振
動子の水晶板の周辺部をシールし、水晶振動子の片側の
面だけが、測定液に接するように、もう一方の電極側に
空間を持たせるカバーを構成する必要があるが、圧力存
在下では、セル内の空間に外部から液体あるいは蒸気が
リークすることがあり、その場合内部に進入した液体あ
るいは蒸気の凝結によって、センサーのベースラインに
変動が生じるという問題点があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の水晶振動子セル
は、水晶振動子の水晶板の周辺部をシールし、水晶振動
子の片側の面だけが、測定液に接するようにするととも
に、もう一方の電極側に密閉空間を持たせるカバーを構
成し、このカバーの一部に圧力調整手段を設けた。さら
に、上記密閉空間に液体を充填した。
【0006】
【作用】水晶振動子セル内部の圧力が、圧力調製手段に
よって、外部の圧力と均等になるため、圧力差によっ
て、外部から液体や液体の蒸気が侵入することがなくな
り、水晶振動子の裏側に不用意に液体が入ることによっ
て、出力に変動が生じることをなくすことができる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は、本発明の水晶振動子セルの斜視断面図で
あり、水晶振動子1はセル部品A2およびセル部品B3
に、挟まれた構造を持ち、水晶振動子の周囲が、シール
材によって、封止されている。セル部品B3とセル部品
C4の間に圧力調整手段として、ゴム等の弾性膜あるい
はフッ素樹脂等の薄膜で形成された圧力調整膜5を設け
ており、セル部品Bと圧力調整膜5の間に内部空間6が
できている。この内部空間6の中には、水あるいは、水
晶振動子の周囲で使用する媒質を充填することができ
る。
【0008】図2は、圧力調整膜9をセル部品E8を介
して、水晶振動子を保持するセル部品D7とは、別に設
けた例である。水晶振動子とセル部品は、接着剤あるい
はOリングによって密封して接続する。セル部品と圧力
調整膜9間の密閉は、Oリングあるいは圧力調整膜自身
の弾性によって、確保することができる。
【0009】図3は、本発明の水晶振動子セル10と水
晶振動子の特性計測装置14との接続関係を示したもの
である。本発明の水晶振動子セル10は、圧力容器11
のセル挿入穴を塞ぎ、セルを保持する支持具12に接続
される。水晶振動子の両面の電極に接続された2本のリ
ード線13は、支持具の中を通り、外部に取り出され、
水晶振動子の特性計測装置14に接続されている。ここ
で用いられる、水晶振動子の特性計測装置は、発振回路
あるいはインピーダンス計測回路によって、水晶振動子
の共振周波数あるいは共振抵抗を計測するものである。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による水晶
振動子セルを使用することにより、高圧下での処理が必
要な容器内あるいは高圧下において、安定な物理化学的
な計測を行うことが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の水晶振動子セルの実施例を示す図であ
る。
【図2】本発明の水晶振動子セルの他の実施例を示す図
である。
【図3】本発明の水晶振動子セルを用いた特性計測装置
の接続図である。
【符号の説明】
1 水晶振動子 2 セル部品A 3 セル部品B 4 セル部品C 5 圧力調整膜 6 内部空間 7 セル部品D 8 セル部品E 9 圧力調整膜 10 水晶振動子セル 11 圧力容器 12 支持具 13 リード線 14 水晶振動子の特性計測装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂戸 邦明 神奈川県厚木市上荻野987−37 (72)発明者 手柴 貞夫 東京都町田市能ヶ谷町1626−9 (72)発明者 軽部 征夫 神奈川県川崎市宮前区有馬2467−11

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定液の物理化学的特性を検出する水晶
    振動子と、前記水晶振動子の水晶板の周辺部をシール
    し、前記水晶板の片側の面が、測定液に接し、前記水晶
    板のもう一方の面側に密閉空間を形成するカバーと、前
    記カバーの一部に設けられ、前記密閉空間と測定液との
    圧力差を調整する圧力調整手段を有することを特徴とす
    る水晶振動子セル。
  2. 【請求項2】 前記密閉空間の内部に液体を充填した、
    請求項1記載の水晶振動子セル。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09145583A (ja) * 1995-11-14 1997-06-06 Dev Center For Biotechnol カートリッジ状の圧電センサチップ
WO2002061396A1 (fr) * 2001-01-30 2002-08-08 Initium, Inc. Oscillateur et detecteur de masse
JP2004506194A (ja) * 2000-08-08 2004-02-26 スミスクライン ビーチャム パブリック リミテッド カンパニー 水晶振動子微量天秤
JP2007093549A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Ulvac Japan Ltd センサ及びこれを使用した装置
JP2007121250A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Kyocera Kinseki Corp 微少質量測定用センサ
EP1830170A1 (en) * 2004-12-15 2007-09-05 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Component measuring device
JP2007298479A (ja) * 2006-05-08 2007-11-15 Meidensha Corp Qcmセンサデバイス
JP2014139566A (ja) * 2012-12-17 2014-07-31 Seiko Instruments Inc Qcmセンサ
WO2015171298A1 (en) * 2014-05-07 2015-11-12 Exxonmobil Upstream Research Company High pressure utilization of quartz crystal microbalance
JP2016161527A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 埼玉県 試料の水蒸気透過度測定装置及び水蒸気透過度測定方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09145583A (ja) * 1995-11-14 1997-06-06 Dev Center For Biotechnol カートリッジ状の圧電センサチップ
JP4794112B2 (ja) * 2000-08-08 2011-10-19 アレル・スウイツツアーランド・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 水晶振動子微量天秤
JP2004506194A (ja) * 2000-08-08 2004-02-26 スミスクライン ビーチャム パブリック リミテッド カンパニー 水晶振動子微量天秤
WO2002061396A1 (fr) * 2001-01-30 2002-08-08 Initium, Inc. Oscillateur et detecteur de masse
EP1830170A4 (en) * 2004-12-15 2012-04-11 Nihon Dempa Kogyo Co COMPONENTS MEASURING DEVICE
EP1830170A1 (en) * 2004-12-15 2007-09-05 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Component measuring device
JP2007093549A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Ulvac Japan Ltd センサ及びこれを使用した装置
JP4669767B2 (ja) * 2005-09-30 2011-04-13 株式会社アルバック センサ及びこれを使用した装置
JP2007121250A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Kyocera Kinseki Corp 微少質量測定用センサ
JP2007298479A (ja) * 2006-05-08 2007-11-15 Meidensha Corp Qcmセンサデバイス
JP2014139566A (ja) * 2012-12-17 2014-07-31 Seiko Instruments Inc Qcmセンサ
WO2015171298A1 (en) * 2014-05-07 2015-11-12 Exxonmobil Upstream Research Company High pressure utilization of quartz crystal microbalance
US20150323441A1 (en) * 2014-05-07 2015-11-12 Jason W. Lachance High Pressure Utilization of Quartz Crystal Microbalance
AU2015256543B2 (en) * 2014-05-07 2017-06-08 Exxonmobil Upstream Research Company High pressure utilization of quartz crystal microbalance
JP2016161527A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 埼玉県 試料の水蒸気透過度測定装置及び水蒸気透過度測定方法

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