JPH09304259A - 水晶式濃度センサー - Google Patents
水晶式濃度センサーInfo
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- JPH09304259A JPH09304259A JP11451896A JP11451896A JPH09304259A JP H09304259 A JPH09304259 A JP H09304259A JP 11451896 A JP11451896 A JP 11451896A JP 11451896 A JP11451896 A JP 11451896A JP H09304259 A JPH09304259 A JP H09304259A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 水晶式濃度センサーの感度と精度の向上を図
る。 【解決手段】 被検知物質に接触させてその物理的性質
の変化を検知する水晶振動子を備えた水晶式濃度センサ
ーの、水晶振動板１０の両面に電極１２，１３を設け、
その被検知物質に接触する側の電極１３に高分子化合物
１７からなる薄膜を設けてなる。
る。 【解決手段】 被検知物質に接触させてその物理的性質
の変化を検知する水晶振動子を備えた水晶式濃度センサ
ーの、水晶振動板１０の両面に電極１２，１３を設け、
その被検知物質に接触する側の電極１３に高分子化合物
１７からなる薄膜を設けてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は医学、工業化学等の
分野において液体の濃度、気体の濃度等を検出するのに
用いられる水晶式濃度センサーに関するものである。
分野において液体の濃度、気体の濃度等を検出するのに
用いられる水晶式濃度センサーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の水晶式濃度センサーとしては特開
平６ー１８３９４号公報に記載されたようなものがあ
る。
平６ー１８３９４号公報に記載されたようなものがあ
る。
【０００３】この従来の水晶式濃度センサーを図７に示
す。
す。
【０００４】図７に示した従来の水晶式濃度センサー
は、ＡＴカット等によって厚みすべり振動する水晶振動
板１０の両面に、それぞれ一個の導電性薄膜電極１２、
１３を設けて水晶振動子を構成し、水晶振動子の片面を
被検知物質に接触させた状態で増幅・帰還回路により水
晶振動子を発振させ、負荷としての被検知物質によって
変化した水晶振動子の固有振動数を検出して被検知物質
の濃度等を求めるものであった。
は、ＡＴカット等によって厚みすべり振動する水晶振動
板１０の両面に、それぞれ一個の導電性薄膜電極１２、
１３を設けて水晶振動子を構成し、水晶振動子の片面を
被検知物質に接触させた状態で増幅・帰還回路により水
晶振動子を発振させ、負荷としての被検知物質によって
変化した水晶振動子の固有振動数を検出して被検知物質
の濃度等を求めるものであった。
【０００５】なお、図７において、１１は液口栓５の蓋
部５１から鉛直に延びた保持管であり、水晶振動板１０
はこの保持管１１の下端開口を塞ぐように、紫外線硬化
樹脂のような接着剤によって取り付けられ、保持管１１
の内部に被検知物質が浸入しないようにしている。
部５１から鉛直に延びた保持管であり、水晶振動板１０
はこの保持管１１の下端開口を塞ぐように、紫外線硬化
樹脂のような接着剤によって取り付けられ、保持管１１
の内部に被検知物質が浸入しないようにしている。
【０００６】ちなみに、被検知物質が液体である場合に
は、その粘度と密度に応じて水晶振動子に負荷がかかる
ようにし、気体である場合には水晶振動子の片面にあら
かじめ設けた吸着膜に被検知物質が吸着されて水晶振動
子に負荷がかかるようにしている。すなわち、各種濃度
の液体、たとえば硫酸水溶液の場合には、この水晶式濃
度センサーを硫酸水溶液中に浸漬させて固有振動数を測
定すると、固有振動数は濃度に対してほぼ直線的に変化
するので、固有振動数を測定することによって硫酸の濃
度を測定することができる。
