JPH05290324A - 磁気ヘッドの製造方法及び磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ヘッドの製造方法及び磁気ヘッ
ドに関し、疑似ギャップの影響を抑制することができる
磁気ヘッドを実現することを目的とする。 【構成】 直方体のコアウェハの表面に鋸歯状の段を設
ける。この鋸歯状の段は傾斜部１ａと垂直部１ｂとが隣
接した構成である。その上に金属磁性体製の薄膜７、
７’を形成する。この薄膜７、７’の上部を研摩し、表
面である水平面７ｂ、７’ｂと、コア半体１、１’との
境界面１ａ、１’ａとの間に傾斜角度θが設けられた楔
形部７ａ、７’ａを形成する。このようにして製造した
コア半体１、１’の表面を互いに当接して接合する。楔
形部７ａ、７’ａの水平面７ｂ、７’ｂのそれぞれが非
磁性体製の薄膜を介して相互に対面されてギャップ部Ｇ
とされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの製造方法及
び磁気ヘッドに係り、特に複合型磁気ヘッドに適した磁
気ヘッドの製造方法及び磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気ヘッドの一例として、本出願
人が先に特願平２−２９３４４５号にて提案したメタル
インギャップ（ＭＩＧ）ヘッドがある。これは複合型磁
気ヘッドであり、酸化物磁性体（例えばフェライト）製
のコア半体の表面に金属磁性体（例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓ
ｉ合金）製の薄膜及びギャップ材としての非磁性体製の
薄膜をスパッタ又は蒸着によって形成して一対のコア半
体とし、それらを溶融ガラス等によって相互に接合する
ことによって製造される。

【０００３】上記製造方法によって製造された磁気ヘッ
ドでは、一対のコア半体のそれぞれに形成された金属磁
性体製の薄膜の表面がギャップ材の非磁性体製の薄膜を
介して対面されギャップ部とされる。ここでコア半体の
上記金属磁性体製の薄膜との境界面とこの薄膜の表面と
は平行である。即ち、ギャップ部の方向と上記コア半体
及び薄膜の間の境界面とが平行である。

【０００４】通常周知のごとく、上記ギャップ部の方向
は磁気記録媒体のデータが記録されるトラックの方向と
同一とすることによってアジマス損失の発生を防止して
いる。そして上記ギャップ部から磁界が発生され、この
磁界が磁気記録媒体に作用することによってデータの書
き込み読み出しがなれさる。しかるに前述したコア半体
と金属磁性体製の薄膜との間の境界面が、コア半体と金
属磁性体との透磁率の違いによって所謂疑似ギャップと
して作用し、上記境界面からも僅かながら磁界が発生す
る。

【０００５】前述のごとくギャップ部の方向と上記境界
面の方向とが同一であるため、上記境界面の方向と磁気
記録媒体の前記トラックの方向とも同一となる。したが
って前述のごとく僅かながら発せられる上記境界面から
の磁界がアジマス損失無しに磁気記録媒体のトラックに
作用する。この上記境界面から発せられる磁界の磁記録
媒体に対する作用がノイズとなり、磁気記録媒体に対す
る磁気ヘッドのデータの書き込み読み出しの精度を低下
させるという問題点があった。

【０００６】又上記問題点を解決した従来の磁気ヘッド
の他例として、特開昭６１−１０４３０６号、同６１−
１０５７１０号及び同６１−１２９７１６号等で提案さ
れたティルティッドセンダストスパッタードフェライト
（ＴＳＳ）ヘッドがある。図５は上記ＴＳＳヘッドの一
例の磁気記録媒体と摺接する摺接面を示す。

