JP2007093548A - センサ及びこれを備えた測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 水溶液及び有機溶媒を使用した溶液に浸漬しても精度の高い測定が可能なセンサ及びこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】 圧電板と、この両面の内側に設けられた電極と、前記電極から前記圧電板の外側に引き出された端子とを備え、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、被覆部材により被覆され、前記被覆部材は、前記圧電板に設けられた端子に接続できるように他の端子を備え、前記圧電板に設けられた端子と、前記被覆部材に設けられた端子とは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤により固定されることを特徴とする。
【選択図】 図2
【解決手段】 圧電板と、この両面の内側に設けられた電極と、前記電極から前記圧電板の外側に引き出された端子とを備え、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、被覆部材により被覆され、前記被覆部材は、前記圧電板に設けられた端子に接続できるように他の端子を備え、前記圧電板に設けられた端子と、前記被覆部材に設けられた端子とは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤により固定されることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、液中に浸漬された状態で所定振動数の信号を発振する発振子を備えたセンサ及びこれを利用して液中の物質の量を計測する装置に関する。詳細には、水溶液及び有機溶媒を使用した溶液の何れにも使用することが可能なセンサ及びこれを使用した装置に関する。
従来、この種のセンサとして、例えば、特許文献1乃至3に示されるものが開示されている。
これらの文献に記載されるセンサは、圧電板に設けられた両電極の一方を、これと実質上密着することなく一定の絶縁空間を介して非脱イオン溶液が浸透しないようにバリヤー被覆するものである。
しかしながら、このセンサは、気体中、或いは、水溶液中に浸漬して測定することは可能であったが、有機溶媒を使用した溶液に浸漬して測定する場合には、圧電板を接着するための材料が、溶解又は膨潤してしまうことがあり、この変形に伴い圧電板に設けられた電極や端子を構成する金属製の部材や圧電板が破損して、或いは、接着剤が剥離して、発振することができず、測定できないという問題があった。
これらの文献に記載されるセンサは、圧電板に設けられた両電極の一方を、これと実質上密着することなく一定の絶縁空間を介して非脱イオン溶液が浸透しないようにバリヤー被覆するものである。
しかしながら、このセンサは、気体中、或いは、水溶液中に浸漬して測定することは可能であったが、有機溶媒を使用した溶液に浸漬して測定する場合には、圧電板を接着するための材料が、溶解又は膨潤してしまうことがあり、この変形に伴い圧電板に設けられた電極や端子を構成する金属製の部材や圧電板が破損して、或いは、接着剤が剥離して、発振することができず、測定できないという問題があった。
そこで、本発明は、水溶液及び有機溶媒を使用した溶液に浸漬しても精度の高い測定が可能なセンサ及びこれを用いた装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明者等は、鋭意検討の結果、圧電板と被覆部材とを接着する材料に、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤を使用すれば、有機溶媒を使用した溶液に浸漬した場合にも、溶媒により溶解したり、或いは、膨潤し過ぎずに、しかも、速やかに溶媒を吸収するので、発振子の発振が安定するまでの時間が短くて済むという知見に基づき、下記の通り解決手段を見いだした。
即ち、本発明のセンサは、請求項1に記載の通り、圧電板と、この両面の内側に設けられた電極と、前記電極から前記圧電板の外側に引き出された端子とを備え、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、浸漬される溶液に対する寸法変化率が10%以下の材料により構成された被覆部材により被覆され、前記被覆部材は、前記圧電板に設けられた端子に接続できるように他の端子を備え、前記圧電板に設けられた端子と、前記被覆部材に設けられた端子とは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤により固定されることを特徴とする。
また、請求項2に記載のセンサは、請求項1に記載のセンサにおいて、前記被覆部材は、対象となる溶液に対して、寸法変化率を10%以下の材料により構成したことを特徴とする。
