JP2014139566A - Qcmセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶振動子の表面で励振される電極に試料が接することにより前記試料の物理量を検出するQCMセンサにおいて、検出対象となる測定試料が接触可能な第1電極19と、第1電極が表面に形成される第1水晶基板8とを有する測定用水晶振動子100と、測定試料の物理量を検出する際の基準となる基準試料が接触可能な第2電極22と、第2電極が表面に形成される第2水晶基板9とを有する基準用水晶振動子200と、基準電極を測定試料から隔離し、基準試料を内部に収容できる内部室30を形成する筐体10とを有し、筐体は、前記内部室の容積を変動可能な容積変動部38を備えることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
すなわち、本発明に係るQCMセンサは、水晶振動子の表面で励振される電極に試料が接することにより前記試料の物理量を検出するQCMセンサにおいて、検出対象となる測定試料が接触可能な第1電極と、前記第1電極が表面に形成される第1水晶基板とを有する測定用水晶振動子と、前記測定試料の物理量を検出する際の基準となる基準試料が接触可能な第2電極と、前記第2電極が表面に形成される第2水晶基板とを有する基準用水晶振動子と、前記基準電極を前記測定試料から隔離し、前記基準試料を内部に収容できる内部室を形成する筐体とを有し、前記筐体は、前記内部室の容積を変動可能な容積変動部を備えることを特徴とする。
かかる特徴により、第1水晶基板の第1電極と第2水晶基板の第2電極にかかる圧力を同等にすることができるため、測定用水晶振動子と基準用水晶振動子との間の不要な検出差が生じにくくなり、基準試料と測定試料との比較測定の精度を確保することができるようになる。
かかる特徴により、第3電極と第4電極とを同じ環境におくことができるようになり、測定試料や基準試料が作用しない側の電極が同じ環境に置かれることとなる。よって、測定用水晶振動子と基準用水晶振動子との間の不要な検出差が生じにくくなり、比較測定の精度を確保することができるようになる。
かかる特徴により、基準用水晶振動子が両面から受ける圧力差を低減することができ、比較測定の精度を確保することができるようになる。
かかる特徴により、基準試料が収容される筐体の剛性が確保され、高圧時の試料雰囲気においても、基準試料が不要な外圧を受けにくくすることができる。
以上のような特徴により本発明は、基準試料にかかる過大な圧力を逃がすことができるようになり、基準試料の変化が抑制され、基準試料と測定試料との比較測定の精度を確保することができるようになる。
かかる特徴により、外部からの圧力に対して弾性力などの反発力を発生させずに外部の圧力と同等の力を第2水晶基板の第2電極面に伝えることができる。よって、第1水晶基板の第1電極と第2水晶基板の第2電極にかかる圧力を同等にすることができるため、測定用水晶振動子と基準用水晶振動子との間の不要な検出差が生じにくくなり、基準試料と測定試料との比較測定をより精度よく実施することができる。
図1は、本実施形態のQCMセンサ1の第1実施形態を示す全体構成図であり、図2は、QCMセンサ本体の断面図である。QCMセンサ1は、QCMセンサ本体2と、第1発振器3と、第1カウンタ4と、第2発振器5と、第2カウンタ6と、比較部7と、を備えている。QCMセンサ1は、第1水晶基板8を有する測定用水晶振動子と第2水晶基板9を有する基準用水晶振動子を備えており、測定用水晶振動子は、第1発振器3と接続されている。また、基準用水晶振動子は、第2発振器5と接続されている。第1発振器3は第1カウンタ4と、第2発振器5は、第2カウンタ6とそれぞれ接続されている。第1カウンタ4と第2カウンタ6は、共に比較部7に接続されており、測定用水晶振動子と基準用水晶振動子からの出力値を比較することで振動特性を比較できるようになっている。
2 QCMセンサ本体
8 第1水晶基板(測定用水晶振動子)
9 第2水晶基板(基準用水晶振動子)
10 筐体
11 スペーサ(区画壁)(筐体)
12a、12b、12c Oリング
13 フランジ蓋
14 第1リード電極
15 第3リード電極
16 第2リード電極
17 第4リード電極
19 第1電極
20 第3電極
21 第4電極
22 第2電極
23 フランジリング
24 蓋部
24a 開口部
25 基準試料
26 区画室
30 内部室
34 区画壁
36 連通部
38、48 容積変動部
49 プランジャ
40、50 対向壁(筐体)
42 側壁(筐体)
100 測定用水晶振動子
200 基準用水晶振動子
Claims (7)
- 水晶振動子の表面で励振される電極に試料が接することにより前記試料の物理量を検出するQCMセンサにおいて、
検出対象となる測定試料が接触可能な第1電極と、前記第1電極が表面に形成される第1水晶基板とを有する測定用水晶振動子と、
前記測定試料の物理量を検出する際の基準となる基準試料が接触可能な第2電極と、前記第2電極が表面に形成される第2水晶基板とを有する基準用水晶振動子と、
前記基準電極を前記測定試料から隔離し、前記基準試料を内部に収容できる内部室を形成する筐体とを有し、
前記筐体は、前記内部室の容積を変動可能な容積変動部を備えることを特徴とするQCMセンサ。 - 前記第1水晶基板の前記第1電極が形成される表面とは反対側の表面に形成される第3電極と、
前記第2水晶基板の前記第3電極が形成される表面とは反対側の表面に形成される第4電極と、
第3電極と第4電極とを共に内部に収容し、前記内部室から区画される区画室を画定する区画壁とを有することを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサ。 - 前記区画壁は、前記内部室と前記区画室とを連通する連通部を有することを特徴とする請求項2に記載のQCMセンサ。
- 前記筐体は、前記第2電極と対向する対向壁と、前記対向壁に接続され前記基準試料を側方から覆う側壁とを有し、
前記側壁は、少なくとも一部が前記容積変動部により形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のQCMセンサ。 - 前記容積変動部は、前記側壁と同じ材質の蛇腹部により形成されていることを特徴とする請求項4に記載のQCMセンサ。
- 前記容積変動部は、高分子材料で形成されていることを特徴とする請求項4または5に記載のQCMセンサ。
- 前記容積変動部は、前記基準試料に向けて進退可能なプランジャ部材により構成されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のQCMセンサ。
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