【０００７】これも複合型磁気ヘッドであり、まず、酸
化物磁性体（例えばフェライト）製のコア半体２１、２
１’の表面に複数のＶ字型溝２２、２２’を相互に隣接
して並列するように切削して形成する。更にこの複数の
Ｖ字型溝２２、２２’のうちの一つ置き毎に高融点ガラ
ス２３、２３’を充填する。次に上記状態のコア半体２
１、２１’の表面に金属磁性体（例えばセンダスト）製
の薄膜２４、２４’をスパッタ又は蒸着によって厚さ
ｕ’に形成する。更に上記高融点ガラス２３、２３’が
充填されていないＶ字型溝に非磁性高硬度セラミックス
２５、２５’を配設する。したがって高融点ガラス２
３、２３’が充填されたＶ字型溝２２、２２’と、金属
磁性体製の薄膜２４、２４’の上に非磁性高硬度セラミ
ックスが配設されたＶ字型溝２２、２２’とが交互に配
列された状態となる。

【０００８】次に上記状態のコア半体２１、２１’の表
面を研摩する。これによって、前述のごとく高融点ガラ
ス２３、２３’が充填されたＶ字型溝２２、２２’の表
面には高融点ガラスが露出される。又それ以外のＶ字型
溝２２、２２’の表面には前記非磁性高硬度セラミック
ス２５、２５’と、Ｖ字型溝２２、２２’の傾斜された
側壁に形成された前記金属磁性体製の薄膜２５、２５’
の切断面が露出される。したがってコア半体２１、２
１’のそれぞれの表面は、高融点ガラス２３、２３’
と、金属磁性体製の薄膜の切断面に挟まれた非磁性高硬
度セラミックス２５、２５’とが交互に隣接して配設さ
れた状態となる。

【０００９】次に上記状態のコア半体２１、２１’の表
面に非磁性体製のギャップ材をスパッタ又は蒸着によっ
て形成する。

【００１０】次に上記コア半体２１、２１’の表面のそ
れぞれを、高融点ガラス２３、２３’と非磁性高硬度セ
ラミックス２５’、２５とが相互に当接し、金属磁性体
製の薄膜２４と２４’とが当接するように接合する。こ
のようにして製造されたものが図５に示す磁気ヘッド２
０である。この磁気ヘッド２０において、薄膜２４、２
４’が相互に対面した部分がギャップ部Ｇ’である。

【００１１】したがってギャップ部Ｇ’の方向は図５の
縦方向であり、前記加工前のコア半体２１、２１’の表
面と同一であるが、コア半体２１、２１’と金属磁性体
製の薄膜２４、２４’との境界面は前記Ｖ型溝の傾斜さ
れた側壁である。したがってギャップ部Ｇ’の方向とコ
ア半体２１、２１’及び金属磁性体製の薄膜２４、２
４’の間の境界面、即ち疑似ギャップの方向との間には
傾斜角度θ’が設けられている。よって磁気記録媒体の
トラックの方向にギャップ部Ｇ’の方向を合わせても、
上記境界面の方向と磁気記録媒体のトラックの方向とは
傾斜角度θ’分異なっているため、アジマス損失が大き
く疑似ギャップによる作用は打ち消される。よって前述
した疑似ギャップによるノイズの問題は解決される。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかるに上記ＴＳＳヘ
ッド２０では、ギャップ部Ｇ’の幅、即ちトラック幅
ｖ’は前記金属磁性体製の薄膜２４、２４’の厚さｕ’
によって規制される。他方、前記ＭＩＧヘッド等の場合
に必要とされる金属磁性体製の薄膜の厚さでは、通常所
定のトラック幅ｖを形成することにはできない。したが
って所定のトラック幅を形成するために前記ＭＩＧヘッ
ドの場合に比して数倍の成膜時間を要する。又ＴＳＳヘ
ッドは前述のごとくＭＩＧヘッド等に比して形状が複雑
であり、したがって製造工程が繁雑になるという問題点
があった。