は、その粘度と密度に応じて水晶振動子に負荷がかかる
ようにし、気体である場合には水晶振動子の片面にあら
かじめ設けた吸着膜に被検知物質が吸着されて水晶振動
子に負荷がかかるようにしている。すなわち、各種濃度
の液体、たとえば硫酸水溶液の場合には、この水晶式濃
度センサーを硫酸水溶液中に浸漬させて固有振動数を測
定すると、固有振動数は濃度に対してほぼ直線的に変化
するので、固有振動数を測定することによって硫酸の濃
度を測定することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の水晶式
濃度センサーでは、被検知物質の濃度の変化が小さい場
合、固有振動数の変化も小さくなるが、被測定物の振動
やセンサーの設置状況などによって誤差が発生する場合
には感度や精度が不十分であるという問題があった。
濃度センサーでは、被検知物質の濃度の変化が小さい場
合、固有振動数の変化も小さくなるが、被測定物の振動
やセンサーの設置状況などによって誤差が発生する場合
には感度や精度が不十分であるという問題があった。
【０００８】また、被検知物質の濃度が低い場合も、周
囲環境の影響を受けやすいため、感度や精度が不十分に
なるという問題があった。
囲環境の影響を受けやすいため、感度や精度が不十分に
なるという問題があった。
【０００９】さらに、被検知物質以外の共存物が存在
し、それによる影響が大きい場合も被検知物質を選択的
に測定することができないという問題があった。
し、それによる影響が大きい場合も被検知物質を選択的
に測定することができないという問題があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、被検知物質の物理的性質の
変化に伴って一価関数的に固有振動数が変化する水晶振
動子と、水晶振動子を発振させる発振回路とを備え、被
検知物質に接触させた状態で水晶振動子を発振させてそ
の固有振動数を求めることによって、被検知物質の物理
的特性を検知する水晶式濃度センサーにおいて、水晶振
動子は水晶振動板の両面にそれぞれ電極が設けられて構
成されており、各電極は発振回路に電気的に接続されて
おり、水晶振動板は片面のみが被検知物質に接触するよ
うに設けられており、水晶振動子の、被検知物質に接触
する側の面には、被検知物質と反応する性質を有する高
分子化合物の薄膜が形成されていることを特徴とするも
のであり、これにより、被検知物質の濃度に対応する水
晶振動子の固有振動数に、高分子化合物と被検知物質と
の反応よる重量変化に伴う固有振動数の変化分が重畳さ
れて固有振動数の変化量が大きくなり、被検知物質の濃
度変化に対する固有振動数の変化を大きくすることがで
き、感度や精度を向上させることができる。
め、請求項１記載の発明は、被検知物質の物理的性質の
変化に伴って一価関数的に固有振動数が変化する水晶振
動子と、水晶振動子を発振させる発振回路とを備え、被
検知物質に接触させた状態で水晶振動子を発振させてそ
の固有振動数を求めることによって、被検知物質の物理
的特性を検知する水晶式濃度センサーにおいて、水晶振
動子は水晶振動板の両面にそれぞれ電極が設けられて構
成されており、各電極は発振回路に電気的に接続されて
おり、水晶振動板は片面のみが被検知物質に接触するよ
うに設けられており、水晶振動子の、被検知物質に接触
する側の面には、被検知物質と反応する性質を有する高
分子化合物の薄膜が形成されていることを特徴とするも
のであり、これにより、被検知物質の濃度に対応する水
晶振動子の固有振動数に、高分子化合物と被検知物質と
の反応よる重量変化に伴う固有振動数の変化分が重畳さ
れて固有振動数の変化量が大きくなり、被検知物質の濃
度変化に対する固有振動数の変化を大きくすることがで
き、感度や精度を向上させることができる。
【００１１】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の水晶式濃度センサーにおいて、高分子化合物が、芳
香族アミン化合物またはこれを酸化して得られる化合物
または重合物であることを特徴とするものであり、これ
により、被検知物質が酸である場合に、芳香族アミン化
