JPH05290688A - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

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Publication number
JPH05290688A
JPH05290688A JP9416392A JP9416392A JPH05290688A JP H05290688 A JPH05290688 A JP H05290688A JP 9416392 A JP9416392 A JP 9416392A JP 9416392 A JP9416392 A JP 9416392A JP H05290688 A JPH05290688 A JP H05290688A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum valve
sealing member
insulating container
electric field
sealing members
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9416392A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Inagaki
宏一 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP9416392A priority Critical patent/JPH05290688A/ja
Publication of JPH05290688A publication Critical patent/JPH05290688A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 封着のためのメタライズ層の端部のシャープ
なエッジ部の電界を緩和することにより耐電圧性能の向
上を計った真空バルブを得る。 【構成】 円筒の絶縁容器1の端面のろう付用のメタラ
イズ層をリング状平板の封着部材2,3で被うととも
に、メタライズ層の電界を緩和するように封着部材2,
3の内周と外周の端面に曲面を付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は真空バルブに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図5は例えば実公平2−45951号公
報に示された従来の真空バルブを示す断面図であり、図
において、1は円筒形の無機絶縁物の絶縁容器、4,5
は端板で、リング状の封着部材2,3を介し絶縁容器の
両端に同軸上に取り付けられている。端板4,5にはそ
れぞれ電極棒としての固定電極棒8,可動電極棒9が取
り付けられている。6,7は互に対向して配置された電
極でそれぞれ固定電極棒8と可動電極棒9に取り付けら
れている。10はベローズで、可動電極9と端板5の間に
取り付けられ、気密を保ちながら可動電極9が可動可能
である。11,12はシールドで、それぞれ絶縁容器1の内
面およびベローズ10を覆い、アークにより発生する蒸気
で汚染されるのを防いでいる。
【0003】可動電極棒9が図5において上下方向に移
動することにより、開極,閉極が行なわれる。図6は絶
縁容器1の端部の付近の拡大図である。絶縁容器1の両
端部は、封着部材2をろう付によって気密に接合するた
めに、約20μmの厚みのM0 −Mn 等からなるメタライ
ズ層1aが形成されている。封着部材3に対しても同様に
してある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブは以
上のように構成されているので、メタライズ層の厚さが
薄く、その両端部はシャープなエッジになるため電界集
中がおこり、耐電圧性能が低下する問題があった。ま
た、封着部材を端板と絶縁容器にろう付する時に位置決
めがむずかしく、治工具が必要であった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、絶縁容器のメタライズ層での電
界集中を緩和することにより耐電圧性能を向上した真空
バルブを得ることを目的としており、さらに、封着部材
の形状を絶縁容器に対してろう付の際の位置決めを容易
な形にすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る真空バル
ブは、封着部材でメタライズ層を被うとともに、封着部
材の断面形状を曲面にしメタライズ層の電界を緩和する
ことにより耐電圧性能を向上させたものである。更にこ
の発明は、封着部材を絶縁容器と端板に対して係合する
ようにするものである。
【0007】
【作用】この発明における真空バルブは、封着部材でメ
タライズ層を被うとともに、封着部材の断面形状を曲面
にすることにより、メタライズ層の電界を緩和でき、耐
電圧性能が向上する。また、この発明の真空バルブは封
着部材を絶縁容器と端板に対して係合する形にするので
ろう付の際の位置決めが容易になる。
【0008】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1,図2において、1,4〜12は前記従来例と
同一または相当品である。2,3はリング状円板形の封
着部材で、絶縁容器の端面のメタライズ層を被うととも
に、内周と外周の端面に曲面を付けて断面形状に曲面を
もたせている。封着部材2,3をろう付する時の熱応力
による絶縁容器1との接合部の信頼性低下を防ぐため
に、封着部材2,3としてセラミックスの絶縁容器1に
対しその熱膨張係数に近いFe −Ni −Co 合金(コバ
ール)またはFe −Ni 合金を用いたり、ろう付後の除
冷過程で塑性変形しやすい銅または銅合金を用いる。
【0009】封着部材2,3の厚みは、プレス加工等に
よる製作時の平坦度の問題のため1mm以上にする。封着
部材2,3の内,外周の端部の曲面の半径を0.5 mm以上
にする。従来のメタライズ層1aの厚みは約20μmで非常
に薄く、シャープなエッジのため電界集中部となり耐電
圧性能が低下している。一方、この実施例では、封着部
材2,3によりメタライズ層1aを被い、曲面部を形成し
たので、電界集中を大幅に緩和でき、耐電圧性能を向上
させることができる。
【0010】以上の実施例では、リング状円板の封着部
材2,3の内周と外周の両端面に曲面を付けたが、電界
集中の厳しい方のみに曲面を付けても効果がある。
【0011】実施例2.なお、上記実施例では、封着部
材2,3の外周,内周部に曲面をつけたが、第3図に示
すように、絶縁容器1の内側と外側に突出させて、大き
い曲率で折り曲げて断面形状に曲面をもたせてもよい。
この場合はより一層の電界緩和が計られ、耐電圧性能を
向上させることができる。この実施例では、封着部材
2,3を絶縁容器1に対して係合することにより、ろう
付け時の位置決めすることができるため、複雑な治具を
必要とせず、製作が容易になる。以上の実施例では、リ
ング状の封着部材2,3の内側と外側の両方に突出させ
て折り曲げたが、実施例1.と同様に一方のみでもよ
い。
【0012】実施例3.他の実施例を図4に示す。封着
部材2,3を絶縁容器1および端板4,5に対して係合
するようにすることにより、ろう付け時の位置決めする
ことができるため、複雑な治具を必要とせず、製作が容
易になる。
【0013】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、封着
部材でメタライズ層を被うとともに、封着部材の断面形
状を曲面にしメタライズ層の電界を緩和させたことによ
り、耐電圧性能を向上させられる効果がある。
【0014】また、封着部材を絶縁容器と端板に対して
係合するように構成したので、ろう付時の位置決めが容
易になり、製作上の効率化が計られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による真空バルブを示す断
面図である。
【図2】図1の真空バルブにおける絶縁容器の端面近傍
の拡大図である。
【図3】この発明の他の実施例を示す真空バルブの断面
図である。
【図4】この発明の他の実施例を示す真空バルブの断面
図である。
【図5】従来の真空バルブを示す断面図である。
【図6】図5の真空バルブにおける絶縁容器の端面近傍
の拡大図である。
【符号の説明】
1 絶縁容器 1a メタライズ層 2 封着部材 3 封着部材 4 端板 5 端板 8 固定電極棒 9 可動電極棒