また、請求項3に記載のセンサは、請求項2に記載のセンサにおいて、前記被覆部材は、無機材料から構成されることを特徴とする。
また、本発明の測定装置は、請求項4に記載の通り、請求項1乃至3の何れかに記載のセンサを備えたことを特徴とする。
即ち、本発明のセンサは、請求項1に記載の通り、圧電板と、この両面の内側に設けられた電極と、前記電極から前記圧電板の外側に引き出された端子とを備え、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、浸漬される溶液に対する寸法変化率が10%以下の材料により構成された被覆部材により被覆され、前記被覆部材は、前記圧電板に設けられた端子に接続できるように他の端子を備え、前記圧電板に設けられた端子と、前記被覆部材に設けられた端子とは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤により固定されることを特徴とする。
また、請求項2に記載のセンサは、請求項1に記載のセンサにおいて、前記被覆部材は、対象となる溶液に対して、寸法変化率を10%以下の材料により構成したことを特徴とする。
また、請求項3に記載のセンサは、請求項2に記載のセンサにおいて、前記被覆部材は、無機材料から構成されることを特徴とする。
また、本発明の測定装置は、請求項4に記載の通り、請求項1乃至3の何れかに記載のセンサを備えたことを特徴とする。
本発明のセンサは、上述の通り、圧電板の片側に設けられた電極と、被覆部材に設けられた端子とをエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の少なくとも何れかを主剤とする導電性接着剤をにより接着することにより、有機溶媒を使用した溶液に浸漬した場合であっても、溶液が導電性接着剤に速やかに浸透して、発振子が安定して発振するまでの時間を短くすることができる。
また、被覆部材は、対象となる溶液に対して、寸法変化率を10%以下の材料により構成したことにより、被覆部材を含む基板の形状の変化に伴う圧電板にかかるストレスを軽減することができ、精度の高い測定が可能となる。
また、本発明の測定装置は、上記センサを備えることにより、水溶液及び有機溶媒を使用した溶液の何れでも測定することができ、しかも、測定までの時間が短い測定装置とすることができる。
また、被覆部材は、対象となる溶液に対して、寸法変化率を10%以下の材料により構成したことにより、被覆部材を含む基板の形状の変化に伴う圧電板にかかるストレスを軽減することができ、精度の高い測定が可能となる。
また、本発明の測定装置は、上記センサを備えることにより、水溶液及び有機溶媒を使用した溶液の何れでも測定することができ、しかも、測定までの時間が短い測定装置とすることができる。
以下、図面を参照し、本発明の一実施の形態について説明する。尚、本発明は、この実施の形態に制限されるものではない。
本実施の形態のセンサは、図1に示されるように、平面形状が矩形状の基板1の一端側に、発振子2を設けている。発振子2は、円形状に形成された圧電板3とその両面の内側(略中央部)に同じく円形状に形成された電極4,5とを備えている。各電極4,5からは、互いに反対方向となるように、圧電板3の外周方向に向かってリード線6,7が設けられており、リード線6,7の外縁部には円弧状に形成された接続端子8,9が形成されている。尚、図示されるように、圧電板3の表側のリード線6は、裏側に回り込み、接続端子8は圧電板3の裏側に配置されている。
本実施の形態のセンサは、図1に示されるように、平面形状が矩形状の基板1の一端側に、発振子2を設けている。発振子2は、円形状に形成された圧電板3とその両面の内側(略中央部)に同じく円形状に形成された電極4,5とを備えている。各電極4,5からは、互いに反対方向となるように、圧電板3の外周方向に向かってリード線6,7が設けられており、リード線6,7の外縁部には円弧状に形成された接続端子8,9が形成されている。尚、図示されるように、圧電板3の表側のリード線6は、裏側に回り込み、接続端子8は圧電板3の裏側に配置されている。
また、圧電板3の裏側の電極5は、所定の空間10を有するようにして、基板1により被覆されている。詳細には、図2に図1のA−A断面に示されるように、基板1の一端側の端部に、圧電板3をはめ込むことができる程度の円形状の凹部11が設けられており、この凹部11の内周面は階段状に形成されて、圧電板3の裏側の電極5が基板1に接触しないようになっている。
