JP6266318B2 - Qcmセンサおよびカートリッジ - Google Patents
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
すなわち、本発明にかかるQCMセンサは、測定試料と基準試料とを測定したそれぞれの測定値の関係により前記測定試料の物理量を検出するQCMセンサにおいて、前記基準試料の測定に用いる基準用水晶振動子と、前記基準試料を内部に収容し、前記基準試料を前記基準用水晶振動子に供給する供給部を有するカートリッジと、を備えることを特徴とする。
かかる特徴により、予め注入量を適切に制御された基準試料をカードリッジによりQCMセンサ本体に注入することにより、基準試料の注入量のばらつきを抑えることができ、測定ばらつきを低減できる。また、注入のために必要なスポイトなどの器具を必要とせず、利便性が向上する。
かかる特徴により、供給部と開口部を装着して基準試料を注入することにより、空気に触れにくい状態で基準試料を注入できるため、酸化などによる基準試料の状態のばらつきを抑えることができ、測定ばらつきを低減できる。
かかる特徴により、基準試料の注入時に容積変更部によりカートリッジの容積を調節することで、基準試料を容易にQCMセンサ本体へ注入することができるとともに、注入後に容積変更部を最適な容積に調整しておくことで、カートリッジとハウジングと基準用水晶振動子に囲われた容積を基準試料で満たすことができる。ゆえに、組みあがったQCMセンサのカートリッジ側が鉛直下側に配置された場合にも、基準試料が基準用水晶振動子に十分に接触する状態を保つことができるので、安定して基準試料の測定を行うことができる。よって、精度よく比較測定を行うことができる。
かかる特徴により、上述の特徴による効果に加え、容積変更部の容積の変更を安定化ができるため、カートリッジを適切に取り付ける際の利便性が向上する。
かかる特徴により、容積変更部を進退可能なプランジャ部材により構成することにより、カートリッジ製造時に基準試料をカートリッジに封入する際、プランジャを引くことによりカートリッジに基準試料を容易に封入することができ、特別な基準試料注入器具および装置などを必要とせず、製造コストが低減できる。また、測定者が基準試料をQCMセンサ本体へ注入する際、注入と同時に容積は最適となりカートリッジはその容積を維持することができるため、カートリッジに容積を変更させないための特別なロック機構などを設けることを抑制する。これにより、上述の特徴による効果を達成することができる。
かかる特徴により、容積変更部を減少させて吸液部から適量の基準試料をQCMセンサ本体へ注入することができるため、予めカートリッジに封入する基準試料の量を厳密に制御することなく、基準試料の注入量を容易に、かつ適切に制御することができる。これにより、カートリッジとハウジングと基準用水晶振動子とに囲われた容積を安定的に基準試料で満たすことができる。ゆえに、組みあがったQCMセンサのカートリッジ側が鉛直下側に位置したとしても、基準試料が基準用水晶振動子に十分に接触する状態を保つことができるので、安定して基準試料の測定を行うことができ、精度よく比較測定を行うことができる。
かかる特徴により、カートリッジ内の基準試料がカートリッジに設けられた保持膜で保持されている場合でも、凸部により保持膜を破断して基準試料をカートリッジからQCMセンサ本体へ一度に注入することができる。これにより、基準試料の注入とカートリッジの取付とを同時に行えるので利便性が向上するとともに、基準試料が外気に曝されにくい状態でカートリッジからQCMセンサ本体へ注入することができるため、酸化などによる基準試料の状態のばらつきを抑えることができる。よって、測定ばらつきを低減できる。
かかる特徴により、QCMセンサ本体内部の余分な空気を取り除いた上で、カートリッジからQCMセンサ本体へ基準試料の注入を行うことにより、基準試料と共に空気が混入することを低減することができる。よって、基準用水晶振動子上に気泡が発生することを防ぐことができるため、安定して基準試料の測定を行うことができる。ゆえに、精度よく比較測定を行うことができる。
かかる特徴により、予め注入量を適切に制御された基準試料をカードリッジによりQCMセンサ本体に注入することができるため、基準試料の注入量のばらつきを抑えることができる。また、カートリッジごとの基準試料の状態を保存しやすくなる。よって、比較測定におけるばらつきを低減できる。
かかる特徴により、カートリッジ保存時に物などが保持膜に接触した場合にはその伸縮性により保持膜が破断され難いため安定して基準試料を保持できるととともに、カートリッジからQCMセンサ本体へ基準試料を注入する場合には、保持膜を凸部で破断することにより、カートリッジ取付と同時に基準試料の注入が行え、利便性が向上する。