合物中に存在する窒素原子が酸と付加反応し、重量が増
加して固有振動数の変化量が大きくなる。
載の水晶式濃度センサーにおいて、高分子化合物が、芳
香族アミン化合物またはこれを酸化して得られる化合物
または重合物であることを特徴とするものであり、これ
により、被検知物質が酸である場合に、芳香族アミン化
合物中に存在する窒素原子が酸と付加反応し、重量が増
加して固有振動数の変化量が大きくなる。
【００１２】また、請求項３記載の発明は、請求項１記
載の水晶式濃度センサーにおいて、高分子化合物が、硫
黄原子、窒素原子または酸素原子を有する化合物または
これらを酸化して得られる化合物または重合物であるこ
とを特徴とするものであり、これにより、被検知物質が
酸である場合に、硫黄原子、窒素原子または酸素原子が
酸と付加体を形成し、重量が増加して固有振動数の変化
量が大きくなる。
載の水晶式濃度センサーにおいて、高分子化合物が、硫
黄原子、窒素原子または酸素原子を有する化合物または
これらを酸化して得られる化合物または重合物であるこ
とを特徴とするものであり、これにより、被検知物質が
酸である場合に、硫黄原子、窒素原子または酸素原子が
酸と付加体を形成し、重量が増加して固有振動数の変化
量が大きくなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】図１は本発明の実施の形態に係る水晶式濃
度センサーに係る断面図、図２は図１の要部拡大図であ
り、図７と同じ部分には同じ符号を付してその説明は省
略する。
度センサーに係る断面図、図２は図１の要部拡大図であ
り、図７と同じ部分には同じ符号を付してその説明は省
略する。
【００１５】また、図３は前記水晶式濃度センサーに用
いられる発振回路２０の回路図、図４は同インターフェ
イス回路３０の回路図である。
いられる発振回路２０の回路図、図４は同インターフェ
イス回路３０の回路図である。
【００１６】前記発振回路２０中の２１は演算増幅器で
ある。この発振回路２０は電極１３が接地状態であって
も発振動作をさせることができるという特徴がある。
ある。この発振回路２０は電極１３が接地状態であって
も発振動作をさせることができるという特徴がある。
【００１７】前記インターフェイス回路３０は、上記発
振回路２０で得られた周波数を分周し、または加減算
し、または周波数・電圧変換し、または周波数・電流変
換することにより、遠隔地に伝送することを容易にし、
または測定値の温度係数を改善し、または伝送先での受
信方式に適合させるためのものであり、具体的には図４
に示した如く、異なる２つの発振回路２０の出力周波数
をデータラッチ３１，３２からなる減算計数回路を通す
ことにより、水晶振動子の固有振動数の温度係数を相殺
し、同時に電解液の濃度変化分だけを抽出し、振動数の
数値そのものを小さくするようになっている。なお、デ
ータラッチ３２の出力は、伝送に際しての耐ノイズ性を
高めるためにラインドライバー３３を通して送信される
ようになっている。
振回路２０で得られた周波数を分周し、または加減算
し、または周波数・電圧変換し、または周波数・電流変
換することにより、遠隔地に伝送することを容易にし、
または測定値の温度係数を改善し、または伝送先での受
信方式に適合させるためのものであり、具体的には図４
に示した如く、異なる２つの発振回路２０の出力周波数
をデータラッチ３１，３２からなる減算計数回路を通す
ことにより、水晶振動子の固有振動数の温度係数を相殺
し、同時に電解液の濃度変化分だけを抽出し、振動数の
数値そのものを小さくするようになっている。なお、デ
ータラッチ３２の出力は、伝送に際しての耐ノイズ性を
高めるためにラインドライバー３３を通して送信される
ようになっている。
【００１８】本実施の形態に係る水晶式濃度センサーで
は、１１ｍｍ以下の円板からなる水晶振動板１０を保持
管１１の下端開口に備え、一つの集積回路に組み込まれ
た発振回路２０およびインターフェイス回路３０を液口
栓５の蓋部５１に内蔵し、被検知物質が硫酸のような液
体である場合にそれが内部に浸入しないようにしてい
る。
は、１１ｍｍ以下の円板からなる水晶振動板１０を保持