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円筒状でその両端面にろう付用のメタラ
    イズ層を持った無機絶縁物の絶縁容器と、電極棒と、端
    板とを備え、前記絶縁容器と同軸上で前記両端面にリン
    グ状の封着部材を介して前記端板の取付けられた真空バ
    ルブにおいて、前記メタライズ層を金属の前記封着部材
    で被うとともに、前記封着部材の断面形状を前記メタラ
    イズ層の電界を緩和するように曲面にしたことを特徴と
    する真空バルブ。
  2. 【請求項2】 封着部材を絶縁容器と端板に対して係合
    するように形成した請求項1の真空バルブ。
JP9416392A 1992-04-14 1992-04-14 真空バルブ Pending JPH05290688A (ja)

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JP9416392A JPH05290688A (ja) 1992-04-14 1992-04-14 真空バルブ

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JP9416392A JPH05290688A (ja) 1992-04-14 1992-04-14 真空バルブ

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Publication Number Publication Date
JPH05290688A true JPH05290688A (ja) 1993-11-05

Family

ID=14102707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9416392A Pending JPH05290688A (ja) 1992-04-14 1992-04-14 真空バルブ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101040441B1 (ko) * 2008-12-31 2011-06-09 주식회사 효성 가스 절연 개폐장치의 절연서포트

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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