JPH05286131A - インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッド - Google Patents
インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッドInfo
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- JPH05286131A JPH05286131A JP9549692A JP9549692A JPH05286131A JP H05286131 A JPH05286131 A JP H05286131A JP 9549692 A JP9549692 A JP 9549692A JP 9549692 A JP9549692 A JP 9549692A JP H05286131 A JPH05286131 A JP H05286131A
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- Japan
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- pzt
- individual ink
- film
- octylate
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＰＺＴ素子の高密度・高精度実装、ＰＺＴ素
子の薄膜化、ＰＺＴ膜の低温焼成を可能にする。 【構成】 多数の個別インク路２を形成したヘッド基台
１上に、ＩＴＯ電極（共通電極５）付きの振動板３を接
合し、個別インク路２上に位置する共通電極５上の部分
にＰＺＴオクチル酸塩混合物をスクリーン印刷してＰＺ
Ｔを成膜し、その後にＰＺＴ膜を焼成してＰＺＴ素子４
とし、各ＰＺＴ素子４上に個別電極６を設け、次いで各
ＰＺＴ素子４を分極させる。
子の薄膜化、ＰＺＴ膜の低温焼成を可能にする。 【構成】 多数の個別インク路２を形成したヘッド基台
１上に、ＩＴＯ電極（共通電極５）付きの振動板３を接
合し、個別インク路２上に位置する共通電極５上の部分
にＰＺＴオクチル酸塩混合物をスクリーン印刷してＰＺ
Ｔを成膜し、その後にＰＺＴ膜を焼成してＰＺＴ素子４
とし、各ＰＺＴ素子４上に個別電極６を設け、次いで各
ＰＺＴ素子４を分極させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク吐出の駆動源に
ＰＺＴからなる圧電素子を使用するインクジェットプリ
ントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッ
ドに関する。
ＰＺＴからなる圧電素子を使用するインクジェットプリ
ントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インク吐出の駆動源である電気−機械変
換素子としてＰＺＴからなるＰＺＴ素子（以下、ＰＺＴ
素子という）を使用した圧電型インクジェットプリント
ヘッドがある。このプリントヘッドは一般には、多数の
個別インク路を形成したヘッド基台と、全ての個別イン
ク路を覆うようにヘッド基台に取付けた振動板と、個別
インク路上に相当する振動板上の各部分に貼付したＰＺ
Ｔ素子とで構成される。そして、ＰＺＴ素子に電界を加
えてＰＺＴ素子を変位させることにより、個別インク路
内のインクを個別インク路の先端口（ノズル）から押し
出す。
換素子としてＰＺＴからなるＰＺＴ素子（以下、ＰＺＴ
素子という）を使用した圧電型インクジェットプリント
ヘッドがある。このプリントヘッドは一般には、多数の
個別インク路を形成したヘッド基台と、全ての個別イン
ク路を覆うようにヘッド基台に取付けた振動板と、個別
インク路上に相当する振動板上の各部分に貼付したＰＺ
Ｔ素子とで構成される。そして、ＰＺＴ素子に電界を加
えてＰＺＴ素子を変位させることにより、個別インク路
内のインクを個別インク路の先端口（ノズル）から押し
出す。
【０００３】ヘッド基台の個別インク路とＰＺＴ素子と
の位置関係をもう少し詳しくみてみる。例えば図５に示
すヘッド基台１０においては、その一端から他端に等間
隔で延びる個別インク路１１が形成され、個別インク路