管１１の下端開口に備え、一つの集積回路に組み込まれ
た発振回路２０およびインターフェイス回路３０を液口
栓５の蓋部５１に内蔵し、被検知物質が硫酸のような液
体である場合にそれが内部に浸入しないようにしてい
る。
【００１９】前記水晶振動板１０の両面には硫酸のよう
な被検知物質に接触しても変化することのない、金のよ
うな材質の導電性薄膜からなる電極１２，１３が設けら
れて固有の振動形態を有する電気・機械振動子として作
動する水晶振動子が構成されている。
な被検知物質に接触しても変化することのない、金のよ
うな材質の導電性薄膜からなる電極１２，１３が設けら
れて固有の振動形態を有する電気・機械振動子として作
動する水晶振動子が構成されている。
【００２０】前記保持管１１は硫酸のような被検知物質
に対して耐性のある、ガラス、セラミックス、プラスチ
ック等の絶縁物であって、線膨張係数が水晶振動板１０
にできるだけ近い値を有する材質のものでできており、
その下端開口に紫外線硬化樹脂のような接着剤１６によ
って前記水晶振動板１０が取り付けられている。これは
保持管１１の膨張が水晶振動板１０の固有振動数に影響
を与えないようにしたためである。
に対して耐性のある、ガラス、セラミックス、プラスチ
ック等の絶縁物であって、線膨張係数が水晶振動板１０
にできるだけ近い値を有する材質のものでできており、
その下端開口に紫外線硬化樹脂のような接着剤１６によ
って前記水晶振動板１０が取り付けられている。これは
保持管１１の膨張が水晶振動板１０の固有振動数に影響
を与えないようにしたためである。
【００２１】前記電極１２は水晶振動板１０の内面（上
面）に設けられ、前記電極１３は外面（下面）から内面
（上面）にかけて設けられ、各電極１２，１３にはリー
ド線１４，１５の一端が導電性接着剤１４ａ，１５ａに
より接続されるとともに前記リード線１４，１５の他端
は発振回路２０に接続されている。そして、前記水晶振
動板１０の電極１３側の面には高分子化合物１７からな
る薄膜が形成され、この面のみが被検知物質に接触する
ようにしている。
面）に設けられ、前記電極１３は外面（下面）から内面
（上面）にかけて設けられ、各電極１２，１３にはリー
ド線１４，１５の一端が導電性接着剤１４ａ，１５ａに
より接続されるとともに前記リード線１４，１５の他端
は発振回路２０に接続されている。そして、前記水晶振
動板１０の電極１３側の面には高分子化合物１７からな
る薄膜が形成され、この面のみが被検知物質に接触する
ようにしている。
【００２２】
【実施例】実施例として、水晶振動板１０の電極１３側
の面に、
の面に、
【化１】 で示される芳香族アミン化合物としてのアニリンを酸化
することによって得られるポリアニリンからなる薄膜を
高分子化合物１７として用い、被検知物質として硫酸を
用いた例で説明する。
することによって得られるポリアニリンからなる薄膜を
高分子化合物１７として用い、被検知物質として硫酸を
用いた例で説明する。
【００２３】前記ポリアニリンは分子中に酸と付加体を
形成する窒素原子を有し、なかでも
形成する窒素原子を有し、なかでも
【化２】 で示されるエメラルディン塩基型構造体が硫酸のような
酸と付加反応すると、
酸と付加反応すると、
【化３】 で示されるエメラルディン酸型構造体となる特性がある
ので、被検知物質が硫酸のような酸である場合には、ポ
リアニリンと酸とが付加反応して重量が増加することに
なる。
ので、被検知物質が硫酸のような酸である場合には、ポ
リアニリンと酸とが付加反応して重量が増加することに
なる。
【００２４】前記ポリアニリンは、高分子学会予稿集第
３８巻；２１３９ページ；１９８９にある方法でＮ−メ
チルピロリドンに可溶なものとして合成した。すなわ
ち、アニリンを、硫酸および塩酸を含む水溶液中でペル
オキソ二硫酸アンモニウムを用いて酸化重合させて粉末
状高分子とし、これをアンモニア水で処理してエメラル
ディン塩基型のポリアニリンとした。次に、このポリア
ニリンをＮ−メチルピロリドンに溶解し、得られた溶液
を電極１３側の面上に展開し、溶媒を真空下で気化させ
て除去し、黒色から濃紫色のポリアニリンの薄膜を形成
した。