かかる特徴により、QCMセンサ本体の開口部周囲に設けられた突出する凸部により保持膜を破断することにより、カートリッジ内部の基準試料をQCMセンサ本体へ注入させる際に、破断した保持膜が破断点より外側に収縮するため、カートリッジからQCMセンサへ基準試料をスムーズに注入することができる。また、破断した保持膜が破断点より外側に収縮して維持されるため、保持膜が破片となって基準試料とともにQCMセンサ本体へ混入することを防ぐことができる。ゆえに、基準試料の状態のばらつきを抑えることができ、測定ばらつきを低減できる。
以下、本発明に係るQCMセンサの第1実施形態を、図1と図2を参照して説明する。
図1は、本実施形態のQCMセンサ1の第1実施形態を示す全体構成を示す断面図である。QCMセンサ1は、QCMセンサ本体2とカートリッジ75を備えている。
次に、本実施形態のQCMセンサ本体2の組み立て方について説明する。図1の下図は、QCMセンサ本体2を組み上げた状態の断面図である。まず、筐体10の底面10aにOリング12bを挟んで第2水晶基板9を備える。Oリング12bの代わりにシリコン樹脂シーリング剤を利用する場合は、Oリング12bが配置される部分にシリコン樹脂シーリング剤を塗布する。第2水晶基板9は、筐体10に備えられた第3リード電極16と第4リード電極17にそれぞれ第2電極22と第4電極21が電気的に接触するように備える。次に、スペーサ11を第4電極21および第3電極20の円形部分に掛からないようにして備え、続いて第1水晶基板8を備える。第1水晶基板8は、第1電極19と第3電極20がそれぞれ第1リード電極14と第2リード電極15に電気的に接触するように備える。このようにスペーサ11を第1水晶基板8と第2水晶基板9の間に挟むことにより、第1水晶基板8と第2水晶基板9との間には、隔離層26が設けられることになる。これにより、第1水晶基板8の第3電極20と第2水晶基板9の第4電極21は、同一環境下に封入されることになるため、それぞれのもう片方の第1電極19と第2電極22面上で試料を測定した測定値を比較する際に、第3電極20と第4電極21面上で得られた測定値、すなわち測定ノイズをキャンセルすることができるため、第1水晶基板8と第2水晶基板9との比較測定を精度よく行うことができる。次に、第1電極19を囲うようにしてOリング12aを備え、続いて測定用開口部28から第1電極19が覗くように蓋部24を置き、ネジ18により蓋部24の四隅を筐体10と固定する。Oリング12aの代わりにシリコン樹脂シーリング剤を利用する場合は、Oリング12aが配置される部分にシリコン樹脂シーリング剤を塗布する。
次に、図3と図4に基づいて本発明のQCMセンサ1の第2実施形態について説明する。本実施形態は、カートリッジ75について第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
QCMセンサ本体2の組み立て方は第1実施例と同様である。QCMセンサ本体2を組み上げた後、基準用開口部79が上面となるように置き、カートリッジ75の供給部78とQCMセンサ本体2の基準用開口部79が合うように置き、カートリッジ75を回転させながら、カートリッジ75をQCMセンサ本体2にネジ込む。この作業を行うことにより、カートリッジに備えられた膜77はQCMセンサ本体2に備えられた爪80により破断する。膜77が破断すると、カートリッジ内部に封入された基準試料25は、供給部78と基準用開口部79を通過し、QCMセンサ本体2内部に流入する。これにより、第2水晶基板9の第3電極20の備えられた面は、基準試料25に浸され、QCMセンサ本体2への基準試料25の注入が完了することになる。その後、傘部81を上部から押しながら容積変更部82を縮め、傘部81のロック機構84を接続部83のロック爪85に引っ掛け、容積変更部82の蛇腹が伸び戻らないように固定する。このようにすることで、カートリッジ75の容積が小さくなり、カートリッジ75と筐体10と第2水晶基板9に囲われた容積を基準試料が満たすことができる。ゆえに、組みあがったQCMセンサ1のカートリッジ75側を下向きに置いたとしても、基準試料が第3電極20から離れず、安定して基準試料の測定を行うことができるため、精度よく比較測定を行うことができる。
次に、図5に基づいて本発明のQCMセンサ1の第3実施形態について説明する。本実施形態は、カートリッジ75の容積変更部について第2実施形態と相異しており、それ以外は第2実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第2実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
次に、図6と図7に基づいて本発明のQCMセンサ1の第4実施形態について説明する。本実施形態は、カートリッジ75と基準用開口部79について第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
