JP2006029873A - 水晶センサ及び感知装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水晶片の一面側に一方の励振電極及び導出電極が、また他面側に他方の励振電極及び導出電極が形成されているが、水晶片の他面側の導出電極を一面側に回り込ませ、当該一面側において各導出電極に夫々一対の支持線部材を接続固着する。このような構成にすることで水晶片の他面側においては支持線部材が存在しなくなる。またベース体として、水晶片の収容領域を区画するように設けられた枠部と、前記収容領域の底面中央部に形成された前記凹部と、前記保持部材を受ける受け部をと、を備え、前記枠部が前記凹部内に励振電極が臨むように水晶片の周縁の位置を規制するように構成する。
【選択図】 図1
Description
前記水晶片の一面側に形成され、前記一方の励振電極に接続された箔状の一方の導出電極と、
前記他方の励振電極に接続され、前記水晶片の他面側から一面側に回し込まれて形成された箔状の他方の導出電極と、
前記水晶片の一面側にて一方の導出電極及び他方の導出電極に夫々先端部が固着され、外部に電気信号を取り出すための一対の支持線部材と、を備えたことを特徴とする。
一対の支持線部材の基端側は保持部材に支持され、前記ベース体は、水晶片の収容領域を区画するように設けられた枠部と、前記収容領域の底面中央部に形成された前記凹部と、前記保持部材を受ける受け部をと、を備え、前記枠部は、前記凹部内に励振電極が臨むように水晶片の周縁の位置を規制するものである構成、
水晶片の一面側の励振電極が露出するようにかつ当該一面側の全周に亘って水晶片とベース体との間に接着剤を塗布して当該水晶片をベース体に固定した構成などを挙げることができる。
前記水晶片に形成され、前記一方の励振電極及び他方の励振電極に夫々接続された一方の導出電極及び他方の導出電極と、
これら一方の導出電極及び他方の導出電極に夫々先端部が固着され、外部に電気信号を取り出すための一対の支持線部材と、
これら一対の支持線部材の基端側を保持する保持部材と、を備え、
前記ベース体は、水晶片の収容領域を区画するように設けられた枠部と、前記収容領域の底面中央部に形成された前記凹部と、前記保持部材を受ける受け部をと、を備え、
前記枠部は、前記凹部内に励振電極が臨むように水晶片の周縁の位置を規制するものであり、
水晶片の一面側の励振電極が露出するようにかつ当該一面側の全周に亘って水晶片とベース体との間に接着剤を塗布して当該水晶片をベース体に固着したことを特徴とする。この発明の一例としては、一対の支持線部材は、先端部にクリップ部が設けられており、このクリップ部により水晶片の周縁部を挟持して水晶片に固定されている構造を挙げることができる。
本発明に係る水晶センサの第1の実施の形態について図1から図3を用いて説明する。図中20は例えば等価厚みが1μm〜300μm、好ましくは185μmの円形板状の水晶片であり、この水晶片20の一面側及び他面側には箔状の一方の励振電極21及び他方の励振電極22が夫々貼着して当該水晶片20よりも小径の円形状に形成されている。また前記水晶片20の一面側には、箔状の一方の導出電極23の一端側が前記一方の励振電極21に接続されて形成されている。この導出電極23は励振電極21から帯状に外方側に少し引き出され、更に水晶片20の周縁に沿って円弧状に広がった形状になっている。そして当該導出電極23の他端側は水晶片20の端面に沿って屈曲され、水晶片20の他面側に回し込まれ、当該他面の周縁に沿って円弧状に広がった形状として形成されている。
(第2の実施の形態)
この第2の実施の形態は、第1の実施の形態において接着剤46を用いずに、図4及び図5に示すようにベース体4及び水晶片20の上からこれらに跨って水晶片20の全周に亘ってかつ水晶片20の一面側の励振電極21が露出するように接着剤5例えばシリコーン接着剤を塗布して構成している。なお図5では、図面を見やすくするために接着剤5の塗布領域の外縁及び内縁を点線で表すにとどめている。
(第3の実施の形態)
この第3の実施の形態は、第2の実施の形態において、水晶片20に対する支持線部材31、32の固着構造が異なり、その構成については図6〜図8に示す。この例では、支持線部材31、32における保持部材33から先端側部分は、帯状部材により構成され、更にその帯状部材の先端部にて上下両縁から互いに平行に横に突出する一対の突片34、35が形成されている。この突片34、35は、この間に水晶片20の周縁部を挟持して固着するためのクリップ部を構成している。このため水晶片20をベース体4の収容領域40内に置くと、支持線部材31、32を構成する帯状部材の高さが水晶片20の厚さよりも大きいことから、支持線部材31、32は収容領域40の底面に付いているが、水晶片20は浮いている状態になっている(図8参照)。従ってベース体4及び水晶片20の上側及び水晶片20の横側に位置する接着剤5の密着作用により、前記凹部43が気密な空間になる。