３８巻；２１３９ページ；１９８９にある方法でＮ−メ
チルピロリドンに可溶なものとして合成した。すなわ
ち、アニリンを、硫酸および塩酸を含む水溶液中でペル
オキソ二硫酸アンモニウムを用いて酸化重合させて粉末
状高分子とし、これをアンモニア水で処理してエメラル
ディン塩基型のポリアニリンとした。次に、このポリア
ニリンをＮ−メチルピロリドンに溶解し、得られた溶液
を電極１３側の面上に展開し、溶媒を真空下で気化させ
て除去し、黒色から濃紫色のポリアニリンの薄膜を形成
した。
【００２５】次に上記した水晶式濃度センサーの動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２６】水晶振動板１０、電極１２，１３および高
分子化合物１７としてのポリアニリンの薄膜からなる水
晶振動子を、被検知物質としての硫酸中に浸漬した状態
で、発振回路２０により発振させると、水晶振動子は硫
酸中にその粘度に応じた横波を励起し、その反作用とし
て硫酸は水晶振動子の負荷となり、水晶振動子の固有振
動数を低下させる。このときの固有振動数の変化分は理
論的には硫酸の比重と粘性計数との積の平方根に比例
し、その固有振動数の変化分は、温度変化に基づく硫酸
の比重と粘性係数との変化の影響を受けるが、水晶振動
板１０すなわち水晶振動子自身に上記温度変化に基づく
影響を相殺する温度係数を積極的に持たせることによ
り、硫酸の濃度の測定における温度変化に基づく誤差を
減少させることができるとともに、ポリアニリンの薄膜
が硫酸と付加反応し、薄膜自身の重量が増加して固有振
動数の低下を大きくするので、感度や精度を向上させる
ことができる。
分子化合物１７としてのポリアニリンの薄膜からなる水
晶振動子を、被検知物質としての硫酸中に浸漬した状態
で、発振回路２０により発振させると、水晶振動子は硫
酸中にその粘度に応じた横波を励起し、その反作用とし
て硫酸は水晶振動子の負荷となり、水晶振動子の固有振
動数を低下させる。このときの固有振動数の変化分は理
論的には硫酸の比重と粘性計数との積の平方根に比例
し、その固有振動数の変化分は、温度変化に基づく硫酸
の比重と粘性係数との変化の影響を受けるが、水晶振動
板１０すなわち水晶振動子自身に上記温度変化に基づく
影響を相殺する温度係数を積極的に持たせることによ
り、硫酸の濃度の測定における温度変化に基づく誤差を
減少させることができるとともに、ポリアニリンの薄膜
が硫酸と付加反応し、薄膜自身の重量が増加して固有振
動数の低下を大きくするので、感度や精度を向上させる
ことができる。
【００２７】図５は上記した水晶式濃度センサーと電極
１３側の面にポリアニリンの薄膜を形成していない従来
の水晶式濃度センサーとを用い、４０ｗｔ％の硫酸水溶
液の固有振動数を基準として異なる濃度の複数の硫酸水
溶液を測定した結果を示したものである。
１３側の面にポリアニリンの薄膜を形成していない従来
の水晶式濃度センサーとを用い、４０ｗｔ％の硫酸水溶
液の固有振動数を基準として異なる濃度の複数の硫酸水
溶液を測定した結果を示したものである。
【００２８】図５から、ポリアニリンの薄膜を形成して
いない従来の水晶式濃度センサーでは水晶振動子の固有
振動数の変化割合は硫酸濃度の変化に対してほぼ一定で
あるが、本発明の水晶式濃度センサーでは水晶振動子の
固有振動数の変化割合は硫酸濃度が低くなると大きくな
ることがわかる。このことから、本発明の水晶式濃度セ
ンサーはその感度や精度が向上できることがわかる。
いない従来の水晶式濃度センサーでは水晶振動子の固有
振動数の変化割合は硫酸濃度の変化に対してほぼ一定で
あるが、本発明の水晶式濃度センサーでは水晶振動子の
固有振動数の変化割合は硫酸濃度が低くなると大きくな
ることがわかる。このことから、本発明の水晶式濃度セ
ンサーはその感度や精度が向上できることがわかる。
【００２９】図６は図５の硫酸濃度が２ｗｔ％以下の拡
大図である。図６から、硫酸濃度が２ｗｔ％以下、特に
０．５ｗｔ％以下の固有振動数の変化割合は大きくな
り、本発明の水晶式濃度センサーはその感度や精度が飛
躍的に向上できることがわかる。
大図である。図６から、硫酸濃度が２ｗｔ％以下、特に