【００１３】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、疑似ギャップによるノイズの影響を抑制するこ
とができ、製造工程の長時間化及び繁雑化を生じない磁
気ヘッドの製造方向及び磁気ヘッドを提供することを目
的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、一対のコア半
体の表面にコア半体とは透磁率が異なる薄膜を形成す
る。その後にコア半体及び薄膜の間の境界面と薄膜の表
面との間に所定の傾斜角度を設ける。更にその状態で一
対のコア半体の表面を相互に接合する。一対のコア半体
のそれぞれの上記薄膜の表面が対面されてギャップ部が
形成される。

【００１５】

【作用】本発明では、薄膜の表面によって形成されるギ
ャップ部の方向と、疑似ギャップとして作用するコア半
体及び薄膜の間の境界面の方向との間に傾斜角度が設け
られる。

【００１６】

【実施例】図２、図３及び図４は、本発明になる磁気ヘ
ッドの製造方法の一実施例の複合型磁気ヘッドの製造方
法を示す。

【００１７】図２（Ａ）は、同図の奥行き方向Ｗに長
く、左右方向Ｄに幅が広い直方体形状の酸化物磁性体
（例えばＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト）製のコアウェハ
の同図の上面が切削され鋸歯状の段が形成されたコア半
体１を示す。この鋸歯状の段は、同図の手前側から奥行
き側に向かう方向Ｗに向かうにしたがって同図の下方Ｈ
に低くなるように、前記所定の傾斜角度θ（同図の奥行
き方向Ｗに対して１〜１０°）で傾斜した傾斜面１ａ
と、同図の縦方向Ｈに切り立ち同図の奥行き方向Ｗに対
向する垂直面１ｂとが交互に隣接して配列された構成と
されている。なお、同図の手前側と奥行き側の一部の表
面１ｃ、及び上記垂直面１ｂの上端１ｄは上記加工前の
表面が切削されずに残されている。

【００１８】図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の状態のコア半
体１が、更に同図の上面に２本のそれぞれＶ字型断面形
状を有する補強溝３、４及び台形の断面形状を有するコ
イル巻回溝５が、同図の手前側の端面から奥行き側の端
面まで奥行き方向Ｗに切削されて形成された状態を示
す。又、コア半体１の同図の下方の底面には、コイル巻
回溝５の下方に対応する位置に、長方形状の断面形状を
有するコイルガイド６が切削されて形成されている。

【００１９】図３（Ａ）は、図２（Ｂ）の状態のコア半
体１の同図の上方向Ｈからスパッタ又は蒸着等をおこな
うことによって、コア半体１の図２（Ｂ）の上面に金属
磁性体（例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金）製の薄膜７を形
成（前記成膜工程）した状態の、図２（Ｂ）の右方向Ｄ
から見た側面図を示す。

【００２０】図３（Ｂ）は、更に図３（Ａ）の状態のコ
ア半体１の図３（Ａ）の上面を、同図の横方向に研摩し
た状態を示す。上記研摩は、鋸歯状の段を形成する加工
前のコア半体１の表面の高さまでおこなう。したがって
図３（Ａ）中の左右端部の表面１ｃ及び垂直面１ｂの上
端１ｄが露出される。

【００２１】又、この研摩にともなって垂直面１ｂの上
端１ｄの上部に形成されていた薄膜７の上部が削り取ら
れて楔形部７ａとされ、その上面７ｂは図３（Ｂ）の水
平面となる。したがってこの面７ｂと、コア半体１と薄
膜７との境界面、即ち１ａとの間に前記所定の傾斜角度
θが形成される（前記傾斜形成工程）。

【００２２】図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）の上面の、薄膜
７の上記楔形部７ａの両端部分に、断面形状が半円形状
のトラック幅規制溝８ａ、８ｂが、同図の手前側の端面
から奥行き側の端面まで奥行き方向に切削されて形成さ
れた状態を示す。更にこの状態で同図の上方からスパッ
タ又は蒸着等によってギャップ材としての非磁性体（例
えばＳｉＯ₂ 等）製の薄膜を、コア半体１の同図の上面
に形成する（ただし図示せず）。