21、22 励振電極
23、24 導出電極
31、32 支持線部材
33 保持部材
4 ベース体
40 収容領域
42 底面
43 凹部
44 受け部
46 接着剤
5 接着剤
30 凹部
31 ケース体
40 接着部材
41 開口部
Claims (8)
- 一面側及び他面側に夫々一方の励振電極及び他方の励振電極が設けられた水晶片と、凹部が形成されたベース体と、を備え、前記水晶片と前記凹部とで囲まれる空間が気密空間となるように且つ当該気密空間に水晶片の他面側の励振電極が臨むように前記ベース体に水晶片を固着してなり、水晶片の一面側が測定雰囲気に接触する水晶センサにおいて、
前記水晶片の一面側に形成され、前記一方の励振電極に接続された箔状の一方の導出電極と、
前記他方の励振電極に接続され、前記水晶片の他面側から一面側に回し込まれて形成された箔状の他方の導出電極と、
前記水晶片の一面側にて一方の導出電極及び他方の導出電極に夫々先端部が固着され、外部に電気信号を取り出すための一対の支持線部材と、を備えたことを特徴とする水晶センサ。 - 一方の導出電極は、前記水晶片の一面側から他面側に回し込まれて形成され、水晶片の両面において励振電極及び導出電極の配置レイアウトが同様であることを特徴とする請求項1記載の水晶センサ。
- 前記凹部の口縁部と水晶片の他面側とが接着剤を介して固着されていることを特徴とする請求項1または2記載の水晶センサ。
- 一対の支持線部材の基端側は保持部材に支持され、
前記ベース体は、水晶片の収容領域を区画するように設けられた枠部と、前記収容領域の底面中央部に形成された前記凹部と、前記保持部材を受ける受け部をと、を備え、
前記枠部は、前記凹部内に励振電極が臨むように水晶片の周縁の位置を規制するものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の水晶センサ。 - 水晶片の一面側の励振電極が露出するようにかつ当該一面側の全周に亘って水晶片とベース体との間に接着剤を塗布して当該水晶片をベース体に固定したことを特徴とする請求項1または2に記載の水晶センサ。
- 一面側及び他面側に夫々一方の励振電極及び他方の励振電極が設けられた水晶片と、凹部が形成されたベース体と、を備え、前記水晶片と前記凹部とで囲まれる空間が気密空間となるように且つ当該気密空間に水晶片の他面側の励振電極が臨むように前記ベース体に水晶片を固着してなり、水晶片の一面側が測定雰囲気に接触する水晶センサにおいて、
前記水晶片に形成され、前記一方の励振電極及び他方の励振電極に夫々接続された一方の導出電極及び他方の導出電極と、
これら一方の導出電極及び他方の導出電極に夫々先端部が固着され、外部に電気信号を取り出すための一対の支持線部材と、
これら一対の支持線部材の基端側を保持する保持部材と、を備え、
前記ベース体は、水晶片の収容領域を区画するように設けられた枠部と、前記収容領域の底面中央部に形成された前記凹部と、前記保持部材を受ける受け部をと、を備え、
前記枠部は、前記凹部内に励振電極が臨むように水晶片の周縁の位置を規制するものであり、
水晶片の一面側の励振電極が露出するようにかつ当該一面側の全周に亘って水晶片とベース体との間に接着剤を塗布して当該水晶片をベース体に固着したことを特徴とする水晶センサ。 - 一対の支持線部材は、先端部にクリップ部が設けられており、このクリップ部により水晶片の周縁部を挟持して水晶片に固定されていることを特徴とする請求項6記載の水晶センサ。
- 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶センサと、この水晶センサを発振させる発振回路と、この発振回路の発振周波数の変化分を測定する手段と、この手段により測定された発振周波数の変化分に基づいて感知対象物を感知する手段と、を備えた感知装置において、
前記水晶センサとして請求項1ないし7のいずれか一に記載の水晶センサを用いたことを特徴とする感知装置。
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