JPH05283778A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH05283778A JPH05283778A JP8060192A JP8060192A JPH05283778A JP H05283778 A JPH05283778 A JP H05283778A JP 8060192 A JP8060192 A JP 8060192A JP 8060192 A JP8060192 A JP 8060192A JP H05283778 A JPH05283778 A JP H05283778A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- corona
- saturable reactor
- primary
- pulse laser
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 グロー放電トリガのタイミングのバラツキを
なくし、レーザガスの汚染のないフォトトリガ方式を用
い出力の安定したパルスレーザ発振装置を得る。 【構成】 レーザ媒質中に対向して配置された２つの主
電極と、コロナ発生源を備え、前記主電極の表面に沿っ
てレーザガスを循環させるパルスレーザ発振装置におい
てコロナ発生源と直列に可飽和リアクトルを設ける。
なくし、レーザガスの汚染のないフォトトリガ方式を用
い出力の安定したパルスレーザ発振装置を得る。 【構成】 レーザ媒質中に対向して配置された２つの主
電極と、コロナ発生源を備え、前記主電極の表面に沿っ
てレーザガスを循環させるパルスレーザ発振装置におい
てコロナ発生源と直列に可飽和リアクトルを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フォトトリガ方式に改
良を施したパルスレーザ発振装置に係る。
良を施したパルスレーザ発振装置に係る。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＣＯ２レーザなどの各種パルスレ
ーザ発振装置における技術の著しい進歩にともない、こ
れらの各種パルスレーザ発振装置の一層の小型化、高性
能化が要求されている中で、最近、高速のスイッチを必
要としないフォトトリガ方式のパルスレーザが提案され
ている。この様なパルスレーザ発振装置としては、例え
ば、図２に示すような回路が考えられている。図２に於
て、レーザ媒質中に配置された主電極１に対向する位置
に他方の主電極２が配設され、主電極１には誘電体３が
密着して配置されている。誘電体３の主電極１と接して
ない面には電極４が取り付けられており、ギャップ５の
一方に接続されている。ギャップ５の他の一方は、主電
極２に接続されている。また、主電極１の誘電体３と接
している面には複数個の穴が開けられている。対向して
配設された２つの主電極１、２は、ピーキングコンデン
サ６およびパルス電源７に接続されている。更に、主電
極１、２の長手方向両端部には図示していない光共振器
が配設されている。
ーザ発振装置における技術の著しい進歩にともない、こ
れらの各種パルスレーザ発振装置の一層の小型化、高性
能化が要求されている中で、最近、高速のスイッチを必
要としないフォトトリガ方式のパルスレーザが提案され
ている。この様なパルスレーザ発振装置としては、例え
ば、図２に示すような回路が考えられている。図２に於
て、レーザ媒質中に配置された主電極１に対向する位置
に他方の主電極２が配設され、主電極１には誘電体３が
密着して配置されている。誘電体３の主電極１と接して
ない面には電極４が取り付けられており、ギャップ５の
一方に接続されている。ギャップ５の他の一方は、主電
極２に接続されている。また、主電極１の誘電体３と接
している面には複数個の穴が開けられている。対向して
配設された２つの主電極１、２は、ピーキングコンデン
サ６およびパルス電源７に接続されている。更に、主電
極１、２の長手方向両端部には図示していない光共振器
が配設されている。
【０００３】この様な構造を有するパルスレーザにおい
ては、主電極１、２間にパルス電源７よりパルス電圧が
印加されるとピーキングコンデンサ６の充電が始まると
共にギャップ５の極間にも電圧が印加される。充電が進
んでギャップ５が放電すると、主電極１と電極４の間に
電圧がかかるようになり、主電極１の開孔部でコロナが
発生する。コロナから発生する紫外線がトリガとなって
主電極１、２の間でグロー放電が開始する。
ては、主電極１、２間にパルス電源７よりパルス電圧が
印加されるとピーキングコンデンサ６の充電が始まると
共にギャップ５の極間にも電圧が印加される。充電が進
んでギャップ５が放電すると、主電極１と電極４の間に
電圧がかかるようになり、主電極１の開孔部でコロナが
発生する。コロナから発生する紫外線がトリガとなって
主電極１、２の間でグロー放電が開始する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この様なフ
ォトトリガ方式のパルスレーザ発振装置においては、グ
ロー放電開始のタイミングをギャップ５で調整していた
ため、各放電毎のバラツキが大きく、また、ギャップ５
で起きるアーク放電によってレーザガスが汚染され安定
したレーザ出力を得ることができないという問題点があ
った。
ォトトリガ方式のパルスレーザ発振装置においては、グ
ロー放電開始のタイミングをギャップ５で調整していた
ため、各放電毎のバラツキが大きく、また、ギャップ５
で起きるアーク放電によってレーザガスが汚染され安定
したレーザ出力を得ることができないという問題点があ
った。
【０００５】本発明は上記問題点を除去するためになさ
れたもので、グロー放電トリガのタイミングのバラツキ
もなく、レーザガスの汚染のないフォトトリガ方式を用
いることにより、出力の安定したパルスレーザ発振装置