前記凹部11の内周面の階段の平坦部12にも接続端子13,14が設けられ、これらと、圧電板3に設けられた接続端子8,9は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤15を介して接着されることになる。これらの樹脂は、水溶液や有機溶媒を使用した溶液において、溶解や膨潤に対して耐性を有するためである。尚、前記樹脂には、導電性フィラーが混入されるが、導電性フィラーとしては導電性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、金属やカーボン等を使用することができる。また、フィラーの混入率については、導電性接着剤として、必要な導電性能及び接着性能を有するものであれば特に制限するものではない。導電性接着剤15としては、銀をフィラーとしたエポキシ樹脂が好ましい。
このように、導電性接着剤15により、圧電板3に設けられた接続端子8,9と、基板1に設けられた接続端子13,14とを接着するようにしたので、有機溶媒を使用した溶液に浸漬した際に、膨潤して大きく変形することがない。従って、圧電板3又は基板1に設けられた接続端子8,9,13,14の剥離を防止することができる。
尚、基板1に設けられた接続端子8,9は、基板1内部に設けられた配線16を介して、圧電板3とは反対側の端部において、外部電源に接続されることになる。
前記凹部11の内周面の階段の平坦部12にも接続端子13,14が設けられ、これらと、圧電板3に設けられた接続端子8,9は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤15を介して接着されることになる。これらの樹脂は、水溶液や有機溶媒を使用した溶液において、溶解や膨潤に対して耐性を有するためである。尚、前記樹脂には、導電性フィラーが混入されるが、導電性フィラーとしては導電性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、金属やカーボン等を使用することができる。また、フィラーの混入率については、導電性接着剤として、必要な導電性能及び接着性能を有するものであれば特に制限するものではない。導電性接着剤15としては、銀をフィラーとしたエポキシ樹脂が好ましい。
このように、導電性接着剤15により、圧電板3に設けられた接続端子8,9と、基板1に設けられた接続端子13,14とを接着するようにしたので、有機溶媒を使用した溶液に浸漬した際に、膨潤して大きく変形することがない。従って、圧電板3又は基板1に設けられた接続端子8,9,13,14の剥離を防止することができる。
尚、基板1に設けられた接続端子8,9は、基板1内部に設けられた配線16を介して、圧電板3とは反対側の端部において、外部電源に接続されることになる。
また、前述の通り、圧電板3は、基板1の凹部11により囲繞されており、図2に示すように、圧電板3と基板1の凹部11の内周面との間にはシール剤17が設けられている。このシール剤17は、圧電板3の端面と凹部11の内周面との隙間、通常、0.2〜2.0mmの隙間をシールすることができる程度のシール性を有するものであれば特に制限はないが、シリコーン樹脂により構成することが好ましい。有機溶媒を使用した溶液が速やかに染み込むことができるからである。
また、本実施の形態では、被覆部材は、基板1の一部により構成しているが、被覆部材を構成する材料は、寸法変化率が10%以下の材料とすることが好ましい。また、単一の部材であっても、単一の部材に対して溶液が浸透したりすることがないようにコーティングが施されたものであってもよい
寸法変化率が10%を超える材料では、有機溶媒を使用した溶液中において、被覆部材が膨潤するまでの間、発振周波数が安定しないことによる測定開始までの時間がかかることや導電性接着剤の剥離等の不都合が生じるからである。
寸法変化率が10%を超える材料では、有機溶媒を使用した溶液中において、被覆部材が膨潤するまでの間、発振周波数が安定しないことによる測定開始までの時間がかかることや導電性接着剤の剥離等の不都合が生じるからである。
また、基板1を構成する材料としては、ガラス、セラミック、金属、カーボン、水晶等の硬質な無機材料、これらの中でも、セラミックを使用することが好ましい。従来は、シリコーン樹脂等の柔軟な材料を使用しないと、早期に発振周波数を安定させることができないとされていたが、セラミック等の無機材料であっても早期に発振周波数を安定させることを発見したためである。
尚、本明細書において、寸法変化率は、以下のように定義される。
基板1を構成する材料からなる試験片(縦辺1cm、横辺1cm、厚さ5mm)を、温度25±0.1℃、常圧に設定された恒温槽内に24時間放置して、精密測長機により、縦辺と横辺の長さを測定して、これらを、それぞれ、a,bとする。
そして、常圧下において、対象となる溶液中に前記試験片を浸漬して、3時間後に取り出し、上記と同様に、縦辺と横辺の長さを測定し、これらを、それぞれ、a',b'とする。尚、溶液への浸漬に際しては、常温常圧下で、溶液の温度を25℃±0.1℃に設定する。
そして、下記式により、当該試験片の寸法変化率を算出する。合計5個の試験片に対して寸法変化率を得、その平均値を、本明細書でいう寸法変化率とした。