１１は、供給路１２、圧力室１３及びノズル１４で構成
され、このような個別インク路１１の各圧力室１３上に
ＰＺＴ素子２０が位置する。勿論、図５には便宜上示し
ていないが、ヘッド基台１０上には振動板が取付けら
れ、この振動板上にＰＺＴ素子２０が貼付されている。
の位置関係をもう少し詳しくみてみる。例えば図５に示
すヘッド基台１０においては、その一端から他端に等間
隔で延びる個別インク路１１が形成され、個別インク路
１１は、供給路１２、圧力室１３及びノズル１４で構成
され、このような個別インク路１１の各圧力室１３上に
ＰＺＴ素子２０が位置する。勿論、図５には便宜上示し
ていないが、ヘッド基台１０上には振動板が取付けら
れ、この振動板上にＰＺＴ素子２０が貼付されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の圧電型インクジェットプリントヘッドの製
造には、次の問題点〜がある。 ：市販されているＰＺＴ素子の厚みは最小１５０μｍ
程度までであり、ＰＺＴ素子の駆動電圧を低くするの
に、これ以上薄いＰＺＴ素子を用いることができない。 ：ＰＺＴ素子の作製時にＰＺＴ素子を個別インク路の
圧力室サイズに切断するが、その際にチッピング等の不
具合が生ずるため、切断が容易でない。 ：ＰＺＴ素子のハンドリングが難しく、各圧力室に対
応する振動板上の位置にＰＺＴ素子を一枚一枚接着剤で
貼り付けて加圧する作業に時間が掛かり、量産性に欠け
る。 ：貼付したＰＺＴ素子を加圧する時に、全てのＰＺＴ
素子に対して均一な加圧制御を行うのが難しく、貼付後
にＰＺＴ素子の密着強度にバラツキが生ずる。甚だしい
場合、実駆動中にＰＺＴ素子が剥がれることもある。 ：例えば図６に示すように、ヘッド基台３０に形成す
る個別インク路３１のノズル３２を集結させたような高
密度プリントヘッドでは、ＰＺＴ素子４０を実装するの
が困難である。
ような従来の圧電型インクジェットプリントヘッドの製
造には、次の問題点〜がある。 ：市販されているＰＺＴ素子の厚みは最小１５０μｍ
程度までであり、ＰＺＴ素子の駆動電圧を低くするの
に、これ以上薄いＰＺＴ素子を用いることができない。 ：ＰＺＴ素子の作製時にＰＺＴ素子を個別インク路の
圧力室サイズに切断するが、その際にチッピング等の不
具合が生ずるため、切断が容易でない。 ：ＰＺＴ素子のハンドリングが難しく、各圧力室に対
応する振動板上の位置にＰＺＴ素子を一枚一枚接着剤で
貼り付けて加圧する作業に時間が掛かり、量産性に欠け
る。 ：貼付したＰＺＴ素子を加圧する時に、全てのＰＺＴ
素子に対して均一な加圧制御を行うのが難しく、貼付後
にＰＺＴ素子の密着強度にバラツキが生ずる。甚だしい
場合、実駆動中にＰＺＴ素子が剥がれることもある。 ：例えば図６に示すように、ヘッド基台３０に形成す
る個別インク路３１のノズル３２を集結させたような高
密度プリントヘッドでは、ＰＺＴ素子４０を実装するの
が困難である。
【０００５】これら問題点〜を解決するためにペー
スト化したＰＺＴを用い、このペーストを個別インク路
上に位置する振動板上の部分にスクリーン印刷し、得ら
れたＰＺＴ膜を焼成・分極させる手法も考えられてい
る。しかし、焼成温度が１０００℃以上と高温であるた
め、それに耐え得る振動板（及び電極）の材料や振動板
の厚さを選定するのが難しい。
スト化したＰＺＴを用い、このペーストを個別インク路
上に位置する振動板上の部分にスクリーン印刷し、得ら
れたＰＺＴ膜を焼成・分極させる手法も考えられてい
る。しかし、焼成温度が１０００℃以上と高温であるた
め、それに耐え得る振動板（及び電極）の材料や振動板
の厚さを選定するのが難しい。
【０００６】従って、本発明の目的は、上記問題点〜
及びＰＺＴペーストを用いる場合の短所に鑑み、ＰＺ
Ｔ素子の切断・貼付工程を省き、高密度・高精度でＰＺ
Ｔ素子を実装することができると共に、非常に薄いＰＺ
Ｔ素子を形成することができ、しかもＰＺＴ膜を低温で
焼成することが可能であるインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法、並びにインクジェットプリントヘッドを
提供することにある。
及びＰＺＴペーストを用いる場合の短所に鑑み、ＰＺ