QCMセンサ本体2の組み立て方は第1実施例と同様である。QCMセンサ本体2を組み上げた後、基準用開口部79が上面となるように置き、カートリッジ75の供給部78とQCMセンサ本体2の基準用開口部79を嵌め合わせる。次に、プランジャ87の基端部を、プランジャ87の先端がシリンジ88の底面に接するまで押し下げる。この作業を行うことにより、カートリッジ内部に封入された基準試料25は、供給部78と基準用開口部79を通過し、QCMセンサ本体2内部に流入する。これにより、第2水晶基板9の第3電極20の備えられた面は、基準試料25に浸され、QCMセンサ本体2への基準試料25の注入が完了することになる。このように、シリンジ88とプランジャ87を用いたカートリッジ75を使用することで、QCMセンサ本体2の第2水晶基板9と筐体10とカートリッジ75に囲まれた空間を基準試料25で十分に満たすことができる。ゆえに、組みあがったQCMセンサ1のカートリッジ75側を下に置いたとしても、基準試料が第3電極20から離れず、安定して基準試料の測定を行うことができるため、精度よく比較測定を行うことができる。
次に、図8に基づいて本発明のQCMセンサ1の第5実施形態について説明する。本実施形態は、QCMセンサ本体2の筐体10について第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
2 QCMセンサ本体
8 第1水晶基板
9 第2水晶基板
10 筐体
10a (筐体)底部
11 スペーサ
12a Oリング
12b Oリング
14 第1リード電極
15 第2リード電極
16 第3リード電極
17 第4リード電極
18 ネジ
19 第1電極
20 第3電極
21 第4電極
22 第2電極
24 蓋部
25 基準試料
26 隔離層
28 測定用開口部
75 カートリッジ
76 殻部
77 膜
78 供給部
79 基準用開口部(開口部)
80 爪(凸部)
81 傘部
82 容積変更部(蛇腹)
83 接続部
84 ロック機構
85 ロック爪
86 容積変更部(吸液部)
87 プランジャ
88 シリンジ
89 脱気孔
Claims (11)
- 測定試料と基準試料とを測定したそれぞれの測定値の関係により前記測定試料の物理量を検出するQCMセンサにおいて、
前記基準試料の測定に用いる基準用水晶振動子と、
前記測定試料の測定に用いる測定用水晶振動子と、
前記基準試料を内部に収容し、前記基準試料を前記基準用水晶振動子に供給する供給部を有するカートリッジと、を備え、
前記基準用水晶振動子の前記基準試料が接触する面と対向する面と、前記測定用水晶振動子の前記測定試料が接触する面と対向する面は、共通の空間に所定距離を隔てた状態で形成されることを特徴とするQCMセンサ。 - 前記基準用水晶振動子を収容し、前記基準用水晶振動子が臨む開口部を有するハウジングを備え、
前記供給部が前記開口部に装着されることで前記カートリッジが前記ハウジングに取付けられることを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサ。 - 前記カートリッジは、内部の容積を変更可能な容積変更部を備えることを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか1項に記載のQCMセンサ。
- 前記容積変更部は伸縮可能な蛇腹部材により構成されることを特徴とする請求項3に記載のQCMセンサ。
- 前記容積変更部は前記供給部に向けて進退可能なプランジャ部材により構成されることを特徴とする請求項3に記載のQCMセンサ。
- 前記カートリッジの内部には、前記基準試料が吸収される吸液部を備えることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のQCMセンサ。
- 前記供給部に設けられ前記基準試料を前記カートリッジ内部に保持する保持膜を破る凸部が、前記開口部の周囲に設けられることを特徴とする請求項2から請求項6のいずれか1項に記載のQCMセンサ。
- 前記ハウジングには、外部と連通する脱気孔が形成されることを特徴とする請求項2から請求項7のいずれか1項に記載のQCMセンサ。
- 測定試料と基準試料とを測定したそれぞれの測定値の関係により前記測定試料の物理量を検出するQCMセンサ本体に前記基準試料を供給する供給部を備えるカートリッジにおいて、
前記供給部に形成され、前記基準試料を前記カートリッジ内部に保持する保持膜、を備えることを特徴とするカートリッジ。 - 前記保持膜は伸縮性を有する膜であることを特徴とする請求項9に記載のカートリッジ。
- 前記保持膜は、前記カートリッジが前記QCMセンサ本体のハウジングに取付けられる際に、前記ハウジングに形成される凸部により破れ、縮むように形成されることを特徴とする請求項9または請求項10に記載のカートリッジ。
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