JP2008008845A - Qcmセンサ - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、水晶振動子を用いたQCMセンサ素子の水晶基板を挟んで液相に対向する素子引き出し電極幅を狭くし、かつ端部電極の面積を小さくした計測精度の高いQCMセンサを提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為本発明は、QCMセンサ素子の容器内側の外部引き出し電極幅、及び端部電極の面積がQCMセンサ素子の露出された主面の金属膜の引き出し電極幅、及び端部電極の面積より狭く、かつ小さく形成され、又、センサ容器内側外部引き出し電極幅、及び端部電極の面積がQCMセンサ素子の露出された主面の金属膜引き出し電極幅、端部電極の面積ともに10%以上、90%以下とされ、又、QCMセンサ容器がセラミック、ガラス、水晶、若しくはプラスチックから成り、又、QCMセンサ素子の信号引き出し用配線がQCMセンサ容器外面に延在することを特徴とし課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
QCMセンサ素子のセンサ容器内側の外部引き出し電極幅、及びその端部電極の面積が、QCMセンサ素子の露出された主面に形成された金属膜の引き出し電極幅、及びその端部電極の面積よりも狭く、かつ小さく形成されていることを特徴とする。
2 金属膜
3 QCMセンサ素子
4 QCMセンサ容器
5 QCMセンサ素子側面の全周縁部
6 QCMセンサ容器搭載面
7 非導電性接着材
8 外部引き出し電極幅
9 端部電極の面積
10 露出された主面
11 信号引き出し用配線
12 QCMセンサ容器外面
13 QCMセンサ
Claims (4)
- 水晶基板の表面に金属膜を形成して成る水晶振動子を用い、QCMセンサ素子の片面が露出してQCMセンサ容器に搭載され、該QCMセンサ素子側面の全周縁部、及び同素子周りの該QCMセンサ容器搭載面に至る部分が非導電性接着材で塞がれたQCMセンサにおいて、
該QCMセンサ素子の該センサ容器内側の外部引き出し電極幅、及びその端部電極の面積が、該QCMセンサ素子の露出された主面に形成された金属膜の該外部引き出し電極幅、及び該端部電極の面積よりも狭く、かつ小さく形成されていることを特徴とするQCMセンサ。 - 該QCMセンサ素子の該センサ容器内側の外部引き出し電極幅、及びその端部電極の面積が、該QCMセンサ素子の露出された主面に形成された金属膜の該外部引き出し電極幅、端部電極の面積に比べともに10%以上、90%以下とされていることを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサ。
- 該QCMセンサ容器がセラミック、ガラス、水晶、若しくはプラスチックから成ることを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサ。
- 該QCMセンサ素子の信号引き出し用配線が該QCMセンサ容器外面に延在されることを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサ。
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