Ｔ素子の切断・貼付工程を省き、高密度・高精度でＰＺ
Ｔ素子を実装することができると共に、非常に薄いＰＺ
Ｔ素子を形成することができ、しかもＰＺＴ膜を低温で
焼成することが可能であるインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法、並びにインクジェットプリントヘッドを
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のインクジェットプリントヘッドの製造方法
は、多数の個別インク路を有するヘッド基台に取付けた
振動板上に、ＰＺＴオクチル酸塩混合物をスピンコート
してＰＺＴを成膜し、次いで個別インク路上に位置する
振動板上の各部分にＰＺＴ膜が残るようなパターンでＰ
ＺＴ膜をエッチングするか、若しくは個別インク路上に
位置する振動板上の各部分にＰＺＴオクチル酸塩混合物
をスクリーン印刷してＰＺＴを成膜し、その後にＰＺＴ
膜を焼成し、更にＰＺＴ膜をそれぞれ分極させることに
より振動板上にＰＺＴ素子を形成することを特徴とす
る。
に、本発明のインクジェットプリントヘッドの製造方法
は、多数の個別インク路を有するヘッド基台に取付けた
振動板上に、ＰＺＴオクチル酸塩混合物をスピンコート
してＰＺＴを成膜し、次いで個別インク路上に位置する
振動板上の各部分にＰＺＴ膜が残るようなパターンでＰ
ＺＴ膜をエッチングするか、若しくは個別インク路上に
位置する振動板上の各部分にＰＺＴオクチル酸塩混合物
をスクリーン印刷してＰＺＴを成膜し、その後にＰＺＴ
膜を焼成し、更にＰＺＴ膜をそれぞれ分極させることに
より振動板上にＰＺＴ素子を形成することを特徴とす
る。
【０００８】又、本発明のインクジェットプリントヘッ
ドは、一端から他端に延びる多数の個別インク路を一定
間隔を置いて形成したヘッド基台と、全ての個別インク
路を覆うようにヘッド基台に取付けた振動板と、個別イ
ンク路上に位置する振動板上の部分に、ＰＺＴオクチル
酸塩混合物の成膜・焼成・分極により形成したＰＺＴ素
子とを備えることを特徴とする。
ドは、一端から他端に延びる多数の個別インク路を一定
間隔を置いて形成したヘッド基台と、全ての個別インク
路を覆うようにヘッド基台に取付けた振動板と、個別イ
ンク路上に位置する振動板上の部分に、ＰＺＴオクチル
酸塩混合物の成膜・焼成・分極により形成したＰＺＴ素
子とを備えることを特徴とする。
【０００９】本発明の製造方法によれば、スピンコート
・エッチング又はスクリーン印刷によりＰＺＴオクチル
酸塩混合物を振動板上に成膜するため、ＰＺＴ素子の切
断・貼付工程は不要になるだけでなく、数μｍ程度の非
常に薄いＰＺＴ素子を形成することができる。しかも、
５００℃程度の焼成温度で原料（ＰＺＴオクチル酸塩混
合物）が原子或いは分子レベルで混合されるため、ＰＺ
Ｔ膜を低温で焼成することが可能となり、振動板及び電
極の材料や振動板の厚さの選定が容易になる。
・エッチング又はスクリーン印刷によりＰＺＴオクチル
酸塩混合物を振動板上に成膜するため、ＰＺＴ素子の切
断・貼付工程は不要になるだけでなく、数μｍ程度の非
常に薄いＰＺＴ素子を形成することができる。しかも、
５００℃程度の焼成温度で原料（ＰＺＴオクチル酸塩混
合物）が原子或いは分子レベルで混合されるため、ＰＺ
Ｔ膜を低温で焼成することが可能となり、振動板及び電
極の材料や振動板の厚さの選定が容易になる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の製造方法によって作製したインクジェッ
トプリントヘッドの一部省略要部断面図である。このプ
リントヘッドは、基本的には図５に示した従来の構造と
変わらず、複数の個別インク路２を有するヘッド基台１
と、ヘッド基台１上に取付けられた振動板３と、個別イ
ンク路２に対応する振動板３上の位置に形成されたＰＺ
Ｔ素子４とを備える。但し、ＰＺＴ素子４は実際には振
動板３上に設けられた共通電極５上に形成され、ＰＺＴ
素子４上には個別電極６が設けられている。
図１は本発明の製造方法によって作製したインクジェッ
トプリントヘッドの一部省略要部断面図である。このプ
リントヘッドは、基本的には図５に示した従来の構造と
変わらず、複数の個別インク路２を有するヘッド基台１