０．５ｗｔ％以下の固有振動数の変化割合は大きくな
り、本発明の水晶式濃度センサーはその感度や精度が飛
躍的に向上できることがわかる。
【００３０】上記した実施例では高分子化合物１７とし
ての芳香族アミン化合物にポリアニリンを用いたが、
ての芳香族アミン化合物にポリアニリンを用いたが、
【化４】 で示されるジフェニルアミンや
【化５】 で示される他の芳香族アミン化合物、たとえば、芳香環
にアルキル基、アルコキシ基、アミド基、カルボキシル
基等を有するものであってもよい。
にアルキル基、アルコキシ基、アミド基、カルボキシル
基等を有するものであってもよい。
【００３１】また、高分子化合物１７としては、硫黄原
子を有する、
子を有する、
【化６】 で示されるチオフェンやその化合物またはその重合物と
してのポリ（チオフェン−２，５−ジイル）や、窒素原
子を有する、
してのポリ（チオフェン−２，５−ジイル）や、窒素原
子を有する、
【化７】 で示されるピリジンやその化合物または重合物としての
ポリ（ピロール−２，５−ジイル）、架橋ポリエチレン
イミンや、酸素原子を有する、
ポリ（ピロール−２，５−ジイル）、架橋ポリエチレン
イミンや、酸素原子を有する、
【化８】 で示されるフランやその化合物または重合物であっても
よい。
よい。
【００３２】上記した種々の高分子化合物において、芳
香環や置換基の種類を適宜選択すれば、その高分子化合
物の塩基性が変化するので、被検知物質の酸濃度の測定
範囲や測定感度をコントロールすることができる。たと
えば、ポリアニリンのように、高分子化合物と被検知物
質とが可逆的に反応し、被検知物質の濃度により反応量
が変化する場合には被検知物質の濃度変化を連続的に検
出することができ、被検知物質の濃度変化の検出が非連
続的でよい場合には、高分子化合物と被検知物質とが不
可逆的に反応するものであってもよいが、高分子化合物
は水晶振動子の電極面に容易に形成でき、容易に除去で
きるものがよい。
香環や置換基の種類を適宜選択すれば、その高分子化合
物の塩基性が変化するので、被検知物質の酸濃度の測定
範囲や測定感度をコントロールすることができる。たと
えば、ポリアニリンのように、高分子化合物と被検知物
質とが可逆的に反応し、被検知物質の濃度により反応量
が変化する場合には被検知物質の濃度変化を連続的に検
出することができ、被検知物質の濃度変化の検出が非連
続的でよい場合には、高分子化合物と被検知物質とが不
可逆的に反応するものであってもよいが、高分子化合物
は水晶振動子の電極面に容易に形成でき、容易に除去で
きるものがよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、被検知物質の濃度に依
存した水晶式濃度センサーの固有振動数の変化に、高分
子化合物からなる薄膜と被検知物質との反応による重量
変化に基づく固有振動数の変化が重畳されるので、その
精度や感度が向上でき、高分子化合物からなる薄膜の種
類を適宜選択することによって被検知物質の濃度を選択
的に測定したり、種々の被検知物質の濃度を測定するこ
とができる。
存した水晶式濃度センサーの固有振動数の変化に、高分
子化合物からなる薄膜と被検知物質との反応による重量
変化に基づく固有振動数の変化が重畳されるので、その
精度や感度が向上でき、高分子化合物からなる薄膜の種
類を適宜選択することによって被検知物質の濃度を選択
的に測定したり、種々の被検知物質の濃度を測定するこ
とができる。
【図１】本発明の水晶式濃度センサーの断面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】本発明の水晶式濃度センサーの発振回路図であ
る。
る。
【図４】本発明の水晶式濃度センサーのインターフェー
ス回路図である。
ス回路図である。
【図５】本発明の水晶式濃度センサーによって硫酸水溶
液の濃度を測定した結果を示す図である。
液の濃度を測定した結果を示す図である。
【図６】図５の部分拡大図である。
【図７】従来の水晶式濃度センサーの断面図である。
１ 水晶式濃度センサー １０ 水晶振動板 １１ 保持管 １２，１３ 電極 １４，１５ リード線 １４ａ，１５ａ 導電性接着剤 １６ 接着剤 １７ 高分子化合物 ２０ 発振回路 ３０ インターフェース回路 ５ 液口栓 ５１ 蓋部