寸法変化率(%)=|((b'−b)+(a'−a))/2|/(a+b)×100
基板1を構成する材料からなる試験片(縦辺1cm、横辺1cm、厚さ5mm)を、温度25±0.1℃、常圧に設定された恒温槽内に24時間放置して、精密測長機により、縦辺と横辺の長さを測定して、これらを、それぞれ、a,bとする。
そして、常圧下において、対象となる溶液中に前記試験片を浸漬して、3時間後に取り出し、上記と同様に、縦辺と横辺の長さを測定し、これらを、それぞれ、a',b'とする。尚、溶液への浸漬に際しては、常温常圧下で、溶液の温度を25℃±0.1℃に設定する。
そして、下記式により、当該試験片の寸法変化率を算出する。合計5個の試験片に対して寸法変化率を得、その平均値を、本明細書でいう寸法変化率とした。
寸法変化率(%)=|((b'−b)+(a'−a))/2|/(a+b)×100
上記対象となる溶液とは、本発明のセンサが浸漬される溶液のことで、各測定毎に異なる。尚、測定に使用される溶液の例を挙げると、アセチレン、アセトアルデヒド、アセトニトリル、アセトン、アニリン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、ジエチルエーテル、エタノールアミン、エチルアルコール、エチルベンゼン、エチレングリコール、塩化エチル、塩化メチル、キシレン、グリセリン、クロロトルエン、クロロナフタリン、クロロホルム、ジエチルエーテル、ジエチレングリコール、四塩化炭素、ジオキサン、シクロヘキサン、ジクロロベンゼン、ジブチルエーテル、ジメチルスホキシド、ジメチルホルムアミド、テトラクロロエタン、テトラヒドロフラン、トリエタノールアミン、トリクロロエチレン、トルエン、パークロルエチレン、ピリジン、フェノール、ブチルアルコール、ブチルセルソルブ、プロピルアルコール、フロロベンゼン、ヘキサアルデヒド、ヘキサン、ベンジルアルコール、ベンズアルデヒド、ベンゼン、ホルムアルデヒド及びメチルアルコールの何れか又はこれらのうちの少なくとも2種の混合物等がある。
また、本発明の測定装置は、圧電板3の電極4,5に対して交流電圧を印加して振動させ、この振動周波数等の変化を測定することができるものであれば、特に制限はなく、単に発振回路とセンサ30の周波数等の電気的特性を測定できるものや、ネットワークアナライザ、インピーダンスアナライザを使用したものも当然含まれる。
上記した圧電板3も、公知のものを使用することができ、例えば、水晶以外にも、チタン酸バリウム、PZT(登録商標)等を使用することができる。また、その形状についても特に制限はなく、上記説明した円板形状の他に、矩形状等のものも使用することができる。
また、基板1に設けられる接続端子13,14や、圧電板3に設けられる電極4,5や接続端子8,9についても、同様に公知のものであり、金等の金属製材料を蒸着等して設けられる。
また、基板1に設けられる接続端子13,14や、圧電板3に設けられる電極4,5や接続端子8,9についても、同様に公知のものであり、金等の金属製材料を蒸着等して設けられる。
次に、本発明の以下の構成の実施例のセンサと、比較例のセンサを作製して比較実験を行った。
(実施例1)
図2に示すように、基板1をセラミックにより構成し、圧電板3として厚さ0.1475mm、半径4.35mmのATカット27MHzの水晶を用い、圧電板3の両面の略中央部には、金を厚さ0.5μm、半径2.5mmの円形状に蒸着して電極4,5を形成した。そして、圧電板3に設けられた接続端子13,14と、基板1に設けられた接続端子8,9とを、銀分散エポキシ樹脂14により接着して本実施例のセンサとした。
(実施例1)
図2に示すように、基板1をセラミックにより構成し、圧電板3として厚さ0.1475mm、半径4.35mmのATカット27MHzの水晶を用い、圧電板3の両面の略中央部には、金を厚さ0.5μm、半径2.5mmの円形状に蒸着して電極4,5を形成した。そして、圧電板3に設けられた接続端子13,14と、基板1に設けられた接続端子8,9とを、銀分散エポキシ樹脂14により接着して本実施例のセンサとした。
(比較例1)
銀分散エポキシ樹脂を、銀分散シリコーン樹脂に変更した以外は、実施例1のセンサと同じ構成として、比較例1のセンサとした。
銀分散エポキシ樹脂を、銀分散シリコーン樹脂に変更した以外は、実施例1のセンサと同じ構成として、比較例1のセンサとした。
液温が、25±0.1℃に保たれた恒温ヒートブロック内に、8mlのクロロホルムを注入し、そこに、発振回路から基本周波数27MHzで水晶を発振させた上記実施例1及び比較例1のセンサを浸漬して、周波数の変動を測定した。図3及び図4に、経時的な周波数変化を示す。
図3は、実施例1のセンサの測定結果であるが、ノイズやうねり等がなく安定して測定をすることができることがわかった。図4は、比較例1のセンサの測定結果であるが、5分で配線又は電極に障害が生じて発振しなくなることがわかった。