と、ヘッド基台１上に取付けられた振動板３と、個別イ
ンク路２に対応する振動板３上の位置に形成されたＰＺ
Ｔ素子４とを備える。但し、ＰＺＴ素子４は実際には振
動板３上に設けられた共通電極５上に形成され、ＰＺＴ
素子４上には個別電極６が設けられている。
【００１１】個別インク路２は、図５に示すような形状
であり、ヘッド基台１の後端から前端に向かって供給
路、圧力室及びノズルを有する。振動板３は全ての個別
インク路２を密封するようにヘッド基台１に接合され、
ＰＺＴ素子４は個別インク路２の圧力室に対応する位置
にある。かかるプリントヘッドでは、共通電極５と個別
電極６に電圧を印加することで、両電極５、６で挟持さ
れたＰＺＴ素子４に電界が加わり、ＰＺＴ素子４が変位
する。この変位によって振動板３の対応部分が変形し、
個別インク路２のインク容積が増減し、インク容積が減
少に転じた個別インク路２のインクがノズルから吐出さ
れる。
であり、ヘッド基台１の後端から前端に向かって供給
路、圧力室及びノズルを有する。振動板３は全ての個別
インク路２を密封するようにヘッド基台１に接合され、
ＰＺＴ素子４は個別インク路２の圧力室に対応する位置
にある。かかるプリントヘッドでは、共通電極５と個別
電極６に電圧を印加することで、両電極５、６で挟持さ
れたＰＺＴ素子４に電界が加わり、ＰＺＴ素子４が変位
する。この変位によって振動板３の対応部分が変形し、
個別インク路２のインク容積が増減し、インク容積が減
少に転じた個別インク路２のインクがノズルから吐出さ
れる。
【００１２】次に、上記プリントヘッドの製造方法を図
２〜図４を参照して述べる。まず、図２において、ヘッ
ド基台１に複数の個別インク路２を等間隔で形成する。
個別インク路２の形状は前述したとおりである。このヘ
ッド基台１上に、例えばＩＴＯ電極付きのガラス製振動
板３を陽極接合等で接合する。このＩＴＯ電極が共通電
極５となる。但し、共通電極５は、振動板３上に例えば
白金をスクリーン印刷することにより形成してもよい。
２〜図４を参照して述べる。まず、図２において、ヘッ
ド基台１に複数の個別インク路２を等間隔で形成する。
個別インク路２の形状は前述したとおりである。このヘ
ッド基台１上に、例えばＩＴＯ電極付きのガラス製振動
板３を陽極接合等で接合する。このＩＴＯ電極が共通電
極５となる。但し、共通電極５は、振動板３上に例えば
白金をスクリーン印刷することにより形成してもよい。
【００１３】一方、ＰＺＴオクチル酸塩混合物として
は、オクチル酸鉛（Ｐｂの含有量：４０％）、オクチル
酸ジルコニル（Ｚｒの含有量：２２．５％）、オクチル
酸チタン（Ｔｉの含有量：１２．２％）を、原子比Ｐ
ｂ：Ｚｒ：Ｔｉ＝１：０．５３：０．４７で混合し、こ
れに溶剤とレジンを添加し、十分混練する。得られたＰ
ＺＴオクチル酸塩混合物の液体を、個別インク路２の圧
力室に対応する振動板３上の部分にスクリーンにて所定
パターンで印刷し、ＰＺＴを成膜する。その後、１２０
℃で３時間放置し、ＰＺＴ膜中の溶媒を蒸発させ、続い
て５００℃で１５分程度焼成する。これにより焼結した
ＰＺＴ膜をＰＺＴ素子４とする（図３参照）。なお、１
回のスクリーン印刷ではＰＺＴ膜厚が２〜３μｍまでで
あるため、厚膜にするにはスクリーン印刷・焼成の作業
を繰り返す。
は、オクチル酸鉛（Ｐｂの含有量：４０％）、オクチル
酸ジルコニル（Ｚｒの含有量：２２．５％）、オクチル
酸チタン（Ｔｉの含有量：１２．２％）を、原子比Ｐ
ｂ：Ｚｒ：Ｔｉ＝１：０．５３：０．４７で混合し、こ
れに溶剤とレジンを添加し、十分混練する。得られたＰ
ＺＴオクチル酸塩混合物の液体を、個別インク路２の圧
力室に対応する振動板３上の部分にスクリーンにて所定
パターンで印刷し、ＰＺＴを成膜する。その後、１２０
℃で３時間放置し、ＰＺＴ膜中の溶媒を蒸発させ、続い
て５００℃で１５分程度焼成する。これにより焼結した
ＰＺＴ膜をＰＺＴ素子４とする（図３参照）。なお、１
回のスクリーン印刷ではＰＺＴ膜厚が２〜３μｍまでで
あるため、厚膜にするにはスクリーン印刷・焼成の作業
を繰り返す。
【００１４】次いで、図４に示すように、各ＰＺＴ素子
４上に例えば白金からなる個別電極６をスクリーン印刷
やスパッタ等によって形成する。この後、共通電極５と
個別電極６に電圧を印加し、各ＰＺＴ素子４を所定方向