【００２３】図３（Ｄ）は、更に上記の状態のコア半体
１の同図の上面に、図３（Ｃ）の状態のコア半体１と実
質的に同一の構成を有するコア半体１’が、コア半体１
とは上下が逆とされた後にそれぞれの薄膜７、７’の楔
形部７ａ、７’ａの水平面７ｂと７’ｂ並びにトラック
規制溝８ａと８’ｂ及び８ｂと８’ａとがそれぞれ合致
するように重ね合わせた状態を示す。なお、コア半体
１’には、コア半体１に対して設けられているものと実
質的に同一の、鋸歯状の段を構成する傾斜面１’ａ、垂
直面１’ｂ、補強溝３’、４’、コイル巻回溝５’、コ
イルガイド６’、金属磁性体製の薄膜７’、楔形部７’
ａ、水平面７ｂ’、トラック幅規制溝８’ａ、８’ｂ及
び非磁性体製の薄膜がそれぞれ設けられている。

【００２４】この状態でトラック幅規制溝８ａと８’ｂ
及び８ｂと８’ａ並びに補強溝３、３’、４、４’のそ
れぞれに溶融ガラス９を充填することによってコア半体
１とコア半体１’とが相互に接合（前記接合工程）され
て磁気ヘッドブロック１０とされる。

【００２５】図４（Ａ）は、上記の状態の磁気ヘッドブ
ロック１０の同図の手前側の端面のうち、金属磁性体製
の薄膜７の楔形部７ａ、７’ａを含まない略正方形状の
部分を所定の厚さ分スライスする。なお、上記スライス
される略正方形状の部分は、トラック幅規制溝８ａ、
８’ｂ及び８ｂ、８’ａのそれぞれによって形成される
円筒形状の孔の開口部の円形の中心を通る同図の上下方
向の直線によって仕切られた部分である。残された楔形
部７ａ、７’ａを含む同図の縦長の長方形状の部分はそ
の両側に対して突出された状態となる。このスライス加
工は、この長方形の摺接面が磁気記録媒体に対して摺接
する際に円滑な摺動がなされるためになされる。

【００２６】次に上記の状態の磁気ヘッドブロック１０
を、上記スライスされた略正方形状の部分の同図の左右
方向の略中心を通る、図４（Ａ）の上下方向の直線Ａに
沿って同図の奥行き方向に向かって切断する。図４
（Ｂ）は、上記のごとく切断されることによって、上記
楔形部７ａ、７’ａを含む同図の縦長の長方形状の部分
がそれぞれを互いに分離され個々の磁気ヘッド１１とさ
れた状態を示す。ただしコア半体１、１’の境界線、ト
ラック幅規制溝８ａ、８’ｂ、８ｂ、８’ａ及び薄膜
７、７’等の、前記スライスされた部分の手前側の端面
上の図示は省略されている。

【００２７】図１は、上記製造方法によって製造された
複合型磁気ヘッド１１の図４（Ｂ）の拡大図を示す。図
１の手前側の端面は、前述のごとく磁気記録媒体と摺接
する摺接面である。同図中、金属磁性体製の薄膜７、
７’の楔形部７ａ、７’ａのそれぞれの水平面７ｂ、
７’ｂが相互に図示しない非磁性体製の薄膜を介して対
面された部分が前記ギャップ部Ｇである。