を提供することを目的とする。
れたもので、グロー放電トリガのタイミングのバラツキ
もなく、レーザガスの汚染のないフォトトリガ方式を用
いることにより、出力の安定したパルスレーザ発振装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によるパルスレー
ザ発振装置は、コロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リ
アクトルを配設してある。
ザ発振装置は、コロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リ
アクトルを配設してある。
【０００７】
【作用】このような構成を有する本発明においては、コ
ロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リアクトルが配設し
てあるために、レーザガス中でアーク放電を起こすこと
なく安定した動作でグロー放電をトリガすることがで
き、安定したレーザ出力を得ることができる。
ロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リアクトルが配設し
てあるために、レーザガス中でアーク放電を起こすこと
なく安定した動作でグロー放電をトリガすることがで
き、安定したレーザ出力を得ることができる。
【０００８】
【実施例】以下本発明によるパルスレーザ発振装置５の
一実施例を図面を参照して説明する。なお、図２に示し
た従来技術と同一部分には同一符号を付し、説明を省略
する。
一実施例を図面を参照して説明する。なお、図２に示し
た従来技術と同一部分には同一符号を付し、説明を省略
する。
【０００９】本実施例においては、図１の回路図に示し
たように、可飽和リアクトル８が主電極２と電極４の間
に配置されている。この様な構成を有する本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、主電極１、２間にパル
ス電源７よりパルス電圧が印加されるとピーキングコン
デンサ６の充電が始まるが、可飽和リアクトル８が飽和
電圧に達するまではインピーダンスが大きいのでコロナ
電流はほとんど流れない。ピーキングコンデンサ６の充
電が進んで可飽和リアクトル８がオンすると、急激にコ
ロナ電流が流れ始め、主電極１の開孔部でコロナが発生
する。コロナから発生する紫外線がトリガとなって主電
極１、２の間でグロー放電が開始する。
たように、可飽和リアクトル８が主電極２と電極４の間
に配置されている。この様な構成を有する本実施例のパ
ルスレーザ発振装置においては、主電極１、２間にパル
ス電源７よりパルス電圧が印加されるとピーキングコン
デンサ６の充電が始まるが、可飽和リアクトル８が飽和
電圧に達するまではインピーダンスが大きいのでコロナ
電流はほとんど流れない。ピーキングコンデンサ６の充
電が進んで可飽和リアクトル８がオンすると、急激にコ
ロナ電流が流れ始め、主電極１の開孔部でコロナが発生
する。コロナから発生する紫外線がトリガとなって主電
極１、２の間でグロー放電が開始する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、コロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リアクトルを
配置したことにより、グロー放電を安定にトリガし、か
つ、レーザガスの汚染がないため、安定した主放電を点
弧することができ、安定したレーザ出力を持ったパルス
レーザ発振装置を提供できる。
は、コロナ発生用の誘電体と直列に可飽和リアクトルを
配置したことにより、グロー放電を安定にトリガし、か
つ、レーザガスの汚染がないため、安定した主放電を点
弧することができ、安定したレーザ出力を持ったパルス
レーザ発振装置を提供できる。
【図１】本発明によるパルスレーザ発振装置の実施例を
示す回路図。
示す回路図。
【図２】従来のパルスレーザ発振装置を示す回路図。
１・２…主電極、３…誘電体、４…電極、５…ギャッ
プ、６…ピーキングコンデンサ、７…パルス電源、８…
可飽和リアクトル。
プ、６…ピーキングコンデンサ、７…パルス電源、８…
可飽和リアクトル。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ媒質中に対向して配置された２つ
の主電極と、コロナ発生源を備え、前記主電極の表面に
沿ってレーザガスを循環させるパルスレーザ発振装置に
おいて、 前記コロナ発生源と直列に可飽和リアクトルを設けたこ
とを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060192A JPH05283778A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060192A JPH05283778A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05283778A true JPH05283778A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13722856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8060192A Pending JPH05283778A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05283778A (ja) |
-
1992
- 1992-04-02 JP JP8060192A patent/JPH05283778A/ja active Pending
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