（上下方向）に分極させる。ここで参考までに、市販さ
れている厚さ１５０μｍのＰＺＴ素子、及び本発明の製
造方法で得られる厚さ７μｍのＰＺＴ素子の印加電圧と
歪量（変位量）とを比較してみる。ＰＺＴ素子のサイズ
は、共に縦（個別インク路の長手方向）×横（個別イン
ク路の幅方向）＝８×０．８ｍｍであり、ヤング率は共
に６．５３×１０3 ｋｇｆ／ｍｍ2 である。又、振動板
の厚さは０．０５ｍｍで、ヤング率は８×１０3 ｋｇｆ
／ｍｍ2 である。そして、ＰＺＴ素子の圧電定数を３．
８１×１０-7ｍｍ／Ｖとし、電界強度をＶ／ｔ（厚さ）
とする。
４上に例えば白金からなる個別電極６をスクリーン印刷
やスパッタ等によって形成する。この後、共通電極５と
個別電極６に電圧を印加し、各ＰＺＴ素子４を所定方向
（上下方向）に分極させる。ここで参考までに、市販さ
れている厚さ１５０μｍのＰＺＴ素子、及び本発明の製
造方法で得られる厚さ７μｍのＰＺＴ素子の印加電圧と
歪量（変位量）とを比較してみる。ＰＺＴ素子のサイズ
は、共に縦（個別インク路の長手方向）×横（個別イン
ク路の幅方向）＝８×０．８ｍｍであり、ヤング率は共
に６．５３×１０3 ｋｇｆ／ｍｍ2 である。又、振動板
の厚さは０．０５ｍｍで、ヤング率は８×１０3 ｋｇｆ
／ｍｍ2 である。そして、ＰＺＴ素子の圧電定数を３．
８１×１０-7ｍｍ／Ｖとし、電界強度をＶ／ｔ（厚さ）
とする。
【００１５】これらの条件を踏まえると共に、ＰＺＴ素
子を両持梁とみなし、既知の両持梁の歪量の公式（特に
示さず）に上記値を代入して歪量を計算する。その結
果、本発明では１０Ｖの電圧を印加すると０．１１μｍ
の歪量が得られるのに対し、従来では１５０Ｖでも０．
０４５μｍに過ぎないことが分かる。従って、本発明の
製法によれば、ＰＺＴ素子をかなり薄膜にできることに
伴って印加電圧を相当低くすることができ、省エネルギ
ーが実現される。但し、本発明において、ＰＺＴ素子の
歪発生力を強くするためには、ＰＺＴ素子のサイズは上
記のように個別インク路の幅方向よりも長手方向を長く
することが好ましい。
子を両持梁とみなし、既知の両持梁の歪量の公式（特に
示さず）に上記値を代入して歪量を計算する。その結
果、本発明では１０Ｖの電圧を印加すると０．１１μｍ
の歪量が得られるのに対し、従来では１５０Ｖでも０．
０４５μｍに過ぎないことが分かる。従って、本発明の
製法によれば、ＰＺＴ素子をかなり薄膜にできることに
伴って印加電圧を相当低くすることができ、省エネルギ
ーが実現される。但し、本発明において、ＰＺＴ素子の
歪発生力を強くするためには、ＰＺＴ素子のサイズは上
記のように個別インク路の幅方向よりも長手方向を長く
することが好ましい。
【００１６】なお、上記実施例ではスクリーン印刷を用
いた場合であるが、スピンコート・エッチングを用いて
ＰＺＴオクチル酸塩混合物からＰＺＴ素子を形成しても
同等の作用効果が得られる。又、スクリーン印刷又はス
ピンコート・エッチングのいずれの場合も、ＰＺＴオク
チル酸塩混合物を成膜する構成であるため、図６に示す
ような高密度のプリントヘッドであっても、振動板上の
所定位置にＰＺＴ素子を実装することは容易である。
いた場合であるが、スピンコート・エッチングを用いて
ＰＺＴオクチル酸塩混合物からＰＺＴ素子を形成しても
同等の作用効果が得られる。又、スクリーン印刷又はス
ピンコート・エッチングのいずれの場合も、ＰＺＴオク
チル酸塩混合物を成膜する構成であるため、図６に示す
ような高密度のプリントヘッドであっても、振動板上の
所定位置にＰＺＴ素子を実装することは容易である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
（及びインクジェットプリントヘッド）は、スピンコー
ト・エッチング又はスクリーン印刷によってＰＺＴオク
チル酸塩混合物を成膜し、ＰＺＴ膜を焼成・分極させる
ことによりＰＺＴ素子を形成するため、下記の効果を奏
する。 （１）ＰＺＴ素子の切断・貼付工程が不要であり、生産
性が向上する。 （２）従来の精精１５０μｍ程度の厚さに比べて、数μ
ｍと非常に薄いＰＺＴ素子を形成することができるの
で、ＰＺＴ素子の駆動電圧を下げることができ、省エネ