【００２８】ここでギャップ部Ｇの方向は図１中の水平
面Ｓである。これに対してコア半体１、１’と金属磁性
体製の薄膜７、７’との間の境界面１ａ、１’ａの方向
は、上記水平面Ｓとの間にそれぞれθの傾斜角度で傾斜
されたＴである。即ち、ギャップ部Ｇの方向Ｓと薄膜
７、７’及びコア半体１、1'の間の境界面１ａ、１’ａ
の方向Ｔとの間が傾斜角度θで傾斜されている。したが
ってこの磁気ヘッド１１が適用された磁気記録再生装置
において、磁気記録媒体のトラックの方向にギャップ部
Ｇの方向を合わせる構成とした場合であっても、磁気記
録媒体のトラックの方向と上記境界面１ａ、１’ａの方
向とは傾斜角度θ分異なることになる。前述のごとく上
記境界面１ａ、１’ａはそれぞれ両側の材質が有するそ
れぞれの透磁率の食い違いによって前記疑似ギャップと
しての作用を及ぼす。この作用は前記摺接面に摺接する
磁気記録媒体に及ぼされるが、前述のごとく磁気記録媒
体のトラックの方向と疑似ギャップとしての前記境界面
１ａ、１’ａの方向とが傾斜角度θ分異なっているため
周知のごとくアジマス損失が生じ、それによって前記疑
似ギャップとしての作用が打ち消される。したがって疑
似ギャップの作用によるノイズの発生が抑制され、磁気
ヘッドの性能を向上させることができる。又、上記構成
の磁気ヘッド１１では、前記従来のＴＳＳヘッドの場合
と異なり、ギャップ部Ｇのトラック幅ｖは金属磁性体製
の薄膜７、７’の厚さｕには規制されない。したがって
そのために薄膜７、７’を厚くする必要がないため、成
膜時間を長くする必要がない。よってＴＳＳヘッドの場
合に比して製造工程の短時間化が図れる。又、磁気ヘッ
ドのギャップ部近傍の構成もＴＳＳヘッドに比して簡素
であるため、製造工程を簡素化できる。

【００２９】なお、本実施例は一対のコア半体１、１’
のそれぞれに対して傾斜形成工程が施される方法であっ
たが、一対のコア半体のうちの一方に対してのみ傾斜形
成工程が施される方法でもよい。即ち、コア半体の一方
には傾斜形成工程を施した後に研摩して前記楔形部を形
成する。コア半体の他方には鋸歯状の段を形成する加工
をしない平面状態のコア半体の表面に成膜工程を施す。
更に一方の研摩面と他方の平面状の成膜面とを相互に対
面させてギャップ部とする。この場合には、他方のコア
半体ではギャップ部の方向と境界面の方向とが一致する
ことになるが、双方とも一致する従来の場合に比して効
果的である。

【００３０】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、ギャップ部
の方向と薄膜及びコア半体の間の境界面の方向との間に
傾斜角度が設けられるようにしたため、上記境界面が疑
似ギャップとして作用することが抑制され、磁気ヘッド
の性能を向上させることができ、又ＴＳＳヘッドに比し
て製造工程の簡素化及び短時間化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる磁気ヘッドの一実施例の摺接面を
示す図である。

【図２】本発明になる磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を示すコア半体の斜視図である。

【図３】本発明になる磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を示すコア半体及び磁気ヘッドブロックの側面図であ
る。

【図４】本発明になる磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を示す磁気ヘッドブロック及び磁気ヘッドの図である。

【図５】従来の一例の摺接面を示す図である。

【符号の説明】

１、１’ コア半体 １ａ、１’ａ 境界面 ７、７’ 金属磁性体製の薄膜 １０ 磁気ヘッドブロック １１ 磁気ヘッド Ｇ ギャップ部 θ 傾斜角度

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対のコア半体のそれぞれの表面に該一
   対のコア半体とは透磁率が異なる薄膜を形成する成膜工
   程と、該一対のコア半体のそれぞれの該薄膜が形成され
   た該表面をギャップ部を介して相互に接合する接合工程
   とを含む磁気ヘッドの製造方法において、 前記成膜工程の後で前記接合工程の前に、前記一対のコ
   ア半体うちの少なくとも一方の前記薄膜との境界面と該
   薄膜の表面との間に所定の傾斜角度を設ける傾斜形成工
   程を設けることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記薄膜が形成された前記コア半体うち
   の少なくとも一方の前記薄膜との境界面と該薄膜の表面
   との間に前記所定の傾斜角度が設けられていることを特
   徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法によって
   製造された磁気ヘッド。