Claims (3)
- 【請求項１】 被検知物質の物理的性質の変化に伴って
一価関数的に固有振動数が変化する水晶振動子と、水晶
振動子を発振させる発振回路とを備え、被検知物質に接
触させた状態で水晶振動子を発振させてその固有振動数
を求めることによって、被検知物質の物理的特性を検知
する水晶式濃度センサーにおいて、水晶振動子は水晶振
動板の両面にそれぞれ電極が設けられて構成されてお
り、各電極は発振回路に電気的に接続されており、水晶
振動板は片面のみが被検知物質に接触するように設けら
れており、水晶振動子の、被検知物質に接触する側の面
には、被検知物質と反応する性質を有する高分子化合物
の薄膜が形成されていることを特徴とする水晶式濃度セ
ンサー。 - 【請求項２】 請求項１記載の水晶式濃度センサーにお
いて、高分子化合物が、芳香族アミン化合物またはこれ
を酸化して得られる化合物または重合物であることを特
徴とする水晶式濃度センサー。 - 【請求項３】 請求項１記載の水晶式濃度センサーにお
いて、高分子化合物が、硫黄原子、窒素原子または酸素
原子を有する化合物またはこれらを酸化して得られる化
合物または重合物であることを特徴とする水晶式濃度セ
ンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11451896A JPH09304259A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 水晶式濃度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11451896A JPH09304259A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 水晶式濃度センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304259A true JPH09304259A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14639765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11451896A Pending JPH09304259A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 水晶式濃度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304259A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002012873A3 (en) * | 2000-08-08 | 2002-05-02 | Smithkline Beecham Plc | Quartz crystal microbalance |
| JP2006337314A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 物質検出装置 |
| JP2008502911A (ja) * | 2004-06-12 | 2008-01-31 | アクバイオ・リミテッド | センサおよび較正要素のアレイを備えた分析機器 |
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| JP2013152318A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Kyocera Document Solutions Inc | 濃度検出装置、およびこれを備えた画像形成装置 |
-
1996
- 1996-05-09 JP JP11451896A patent/JPH09304259A/ja active Pending
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