ルギー化が達成される。 （３）相当高密度なプリントヘッドでも、ＰＺＴ素子を
振動板上に高精度で実装することができる。 （４）ＰＺＴ膜を５００℃程度の低温で焼成することが
可能であり、振動板及び電極の材料、振動板の厚さの選
定が容易になる。 （５）ＰＺＴ膜の焼成時に膜中のＰｂが蒸発する心配が
ないので、Ｐｂの損失を防ぐために焼成炉や蒸気配管等
を特別仕様にする必要がない。 （６）焼成後のＰＺＴ膜の組成、組織を均一にできる。
（及びインクジェットプリントヘッド）は、スピンコー
ト・エッチング又はスクリーン印刷によってＰＺＴオク
チル酸塩混合物を成膜し、ＰＺＴ膜を焼成・分極させる
ことによりＰＺＴ素子を形成するため、下記の効果を奏
する。 （１）ＰＺＴ素子の切断・貼付工程が不要であり、生産
性が向上する。 （２）従来の精精１５０μｍ程度の厚さに比べて、数μ
ｍと非常に薄いＰＺＴ素子を形成することができるの
で、ＰＺＴ素子の駆動電圧を下げることができ、省エネ
ルギー化が達成される。 （３）相当高密度なプリントヘッドでも、ＰＺＴ素子を
振動板上に高精度で実装することができる。 （４）ＰＺＴ膜を５００℃程度の低温で焼成することが
可能であり、振動板及び電極の材料、振動板の厚さの選
定が容易になる。 （５）ＰＺＴ膜の焼成時に膜中のＰｂが蒸発する心配が
ないので、Ｐｂの損失を防ぐために焼成炉や蒸気配管等
を特別仕様にする必要がない。 （６）焼成後のＰＺＴ膜の組成、組織を均一にできる。
【図１】本発明のインクジェットプリントヘッドの一部
省略要部断面図である。
省略要部断面図である。
【図２】本発明の製造方法における第１の工程図であ
る。
る。
【図３】本発明の製造方法における第２の工程図であ
る。
る。
【図４】本発明の製造方法における第３の工程図であ
る。
る。
【図５】従来例に係る圧電型インクジェットプリントヘ
ッドの一部省略平面図である。
ッドの一部省略平面図である。
【図６】高密度インクジェットプリントヘッドの平面図
である。
である。
１ ヘッド基台 ２ 個別インク路 ３ 振動板 ４ ＰＺＴ素子 ５ 共通電極 ６ 個別電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 41/24 9274−4Ｍ Ｈ０１Ｌ 41/22 Ａ
Claims (2)
- 【請求項１】多数の個別インク路を有するヘッド基台に
取付けた振動板上に、ＰＺＴオクチル酸塩混合物をスピ
ンコートしてＰＺＴを成膜し、次いで個別インク路上に
位置する振動板上の各部分にＰＺＴ膜が残るようなパタ
ーンでＰＺＴ膜をエッチングするか、若しくは個別イン
ク路上に位置する振動板上の各部分にＰＺＴオクチル酸
塩混合物をスクリーン印刷してＰＺＴを成膜し、その後
にＰＺＴ膜を焼成し、更にＰＺＴ膜をそれぞれ分極させ
ることにより振動板上にＰＺＴ素子を形成することを特
徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。 - 【請求項２】一端から他端に延びる多数の個別インク路
を一定間隔を置いて形成したヘッド基台と、全ての個別
インク路を覆うようにヘッド基台に取付けた振動板と、
個別インク路上に位置する振動板上の部分に、ＰＺＴオ
クチル酸塩混合物の成膜・焼成・分極により形成したＰ
ＺＴ素子とを備えることを特徴とするインクジェットプ
リントヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9549692A JPH05286131A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9549692A JPH05286131A (ja) | 1992-04-15 | 1992-04-15 | インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05286131A true JPH05286131A (ja) | 1993-11-02 |
Family
ID=14139213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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