図3は、実施例1のセンサの測定結果であるが、ノイズやうねり等がなく安定して測定をすることができることがわかった。図4は、比較例1のセンサの測定結果であるが、5分で配線又は電極に障害が生じて発振しなくなることがわかった。
本発明は、水溶液及び有機溶媒を使用した溶液を使用した測定においても利用することができる。
1 基板
2 発振子
3 圧電板
4 電極
5 電極
6 リード線
7 リード線
8 接続端子
9 接続端子
10 空間
11 凹部
12 平坦部
13 接続端子
14 接続端子
15 導電性接着剤
16 配線
17 シール剤
30 センサ
2 発振子
3 圧電板
4 電極
5 電極
6 リード線
7 リード線
8 接続端子
9 接続端子
10 空間
11 凹部
12 平坦部
13 接続端子
14 接続端子
15 導電性接着剤
16 配線
17 シール剤
30 センサ
Claims (4)
- 圧電板と、この両面の内側に設けられた電極と、前記電極から前記圧電板の外側に引き出された端子とを備え、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、被覆部材により被覆され、前記被覆部材は、前記圧電板に設けられた端子に接続できるように他の端子を備え、前記圧電板に設けられた端子と、前記被覆部材に設けられた端子とは、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノール樹脂の何れかを主剤とする導電性接着剤により固定されることを特徴とするセンサ。
- 前記被覆部材は、対象となる溶液に対して、寸法変化率を10%以下の材料により構成したことを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記被覆部材は、無機材料から構成されることを特徴とする請求項2に記載のセンサ。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のセンサを備えたことを特徴とする測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286825A JP2007093548A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | センサ及びこれを備えた測定装置 |
PCT/JP2006/319495 WO2007037386A1 (ja) | 2005-09-30 | 2006-09-29 | センサ及びこれを使用した装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286825A JP2007093548A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | センサ及びこれを備えた測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005286825A Pending JP2007093548A (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | センサ及びこれを備えた測定装置 |
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JP (1) | JP2007093548A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007198921A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Ulvac Japan Ltd | センサの液状物保持器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09145583A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-06 | Dev Center For Biotechnol | カートリッジ状の圧電センサチップ |
JP2000258324A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Hokuto Denko Kk | Qcmセンサデバイス |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005286825A patent/JP2007093548A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080626 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101012 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110111 |